JPH0433696B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はカセツト装置式の半導体製造装置に係
り、特にカセツト装着時に試料、例えば半導体素
子基板（以下、「ウエハ」と略す）の有無の検出
に好適なカセツト内試料検出装置に関するもので
ある。

〔発明の背景〕

従来の装置は、例えば特開昭57−157536号公報
に記載のように、カセツトから処理室等へウエハ
搬送する時にのみ、ウエハの有無が判定出来るよ
うになつている。しかし、ウエハの搬送が完了す
る迄は、セツトされたカセツト内のウエハ枚数が
把握出来ない構成であつた。

〔発明の目的〕

本発明は、カセツトを装着した時に、カセツト
内の試料の数およびカセツト内の試料の有無を検
出できるカセツト内試料検出装置を提供すること
にある。

〔発明の概要〕

本発明は、所定枚数の試料を一枚毎所定間隔で
高さ方向に収納する段を有したカセツトが装着さ
れるカセツト台と、カセツト台に装着されたカセ
ツトの試料収納位置に対応して、カセツト内の試
料側面に当接して試料収納・搬出方向に移動可能
な接触子と試料側面への接触子の当接により作動
する検出器との一対の検出手段をそれぞれ所定数
設けた検出器台と、カセツト台に装着されたカセ
ツト内の試料と接触子とを当接可能に、カセツト
と検出器台とをカセツトへの試料収納・搬出方向
に対し相対的に移動させる手段とから構成し、カ
セツトを装着時に、カセツト内の試料の数および
試料の有無を検出できるようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図から第３図に
よつて説明する。

１はウエハ２を収納するカセツトで、３はカセ
ツト１を載置して上下移動するカセツト台で、４
はカセツト１からウエハ２を出し入れする搬送ベ
ルトで、５は検出手段に用いる検出器例えば馬て
い型のホトセンサ８が取り付けられてウエハ２の
搬入搬出方向に移動する検出器台で、６は検出器
台５に取り付けられ検出器台５から出入りしてホ
トセンサ８と共に検出手段に用いられる接触子
で、７は接触子６を定位置に復帰させる復帰手段
例えばばねで、９は検出器台５を載置して検出器
台５をウエハ２の搬入搬出方向に案内するテーブ
ルである。１０はカセツト台３の移動方向で、１
１は搬送ベルト４の移動方向で、１２は検出器台
５の移動方向である。

以上の構成により、第１図のようにウエハ２を
収納したカセツト１を、カセツト台３に載置す
る。検出装置は検出器台５と接触子６とばね７と
ホトセンサ８とから成り、テーブル９に設置され
駆動手段（図示省略）により矢印１２の方向に移
動可能に取り付けられている。この状態では、接
触子６がばね７によつて押し出されており、接触
子６の反ウエハ側端部はホトセンサ８と離れてい
る。第３図に示すように、検出器台５がカセツト
１の方へ進み、接触子６がウエハ２に当つて止ま
り、さらに検出器台５が進むとばね７が縮まり、
接触子６の反ウエハ側の端部がホトセンサ８を突
き抜ける。この状態でホトセンサ８の光がしや断
され、このことによつてウエハ２の有りを検出す
る。またウエハ２がカセツト１内において抜けて
いた場合は、同じく第３図に示すように、接触子
６が当つて止まることができないため、接触子６
はばね７に押し出されたままで、ホトセンサ８を
突き抜けることができず、ホトセンサ８は通光の
ままとなつて、ウエハ２が無いことを検知する。
ホトセンサ８からの信号は表示装置（図示省略）
に送られ、カセツト１内の何番目にウエハ２が入
つていないかを表示して操作員に知らせる。

次に、検出装置によつてカセツト１内のウエハ
２の検出が終了すると、検出器台５が駆動手段に
よつて、カセツト１から引き離され、第１図に示
す位置に戻る。その際接触子６はばね７によつて
押し出されて、ホトセンサ８から離れ元の状態に
戻る。

カセツト１内のウエハ検出が終わつて、カセツ
ト１内にウエハ２が抜けている場合は補充し、カ
セツト１内にウエハ２を満たし、カセツト台３を
一段ごと下げて、搬送ベルト４によりウエハ２を
一枚ごと搬出していく。

以上、本一実施例によれば、カセツト１内のウ
エハ２の枚数の検出を行うと共に、接触子６の押
し込みにより、人によるカセツト１内へのウエハ
２のセツトや、装置へのカセツト１の持ち込み時
によるウエハ２の位置づれを整えることができる
ので、以降のウエハ搬送処理のトラブルを未然に
防ぐことができる。また、ばね７によつて接触子
６が元の状態に復帰するので、カセツト１を置き
換えるだけで連続して次のカセツト１のウエハ２
の検出を行うことができる。

なお、本一実施例では、検出器台５をカセツト
１側に移動させて、ウエハ２に接触子６を当接し
たが、カセツト台３にスライド機構を設けて、逆
にカセツト１を検出器台５側へ移動させて、接触
子６にウエハ２を当接させても良い。また、カセ
ツト台３ごと検出器台５側に移動させても良い。
また、ホトセンサ８をカセツト１のウエハ収納枚
数と同数設けているが、ホトセンサ８を少なくし
て、検出器台５またはカセツト台３を上下させ
て、ホトセンサ８を共用させても良い。

次に、本発明の他の実施例を第４図により説明
する。同図において、前記一実施例と同一符合は
同一部材を示す。本実施例において、前記一実施
例との相違点は、第３図に示す検出手段に用いる
ものとしてホトセンサ８の代わりに、ON，OFF
式のスイツチ８ａを設けたことである。

本実施例によれば、前記一実施例と同様の効果
が得られると共に、安価にできる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、試料を収納したカセツトの装
着時に、試料の数および試料の脱落の有無が検出
でき、試料の管理が容易になるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図は本発明の一実施例であるカセ
ツト内試料検出装置を示す側断面図、第２図は第
１図の平断面図、第４図は本発明の他の実施例で
あるカセツト内試料検出装置を示す側断面図であ
る。 １……カセツト、２……ウエハ、５……検出器
台、６……接触子、７……ばね、８……ホトセン
サ、８ａ……スイツチ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 所定枚数の試料を一枚毎所定間隔で高さ方向
   に収納する段を有したカセツトが装着されるカセ
   ツト台と、 該カセツト台に装着された前記カセツトの試料
   収納位置に対応して、該カセツト内の前記試料側
   面に当接して試料収納・搬出方向に移動可能な接
   触子と前記試料側面への該接触子の当接により作
   動する検出器との一対の検出手段をそれぞれ所定
   数設けた検出器台と、 前記カセツト台に装着された前記カセツト内の
   前記試料と前記接触子とを当接可能に、前記カセ
   ツトと前記検出器台とを前記カセツトへの試料収
   納・搬出方向に対し相対的に移動させる手段とか
   ら構成したことを特徴とするカセツト内試料検出
   装置。