JPH08250026A - 露光装置および露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光源のパネル中心からの変位量に対応して、
調光フィルタの傾斜量を調整するだけで、パネル面全域
に亘り露光強度を均一にして、各色蛍光体ドット形成領
域となる均一な開口部を有するブラックマトリクス膜を
形成することのできる露光装置および露光方法を提供す
る。 【構成】 光源４と、シャドウマスクを装着したパネル
を位置決めして載置する支持台と、前記光源と前記パネ
ルとの間に補正レンズ、調光フィルタ７を具備した露光
装置において、赤、緑、青の３色蛍光体形成の露光時の
前記光源４の位置に対応して、それぞれ前記調光フィル
タ７を所定量傾斜させる傾斜機構８ａ，８ｂとそれを保
持するホルダ９とを具備する露光装置および露光方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラー陰極線管の蛍光面
形成に用いる露光装置に関し、特にドット型カラー陰極
線管の３色蛍光体ドット形成領域となる均一な開口部を
有するブラックマトリクス膜の形成に好適する露光装置
および露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、カラー陰極線管は、パネル内側
に装着されたシャドウマスクに対向して、パネル内面に
赤、緑、青の３色蛍光体ドットを規則正しく配列した蛍
光面が形成されている。そして、電子銃から放出される
３本の電子ビームを、外部に装着した偏向ヨークの形成
する磁界により水平方向および垂直方向に偏向して蛍光
面を走査することにより発光させカラー画像を表示して
いる。したがって、この蛍光面に色純度の良好なカラー
画像を表示するためには、それぞれの蛍光体ドットが画
面全域に亘り均一に規則正しく配列し、かつコントラス
トを向上させるため、それぞれの蛍光体ドットの形成領
域を規制し、蛍光体ドット間を非発光にする目的で、蛍
光体ドツト形成領域に開口部を有するブラックマトリク
ス膜が形成されている。

【０００３】ところで、この開口部を有するブラックマ
トリクス膜の形成は、各色の蛍光体ドット形成領域毎に
同一露光装置を用いてシャドウマスクを介して、順次露
光焼き付けして形成されている。そこで、このブラック
マトリクス膜形成に用いられる露光装置としては、光源
から放射される光の軌道を電子ビームの軌道に近似させ
て各蛍光体ドット形成領域を露光形成するため、各蛍光
体ドット形成領域毎に光源の位置を変化させている。

【０００４】この露光装置は、図４に示すように、シャ
ドウマスク２を装着してテーブル３に位置決め載置した
パネル１と光源４との間に、光源４から放射される光の
軌道を電子ビームの軌道に近似させる補正レンズ５を調
光フィルタ６とともに配置し、光源４は、センタードッ
トとなる緑色蛍光体ドット形成領域露光時は、パネル１
の中心線上の位置４Ｇに、サイドドットとなる赤、青蛍
光体ドット形成領域露光時は、パネル１の中心線上から
それぞれ蛍光体ドットの配列方向の左右に変位させた位
置４Ｒ，４Ｂに配置して露光が行なわれている。したが
って、この露光装置によれば、例えば青色蛍光体ドット
形成領域を露光する場合、図５に示すように、光源４の
位置がパネル１の中心より左に変位した位置４Ｂにある
ため、パネル１の左側部１Ｌと右側部１Ｒと光源４の距
離Ｄ１、Ｄ２はＤ１＜Ｄ２の関係となり、パネル１の左
側部１Ｌと右側部１Ｒの露光強度Ｌ１、Ｌ２の関係はＬ
１＞Ｌ２となり、ブラックマトリクス膜の開口部の面積
が不均一となるという問題があった。

【０００５】そこで、特開昭６４−３８９４２号公報に
開示されているように、光の透過率分布が調光フィルタ
の中心に対して非対称な調光フィルタを使用し、サイド
ドットの青、赤色蛍光体ドット形成領域露光時は、光源
の変位に対して、該調光フィルタを１８０°対称に配置
し、センタードットの緑色蛍光体ドット露光時の光源が
中央に位置する時は、該調光フィルタを回転させて露光
する方法が提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した露
光方法では、光源の変位量により、光の透過率分布が変
化するため、パネルのサイズや露光装置の特性により数
種類の透過率分布を有する調光フィルタを用意する必要
があり、調光フィルタの交換や調整に煩雑な作業を要す
るという問題があった。また、非対称な光の透過率分布
を有する調光フィルタを精度よく製造することも困難で
あり、光源位置が中央に位置する場合の調光フィルタの
回転機構等の複雑な機構を要するという問題もあった。
本発明の目的は、光源の中心からの変位量に対応して、
調光フィルタの傾斜量を調整するだけで、パネル面全域
に亘り露光強度を均一にして、各色蛍光体ドット形成領
域となる均一な開口部を有するブラックマトリクス膜を
形成することのできる、構成の簡易で作業性の良好な露
光装置および露光方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、光源と、その
上方に配設されシャドウマスクを装着したパネルを位置
決めして載置するテーブルと、前記光源と前記パネルと
の間に補正レンズ、調光フィルタを具備した露光装置に
おいて、赤、緑、青の３色蛍光体形成の露光時の前記光
源の位置に対応して、それぞれ前記調光フィルタを所定
量傾斜させて保持する可動手段を具備する露光装置を提
供する。また、前記可動手段が、調光フィルタのホルダ
と該ホルダの傾斜機構とからなるか、あるいは、前記可
動手段が、予め所定量傾斜させて３枚の調光フィルタを
配置した回転テーブルと、該回転テーブルを回転させて
所定位置に調光フィルタを位置決め保持する機構とから
なるのが望ましい。

【０００８】また、本発明は、シャドウマスクを装着し
たパネルを位置決めしてテーブルに載置し、光源と前記
パネルとの間に補正レンズ、調光フィルタを介して、前
記光源の位置を変化させて、順次赤、緑、青の３色蛍光
体形成領域となる開口部を有するブラックマトリクス膜
を形成する露光方法において、赤、緑、青の３色蛍光体
形成の露光時の前記光源の位置に対応して、それぞれ前
記調光フィルタを所定量傾斜させて露光する露光方法を
提供する。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、調光フィルタは光源に近付
けると光の透過率が増加し、遠ざけると低下する特性を
有しているため、光源の変位方向の側の調光フィルタが
光源から遠ざかるように、すなわち、光源が右側に変位
する赤色蛍光体ドット形成領域の露光時は左下がりに、
光源が左側に変位する青色蛍光体ドット形成領域の露光
時は右下がりにそれぞれ調光フィルタを傾斜させ、光源
が中央にある緑色蛍光体ドット形成領域の露光時には調
光フィルタを水平に保持すれば、パネル面全域に亘り均
一な各色蛍光体ドット形成領域の開口部を有するブラッ
クマトリクス膜を形成できる。したがって、パネルのサ
イズや露光装置の特性により数種類の透過率分布を有す
る調光フィルタを用意して、その調光フィルタの交換や
調整をする必要がなく、非対称な光の透過率分布を有す
る製造困難な調光フィルタを製造することも必要でな
く、光源位置が中央に位置する場合の調光フィルタの回
転機構等の複雑な機構の不要な簡易な構成の露光装置を
提供できる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の露光装置の実施例について、
図面を参照して説明する。従来例と同一部分には同一参
照符号を付し説明を省略する。本発明の一実施例の露光
装置は、調光フィルタ部以外は従来例と同様に構成され
ており、調光フィルタ７は、図１に示すように、光源４
の変位方向の両端部の位置を上下方向に昇降可能な傾斜
機構８ａ，８ｂを具備したホルダ９に取り付けられてい
る。この実施例の露光装置によるブラックマトリクス膜
の形成は下記のように実施される。すなわち、図２に示
すように、光源４がパネルの中心線上の４Ｇに位置する
緑色蛍光体ドット形成領域の露光時は、両端部の傾斜機
構８ａ，８ｂの位置を同一高さとしてホルダ９を水平に
保持して調光フィルタ７を水平に配置し（図２ａ）、光
源４が左に変位した４Ｂの位置にある青色蛍光体ドット
形成領域露光時は、左端部の傾斜機構８ａを上昇し、右
端部の傾斜機構８ｂを下降させ、ホルダ９を右下がりに
傾斜させて保持して調光フィルタ７を所定量傾斜して配
置し（図２ｂ）、光源４が右に変位した４Ｒの位置にあ
る赤色蛍光体ドット形成領域露光時は、左端部の傾斜機
構８ａを下降し、右端部の傾斜機構８ｂを上昇させ、ホ
ルダ９を左下がりに傾斜させて保持して調光フィルタ７
を所定量傾斜して配置して（図２ｃ）、それぞれ露光す
る。

【００１１】このように露光することにより、光源の変
位に伴い、光源とパネル内面との距離が変化して生じる
パネル内面での露光強度の強弱が、調光フィルタの光源
との距離による光透過率の増減で補正され、パネル内面
全域に亘り均一な露光強度でブラックマトリクス膜の開
口部が形成される。本発明の他の実施例の露光装置は、
図３に示すように、水平、右下がり傾斜、左下がり傾斜
に３枚の調光フィルタ７ａ，７ｂ，７ｃがそれぞれ配置
された回転テーブル１０を具備するもので、この実施例
によっても、各色蛍光体ドット形成領域の露光時に、回
転テーブル１０を回転して、所定の調光フィルタを露光
位置に簡単に配置することができ、前述の実施例と同様
に、パネル内面全域に均一な開口部を有するブラックマ
トリクス膜が形成できる。

【００１２】以上、調光フィルタのホルダの両端部を昇
降させる傾斜機構や３枚の調光フィルタを傾斜配置した
回転テーブルを有する露光装置により、左右方向に３色
蛍光体ドット形成領域となる開口部を配列したブラック
マトリクス膜を形成する例について説明したが、本発明
は上記例に限定されず、例えば調光フィルタのホルダの
中心部に設けた回転軸を中心に回転して傾斜させる機構
を具備した露光装置や３色蛍光体ドットの配列が三角形
状に配列された蛍光体ドットの形成等光源の変位に伴う
光源とパネル間の距離が異なることにより生ずる露光強
度のばらつきを調光フィルタの傾斜により補正するもの
にも適用できる。

【００１３】

【発明の効果】本発明によれば、パネルのサイズや露光
装置の特性により数種類の透過率分布を有する調光フィ
ルタを用意して、その調光フィルタの交換や調整をする
必要がなく、非対称な光の透過率分布を有する製造の困
難な調光フィルタを製造する必要もなく、光源位置が中
央に位置する場合の調光フィルタの回転機構等の複雑な
機構の不要な簡易な構成の露光装置により、均一な各色
蛍光体ドット形成領域の開口部を有するブラックマトリ
クス膜を形成でき、画面全域に亘り正常な蛍光体ドット
の配列した蛍光面を有するカラー陰極線管を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例である露光装置の調光フィ
ルタ部の要部断面図

【図２】 ａ〜ｃ本発明における調光フィルタと光源と
の位置関係を説明するための略示断面図

【図３】 本発明の他の実施例の露光装置の調光フィル
タ部の略示斜視図

【図４】 従来の一般的な露光装置の略示断面図

【図５】 光源の位置による露光強度の変化を説明する
ための略示断面図

【符号の説明】

４ 光源 ７，７ａ，７ｂ，７ｃ 調光フィルタ ８ａ，８ｂ 傾斜機構 ９ ホルダ １０ 回転テーブル ４Ｇ 緑色蛍光体ドット露光時の光源の位置 ４Ｂ 青色蛍光体ドット露光時の光源の位置 ４Ｒ 赤色蛍光体ドット露光時の光源の位置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光源と、その上方に配置されシャドウマス
   クを装着したパネルを位置決めして載置するテーブル
   と、前記光源と前記パネルとの間に補正レンズと調光フ
   ィルタを具備した露光装置において、赤、緑、青の３色
   蛍光体形成の露光時の前記光源の位置に対応して、それ
   ぞれ前記調光フィルタを所定量傾斜させて保持する可動
   手段を具備することを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】前記可動手段が、調光フィルタのホルダと
   該ホルダの傾斜機構とからなることを特徴とする請求項
   １記載の露光装置。
3. 【請求項３】前記可動手段が、予め所定量傾斜させて３
   枚の調光フィルタを配置した回転テーブルと、該回転テ
   ーブルを回転させて所定位置に調光フィルタを位置決め
   保持する機構とからなることを特徴とする請求項１記載
   の露光装置。
4. 【請求項４】シャドウマスクを装着したパネルを位置決
   めしてテーブルに載置し、光源と前記パネルとの間に補
   正レンズと調光フィルタを介して前記光源の位置を変化
   させ順次赤、緑、青の３色蛍光体形成領域となる開口部
   を有するブラックマトリクス膜を形成する露光方法にお
   いて、赤、緑、青の３色蛍光体形成の露光時の前記光源
   の位置に対応してそれぞれ前記調光フィルタを所定量傾
   斜させて露光することを特徴とする露光方法。