JPH08250575A - カセット検知装置 - Google Patents
カセット検知装置Info
- Publication number
- JPH08250575A JPH08250575A JP7967695A JP7967695A JPH08250575A JP H08250575 A JPH08250575 A JP H08250575A JP 7967695 A JP7967695 A JP 7967695A JP 7967695 A JP7967695 A JP 7967695A JP H08250575 A JPH08250575 A JP H08250575A
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- JP
- Japan
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- cassette
- action
- leaf spring
- sensing lever
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】半導体製造装置に於いて、カセットの存在を正
確に検知し得るカセット検知装置を提供する。 【構成】感知レバー１１がカセットの底面に当接して変
位し、フォトセンサ３をＯＮ／ＯＦＦさせるカセット検
知装置において、感知レバーを基部板バネ部５、作用部
６により略コの字状に形成し、作用部の先端に遮蔽部７
を設け、基部をサポートプレート１４を介して固着し、
遮蔽部によりフォトセンサの光路を遮断解放可能とし、
作用部に作用する力点は板バネ部の軸線上にあり、板バ
ネ部先端部での捩れが生じることなく、作用部力点の変
位が正確に遮蔽部に伝達され、遮蔽部により確実にフォ
トセンサをＯＮ／ＯＦＦさせカセット有無の検知が行わ
れる。
確に検知し得るカセット検知装置を提供する。 【構成】感知レバー１１がカセットの底面に当接して変
位し、フォトセンサ３をＯＮ／ＯＦＦさせるカセット検
知装置において、感知レバーを基部板バネ部５、作用部
６により略コの字状に形成し、作用部の先端に遮蔽部７
を設け、基部をサポートプレート１４を介して固着し、
遮蔽部によりフォトセンサの光路を遮断解放可能とし、
作用部に作用する力点は板バネ部の軸線上にあり、板バ
ネ部先端部での捩れが生じることなく、作用部力点の変
位が正確に遮蔽部に伝達され、遮蔽部により確実にフォ
トセンサをＯＮ／ＯＦＦさせカセット有無の検知が行わ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置に於ける
カセット検知装置に関するものである。
カセット検知装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に於いてウェーハ、ガラ
ス基板等の被処理基板は所要枚数カセットに装填されて
半導体製造装置と外部搬送装置間のハンドリングが行わ
れている。又、カセットの授受が確実に行われているか
どうかの確認は、装置が正常に機能するかどうか重要で
あり、ひいては稼働率の向上に大きく影響する。従っ
て、カセットの授受ステージにはカセット検知の為のカ
セット検知装置が設けられている。
ス基板等の被処理基板は所要枚数カセットに装填されて
半導体製造装置と外部搬送装置間のハンドリングが行わ
れている。又、カセットの授受が確実に行われているか
どうかの確認は、装置が正常に機能するかどうか重要で
あり、ひいては稼働率の向上に大きく影響する。従っ
て、カセットの授受ステージにはカセット検知の為のカ
セット検知装置が設けられている。
【０００３】図３、図４に於いて従来のカセット検知装
置を説明する。図３はカセットステージの概略を示して
おり、図４は該カセットステージのカセット検知装置の
要部を示している。
置を説明する。図３はカセットステージの概略を示して
おり、図４は該カセットステージのカセット検知装置の
要部を示している。
【０００４】カセット受載基板１は、他の構成部材と干
渉しない様、中央部が略Ｔ字状に欠切されており、該欠
切部１０の両側部にはカセット検知装置２が設けられて
いる。該カセット検知装置２は主に前記カセット受載基
板１の下面に設けられた透過型のフォトセンサ３、前記
カセット受載基板１の下面に設けられたカセットの有無
を機械的に感知する感知レバー４から成っている。
渉しない様、中央部が略Ｔ字状に欠切されており、該欠
切部１０の両側部にはカセット検知装置２が設けられて
いる。該カセット検知装置２は主に前記カセット受載基
板１の下面に設けられた透過型のフォトセンサ３、前記
カセット受載基板１の下面に設けられたカセットの有無
を機械的に感知する感知レバー４から成っている。
【０００５】該感知レバー４は板バネ部５と、該板バネ
部５の先端で９０°折上げられ、前記板バネ部５の長手
方向に対して直角方向且水平方向に延びる作用部６と、
前記板バネ部５の先端部で９０°折下げられ、長手方向
に対して平行に延びる遮蔽部７から成り、前記感知レバ
ー４は前記カセット受載基板１の下面に、前記板バネ部
５の基端でビス８により固着されている。前記作用部６
は前記カセット受載基板１に形成されたスリット９より
前記カセット受載基板１の上面に突出しており、前記遮
蔽部７は前記フォトセンサ３の光路を遮断している。
部５の先端で９０°折上げられ、前記板バネ部５の長手
方向に対して直角方向且水平方向に延びる作用部６と、
前記板バネ部５の先端部で９０°折下げられ、長手方向
に対して平行に延びる遮蔽部７から成り、前記感知レバ
ー４は前記カセット受載基板１の下面に、前記板バネ部
５の基端でビス８により固着されている。前記作用部６
は前記カセット受載基板１に形成されたスリット９より
前記カセット受載基板１の上面に突出しており、前記遮
蔽部７は前記フォトセンサ３の光路を遮断している。
【０００６】前記カセット受載基板１上にカセット（図
示せず）が載置されると、カセットが前記作用部６に載
り、カセット下面に形成された突起が該作用部６を下方
に押下げる。該作用部６が下方に下がることで前記遮蔽
部７が下方に変位し、前記フォトセンサ３の光路から外
れる。フォトセンサ３が光を検出し、カセットの存在を
検知する。カセットが除去されると前記板バネ部５が復
元してフォトセンサ３の光路が前記遮蔽部７により遮断
され、前記フォトセンサ３はカセットの無を確認する。
示せず）が載置されると、カセットが前記作用部６に載
り、カセット下面に形成された突起が該作用部６を下方
に押下げる。該作用部６が下方に下がることで前記遮蔽
部７が下方に変位し、前記フォトセンサ３の光路から外
れる。フォトセンサ３が光を検出し、カセットの存在を
検知する。カセットが除去されると前記板バネ部５が復
元してフォトセンサ３の光路が前記遮蔽部７により遮断
され、前記フォトセンサ３はカセットの無を確認する。
【０００７】而して、カセット検知装置２は前記カセッ
ト受載基板１にカセットが受載されたか否かを確認す
る。
ト受載基板１にカセットが受載されたか否かを確認す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記カセッ
ト検知装置２では作用部６が板バネ部５に対して直角方
向に延び作用点（力点）が、板バネ部５の軸線に対して
偏心している為、捩れモーメントが発生し、作用部６に
作用する垂直方向の変位が正確に前記遮蔽部７に伝達さ
れない。従って、誤検知を生ずることがある。
ト検知装置２では作用部６が板バネ部５に対して直角方
向に延び作用点（力点）が、板バネ部５の軸線に対して
偏心している為、捩れモーメントが発生し、作用部６に
作用する垂直方向の変位が正確に前記遮蔽部７に伝達さ
れない。従って、誤検知を生ずることがある。
【０００９】本発明は斯かる実情に鑑み、カセットの存
在を正確に検知し得るカセット検知装置を提供しようと
するものである。
在を正確に検知し得るカセット検知装置を提供しようと
するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、感知レバーが
カセットの底面に当接して変位し、フォトセンサをＯＮ
／ＯＦＦさせるカセット検知装置に於いて、前記感知レ
バーを基部板バネ部、作用部により略コの字状に形成
し、作用部の先端に遮蔽部を設け、前記基部をサポート
プレートを介して固着し、該遮蔽部によりフォトセンサ
の光路を遮断解放可能としたことを特徴とするものであ
る。
カセットの底面に当接して変位し、フォトセンサをＯＮ
／ＯＦＦさせるカセット検知装置に於いて、前記感知レ
バーを基部板バネ部、作用部により略コの字状に形成
し、作用部の先端に遮蔽部を設け、前記基部をサポート
プレートを介して固着し、該遮蔽部によりフォトセンサ
の光路を遮断解放可能としたことを特徴とするものであ
る。
【００１１】
【作用】作用部に作用する力点は板バネ部の軸線上にあ
り、板バネ部先端部での捩れが生じることなく、作用部
力点の変位が正確に前記遮蔽部に伝達され、遮蔽部によ
り確実にフォトセンサをＯＮ／ＯＦＦさせ、カセット有
無の検知が行われる。
り、板バネ部先端部での捩れが生じることなく、作用部
力点の変位が正確に前記遮蔽部に伝達され、遮蔽部によ
り確実にフォトセンサをＯＮ／ＯＦＦさせ、カセット有
無の検知が行われる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１３】本実施例では感知レバーの形状を改良し、
カセット検知装置の信頼性を向上させたものであり、図
１、図２に於いて図３、図４中で示したものと同一のも
のには同符号を付してある。
カセット検知装置の信頼性を向上させたものであり、図
１、図２に於いて図３、図４中で示したものと同一のも
のには同符号を付してある。
【００１４】カセット受載基板１の下面、欠切部１０の
両側にフォトセンサ３、感知レバー１１を設ける。
両側にフォトセンサ３、感知レバー１１を設ける。
【００１５】該感知レバー１１は基部１２と先端部１３
とを板バネ部５で連結した全体が略コの字状をしてお
り、先端部１３の先端は更に９０°折上げられ、前記板
バネ部５の長手方向に対して直角方向且水平方向に延び
る作用部６と、前記先端部１３の幅端で９０°折下げら
れ、板バネ部５の長手方向に対して平行に延びる遮蔽部
７から成っており、前記作用部６はスリット９よりカセ
ット受載基板１の上面に突出しており、前記遮蔽部７は
前記フォトセンサ３の光路を遮断している。
とを板バネ部５で連結した全体が略コの字状をしてお
り、先端部１３の先端は更に９０°折上げられ、前記板
バネ部５の長手方向に対して直角方向且水平方向に延び
る作用部６と、前記先端部１３の幅端で９０°折下げら
れ、板バネ部５の長手方向に対して平行に延びる遮蔽部
７から成っており、前記作用部６はスリット９よりカセ
ット受載基板１の上面に突出しており、前記遮蔽部７は
前記フォトセンサ３の光路を遮断している。
【００１６】前記感知レバー１１の前記基部１２に該基
部１２と同形状のサポートプレート１４を重合させ、該
基部１２をカセット受載基板１、サポートプレート１４
により挾持した状態でビス８により固着している。
部１２と同形状のサポートプレート１４を重合させ、該
基部１２をカセット受載基板１、サポートプレート１４
により挾持した状態でビス８により固着している。
【００１７】以下、作動を説明する。
【００１８】前記カセット受載基板１上にカセット（図
示せず）が載置されると、カセット下面に形成された突
起が前記作用部６の上辺に載り、該作用部６を下方に押
下げる。前記作用部６に対する作用点は前記板バネ部５
の軸心上であり、前記サポートプレート１４が基部１２
と同形状であるので作用部６に対する荷重の作用に対す
る感知レバー１１の支点は板バネ部５の基端となる。
示せず）が載置されると、カセット下面に形成された突
起が前記作用部６の上辺に載り、該作用部６を下方に押
下げる。前記作用部６に対する作用点は前記板バネ部５
の軸心上であり、前記サポートプレート１４が基部１２
と同形状であるので作用部６に対する荷重の作用に対す
る感知レバー１１の支点は板バネ部５の基端となる。
【００１９】而して、板バネ部５の先端での捩れは生ず
ることがなく、前記作用部６の作用点での上下方向の変
位がそのまま前記遮蔽部７での上下方向の変位となり、
フォトセンサ３を確実にＯＮ／ＯＦＦさせ、カセット検
知装置２は前記カセット受載基板１にカセットが受載さ
れたか否かを確実に検知する。
ることがなく、前記作用部６の作用点での上下方向の変
位がそのまま前記遮蔽部７での上下方向の変位となり、
フォトセンサ３を確実にＯＮ／ＯＦＦさせ、カセット検
知装置２は前記カセット受載基板１にカセットが受載さ
れたか否かを確実に検知する。
【００２０】尚、前記サポートプレート１４の形状は、
基部１２と同形状でなくとも、板バネ部５の基端の変位
が０となる様、感知レバー１１を保持すればよく、少な
くともサポートプレート１４の端面が板バネ部５の基端
を横断する形状であればよい。又、上記実施例ではカセ
ット搭載時に感知レバーによりフォトセンサの光路が遮
断される様にしたが、カセット搭載時に感知レバーがフ
ォトセンサの光路より外れる様にしてもよい。
基部１２と同形状でなくとも、板バネ部５の基端の変位
が０となる様、感知レバー１１を保持すればよく、少な
くともサポートプレート１４の端面が板バネ部５の基端
を横断する形状であればよい。又、上記実施例ではカセ
ット搭載時に感知レバーによりフォトセンサの光路が遮
断される様にしたが、カセット搭載時に感知レバーがフ
ォトセンサの光路より外れる様にしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
ト検知装置によるカセット検知精度が向上し、半導体製
造装置の信頼性が向上すると共に稼働率が向上するとい
う優れた効果を発揮する。
ト検知装置によるカセット検知精度が向上し、半導体製
造装置の信頼性が向上すると共に稼働率が向上するとい
う優れた効果を発揮する。
【図１】本発明に係るカセット検知装置を具備したカセ
ットステージの概略を示す斜視図である。
ットステージの概略を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例の要部を示す斜視図である。
【図３】従来例に係るカセット検知装置を具備したカセ
ットステージの概略を示す斜視図である。
ットステージの概略を示す斜視図である。
【図４】従来例の要部を示す斜視図である。
１ カセット受載基板 ２ カセット検知装置 ５ 板バネ部 ６ 作用部 ７ 遮蔽部 ８ ビス １１ 感知レバー １４ サポートプレート
Claims (1)
- 【請求項１】 感知レバーがカセットの底面に当接して
変位し、フォトセンサをＯＮ／ＯＦＦさせるカセット検
知装置に於いて、前記感知レバーを基部板バネ部、作用
部により略コの字状に形成し、作用部の先端に遮蔽部を
設け、前記基部をサポートプレートを介して固着し、該
遮蔽部によりフォトセンサの光路を遮断解放可能とした
ことを特徴とするカセット検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7967695A JPH08250575A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | カセット検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7967695A JPH08250575A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | カセット検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08250575A true JPH08250575A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=13696809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7967695A Pending JPH08250575A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | カセット検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08250575A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1049641A4 (en) * | 1998-01-16 | 2004-10-13 | Pri Automation Inc | POSITIONING AND DETECTION MECHANISM FOR SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE |
| JP2013153188A (ja) * | 2005-07-11 | 2013-08-08 | Brooks Automation Inc | ロードポートモジュール |
-
1995
- 1995-03-10 JP JP7967695A patent/JPH08250575A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1049641A4 (en) * | 1998-01-16 | 2004-10-13 | Pri Automation Inc | POSITIONING AND DETECTION MECHANISM FOR SEMICONDUCTOR WAFER CASSETTE |
| JP2013153188A (ja) * | 2005-07-11 | 2013-08-08 | Brooks Automation Inc | ロードポートモジュール |
| US8821099B2 (en) | 2005-07-11 | 2014-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Load port module |
| US11121017B2 (en) | 2005-07-11 | 2021-09-14 | Brooks Automation, Inc. | Load port module |
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