JPH08255331A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents

磁気ヘッドスライダ

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JPH08255331A
JPH08255331A JP7059544A JP5954495A JPH08255331A JP H08255331 A JPH08255331 A JP H08255331A JP 7059544 A JP7059544 A JP 7059544A JP 5954495 A JP5954495 A JP 5954495A JP H08255331 A JPH08255331 A JP H08255331A
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magnetic head
slider body
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Ryosuke Furuishi
亮介 古石
Seiji Yoneoka
誠二 米岡
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ヘッドスライダに関し、テーパ
部の加工公差が浮上特性に影響しにくい磁気ヘッドスラ
イダの提供を目的とする。 【構成】 スライダ本体2と、少なくとも2本の浮上力
発生のためのレール12,14と、データ記録/再生の
ための磁気ヘッド部10とを備えた磁気ヘッドスライダ
において、レールのテーパ部12T,14Tの終端は、
レール幅が減少する位置にあるようにして構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置等の磁
気記憶装置に用いられる負圧型磁気ヘッドスライダに関
する。
【0002】近年の磁気ディスク装置用の磁気ヘッドス
ライダにおいては、記録密度の増加のために低浮上量化
が進められている。また、アクセスの高速化のため、ア
クセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定
性に優れたスライダが求められている。さらに、装置の
小型化、機構の単純化のために、回転型ポジショナが広
く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない磁気
ヘッドスライダが望まれている。
【0003】
【従来の技術】浮上安定性に優れた負圧型磁気ヘッドス
ライダとして、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそ
れぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並
びに磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本
体と、スライダ本体の浮上面に設けられた少なくとも2
本の浮上力発生のためのレールと、スライダ本体の流出
端に設けられたデータ記録/再生のための磁気ヘッドと
を備えたものが知られている。
【0004】この磁気ヘッドスライダにおいては、レー
ル間の溝の幅を流入端から流出端に向かって変化させる
ことによって、浮上面と磁気記録媒体との間に吸引力
(負圧)が発生するようにされている。
【0005】この種の従来の磁気ヘッドスライダの特徴
の1つとして、流入端側のレール幅の細りがある。これ
によりヨー角変化による浮上量変動を抑制することがで
きる。特徴の他の1つは、例えば、レールの流入端に形
成されたテーパである。このテーパの存在によって、塵
埃等がレールに付着したときの浮上変動を抑制すること
ができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述したレールにおけ
るテーパの形成は、通常、機械加工による。このため、
テーパ加工のばらつき、例えばテーパ部の長さのばらつ
きが磁気ヘッドスライダの浮上特性に大きく影響する。
このように、従来の磁気ヘッドスライダにおいては、テ
ーパ加工に精度の高い作業が要求され、低コスト化の妨
げとなっていた。
【0007】よって、本発明の目的は、テーパ加工のば
らつきが浮上特性に大きく影響することのない磁気ヘッ
ドスライダを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によると、磁気記
録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及び下流
側に位置する流入端及び流出端並びに上記磁気記録媒体
に対向する浮上面を有するスライダ本体と、該スライダ
本体の上記浮上面に設けられた少なくとも2本の浮上力
発生のためのレールと、上記スライダ本体の上記流出端
に設けられたデータ記録/再生のための磁気ヘッドとを
備え、上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出
端に向かって変化させることによって上記浮上面と上記
磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、上記レールは上
記流入端から上記流出端に向かうに従って厚みが増大す
るテーパ部を有し、該テーパ部の終端は、上記レールの
幅が上記流入端から上記流出端に向かうに従って減少し
ている位置にある磁気ヘッドスライダが提供される。
【0009】
【作用】本発明の磁気ヘッドスライダにおいては、テー
パ部の終端が、レールの幅が流入端から流出端に向かう
に従って減少している位置にあるので、テーパ部の長さ
のばらつきが浮上特性に影響しにくい。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に沿って詳
細に説明する。図1は本発明の第1実施例を示す磁気ヘ
ッドスライダの平面図、図2は同スライダを斜め上方か
ら見た斜視図、図3は同スライダを斜め下方から見た斜
視図である。
【0011】符号2は概略直方体のスライダ本体を表
し、このスライダ本体2の材質は例えばAl2 3 −T
iCである。スライダ本体2は、図示しない磁気記録媒
体(例えば回転駆動される磁気ディスク)との間に生じ
る空気流のそれぞれ上流側及び下流側に位置する流入端
4及び流出端6と磁気記録媒体に対向する浮上面8とを
有している。
【0012】スライダ本体2の流出端6には、データ記
録/再生のための磁気ヘッド部10が設けられている。
スライダ本体2の浮上面8には、少なくとも2本の浮上
力発生のためのレールが設けられている。このレール
は、この実施例では、磁気記録媒体が回転駆動される磁
気ディスクである場合における磁気ディスクの回転中心
側に位置するインナサイドレール12と、同じく外側に
位置するアウタサイドレール14と、両サイドレール1
2及び14間の流入端4側に設けられた流入端センター
レール16とからなる。流入端センターレール16に対
応して流出端センターレールが設けられていてもよい。
【0013】インナサイドレール12は、流入端4から
流出端6に向かって、それぞれ、幅が増大する第1部分
12Aと、幅が減少する第2部分12Bと、幅が一定な
第3部分12Cと、幅が増大する第4部分12Dとを幅
が連続するように一体にして形成されている。アウタサ
イドレール14は、この実施例ではスライダ本体2に対
してインナサイドレール12と対称な位置に対称な形状
で設けられており、第1部分14Aと第2部分14Bと
第3部分14Cと第4部分14Dとからなる。
【0014】流入端センターレール16は、流入端4か
ら流出端6に向かってそれぞれ幅が増大する第1部分1
6Aと幅が減少する第2部分16Bとからなる。図2に
示されるように、磁気ヘッド部10は、流出端6におけ
るインナサイドレール12及びアウタサイドレール14
に対応する位置に例えば薄膜型の磁気ヘッド18を内蔵
している。符号20は磁気ヘッド18の信号端子であ
る。
【0015】図3において、磁気記録媒体を流入端4か
ら流出端6に向かってこの磁気ヘッドスライダに対して
相対的に移動させると、流入端4から流出端6に向かっ
て空気流が生じ、これにより矢印Aで示されるような正
圧による浮上力と矢印Bで示されるような負圧による吸
引力とがこの磁気ヘッドスライダに作用する。負圧が作
用するのは、レール間の溝の幅を流入端から流出端に向
かって変化させているからである。
【0016】再び図1を参照すると、インナサイドレー
ル12、アウタサイドレール14及び流入端センターレ
ール16は、流入端4から流出端6に向かうに従って厚
みが増大するそれぞれテーパ部12T、14T及び16
Tを流入端4側に有している。各レールのテーパ部以外
の部分(非テーパ部)は浮上面8と平行な平坦面であ
る。
【0017】各テーパ部の角度は0.5〜4.0°であ
り、テーパ部の長さはサイドレール全長の1/10〜1
/20である。このようなテーパを各レールに形成して
おくことによって、テーパにより発生する正圧によって
レール先端への汚れの付着を防止することができる。
【0018】この実施例では、各サイドレールのテーパ
部12T及び14Tの終端は、流入端4から流出端6に
向かうに従って幅が減少しているそれぞれ第2部分12
B及び14B上に位置している。また、流入端センター
レールのテーパ部16Tの終端も幅が流入端4から流出
端6に向かうに従って減少している第2部分16B上に
位置している。
【0019】このようにレールのテーパ部の終端をレー
ルの幅が流入端から流出端にむかうに従って減少してい
る位置に設けることによって、加工公差によってテーパ
部の長さが増減した場合でも浮上変動を小さく抑えるこ
とができる。
【0020】スライダサイズは2mm×1.6mm或い
は1.25mm×1mmと小さく、レール幅は最も細い
部分で百数十μmとなるため、各レールはフォトリソグ
ラフィ技術を適用して形成される。レジストで所望のレ
ールパターンを形成した後、イオンミリングによってレ
ール間の溝を形成する。テーパ部は各レールを形成する
前或いは後に例えば機械加工によって形成する。
【0021】図4は本発明の第2実施例を示す磁気ヘッ
ドスライダの平面図である。全図を通して実質的にほぼ
同等の部分には同一の符号が付されており、以下に用い
る各図においては図面の明瞭さを確保するために磁気ヘ
ッド部の図示が省略されている。
【0022】この実施例では、インナサイドレール12
と流入端センターレール16との間に形成される第1の
狭い溝22と、アウタサイドレール14と流入端センタ
ーレール16との間に形成される第2の狭い溝24と
が、それぞれスライダ本体2の側面と平行でない。ま
た、各レールのテーパ部12T,14T及び16Tの終
端は、第1実施例におけるのと同様に流入端4から流出
端6に向かうに従ってレールの幅が減少する部分に位置
している。
【0023】このように狭い溝22及び24を形成する
ことにより、レール間距離の最も狭い部分がスライダ本
体2の側面に対して傾斜することとなり、気流の圧縮・
膨張率が高くなり、容易に高剛性な負圧スライダを提供
することができる。また、容易に大きな負圧を得ること
ができる。
【0024】さらに、第1実施例におけるのと同じよう
にテーパ部の終端の位置を決めているので、テーパ加工
に際してのばらつきが浮上特性に影響しにくい。このよ
うな狭い溝の傾斜は、それだけでも効果を発揮し得る。
これを図5により説明する。
【0025】図5は本発明の第3実施例を示す磁気ヘッ
ドスライダの平面図である。この実施例では、テーパ部
12T、14T及び16Tの終端はレールの幅が流入端
4から流出端6に向かうに従って増大している位置にあ
る磁気ヘッドスライダにおいて、インナサイドレール1
2及びアウタサイドレール14と流入端センターレール
16との間にそれぞれ形成される第1及び第2の狭い溝
22及び24がスライダ本体2の側面と平行でないよう
にしている。これにより、レール間距離の最も狭い部分
がスライダ本体の側面に対して傾斜することとなり、気
流の圧縮・膨張率が高くなり、容易に高剛性な負圧スラ
イダを提供することができる。
【0026】ところで、回転型のポジショナが用いられ
ている場合、ヨー角変動による磁気ヘッドスライダの浮
上量の変動を小さく抑えるために、スライダをポジショ
ナのアームに取り付けるに際して数°のオフセットをか
けることがある。これによって、ヨー角0°のポイント
を磁気ディスクのデータ面の中心近傍に設定し、ヨー角
の最大値を小さくしている。
【0027】しかしながら、オフセットをかけると特開
昭60−10472号等に開示されているようなタイミ
ングサーボを用いないと、サーボ制御が困難になること
があり、オフセットをかけないこともある。この場合、
回転型ポジショナの可動範囲が10°であるとすると、
ヨー角の範囲は例えば7°/−9°〜−3°/−19°
となり、浮上特性(特にローリング)が悪くなる。
【0028】この問題を解決するためには、例えば、図
5の第3実施例において、インナサイドレール12及び
アウタサイドレール14の形状を非対称にするか、或い
は、インナサイドレール12及びアウタサイドレール1
4の配置位置がスライダ本体2に対して非対称となるよ
うにするとよい。具体的には次の通りである。
【0029】ローリング特性を改善することができる本
発明の第4乃至第11実施例を図6の(A),(B),
(C)及び(D)並びに図7の(A),(B),(C)
及び(D)に示す。図において“inner”は回転駆
動される磁気ディスクに対して内側であることを示し、
“outer”は外側であることを示す。
【0030】図6の(A)及び(B)にそれぞれ示され
る第4実施例及び第5実施例は、インナーレール12及
びアウターレール14の配置位置がスライダ本体2に対
して非対称であることにより特徴付けられる。(A)に
示される第4実施例においては、各レールをアウター側
にずらし、インナサイドレール12とスライダ本体2の
側面との間の幅(インナーレール脇幅)がアウタサイド
レール14とスライダ本体2の側面との間の幅(アウタ
ーレール脇幅)よりも大きくなるようにしている。これ
によって、ヨー角が片方向に大きく設定されている場合
であっても、アウタサイドレール14の脇に発生する吸
引力によって磁気ヘッドスライダのローリングを抑える
ことができる。
【0031】(B)に示される第5実施例においては、
各レールをインナー側にずらし、アウターレール脇幅が
インナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
これにより、ヨー角が片方向に大きく偏っている場合で
あっても、アウタサイドレール14の脇に発生する正圧
によって磁気ヘッドスライダのローリングを抑えること
ができる。
【0032】図6の(C)及び(D)にそれぞれ示され
る第6及び第7実施例と図7の(A),(B),(C)
及び(D)にそれぞれ示される第8、第9、第10及び
第11実施例は、インナサイドレール12及びアウタサ
イドレール14の形状が非対称であることによって特徴
付けられる。
【0033】図6の(C)に示される第6実施例におい
ては、インナサイドレール12の流出端6側の部分をア
ウター側にずらすことによって、インナーレール脇幅が
アウターレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【0034】図6の(D)に示される第7実施例におい
ては、アウタサイドレール14の流出端6側の部分をイ
ンナー側にずらすことによって、アウターレール脇幅が
インナーレール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【0035】図7の(A)に示される第8実施例におい
ては、インナサイドレール12の流入端4側の部分を小
さくすることによって、インナーレール脇幅がアウター
レール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【0036】図7の(B)に示される第9実施例におい
ては、アウタサイドレール14の流入端4側の部分を小
さくすることによって、アウターレール脇幅がインナー
レール脇幅よりも大きくなるようにしている。
【0037】図7の(C)に示される第10実施例にお
いては、インナサイドレール12の概略中央の細長い部
分をアウター側にずらすことによって、インナーレール
脇幅がアウターレール脇幅よりも大きくなるようにして
いる。
【0038】図7の(D)に示される第11実施例にお
いては、アウタサイドレール14の概略中央の細長い部
分をインナー側にずらすことによって、アウターレール
脇幅がインナーレール脇幅よりも大きくなるようにして
いる。
【0039】第6、第8及び第10実施例においては、
第4実施例における原理に準じた原理に従って磁気ヘッ
ドスライダのローリングが抑制される。また、第7、第
9及び第11実施例においては、第5実施例における原
理に準じた原理に従って磁気ヘッドスライダのローリン
グが抑制される。
【0040】次に、ローリングを抑制するための他の2
つの実施例を図8により説明する。図8の(A)及び
(B)はそれぞれ本発明の第12及び第13実施例を示
す平面図である。
【0041】これらの実施例においては、インナサイド
レール12及びアウタサイドレール14がそれぞれ受け
る圧力が、流入端センターレール16が受ける圧力より
も大きくなるようにすることによって、ローリング剛性
を高めている。これにより、ヨー角変化によって生じる
磁気ヘッドスライダのローリングを小さくすることがで
きる。
【0042】図8の(A)に示される第12実施例にお
いては、インナサイドレール12及びアウタサイドレー
ル14のそれぞれのテーパ部12T及び14Tの面積は
流入端センターレール16のテーパ部16Tの面積にほ
ぼ等しく、インナサイドレール12及びアウタサイドレ
ール14のそれぞれのテーパ角度(テーパ部と非テーパ
部とが成す角度)が流入端センターレール16のテーパ
角度よりも小さくなるようにしている。これにより、イ
ンナサイドレール12及びアウタサイドレール14がそ
れぞれ受ける圧力は、流入端センターレール16が受け
る圧力よりも大きくなる。
【0043】図8の(B)に示される実施例において
は、インナサイドレール12及びアウタサイドレール1
4のそれぞれのテーパ角度は流入端センターレール16
のテーパ角度にほぼ等しく、インナサイドレール12及
びアウタサイドレール14のそれぞれのテーパ部12T
及び14Tの面積が流入端センターレール16のテーパ
部16Tの面積よりも大きくなるようにされている。こ
れにより、インナサイドレール12及びアウタサイドレ
ール14がそれぞれ受ける圧力は、流入端センターレー
ル16が受ける圧力よりも大きくなる。
【0044】ところで、レールのテーパ部が例えば機械
加工により形成される場合、テーパ部の終端にはテーパ
角度が不連続にならないように曲面部(R部)が形成さ
れていることがある。そして、この曲面部の形態によっ
て磁気ヘッドスライダの浮上特性が大きく左右される。
【0045】そこで、本発明の次の実施例の目的は、曲
面部(R部)の加工公差による浮上変動を抑制した磁気
ヘッドスライダを提供することにある。本発明のこの実
施例によると、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそ
れぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並
びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライ
ダ本体と、該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少
なくとも2本の浮上力発生のためのレールと、上記スラ
イダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録/再生の
ための磁気ヘッドとを備え、上記レール間の溝の幅を上
記流入端から上記流出端に向かって変化させることによ
って上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発
生し、上記レールは上記流入端から上記流出端に向かう
に従って厚みが増大するテーパ部を有し、上記テーパ部
の終端には、テーパ角度が不連続にならないように曲面
部が形成され、該曲面部のほぼ中央における接線と上記
レールの非テーパ部とがなす角度は上記テーパ角度の3
分の1よりも大きい磁気ヘッドスライダが提供される。
具体的には次の通りである。
【0046】図9の(A)は本発明の第14実施例を示
す磁気ヘッドスライダの側面図、図9の(B)は(A)
において符号26で示される部分の拡大図である。図に
おいては、アウタサイドレール14のみが図示されてい
るが、他のレールのテーパ部についても同様である。
【0047】図9の(B)に示されるように、テーパ部
14Tの終端には、テーパ角度が不連続にならないよう
に曲面部28が形成されている。即ち、テーパ部14T
と非テーパ部は曲面部28により接続されており、曲面
部28における局部的なテーパ角度はテーパ部14Tか
ら非テーパ部に向かって連続的に変化して0に収束して
いる。
【0048】符号θはテーパ部14Tのテーパ角度を表
しており、φは曲面部28のほぼ中央における接線30
と非テーパ部とが成す角度を表している。この角度φは
曲面部28における平均テーパ角度にほぼ等しいので、
この角度φを「平均テーパ角度」と称することがある。
また、符号Lは曲面部28の非テーパ部と平行な方向に
おける長さを表している。
【0049】テーパ部14Tのテーパ角度θと曲面部2
8の平均テーパ角度φは次の関係を満たす。θ/3<φ
そうした理由は次の通りである。曲面部28は一般にそ
の平均テーパ角度が小さい(例えば0.5°程度)た
め、レールにおけるテーパ部の役割を果たしてしまい、
このため、テーパ部における正圧が小さいと、曲面部に
おける正圧が支配的となる。その結果、機械加工によっ
て形成される曲面部の平均テーパ角度の許容範囲が狭く
なり、製造上の問題となる。
【0050】そこで、上述の条件を満足させることによ
って、曲面部28における正圧が支配的になることを阻
止し、曲面部の加工公差による浮上変動の抑制を図って
いるのである。
【0051】図10はテーパ角度θが3°のときの浮上
特性を示すグラフである。実験には3.5インチの磁気
ディスクを用いている。(A)は磁気ヘッドスライダが
磁気ディスクのインナー側(R=20mmのトラック
上)に位置するときの浮上特性、(B)は磁気ヘッドス
ライダが磁気ディスクのアウター側(R=45mmのト
ラック上)に位置するときの浮上特性を示している。
【0052】それぞれのグラフにおいて、縦軸は浮上量
(μm)、横軸は曲面部の長さL(mm)である。図中
実線はアウタサイドレールの流出端側の浮上量を示し、
破線はインナサイドレールの流出端側の浮上量を示して
いる。
【0053】いずれのグラフにおいても、浮上量が曲面
部の長さLに依存して大きく変化していることが明らか
である。図11の(A)及び(B)は、テーパ角度が
1.5°のときの浮上特性を図10の(A)及び(B)
にそれぞれ対応させて示したものである。テーパ角度θ
が1.5°の場合、曲面部の長さLが変化しても浮上量
がほぼ一定であることが明らかである。
【0054】このように、テーパ角度を2°よりも小さ
くすることによって、曲面部の加工公差による浮上量の
変動を抑制することができる。続いて、ローリング特性
を改善した磁気ヘッドスライダについて説明する。即
ち、本発明のある側面によると、最大ヨー角の大きさが
10°以上の条件が適用される磁気ヘッドスライダであ
って、磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上
流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記
記録媒体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、該
スライダ本体の浮上面に設けられたアウタサイドレール
及びインナサイドレールと、上記スライダ本体の上記流
出端における上記アウタサイドレールに対応する部分に
設けられたデータ記録/再生のための磁気ヘッドとを備
え、上記アウタサイドレール及びインナサイドレール間
の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化さ
せることによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間に
は吸引力が発生し、上記インナサイドレールの後端と上
記流出端の距離は上記アウタレールの降誕と上記流出端
の距離よりも大きい磁気ヘッドスライダが提供される。
その具体例を図12により説明する。
【0055】図12は本発明の第15実施例を示す磁気
ヘッドスライダの平面図である。この実施例は、図4の
第2実施例と対比して、インナサイドレール12の後端
32が流出端6に一致せず、流入端4側に後退している
点で特徴付けられる。即ち、インナサイドレール12の
長さはアウタサイドレール14の長さよりも短い。
【0056】この実施例によると、磁気ヘッドスライダ
が回転駆動される磁気ディスクのアウター側に位置する
ときに、アウタサイドレール14の浮上量を高めにし、
インナサイドレール12の浮上量を低めに調整すること
ができ、磁気ヘッドスライダのローリングを低減するこ
とができる。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
テーパ部の加工ばらつきが浮上特性に影響しにくい磁気
ヘッドスライダと、ローリング特性が良好な磁気ヘッド
スライダと、曲面部の加工ばらつきが浮上特性に影響し
にくい磁気ヘッドスライダの提供が可能になるという効
果が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す磁気ヘッドスライダ
の平面図である。
【図2】図1の磁気ヘッドスライダを斜め上方から見た
斜視図である。
【図3】図1の磁気ヘッドスライダを斜め下方から見た
斜視図である。
【図4】本発明の第2実施例を示す磁気ヘッドスライダ
の平面図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す磁気ヘッドスライダ
の平面図である。
【図6】本発明の第4乃至第7実施例を示す磁気ヘッド
スライダの平面図である。
【図7】本発明の第8乃至第11実施例を示す磁気ヘッ
ドスライダの平面図である。
【図8】本発明の第12及び第13実施例を示す磁気ヘ
ッドスライダの平面図である。
【図9】本発明の第14実施例を示す磁気ヘッドスライ
ダの側面図である。
【図10】テーパ角度が3°のときの浮上特性を示す図
である。
【図11】テーパ角度が1.5°のときの浮上特性を示
す図である。
【図12】本発明の第15実施例を示す磁気ヘッドスラ
イダの平面図である。
【符号の説明】
2 スライダ本体 4 流入端 6 流出端 8 浮上面 10 磁気ヘッド部 12 インナサイドレール 14 アウタサイドレール 16 流入端センターレール 18 磁気ヘッド

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気記録媒体との間に生じる空気流のそ
    れぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並
    びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライ
    ダ本体と、 該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少なくとも2
    本の浮上力発生のためのレールと、 上記スライダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録
    /再生のための磁気ヘッドとを備え、 上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向
    かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記
    録媒体の間には吸引力が発生し、 上記レールは上記流入端から上記流出端に向かうに従っ
    て厚みが増大するテーパ部を有し、 該テーパ部の終端は、上記レールの幅が上記流入端から
    上記流出端に向かうに従って減少している位置にある磁
    気ヘッドスライダ。
  2. 【請求項2】 上記レールは第1及び第2のサイドレー
    ルと、上記スライダ本体の上記浮上面における上記流入
    端側の上記第1及び第2のサイドレール間に設けられた
    流入端センターレールとからなり、 上記第1及び第2のサイドレールと上記流入端センター
    レールとの間にそれぞれ形成される第1及び第2の狭い
    溝が上記スライダ本体の側面と平行でない請求項1に記
    載の磁気ヘッドスライダ。
  3. 【請求項3】 磁気記録媒体との間に生じる空気流のそ
    れぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並
    びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライ
    ダ本体と、 該スライダ本体の上記浮上面に設けられた浮上力発生の
    ための第1及び第2のサイドレールと、 該スライダ本体の上記浮上面における上記流入端側の上
    記第1及び第2のサイドレール間に設けられた流入端セ
    ンターレールとを備え、 上記第1及び第2レール間の溝の幅を上記流入端から上
    記流出端に向かって変化させることによって上記浮上面
    と上記磁気記録媒体の間には吸引力が発生し、 上記第1及び第2のサイドレールと上記流入端センター
    レールとの間にそれぞれ形成される第1及び第2の狭い
    溝が上記スライダ本体の側面と平行でない磁気ヘッドス
    ライダ。
  4. 【請求項4】 上記レールは第1及び第2のサイドレー
    ルを含み、 該第1及び第2のサイドレールの形状が非対称である請
    求項1に記載の磁気ヘッドスライダ。
  5. 【請求項5】 上記レールは第1及び第2のサイドレー
    ルを含み、 該第1及び第2のサイドレールの配置位置が上記スライ
    ダ本体に対して非対称である請求項1に記載の磁気ヘッ
    ドスライダ。
  6. 【請求項6】 上記レールは第1及び第2のサイドレー
    ルと、上記スライダ本体の上記浮上面における上記流入
    端側の上記第1及び第2のサイドレール間に設けられた
    流入端センターレールとからなり、 上記第1及び第2のサイドレールがそれぞれ受ける圧力
    は上記センターレールが受ける圧力よりも大きい請求項
    1に記載の磁気ヘッドスライダ。
  7. 【請求項7】 上記第1及び第2のサイドレールのそれ
    ぞれのテーパ部の面積は上記センターレールのテーパ部
    の面積にそれぞれ等しく、 上記第1及び第2のサイドレールのそれぞれのテーパ部
    の角度は上記センターレールのテーパ部の角度よりも小
    さい請求項6に記載の磁気ヘッドスライダ。
  8. 【請求項8】 上記第1及び第2のサイドレールのそれ
    ぞれのテーパ部の角度は上記センターレールのテーパ部
    の角度にほぼ等しく、 上記第1及び第2のサイドレールのそれぞれのテーパ部
    の面積は上記センターレールのテーパ部の面積よりも大
    きい請求項6に記載の磁気ヘッドスライダ。
  9. 【請求項9】 磁気記録媒体との間に生じる空気流のそ
    れぞれ上流側及び下流側に位置する流入端及び流出端並
    びに上記磁気記録媒体に対向する浮上面を有するスライ
    ダ本体と、 該スライダ本体の上記浮上面に設けられた少なくとも2
    本の浮上力発生のためのレールと、 上記スライダ本体の上記流出端に設けられたデータ記録
    /再生のための磁気ヘッドとを備え、 上記レール間の溝の幅を上記流入端から上記流出端に向
    かって変化させることによって上記浮上面と上記磁気記
    録媒体の間には吸引力が発生し、 上記レールは上記流入端から上記流出端に向かうに従っ
    て厚みが増大するテーパ部を有し、 上記テーパ部の終端には、 テーパ角度が不連続にならないように曲面部が形成さ
    れ、 該曲面部のほぼ中央における接線と上記レールの非テー
    パ部とがなす角度は上記テーパ角度の3分の1よりも大
    きい磁気ヘッドスライダ。
  10. 【請求項10】 上記テーパ角度は2°よりも小さい請
    求項9に記載の磁気ヘッドスライダ。
  11. 【請求項11】 最大ヨー角の大きさが10°以上の条
    件が適用される磁気ヘッドスライダであって、 磁気記録媒体との間に生じる空気流のそれぞれ上流側及
    び下流側に位置する流入端及び流出端並びに上記記録媒
    体に対向する浮上面を有するスライダ本体と、 該スライダ本体の上記浮上面に設けられたアウタサイド
    レール及びインナサイドレールと、 上記該スライダ本体の上記流出端における上記アウタサ
    イドレールに対応する部分に設けられたデータ記録/再
    生のための磁気ヘッドとを備え、 上記アウタサイドレール及びインナサイドレール間の溝
    の幅を上記流入端から上記流出端に向かって変化させる
    ことによって上記浮上面と上記磁気記録媒体の間には吸
    引力が発生し、 上記インナサイドレールの後端と上記流出端の距離は上
    記アウタレールの後端と上記流出端の距離よりも大きい
    磁気ヘッドスライダ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6128162A (en) * 1997-06-26 2000-10-03 Fujitsu Limited Head slider with constant flying height over sliding range

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5953181A (en) * 1997-10-17 1999-09-14 Nec Corporation Flying magnetic head slider for a magnetic disk drive
JPH11191277A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ
US6115329A (en) * 1998-04-06 2000-09-05 Seagate Technology Inc. Air bearing surface design for constant fly height profile
JP2001344724A (ja) 2000-06-01 2001-12-14 Fujitsu Ltd 浮上ヘッドスライダ
US7256965B2 (en) * 2003-04-10 2007-08-14 Seagate Technology Llc Adaptable air bearing slider with trailing edge cavity
EP1579831A1 (en) * 2004-03-23 2005-09-28 The Procter & Gamble Company An absorbent article comprising edge barriers comprising a liquid absorbent thermoplastic composition
US8172646B2 (en) * 2009-02-27 2012-05-08 Novellus Systems, Inc. Magnetically actuated chuck for edge bevel removal

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4549232A (en) * 1983-06-27 1985-10-22 International Business Machines Corporation Phase modulated servo system
JPS60187980A (ja) * 1984-03-06 1985-09-25 Nec Corp 負圧利用浮動ヘツドスライダ
JPS61980A (ja) * 1984-06-13 1986-01-06 Fujitsu Ltd 磁気ヘツド
JPS61148684A (ja) * 1984-12-20 1986-07-07 Fujitsu Ltd 負圧利用浮動ヘツドスライダ
JPS6214386A (ja) * 1985-07-12 1987-01-22 Mitsubishi Electric Corp 負圧形浮動ヘツドスライダの製造方法
US4734803A (en) * 1986-03-20 1988-03-29 International Business Machines Magnetic head air bearing slider
US4894740A (en) * 1988-09-28 1990-01-16 International Business Machines Corporation Magnetic head air bearing slider
JP2779529B2 (ja) * 1989-10-19 1998-07-23 株式会社日立製作所 浮動ヘッドスライダ
JPH03183075A (ja) * 1989-12-11 1991-08-09 Sony Corp ヘッドスライダ装置
US5062017A (en) * 1990-05-25 1991-10-29 Seagate Technology, Inc. Hour-glass disk head slider
US5196973A (en) * 1990-05-25 1993-03-23 Seagate Technology, Inc. Negative pressure air bearing slider having isolation channels which terminate prior to trailing edge
JPH0457259A (ja) * 1990-06-22 1992-02-25 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダの製造方法
JPH04228157A (ja) * 1990-07-13 1992-08-18 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ
JP2872384B2 (ja) * 1990-10-24 1999-03-17 株式会社日立製作所 磁気ヘツドスライダ及び磁気デイスク装置
US5430591A (en) * 1992-10-13 1995-07-04 Hitachi, Ltd. Negative pressure flying head slider having siderails with narrow width portion
US5636086A (en) * 1993-05-28 1997-06-03 International Business Machines Corporation Roll insensitive air bearing slider
US5396386A (en) * 1993-05-28 1995-03-07 International Business Machines Corporation Roll insensitive air bearing slider
US5515219A (en) * 1993-09-08 1996-05-07 Seagate Technology, Inc. Simplified self-loading head slider
US5488524A (en) * 1993-12-21 1996-01-30 International Business Machines Corporation Self adaptive head for semi-contact recording
US5568981A (en) * 1994-08-19 1996-10-29 Read-Rite Corporation Negative pressure air bearing slider
JPH08279265A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Fujitsu Ltd 磁気ヘッドスライダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6128162A (en) * 1997-06-26 2000-10-03 Fujitsu Limited Head slider with constant flying height over sliding range

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