JPH08297828A - 負圧空気支承スライダ - Google Patents
負圧空気支承スライダInfo
- Publication number
- JPH08297828A JPH08297828A JP7210842A JP21084295A JPH08297828A JP H08297828 A JPH08297828 A JP H08297828A JP 7210842 A JP7210842 A JP 7210842A JP 21084295 A JP21084295 A JP 21084295A JP H08297828 A JPH08297828 A JP H08297828A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- negative pressure
- air bearing
- slider
- pressure air
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ディスクドライブシステム用の負圧空気支承
スライダにおいて、広い範囲の速度およびスキュー角の
変化にわたって浮上高さおよび横揺れの変動が極めて少
なく、製造の際に一つのエッチングステップで済む設計
とする。 【解決手段】 負圧空気支承スライダは、長手方向に対
称に設計されており、スライダの前端縁から後端縁へ向
かって全体に延びる空気支承面を成す２本の側部レール
（１０、１２）と、前端縁の所に追加の空気支承面を成
すための中央パッド（８）を有している。レールおよび
パッドの前端には、テーパ領域（２２）が形成されてい
る。２本の側部レールと中央パッドとの間に通気溝（３
０）が形成されており、スライダ前端縁から延びてい
て、スライダの中央パッドから後端縁へと延びる中央窪
み空洞部（１８）へとつながっている。通気溝と中央窪
み空洞部とは、同じような深さにエッチングされる。
スライダにおいて、広い範囲の速度およびスキュー角の
変化にわたって浮上高さおよび横揺れの変動が極めて少
なく、製造の際に一つのエッチングステップで済む設計
とする。 【解決手段】 負圧空気支承スライダは、長手方向に対
称に設計されており、スライダの前端縁から後端縁へ向
かって全体に延びる空気支承面を成す２本の側部レール
（１０、１２）と、前端縁の所に追加の空気支承面を成
すための中央パッド（８）を有している。レールおよび
パッドの前端には、テーパ領域（２２）が形成されてい
る。２本の側部レールと中央パッドとの間に通気溝（３
０）が形成されており、スライダ前端縁から延びてい
て、スライダの中央パッドから後端縁へと延びる中央窪
み空洞部（１８）へとつながっている。通気溝と中央窪
み空洞部とは、同じような深さにエッチングされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ディスクドライ
ブに使われる磁気ヘッドアセンブリの空気支承スライダ
（気流浮上式スライダ）に関するもので、特に負圧領域
を有する負圧空気支承スライダに関するものである。
ブに使われる磁気ヘッドアセンブリの空気支承スライダ
（気流浮上式スライダ）に関するもので、特に負圧領域
を有する負圧空気支承スライダに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ディスクドライブにおいて、データを記
録または読み取るために、回転磁気ディスクに対して浮
動する磁気ヘッドアセンブリが大々的に使われている。
ディスクドライブで使われる空気支承スライダは、典型
的には、前端縁と後端縁とを有している。スライダの後
端には、１個または２個の薄膜磁気変換器が取り付けら
れている。一般には、スライダは、前端縁にテーパ部分
を有するとともに、テーパ部分から後端縁の方へ全体的
にまたは部分的に延びる縦方向のレールを有している。
録または読み取るために、回転磁気ディスクに対して浮
動する磁気ヘッドアセンブリが大々的に使われている。
ディスクドライブで使われる空気支承スライダは、典型
的には、前端縁と後端縁とを有している。スライダの後
端には、１個または２個の薄膜磁気変換器が取り付けら
れている。一般には、スライダは、前端縁にテーパ部分
を有するとともに、テーパ部分から後端縁の方へ全体的
にまたは部分的に延びる縦方向のレールを有している。
【０００３】ディスクにデータを記録しまたは再生する
ためにロータリアクチュエータを使って磁気ディスクに
アクセスする場合、磁気ヘッドつまり変換器は、ディス
クの一つのデータトラックから別のデータトラックへ移
動する間、速度およびスキュー角の連続的な変化に会
う。主要な目的は、高記憶密度を達成するために、ディ
スク表面とヘッドスライダに取り付けられた磁気変換器
との間に非常に狭い、一定の、そして安定した間隔を維
持することにある。この間隔が狭いことにより、変換ギ
ャップが非常に狭いことおよび磁気記録膜が非常に薄い
ことと相俟って、非常に短い波長の、高い周波数の信号
の記録が可能で、データ記録の密度および記憶容量を最
大化している。浮動ヘッドスライダとディスク表面の間
の間隔が一定であると、信号の振幅の変動が最小限に抑
えられ、それにより信号分解能が最良となる。この一定
の間隔開けは、ヘッドスライダがディスク表面の内周ト
ラックと外周トラックの間を移動する際に維持されなけ
ればならない。したがって、スキューの変化の浮上高さ
に対する影響は、最小限に保たれなければならない。
ためにロータリアクチュエータを使って磁気ディスクに
アクセスする場合、磁気ヘッドつまり変換器は、ディス
クの一つのデータトラックから別のデータトラックへ移
動する間、速度およびスキュー角の連続的な変化に会
う。主要な目的は、高記憶密度を達成するために、ディ
スク表面とヘッドスライダに取り付けられた磁気変換器
との間に非常に狭い、一定の、そして安定した間隔を維
持することにある。この間隔が狭いことにより、変換ギ
ャップが非常に狭いことおよび磁気記録膜が非常に薄い
ことと相俟って、非常に短い波長の、高い周波数の信号
の記録が可能で、データ記録の密度および記憶容量を最
大化している。浮動ヘッドスライダとディスク表面の間
の間隔が一定であると、信号の振幅の変動が最小限に抑
えられ、それにより信号分解能が最良となる。この一定
の間隔開けは、ヘッドスライダがディスク表面の内周ト
ラックと外周トラックの間を移動する際に維持されなけ
ればならない。したがって、スキューの変化の浮上高さ
に対する影響は、最小限に保たれなければならない。
【０００４】変換器のための一定浮上高さを達成するた
めには、負圧空気支承スライダの設計および製造におい
て、以下の属性を有することが好ましい。 １．負圧空気支承スライダは、広い速度範囲に亘って、
変換器の浮上高さが指定許容範囲内で一定に留まってい
るべきである。すなわち、速度に対する負圧空気支承ス
ライダの浮上高さ変化の敏感度は、最小限であるべきで
ある。 ２．負圧空気支承スライダは、広いスキュー角の範囲に
亘って、変換器の浮上高さが指定許容範囲内で実質的に
一定に留まっているべきである。すなわち、スキュー角
に対する負圧空気支承スライダの浮上高さ変化の敏感度
は、最小限であるべきである。 ３．変換器が磁気記録ディスクの内周放射状トラックと
外周放射状トラックの間を移動するに際して、負圧空気
支承スライダは、信頼性および安定性を実現するため
に、最小限の横揺れおよび最小限の横揺れ変化をすべき
である。 ４．負圧空気支承スライダは、スライダの離脱速度およ
び信頼性の改善のためハイピッチを有すべきである。 ５．負圧空気支承スライダの特性は、ジンバル位置ずれ
変動、負荷変動および幾何学的変動のような製造上の変
動に対する高度の許容範囲を有すべきである。 ６．負圧空気支承スライダの製造を簡単にするために、
製造工程ステップ数は最小限とされるべきである。 ７．負圧空気支承スライダの設計は、スライダの単一の
設計がそれぞれ磁気ディスクの上面および下面に対して
上スライダおよび下スライダとして使えるように縦方向
の対称特性を有すべきである。
めには、負圧空気支承スライダの設計および製造におい
て、以下の属性を有することが好ましい。 １．負圧空気支承スライダは、広い速度範囲に亘って、
変換器の浮上高さが指定許容範囲内で一定に留まってい
るべきである。すなわち、速度に対する負圧空気支承ス
ライダの浮上高さ変化の敏感度は、最小限であるべきで
ある。 ２．負圧空気支承スライダは、広いスキュー角の範囲に
亘って、変換器の浮上高さが指定許容範囲内で実質的に
一定に留まっているべきである。すなわち、スキュー角
に対する負圧空気支承スライダの浮上高さ変化の敏感度
は、最小限であるべきである。 ３．変換器が磁気記録ディスクの内周放射状トラックと
外周放射状トラックの間を移動するに際して、負圧空気
支承スライダは、信頼性および安定性を実現するため
に、最小限の横揺れおよび最小限の横揺れ変化をすべき
である。 ４．負圧空気支承スライダは、スライダの離脱速度およ
び信頼性の改善のためハイピッチを有すべきである。 ５．負圧空気支承スライダの特性は、ジンバル位置ずれ
変動、負荷変動および幾何学的変動のような製造上の変
動に対する高度の許容範囲を有すべきである。 ６．負圧空気支承スライダの製造を簡単にするために、
製造工程ステップ数は最小限とされるべきである。 ７．負圧空気支承スライダの設計は、スライダの単一の
設計がそれぞれ磁気ディスクの上面および下面に対して
上スライダおよび下スライダとして使えるように縦方向
の対称特性を有すべきである。
【０００５】従来技術の負圧空気支承スライダの設計
は、所望の浮動特性を得るために、設計の簡素さを犠牲
にしている。例えば、数レベルのエッチングを必要とす
る複雑な幾何学的形状が使用され、製造工程の複雑さお
よびコストを増大させている。非対称形状が使用され、
上スライダおよび下スライダを作るのに異なる工程装置
一式が必要である。
は、所望の浮動特性を得るために、設計の簡素さを犠牲
にしている。例えば、数レベルのエッチングを必要とす
る複雑な幾何学的形状が使用され、製造工程の複雑さお
よびコストを増大させている。非対称形状が使用され、
上スライダおよび下スライダを作るのに異なる工程装置
一式が必要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、デ
ィスクドライブシステムにおいて広い範囲の速度および
スキュー角の変化にわたって浮上高さおよび横揺れの変
動が極めて少ない負圧空気支承スライダを提供すること
にある。
ィスクドライブシステムにおいて広い範囲の速度および
スキュー角の変化にわたって浮上高さおよび横揺れの変
動が極めて少ない負圧空気支承スライダを提供すること
にある。
【０００７】この発明の他の目的は、製造の際に唯一つ
のエッチングステップを必要とする負圧空気支承スライ
ダを提供することにある。
のエッチングステップを必要とする負圧空気支承スライ
ダを提供することにある。
【０００８】他の目的は、長手方向に対称でかつ回転デ
ィスクの各面上に等しい浮動特性でもって浮動させられ
得る負圧空気支承スライダを提供することにある。
ィスクの各面上に等しい浮動特性でもって浮動させられ
得る負圧空気支承スライダを提供することにある。
【０００９】更なる目的は、負圧空気支承スライダの浮
動特性が狭い誤差範囲内に収まるように製造上の変動条
件に対して高度の許容性を呈する負圧空気支承スライダ
を提供することにある。
動特性が狭い誤差範囲内に収まるように製造上の変動条
件に対して高度の許容性を呈する負圧空気支承スライダ
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の好ましい実施
態様においては、負圧空気支承スライダは、長手方向に
対称に設計されており、スライダを形成するのに唯一つ
のエッチング工程を要するだけである。負圧空気支承ス
ライダは、スライダの前端縁から後端縁へ向かって全体
に延びる空気支承面を成す２本の側部レールと、前端縁
の所に追加の空気支承面を成すための中央パッドを有し
ている。２本の側部レールと中央パッドとの間に通気溝
が形成されており、スライダ前端縁から延びていて、ス
ライダの中央パッドから後端縁へと延びる中央窪み空洞
部へとつながっている。中央窪み空洞部は、効果的な負
圧領域を定義する。通気溝と中央窪み空洞部とは、一様
な深さにエッチングされる。負圧の大きさは、与えられ
た動作条件に対して、空洞の大きさ、深さおよび位置に
よって決まる。
態様においては、負圧空気支承スライダは、長手方向に
対称に設計されており、スライダを形成するのに唯一つ
のエッチング工程を要するだけである。負圧空気支承ス
ライダは、スライダの前端縁から後端縁へ向かって全体
に延びる空気支承面を成す２本の側部レールと、前端縁
の所に追加の空気支承面を成すための中央パッドを有し
ている。２本の側部レールと中央パッドとの間に通気溝
が形成されており、スライダ前端縁から延びていて、ス
ライダの中央パッドから後端縁へと延びる中央窪み空洞
部へとつながっている。中央窪み空洞部は、効果的な負
圧領域を定義する。通気溝と中央窪み空洞部とは、一様
な深さにエッチングされる。負圧の大きさは、与えられ
た動作条件に対して、空洞の大きさ、深さおよび位置に
よって決まる。
【００１１】別の実施態様においては、側部レールは、
スライダのテーパ領域から後端縁に向かって部分的に延
びていてもよいし、全体的に延びていてもよい。また、
レール自体が窪んだ区域を有していてもよい。さらに、
浮上高さを制御するために、スライダの後端縁に追加の
パッドを設けてもよい。追加の空気支承パッドが、後端
縁の所にスライダの両側部のほぼ中央に位置してもよ
い。スライダは、前端縁の所に一つまたは複数の通気溝
を有する配置形状としてもよい。
スライダのテーパ領域から後端縁に向かって部分的に延
びていてもよいし、全体的に延びていてもよい。また、
レール自体が窪んだ区域を有していてもよい。さらに、
浮上高さを制御するために、スライダの後端縁に追加の
パッドを設けてもよい。追加の空気支承パッドが、後端
縁の所にスライダの両側部のほぼ中央に位置してもよ
い。スライダは、前端縁の所に一つまたは複数の通気溝
を有する配置形状としてもよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明を説明する。なお、各図は、必ずしも一定の拡大比率
で描かれたものではなく、図解した部分の寸法割合は、
発明の実施において用いられる実際の寸法を反映したも
のではない。
明を説明する。なお、各図は、必ずしも一定の拡大比率
で描かれたものではなく、図解した部分の寸法割合は、
発明の実施において用いられる実際の寸法を反映したも
のではない。
【００１３】図１において、直方体のスライダ本体２４
は、長さＬ１、参照数字１９で示す幅、および参照数字
２８で示す厚さを有する。スライダ２４は、立ち上がっ
た側部レール１０および１２、スライダの前端部にある
テーパ領域２２、および中央テーパ領域２２に隣接して
形成された中央パッドを有した配置形状をしている。テ
ーパ領域２２は、２０度〜６０度程度でよいテーパ角
（図１のＢに２０で示す）を有している。負圧空洞部１
８は、中央パッド８とスライダの後端縁の間にエッチン
グにより形成される。この発明に合わせて、通気溝（彫
り込み通気路）３０が側部レール１０、１２と中央パッ
ド８との間に形成され、スライダの前端縁から延びて負
圧空洞部１８につながっている。通気溝３０および空洞
部１８は、２．５４〜７．６２マイクロメートル（１０
０〜３００マイクロインチ）の範囲でよいが、好ましく
は同じ深さにエッチングされている。
は、長さＬ１、参照数字１９で示す幅、および参照数字
２８で示す厚さを有する。スライダ２４は、立ち上がっ
た側部レール１０および１２、スライダの前端部にある
テーパ領域２２、および中央テーパ領域２２に隣接して
形成された中央パッドを有した配置形状をしている。テ
ーパ領域２２は、２０度〜６０度程度でよいテーパ角
（図１のＢに２０で示す）を有している。負圧空洞部１
８は、中央パッド８とスライダの後端縁の間にエッチン
グにより形成される。この発明に合わせて、通気溝（彫
り込み通気路）３０が側部レール１０、１２と中央パッ
ド８との間に形成され、スライダの前端縁から延びて負
圧空洞部１８につながっている。通気溝３０および空洞
部１８は、２．５４〜７．６２マイクロメートル（１０
０〜３００マイクロインチ）の範囲でよいが、好ましく
は同じ深さにエッチングされている。
【００１４】レール１０、１２は、スライダの空気支承
面に設けられている。レール１０、１２は、後端縁の所
に位置する参照数字３８で示す長さで参照数字４２で示
す幅の幅広部分を有する。レール１０、１２は、後端縁
からの距離がＬ３とＬ２の間に示される斜め区域により
後端縁の幅広部分から収束している。レール１０、１２
の幅狭部分は、斜め区域とレールに連係するテーパ領域
との間に延びていて、Ｌ３からテーパ領域２２の長さを
引いた長さを有している。
面に設けられている。レール１０、１２は、後端縁の所
に位置する参照数字３８で示す長さで参照数字４２で示
す幅の幅広部分を有する。レール１０、１２は、後端縁
からの距離がＬ３とＬ２の間に示される斜め区域により
後端縁の幅広部分から収束している。レール１０、１２
の幅狭部分は、斜め区域とレールに連係するテーパ領域
との間に延びていて、Ｌ３からテーパ領域２２の長さを
引いた長さを有している。
【００１５】図２および図４は、図１の代替実施態様を
示し、中央パッド４６、４９が中央負圧空洞部１８に隣
接する弧状の側辺を有して形成されている。図３は、負
圧空洞部１８に隣接する逆Ｕ字形を有する中央パッド４
８を図示している。
示し、中央パッド４６、４９が中央負圧空洞部１８に隣
接する弧状の側辺を有して形成されている。図３は、負
圧空洞部１８に隣接する逆Ｕ字形を有する中央パッド４
８を図示している。
【００１６】
【実施例】図１の具体的な実施例としては、スライダの
幅１９は約１６００マイクロメートル（６３ミリイン
チ）で、長さＬ１は約２０５０マイクロメートル（８
０．７ミリインチ）である。後端縁レール幅４２は３８
１マイクロメートル（１５ミリインチ）で、後端縁レー
ル長さ３８は５２６マイクロメートル（２０．７ミリイ
ンチ）である。前端縁レール長さ４０は１０３４マイク
ロメートル（４０．７ミリインチ）で、各前端縁レール
の幅は１６５マイクロメートル（６．５ミリインチ）で
ある。テーパ領域２２の長さは２０３マイクロメートル
（８ミリインチ）である。中央パッド空気支承面は、幅
１１６８マイクロメートル（４６ミリインチ）、長さ７
１１マイクロメートル（２８ミリインチ）である。通気
溝３０はそれぞれ５１マイクロメートル（２ミリイン
チ）の幅で、スライダ本体の側辺の側刻部１４は３８マ
イクロメートル（１．５ミリインチ）の幅である。中央
の窪み空洞部１８、通気溝３０および側刻部１４のエッ
チング深さまたは彫り込み深さは、側部レール１０、１
２および中央パッド８の立ち上がった空気支承面に対し
て、約５．０８マイクロメートル（２００マイクロイン
チ）である。長さＬ１、Ｌ２およびＬ３は、それぞれ約
２０５０マイクロメートル（８０．７ミリインチ）、１
５２４マイクロメートル（６０ミリインチ）および１２
７０マイクロメートル（５０ミリインチ）である。
幅１９は約１６００マイクロメートル（６３ミリイン
チ）で、長さＬ１は約２０５０マイクロメートル（８
０．７ミリインチ）である。後端縁レール幅４２は３８
１マイクロメートル（１５ミリインチ）で、後端縁レー
ル長さ３８は５２６マイクロメートル（２０．７ミリイ
ンチ）である。前端縁レール長さ４０は１０３４マイク
ロメートル（４０．７ミリインチ）で、各前端縁レール
の幅は１６５マイクロメートル（６．５ミリインチ）で
ある。テーパ領域２２の長さは２０３マイクロメートル
（８ミリインチ）である。中央パッド空気支承面は、幅
１１６８マイクロメートル（４６ミリインチ）、長さ７
１１マイクロメートル（２８ミリインチ）である。通気
溝３０はそれぞれ５１マイクロメートル（２ミリイン
チ）の幅で、スライダ本体の側辺の側刻部１４は３８マ
イクロメートル（１．５ミリインチ）の幅である。中央
の窪み空洞部１８、通気溝３０および側刻部１４のエッ
チング深さまたは彫り込み深さは、側部レール１０、１
２および中央パッド８の立ち上がった空気支承面に対し
て、約５．０８マイクロメートル（２００マイクロイン
チ）である。長さＬ１、Ｌ２およびＬ３は、それぞれ約
２０５０マイクロメートル（８０．７ミリインチ）、１
５２４マイクロメートル（６０ミリインチ）および１２
７０マイクロメートル（５０ミリインチ）である。
【００１７】
【発明の実施の形態】図５〜図８は、他の代替実施態様
を示し、側部レール５２、５４がその外方に形成された
負圧領域５１を有し、それぞれ異なる形の中央パッド４
６、６６、６８、７０を有している。スライダ本体の寸
法は、長さＬ１と幅１９で定義される。レール５２と５
４は、前端部および後端部の幅５０と中央幅狭部の幅５
６を有する。前端縁に近い側のレールの斜め部分はＬ４
とＬ５の間に定義され、後端縁に近い側のレールの斜め
部分はＬ６とＬ７の間に定義されている。スライダの前
端縁には、中央テーパ領域２２に続く中央パッド４６が
ある。中央パッド４６は、参照数字６０で示される幅
と、参照数字５８で示される長さを有している。レール
５２、５４およびパッド４６は、等しい長さのテーパ領
域２２に続いている。通気溝６２が中央テーパ領域と中
央パッド４６との順次連続した側辺に隣接して設けら
れ、中央の負圧空洞部４８へと延びている。スライダ本
体内にスライダの長手方向軸について対称に設けられた
側部レール５２、５４に対して対称に、通気溝６２が設
けられている。製造を簡単にするために、スライダの側
縁に側刻部６４が設けられている。
を示し、側部レール５２、５４がその外方に形成された
負圧領域５１を有し、それぞれ異なる形の中央パッド４
６、６６、６８、７０を有している。スライダ本体の寸
法は、長さＬ１と幅１９で定義される。レール５２と５
４は、前端部および後端部の幅５０と中央幅狭部の幅５
６を有する。前端縁に近い側のレールの斜め部分はＬ４
とＬ５の間に定義され、後端縁に近い側のレールの斜め
部分はＬ６とＬ７の間に定義されている。スライダの前
端縁には、中央テーパ領域２２に続く中央パッド４６が
ある。中央パッド４６は、参照数字６０で示される幅
と、参照数字５８で示される長さを有している。レール
５２、５４およびパッド４６は、等しい長さのテーパ領
域２２に続いている。通気溝６２が中央テーパ領域と中
央パッド４６との順次連続した側辺に隣接して設けら
れ、中央の負圧空洞部４８へと延びている。スライダ本
体内にスライダの長手方向軸について対称に設けられた
側部レール５２、５４に対して対称に、通気溝６２が設
けられている。製造を簡単にするために、スライダの側
縁に側刻部６４が設けられている。
【００１８】図６〜図８は、図５の代替実施態様を示
し、スキュー角範囲および速度範囲の具体的適応のため
中央パッド６６、６８、７０の形状が変更されており、
これらの範囲に亘っての浮上高さの変動が最低限に抑え
られるようになっている。
し、スキュー角範囲および速度範囲の具体的適応のため
中央パッド６６、６８、７０の形状が変更されており、
これらの範囲に亘っての浮上高さの変動が最低限に抑え
られるようになっている。
【００１９】
【実施例】図５の具体的実施例として、側部テーパ部分
およびレール５２、５４の後端縁区域の幅５０は、約３
３０マイクロメートル（１３ミリインチ）である。レー
ルの中央幅狭区域５６の幅は約１５２マイクロメートル
（６ミリインチ）で、側刻部６４は約３８マイクロメー
トル（１．５ミリメートル）幅である。スライダの全長
Ｌ１は２０５０マイクロメートル（８０．７ミリイン
チ）で、スライダの幅は約１６００マイクロメートル
（６３ミリインチ）である。中央パッド４６の幅６０は
約６１０マイクロメートル（２４ミリインチ）で、中央
パッド４６の長さ５８は約４５７マイクロメートル（１
８ミリインチ）である。通気溝６２の幅は、それぞれ約
１２７マイクロメートル（５ミリインチ）である。側部
レール５２、５４の寸法をさらに定義する長さは、Ｌ４
が４５７マイクロメートル（１８ミリインチ）、Ｌ５が
７１１マイクロメートル（２８ミリインチ）、Ｌ６が１
５２４マイクロメートル（６０ミリインチ）そしてＬ７
が１７７８マイクロメートル（７０ミリインチ）であ
る。テーパ領域２２は、長さが２０３マイクロメートル
（８ミリインチ）で、テーパ角が４０分である。負圧空
洞部４８は、レール５２、５４およびパッド４６で代表
する空気支承面より下方に５．０８マイクロメートル
（２００マイクロインチ）の深さにエッチングされてい
る。図示されていないが、空気支承面には、１２．７ナ
ノメートル（０．５マイクロインチ）の僅かな冠状部
（反り、膨らみ）が設けられている。
およびレール５２、５４の後端縁区域の幅５０は、約３
３０マイクロメートル（１３ミリインチ）である。レー
ルの中央幅狭区域５６の幅は約１５２マイクロメートル
（６ミリインチ）で、側刻部６４は約３８マイクロメー
トル（１．５ミリメートル）幅である。スライダの全長
Ｌ１は２０５０マイクロメートル（８０．７ミリイン
チ）で、スライダの幅は約１６００マイクロメートル
（６３ミリインチ）である。中央パッド４６の幅６０は
約６１０マイクロメートル（２４ミリインチ）で、中央
パッド４６の長さ５８は約４５７マイクロメートル（１
８ミリインチ）である。通気溝６２の幅は、それぞれ約
１２７マイクロメートル（５ミリインチ）である。側部
レール５２、５４の寸法をさらに定義する長さは、Ｌ４
が４５７マイクロメートル（１８ミリインチ）、Ｌ５が
７１１マイクロメートル（２８ミリインチ）、Ｌ６が１
５２４マイクロメートル（６０ミリインチ）そしてＬ７
が１７７８マイクロメートル（７０ミリインチ）であ
る。テーパ領域２２は、長さが２０３マイクロメートル
（８ミリインチ）で、テーパ角が４０分である。負圧空
洞部４８は、レール５２、５４およびパッド４６で代表
する空気支承面より下方に５．０８マイクロメートル
（２００マイクロインチ）の深さにエッチングされてい
る。図示されていないが、空気支承面には、１２．７ナ
ノメートル（０．５マイクロインチ）の僅かな冠状部
（反り、膨らみ）が設けられている。
【００２０】
【発明の実施の形態】図９は、負圧空気支承スライダの
他の実施態様を示すもので、磁気変換器が後端縁におい
て後方中央パッド９０に設けられている。この実施態様
は、２本の側部レール７２、７４並びに中央前方パッド
８４および後方パッド９０を含んでいる。負圧領域９２
は、中央パッド８４の後方に位置している。側部レール
７２、７４は、長さがＬ１０で、それはスライダの全長
Ｌ１の部分を成し、側部レールの後端縁において８８で
示す幅で、側部レールの前端縁に幅狭部８６を有してい
る。幅８６は、テーパ領域から長さＬ８で定義される点
まで一定であり、そこからレールは広がって長さＬ９で
定義される点で広い後端縁レール部分に合わさってい
る。後方中央パッド９０は、参照数字８２で示す長さ
で、参照数字８０で示す幅である。スライダの前方端２
１において、側部レール７２、７４および中央パッド８
４のためにテーパ領域２２が設けられている。レール７
２、７４の内辺と前方中央パッド８４の間に通気溝９４
が設けられていて、前端縁から窪み空洞部９２へ延びて
いる。
他の実施態様を示すもので、磁気変換器が後端縁におい
て後方中央パッド９０に設けられている。この実施態様
は、２本の側部レール７２、７４並びに中央前方パッド
８４および後方パッド９０を含んでいる。負圧領域９２
は、中央パッド８４の後方に位置している。側部レール
７２、７４は、長さがＬ１０で、それはスライダの全長
Ｌ１の部分を成し、側部レールの後端縁において８８で
示す幅で、側部レールの前端縁に幅狭部８６を有してい
る。幅８６は、テーパ領域から長さＬ８で定義される点
まで一定であり、そこからレールは広がって長さＬ９で
定義される点で広い後端縁レール部分に合わさってい
る。後方中央パッド９０は、参照数字８２で示す長さ
で、参照数字８０で示す幅である。スライダの前方端２
１において、側部レール７２、７４および中央パッド８
４のためにテーパ領域２２が設けられている。レール７
２、７４の内辺と前方中央パッド８４の間に通気溝９４
が設けられていて、前端縁から窪み空洞部９２へ延びて
いる。
【００２１】図１０〜図１２は、図９の代替実施態様を
示し、スキュー角範囲および速度範囲の具体的適応のた
め中央パッド９８、１００、１０２の形状が変更されて
おり、これらの範囲に亘っての浮上高さの変動が最低限
に抑えられるようになっている。
示し、スキュー角範囲および速度範囲の具体的適応のた
め中央パッド９８、１００、１０２の形状が変更されて
おり、これらの範囲に亘っての浮上高さの変動が最低限
に抑えられるようになっている。
【００２２】
【実施例】図９の実施において、後方パッド９０は、長
さ８２が約２７２マイクロメートル（１０．７ミリイン
チ）で、幅８０が約３８１マイクロメートル（１５ミリ
インチ）である。中央パッド８４は、長さ７６が約５０
８マイクロメートル（２０ミリインチ）で、幅７８が７
６２マイクロメートル（３０ミリインチ）である。側部
レール７２、７４の後端縁の幅８８は約３８１マイクロ
メートル（１５ミリインチ）であり、側部レールの前端
縁における幅は約２５４マイクロメートル（１０ミリイ
ンチ）である。レール７２、７４の前端縁から広がる所
までの長さＬ８は約１２７０マイクロメートル（５０ミ
リインチ）で、後端縁における長さＬ９と長さＬ１０の
間のレールの幅は約１５２４マイクロメートル（６０ミ
リインチ）である。側部レール７２、７４の全長Ｌ１０
は、やく１７７８マイクロメートル（７０ミリインチ）
である。側刻部９６は、３８マイクロメートル（１．５
ミリインチ）の幅で、この発明のスライダの製造を容易
にするために設けられている。彫り込み溝９４は、約１
２７マイクロメートル（５ミリインチ）の幅である。
さ８２が約２７２マイクロメートル（１０．７ミリイン
チ）で、幅８０が約３８１マイクロメートル（１５ミリ
インチ）である。中央パッド８４は、長さ７６が約５０
８マイクロメートル（２０ミリインチ）で、幅７８が７
６２マイクロメートル（３０ミリインチ）である。側部
レール７２、７４の後端縁の幅８８は約３８１マイクロ
メートル（１５ミリインチ）であり、側部レールの前端
縁における幅は約２５４マイクロメートル（１０ミリイ
ンチ）である。レール７２、７４の前端縁から広がる所
までの長さＬ８は約１２７０マイクロメートル（５０ミ
リインチ）で、後端縁における長さＬ９と長さＬ１０の
間のレールの幅は約１５２４マイクロメートル（６０ミ
リインチ）である。側部レール７２、７４の全長Ｌ１０
は、やく１７７８マイクロメートル（７０ミリインチ）
である。側刻部９６は、３８マイクロメートル（１．５
ミリインチ）の幅で、この発明のスライダの製造を容易
にするために設けられている。彫り込み溝９４は、約１
２７マイクロメートル（５ミリインチ）の幅である。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１３は、負圧空気支承スライダ
の他の実施態様を示すもので、２本の側部レール１１
２、１１４、中央パッド１０４および後方パッド１２０
を有している。後方パッド１２０の後端縁には、磁気変
換器が取り付けられている。後方パッド１２０の長さは
参照数字１２２で示され、幅は参照数字１２４で示され
る。中央前端縁パッド１０４の寸法は、長さ１３０およ
び幅１３２で示される。２本の側部レール１１２、１１
４は、前端縁および後端縁の両者において１１６で示す
幅を有し、中央部が１１８で示す狭い幅に形成されてい
る。側部レール１１２、１１４は、それぞれ長さＬ１
１、Ｌ１５におけるレールの前端縁および後端縁で１１
６で示す幅を有し、長さＬ１２からＬ１３までのレール
の前方部分と後方部分の間に狭い部分１１８を有する。
彫り込み区域１２６が製造の容易のために設けられてい
る。図１３の実施態様は、各側部レール１１２、１１４
と連係する負圧空洞部１２８ａおよび中央パッド１０４
から延びる中央負圧空洞部１２８を含んでいる。
の他の実施態様を示すもので、２本の側部レール１１
２、１１４、中央パッド１０４および後方パッド１２０
を有している。後方パッド１２０の後端縁には、磁気変
換器が取り付けられている。後方パッド１２０の長さは
参照数字１２２で示され、幅は参照数字１２４で示され
る。中央前端縁パッド１０４の寸法は、長さ１３０およ
び幅１３２で示される。２本の側部レール１１２、１１
４は、前端縁および後端縁の両者において１１６で示す
幅を有し、中央部が１１８で示す狭い幅に形成されてい
る。側部レール１１２、１１４は、それぞれ長さＬ１
１、Ｌ１５におけるレールの前端縁および後端縁で１１
６で示す幅を有し、長さＬ１２からＬ１３までのレール
の前方部分と後方部分の間に狭い部分１１８を有する。
彫り込み区域１２６が製造の容易のために設けられてい
る。図１３の実施態様は、各側部レール１１２、１１４
と連係する負圧空洞部１２８ａおよび中央パッド１０４
から延びる中央負圧空洞部１２８を含んでいる。
【００２４】図１４〜図１６は、図１３のスライダの変
形を示し、中央パッド１０６、１０８、１１０が変形さ
れてこの発明の負圧空気支承スライダとともに用いられ
る異なる応用のために異なるスキュー範囲や速度範囲に
適応させたものである。
形を示し、中央パッド１０６、１０８、１１０が変形さ
れてこの発明の負圧空気支承スライダとともに用いられ
る異なる応用のために異なるスキュー範囲や速度範囲に
適応させたものである。
【００２５】
【実施例】図１３の具体的な実施態様としては、後方パ
ッド１２０の長さ１２２は約２７２マイクロメートル
（１０．７ミリインチ）で、その幅１２４は約３８１マ
イクロメートル（１５ミリインチ）である。中央パッド
１０４は、幅１３２が約５０８マイクロメートル（２０
ミリインチ）で、長さ１３０が約５０８マイクロメート
ル（２０ミリインチ）である。２本の側部レールの各部
分の長さは、Ｌ１１が約５０８マイクロメートル（２０
ミリインチ）、Ｌ１２が約６３５マイクロメートル（２
５ミリインチ）、Ｌ１３が約１３９７マイクロメートル
（５５ミリインチ）、Ｌ１４が約１５２４マイクロメー
トル（６０ミリインチ）そしてＬ１５が約１７７８マイ
クロメートル（７０ミリインチ）である。側部レールの
前端縁および後端縁における幅１１６は、約３８１マイ
クロメートル（１５ミリインチ）で、側部レールの中央
部分の幅１１８は、約２０３マイクロメートル（８ミリ
インチ）である。テーパは、角度が公称４０分であり、
長さが２０３マイクロメートル（８ミリインチ）であ
る。中央パッド１０４の後方にある中央負圧領域１２８
は、空気支承面から下に公称深さ約５．０８マイクロメ
ートル（２００マイクロインチ）までエッチングされて
いる。側刻部１２６も、同じ約５．０８マイクロメート
ル（２００マイクロインチ）の深さにエッチングされて
いる。
ッド１２０の長さ１２２は約２７２マイクロメートル
（１０．７ミリインチ）で、その幅１２４は約３８１マ
イクロメートル（１５ミリインチ）である。中央パッド
１０４は、幅１３２が約５０８マイクロメートル（２０
ミリインチ）で、長さ１３０が約５０８マイクロメート
ル（２０ミリインチ）である。２本の側部レールの各部
分の長さは、Ｌ１１が約５０８マイクロメートル（２０
ミリインチ）、Ｌ１２が約６３５マイクロメートル（２
５ミリインチ）、Ｌ１３が約１３９７マイクロメートル
（５５ミリインチ）、Ｌ１４が約１５２４マイクロメー
トル（６０ミリインチ）そしてＬ１５が約１７７８マイ
クロメートル（７０ミリインチ）である。側部レールの
前端縁および後端縁における幅１１６は、約３８１マイ
クロメートル（１５ミリインチ）で、側部レールの中央
部分の幅１１８は、約２０３マイクロメートル（８ミリ
インチ）である。テーパは、角度が公称４０分であり、
長さが２０３マイクロメートル（８ミリインチ）であ
る。中央パッド１０４の後方にある中央負圧領域１２８
は、空気支承面から下に公称深さ約５．０８マイクロメ
ートル（２００マイクロインチ）までエッチングされて
いる。側刻部１２６も、同じ約５．０８マイクロメート
ル（２００マイクロインチ）の深さにエッチングされて
いる。
【００２６】
【発明の実施の形態】図１７は、負圧スライダの新規な
実施態様を示し、スライダ前端縁の単一の中央通気溝１
５０および負圧空洞部１４０を同じ深さで設けたもので
ある。中央通気溝１５０は、空気支承スライダの動作
中、スライダの中心に沿って縦方向に周囲圧力チャンネ
ルを形成し、負圧空洞部１４０を二つの負圧区域１４０
ａおよび１４０ｂに効果的に分割する。前端縁におい
て、テーパ区域２２の後方にテーパ区域２２と同じ幅を
有する二つのパッド１４２、１４４が設けられている。
二つの前方パッド１４２、１４４の幅は、参照数字１４
８で示され、中央通気溝１５０から彫り込み区域１４５
の内方側へ延びている。パッド１４２、１４４の長さ
は、１４６で示されている。レール１３６、１３８の後
端縁の幅は、１６０で示されている。レール１３６、１
３８は、パッド１４２、１４４に続く狭い長方形区域１
３４を含んでいる。レール区域１３４とレール１３６、
１３８の後端縁部分との間に斜め区域１４７が形成され
ている。長さＬ１６は、パッド１４２、１４４の前端縁
から後端まで延びている。狭い区域１３４は、パッドの
後端のＬ１６の所からＬ１７まで延びており、斜め区域
１４７は、Ｌ１７からＬ１８まで延びている。
実施態様を示し、スライダ前端縁の単一の中央通気溝１
５０および負圧空洞部１４０を同じ深さで設けたもので
ある。中央通気溝１５０は、空気支承スライダの動作
中、スライダの中心に沿って縦方向に周囲圧力チャンネ
ルを形成し、負圧空洞部１４０を二つの負圧区域１４０
ａおよび１４０ｂに効果的に分割する。前端縁におい
て、テーパ区域２２の後方にテーパ区域２２と同じ幅を
有する二つのパッド１４２、１４４が設けられている。
二つの前方パッド１４２、１４４の幅は、参照数字１４
８で示され、中央通気溝１５０から彫り込み区域１４５
の内方側へ延びている。パッド１４２、１４４の長さ
は、１４６で示されている。レール１３６、１３８の後
端縁の幅は、１６０で示されている。レール１３６、１
３８は、パッド１４２、１４４に続く狭い長方形区域１
３４を含んでいる。レール区域１３４とレール１３６、
１３８の後端縁部分との間に斜め区域１４７が形成され
ている。長さＬ１６は、パッド１４２、１４４の前端縁
から後端まで延びている。狭い区域１３４は、パッドの
後端のＬ１６の所からＬ１７まで延びており、斜め区域
１４７は、Ｌ１７からＬ１８まで延びている。
【００２７】
【実施例】図１７に示した負圧スライダの具体的な実施
例としては、パッド１４２、１４４の幅は約７１１マイ
クロメートル（２８ミリインチ）で、パッドの長さ１４
６は約５０８マイクロメートル（２０ミリインチ）であ
る。中央の通気溝１５０は、幅が約１０２マイクロメー
トル（４ミリインチ）ある。狭い長方形区域１３４は、
１２７マイクロメートル（５ミリインチ）の幅である。
スライダの前端縁からの長さＬ１８は、１５２４マイク
ロメートル（６０ミリインチ）である。レールの後端縁
の所の幅１６０は、約３８１マイクロメートル（１５ミ
リインチ）である。スライダ本体の全長Ｌ１は、約２０
５０マイクロメートル（８０．７ミリインチ）で、その
幅は、約１６００マイクロメートル（６３ミリインチ）
である。
例としては、パッド１４２、１４４の幅は約７１１マイ
クロメートル（２８ミリインチ）で、パッドの長さ１４
６は約５０８マイクロメートル（２０ミリインチ）であ
る。中央の通気溝１５０は、幅が約１０２マイクロメー
トル（４ミリインチ）ある。狭い長方形区域１３４は、
１２７マイクロメートル（５ミリインチ）の幅である。
スライダの前端縁からの長さＬ１８は、１５２４マイク
ロメートル（６０ミリインチ）である。レールの後端縁
の所の幅１６０は、約３８１マイクロメートル（１５ミ
リインチ）である。スライダ本体の全長Ｌ１は、約２０
５０マイクロメートル（８０．７ミリインチ）で、その
幅は、約１６００マイクロメートル（６３ミリインチ）
である。
【００２８】図１８および図１９は、図１の配置形状に
従って作られた負圧空気支承スライダの浮上高さおよび
横揺れの変化を示すプロット図である。具体的な実施で
は、レール１０、１２の広がり部分は、レールの長さ方
向に対して約２７度の角度で斜めになっている。長さＬ
３、つまりスライダの前端縁からレール構造の広がり開
始点までの長さを長くするにつれて、スライダの後端縁
におけるレール１０、１２の幅広部分は短くなってい
く。このようにして、スライダおよびスライダの後端縁
に配置されている磁気変換器の浮上高さの異なったディ
スクドライブへの応用に合わせて調整することができ
る。図１８は、長さＬ３に対して測定した変換器ギャッ
プの平均浮上高さを示すもので、ここに平均浮上高さと
は、５４００回毎分（ｒｐｍ）のディスク回転数に対し
てスキュー角／ディスク半径の範囲が−１０度／２０．
３ミリメートル（０．８インチ）〜＋１５度／４５．７
ミリメートル（１．８インチ）の範囲に亘っての平均の
浮上高さとして定義されるものである。図１８は、さら
に、同じスキュー角／ディスク半径の範囲に亘る浮上高
さの最大変化量（Δマイクロインチ）を示す。例えば、
全てのＬ３の値に対して、Δは５．１ナノメートル
（０．２マイクロインチ）より小さいことが窺えよう。
従って作られた負圧空気支承スライダの浮上高さおよび
横揺れの変化を示すプロット図である。具体的な実施で
は、レール１０、１２の広がり部分は、レールの長さ方
向に対して約２７度の角度で斜めになっている。長さＬ
３、つまりスライダの前端縁からレール構造の広がり開
始点までの長さを長くするにつれて、スライダの後端縁
におけるレール１０、１２の幅広部分は短くなってい
く。このようにして、スライダおよびスライダの後端縁
に配置されている磁気変換器の浮上高さの異なったディ
スクドライブへの応用に合わせて調整することができ
る。図１８は、長さＬ３に対して測定した変換器ギャッ
プの平均浮上高さを示すもので、ここに平均浮上高さと
は、５４００回毎分（ｒｐｍ）のディスク回転数に対し
てスキュー角／ディスク半径の範囲が−１０度／２０．
３ミリメートル（０．８インチ）〜＋１５度／４５．７
ミリメートル（１．８インチ）の範囲に亘っての平均の
浮上高さとして定義されるものである。図１８は、さら
に、同じスキュー角／ディスク半径の範囲に亘る浮上高
さの最大変化量（Δマイクロインチ）を示す。例えば、
全てのＬ３の値に対して、Δは５．１ナノメートル
（０．２マイクロインチ）より小さいことが窺えよう。
【００２９】図１９は、同様に図１のスライダの横揺れ
を示すもので、例としてレール部分の広がり角を４５度
と変更した場合のものである。ここに、横揺れとは、レ
ール１０と１２の間での浮上高さの差として定義される
もので、これは正の値であって１０．２ナノメートル
（０．４マイクロインチ）より小さく、スライダの後端
縁に磁気変換器が配置されているレールが常に低く浮上
している方のレールであることを示している。この実施
品においては、下側変換器と連係するレールはレール１
２であり、上側変換器はレール１０と連係している。上
側変換器は回転磁気ディスクの上側面と連係し、下側変
換器はレール１０と連係している。上側変換器は回転磁
気ディスクの上側面と連係し、下側変換器は回転磁気デ
ィスクの下側面と連係している。図示の実施例では、横
揺れは図１９に示すように常に正の値であることが望ま
しい。
を示すもので、例としてレール部分の広がり角を４５度
と変更した場合のものである。ここに、横揺れとは、レ
ール１０と１２の間での浮上高さの差として定義される
もので、これは正の値であって１０．２ナノメートル
（０．４マイクロインチ）より小さく、スライダの後端
縁に磁気変換器が配置されているレールが常に低く浮上
している方のレールであることを示している。この実施
品においては、下側変換器と連係するレールはレール１
２であり、上側変換器はレール１０と連係している。上
側変換器は回転磁気ディスクの上側面と連係し、下側変
換器はレール１０と連係している。上側変換器は回転磁
気ディスクの上側面と連係し、下側変換器は回転磁気デ
ィスクの下側面と連係している。図示の実施例では、横
揺れは図１９に示すように常に正の値であることが望ま
しい。
【００３０】
【発明の効果】この発明の利点は、幾何学的形状の簡単
さと対称性にあり、これにより製造しやすく、製造工程
における変動に対する許容性が高い。主な利点は、この
設計のスライダは、回転磁気ディスクに対してスライダ
の所望の安定した浮動特性を効果的に維持することにあ
る。この新規なスライダの設計は、製造の際にただ一つ
のエッチングステップを必要とする。この発明のスライ
ダは、製造上の条件変化に対して高度の許容性を有す
る。スライダの長さ方向の軸に対して対称的に設計され
ているので、スライダを上側磁気ヘッドにも下側磁気ヘ
ッドにも使うことができる。
さと対称性にあり、これにより製造しやすく、製造工程
における変動に対する許容性が高い。主な利点は、この
設計のスライダは、回転磁気ディスクに対してスライダ
の所望の安定した浮動特性を効果的に維持することにあ
る。この新規なスライダの設計は、製造の際にただ一つ
のエッチングステップを必要とする。この発明のスライ
ダは、製造上の条件変化に対して高度の許容性を有す
る。スライダの長さ方向の軸に対して対称的に設計され
ているので、スライダを上側磁気ヘッドにも下側磁気ヘ
ッドにも使うことができる。
【００３１】上述した特定の寸法、角度およびその他の
パラメータは、ディスクドライブの動作において使われ
る空気支承スライダの異なる応用のために、変更されて
もよい。例えば、上述のレールの斜め区域は、２０度〜
６０度の間の角度で形成されてもよい。この発明の通気
溝は、２５．４〜１５２．４マイクロメートル（１〜６
ミリインチ）の範囲の幅としてもよく、中央負圧空洞部
の深さの１／８〜７／８の深さにエッチングしてもよ
い。もちろん、同じ深さとしてもよく、２．５４〜７．
６２マイクロメートル（１００〜３００マイクロイン
チ）とするこどできる。スライダの空気支承面の膨らみ
は、１２．７〜３８．１ナノメートル（０．５〜１．５
マイクロインチ）とすることができる。側段部は、２
５．４〜５０．８マイクロメートル（１〜２ミリイン
チ）の幅とすることができる。図１３〜図１６に示され
る後方パッドは、５０．８〜２０３．２マイクロメート
ル（２〜８ミリインチ）の範囲の幅とすることができ
る。この発明の範囲において、一つまたは複数の通気溝
を有する負圧空気支承スライダは、寸法および形状につ
いて他の変更を行ってもよい。
パラメータは、ディスクドライブの動作において使われ
る空気支承スライダの異なる応用のために、変更されて
もよい。例えば、上述のレールの斜め区域は、２０度〜
６０度の間の角度で形成されてもよい。この発明の通気
溝は、２５．４〜１５２．４マイクロメートル（１〜６
ミリインチ）の範囲の幅としてもよく、中央負圧空洞部
の深さの１／８〜７／８の深さにエッチングしてもよ
い。もちろん、同じ深さとしてもよく、２．５４〜７．
６２マイクロメートル（１００〜３００マイクロイン
チ）とするこどできる。スライダの空気支承面の膨らみ
は、１２．７〜３８．１ナノメートル（０．５〜１．５
マイクロインチ）とすることができる。側段部は、２
５．４〜５０．８マイクロメートル（１〜２ミリイン
チ）の幅とすることができる。図１３〜図１６に示され
る後方パッドは、５０．８〜２０３．２マイクロメート
ル（２〜８ミリインチ）の範囲の幅とすることができ
る。この発明の範囲において、一つまたは複数の通気溝
を有する負圧空気支承スライダは、寸法および形状につ
いて他の変更を行ってもよい。
【図１】 この発明による負圧空気支承スライダの空気
支承面の平面および側面を示す図である。
支承面の平面および側面を示す図である。
【図２】 この発明の負圧空気支承スライダの中央パッ
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
【図３】 この発明の負圧空気支承スライダの中央パッ
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
【図４】 この発明の負圧空気支承スライダの中央パッ
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
ドの形が異なる実施態様の平面図である。
【図５】 変更した中央パッド構造およびスライダの側
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
【図６】 変更した中央パッド構造およびスライダの側
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
【図７】 変更した中央パッド構造およびスライダの側
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
【図８】 変更した中央パッド構造およびスライダの側
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
部レールと連係する負圧領域を有する負圧空気支承スラ
イダの異なる実施態様の平面図である。
【図９】 変更した中央パッド構造および追加の後方パ
ッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の
平面図である。
ッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の
平面図である。
【図１０】 変更した中央パッド構造および追加の後方
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
【図１１】 変更した中央パッド構造および追加の後方
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
【図１２】 変更した中央パッド構造および追加の後方
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
パッドを有する負圧空気支承スライダの異なる実施態様
の平面図である。
【図１３】 変更した中央パッド構造、スライダの側部
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
【図１４】 変更した中央パッド構造、スライダの側部
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
【図１５】 変更した中央パッド構造、スライダの側部
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
【図１６】 変更した中央パッド構造、スライダの側部
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
レールと連係する負圧領域および追加の後方パッドを有
する負圧空気支承スライダの異なる実施態様の平面図で
ある。
【図１７】 スライダ前端縁に単一の通気溝を有する負
圧空気支承スライダの平面図である。
圧空気支承スライダの平面図である。
【図１８】 図１に示すスライダの部分長さＬ３に対す
る浮上高さの変化をプロットした図である。
る浮上高さの変化をプロットした図である。
【図１９】 長さＬ３に対するスライダ横揺れの変化を
プロットした図である。
プロットした図である。
８…中央パッド、１０、１２…側部レール、１４…側刻
部、１８…負圧空洞部、１９…スライダ幅、２０…テー
パ角、２１…前端縁、２２…テーパ領域、２４…スライ
ダ、２６…２８…スライダ厚さ、３０…通気溝、３４３
６３８…レール幅広部長さ、４０…レール前端部長さ、
４２…レール幅広部幅、４６、４８、４９…中央パッ
ド、５０…レール前端部後端部幅、５１…負圧空洞部、
５２、５４…側部レール、５６…レール中央部幅、５８
…中央パッド長さ、６０…中央パッド幅、６２…通気
溝、６４…側部凹部、６６、６８、７０…中央パッド、
７２、７４…側部レール、７６…中央パッド長さ、７８
…中央パッド幅、８０…後方中央パッド幅、８２…後方
中央パッド長さ、８４…中央前方パッド、８６…側部レ
ール幅狭部、８８…側部レール幅、９０…後方中央パッ
ド、９２…負圧領域、９４…通気溝、９６…側段部、９
８、１００、１０２…中央前方パッド、１０４、１０
６、１０８、１１０…中央前端パッド、１１２、１１４
…側部レール、１１６…側部レール前端部後端部幅、１
１８…側部レール幅狭部、１２０…後方パッド、１２２
…後方パッド長さ、１２４…後方パッド幅、１２６…側
段部、１２８…中央負圧空洞部、１３０…中央前端パッ
ド長さ、１３２…中央前端パッド幅、１３３…通気溝、
１３４…側部レール幅狭部、１３６、１３８…側部レー
ル、１４０…中央負圧空洞部、１４２、１４４…前端パ
ッド、１４５…段部、１４６…パッド長さ、１４７…斜
め区域、１４８…前端パッド幅、１５０…中央通気溝、
１６０…側部レール後端部幅
部、１８…負圧空洞部、１９…スライダ幅、２０…テー
パ角、２１…前端縁、２２…テーパ領域、２４…スライ
ダ、２６…２８…スライダ厚さ、３０…通気溝、３４３
６３８…レール幅広部長さ、４０…レール前端部長さ、
４２…レール幅広部幅、４６、４８、４９…中央パッ
ド、５０…レール前端部後端部幅、５１…負圧空洞部、
５２、５４…側部レール、５６…レール中央部幅、５８
…中央パッド長さ、６０…中央パッド幅、６２…通気
溝、６４…側部凹部、６６、６８、７０…中央パッド、
７２、７４…側部レール、７６…中央パッド長さ、７８
…中央パッド幅、８０…後方中央パッド幅、８２…後方
中央パッド長さ、８４…中央前方パッド、８６…側部レ
ール幅狭部、８８…側部レール幅、９０…後方中央パッ
ド、９２…負圧領域、９４…通気溝、９６…側段部、９
８、１００、１０２…中央前方パッド、１０４、１０
６、１０８、１１０…中央前端パッド、１１２、１１４
…側部レール、１１６…側部レール前端部後端部幅、１
１８…側部レール幅狭部、１２０…後方パッド、１２２
…後方パッド長さ、１２４…後方パッド幅、１２６…側
段部、１２８…中央負圧空洞部、１３０…中央前端パッ
ド長さ、１３２…中央前端パッド幅、１３３…通気溝、
１３４…側部レール幅狭部、１３６、１３８…側部レー
ル、１４０…中央負圧空洞部、１４２、１４４…前端パ
ッド、１４５…段部、１４６…パッド長さ、１４７…斜
め区域、１４８…前端パッド幅、１５０…中央通気溝、
１６０…側部レール後端部幅
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 シウター チャン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94539 フレモント サンシメオンコート 39963 (72)発明者 ヤオティー シア アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94588 プレザントン パーマードライブ 1908 (72)発明者 ラジェンドラ バドラ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94536 フレモント ブレイスデルウェイ 159
Claims (26)
- 【請求項１】 前端縁および後端縁を持つ空気支承面を
有するとともに該両端縁の間に第一および第二の対向す
る側部を定義する負圧空気支承スライダであって、 該前端縁においてそれぞれ該第一および第二の側部に隣
接して設けられた第一および第二のテーパ領域と、 該前端縁において該第一および第二のテーパ領域の間の
ほぼ中央に設けられた第三のテーパ領域と、 それぞれ該第一および第二のテーパ領域から延びる第一
および第二の側部レールと、 該テーパ領域から延びていて該第一および第二の側部レ
ールの間に対称的にまたは中央に位置するパッド手段
と、 該パッド手段から該後端縁の方へと延びる負圧窪み空洞
部と、 該パッド手段に隣接して該前端縁から該負圧窪み空洞部
へ延びる少なくとも一つの通気溝とを備えて成るもの。 - 【請求項２】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該第一および第二の側部レールのそれぞれが、一端にお
いて第一の長方形区域を有し、各レールの後端縁におい
て第二の長方形区域を有し、該第一および第二の長方形
区域の間に斜め区域を有することを特徴とするもの。 - 【請求項３】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該斜め区域が該長方形区域に対して２０度と６０度の間
の角度で設けられた側辺を有することを特徴とするも
の。 - 【請求項４】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該前端縁通気溝が２５．４から１５２．４マイクロメー
トルの幅であることを特徴とするもの。 - 【請求項５】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該前端縁通気溝が該負圧窪み空洞部の深さと同じ深さに
食刻されていることを特徴とするもの。 - 【請求項６】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該前端縁通気溝が該負圧窪み空洞部の深さの１／８から
７／８の深さにエッチングされていることを特徴とする
もの。 - 【請求項７】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該第一および第二のレールが該第一および第二のテーパ
領域から該スライダの後端縁へと連続して延びているこ
とを特徴とするもの。 - 【請求項８】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該第一および第二のレールが該第一および第二のテーパ
領域から該スライダの後端縁へ単に部分的に延びている
ことを特徴とするもの。 - 【請求項９】 請求項１に記載の負圧空気支承スライダ
であって、 該スライダの後端縁でほぼ中央に設けられた磁気変換器
用の支持パッドを含んで成るもの。 - 【請求項１０】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該側部レールがその外側辺において窪んだ負圧領域を有
して形成されていることを特徴とするもの。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該第一および第二の側部レールが該第一および第二のテ
ーパ領域から該スライダ後端縁へ向かって単に部分的に
延びていることを特徴とするもの。 - 【請求項１２】 請求項１１に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 磁気変換器を支持するための支持パッドを含んで成り、
該支持パッドが該後端縁においてスライダの該両側部間
のほぼ中央に設けられていることを特徴とするもの。 - 【請求項１３】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該中央のパッド手段が実質的に長方形であることを特徴
とするもの。 - 【請求項１４】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該中央のパッド手段が該窪み空洞部に隣接する弧状の側
辺を有して配置形成されていることを特徴とするもの。 - 【請求項１５】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該中央のパッドが逆Ｕ字形に配置形成されていることを
特徴とするもの。 - 【請求項１６】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該窪み空洞部が２．５４〜７．６２マイクロメートルの
間の深さにエッチングされていることを特徴とするも
の。 - 【請求項１７】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 スライダの空気支承面に形成された冠状部を含んで成る
もの。 - 【請求項１８】 請求項１７に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該冠状部が１２．７〜３８．１ナノメートルの間の高さ
まで形成されていることを特徴とするもの。 - 【請求項１９】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 スライダの側部に沿って形成された側段部を含んで成る
もの。 - 【請求項２０】 請求項１９に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該側段部が２５．４〜５０．８マイクロメートルの範囲
の幅を有することを特徴とするもの。 - 【請求項２１】 請求項１に記載の負圧空気支承スライ
ダであって、 該後端縁から延びていて、スライダの該両側部間のほぼ
中央に位置する後方パッドを含んで成るもの。 - 【請求項２２】 請求項２１に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該後方パッドが約５０．８〜２０３．２マイクロメート
ルの幅であることを特徴とするもの。 - 【請求項２３】 前端縁および後端縁を持つ空気支承面
を有するとともに該両端縁の間に第一および第二の対向
する側部を定義する負圧空気支承スライダであって、 該前端縁においてそれぞれ該第一および第二の側部に隣
接して設けられた第一および第二のテーパ領域と、 それぞれ該第一および第二のテーパ領域から延びる第一
および第二の側部レールとを備え、 該側部レールのそれぞれは、第一の幅狭の長方形区域お
よび該第一の長方形区域に接続した横方向に延びるパッ
ド（これら第一の長方形区域および横方向に延びるパッ
ドはそれぞれのテーパ領域から延びている）と、該スラ
イダの後端縁に隣接する第二の長方形区域と、該第一の
長方形区域と該第二の長方形区域との間に設けられた少
なくとも一つの斜め区域を有しており、 さらに、該両側部レールの間においてスライダの該後端
縁から側部レールに接続した該パッドの方に延びる負圧
窪み領域と、 該テーパ両領域の間および該横方向に延びる両パッドの
間にほぼ中央に設けられた単一の窪んだチャンネル（こ
の窪んだチャンネルは、該前端から延びていて該負圧窪
み領域と接続している）とを備えて成るもの。 - 【請求項２４】 請求項２３に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該後端縁から延びていて、スライダの該両側部間のほぼ
中央に位置する後方パッドを含んで成るもの。 - 【請求項２５】 請求項２４に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該後方パッドが約５０．８〜２０３．２マイクロメート
ルの幅であることを特徴とするもの。 - 【請求項２６】 請求項２３に記載の負圧空気支承スラ
イダであって、 該窪みチャンネルが該負圧窪み領域の深さの１／８から
７／８の深さを有することを特徴とするもの。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US29388294A | 1994-08-19 | 1994-08-19 | |
| US08/293,882 | 1994-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08297828A true JPH08297828A (ja) | 1996-11-12 |
Family
ID=23130973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7210842A Pending JPH08297828A (ja) | 1994-08-19 | 1995-08-18 | 負圧空気支承スライダ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5568981A (ja) |
| EP (1) | EP0701249A3 (ja) |
| JP (1) | JPH08297828A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012014785A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3642821B2 (ja) * | 1995-03-17 | 2005-04-27 | 富士通株式会社 | 磁気ヘッドスライダ |
| US6760193B1 (en) * | 1995-04-07 | 2004-07-06 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Magnetic head gimbal assembly and magnetic disk unit |
| US5889634A (en) * | 1995-12-18 | 1999-03-30 | Read-Rite Corporation | Reduced-altitude-sensitive subambient pressure air bearing slider |
| US5685645A (en) * | 1996-08-13 | 1997-11-11 | Read-Rite Corporation | Roll balance sub-ambient pressure air bearing slider |
| US5777825A (en) * | 1996-09-04 | 1998-07-07 | International Business Machines Corporation | Negative pressure step pad air bearing design and method for making the same |
| JP2874667B2 (ja) * | 1996-10-23 | 1999-03-24 | 日本電気株式会社 | 浮動ヘッドスライダ |
| US5704715A (en) * | 1996-12-09 | 1998-01-06 | Read-Rite Corporation | Altitude insensitive air bearing slider |
| KR19980077979A (ko) * | 1997-04-24 | 1998-11-16 | 윤종용 | 하드디스크 드라이브의 헤드 슬라이더 |
| FR2763418B1 (fr) * | 1997-05-15 | 1999-08-06 | Silmag Sa | Patin de vol a surface reduite |
| US5986850A (en) * | 1997-06-16 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Positive pressure optical slider having wide center rail |
| US5872685A (en) * | 1997-08-22 | 1999-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flying-type negative pressure air bearing slider |
| US5917679A (en) * | 1997-08-22 | 1999-06-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Pseudo contact type negative pressure air bearing slider |
| US6239951B1 (en) * | 1997-09-22 | 2001-05-29 | Seagate Technology, Llc | Air bearing slider with increased speed sensitivity |
| US6356412B1 (en) | 1999-09-30 | 2002-03-12 | Read-Rite Corporation | Air bearing facilitating load/unload of a magnetic read/write head |
| JP3808681B2 (ja) * | 2000-01-12 | 2006-08-16 | 富士通株式会社 | ディスク装置及び負圧ヘッドスライダ |
| US6870707B1 (en) | 2000-04-27 | 2005-03-22 | Seagate Technology Llc | Disc head slider having vertically contoured features and method of fabricating vertically contoured features on a slider |
| US6501621B1 (en) | 2000-11-22 | 2002-12-31 | Matsushita Kotobuki Electronics Peripherals Of America, Inc. | Air bearing slider having improved take-off velocity |
| US6646831B1 (en) | 2000-11-22 | 2003-11-11 | Matsushita Kotobuki Electronics Peripherals Of America, Inc. | Air bearing slider having optimized etch depth ratio |
| US6920015B2 (en) * | 2001-04-03 | 2005-07-19 | Seagate Technology Llc | Disc head slider designs to reduce particle sensitivity |
| US7477486B1 (en) | 2005-12-07 | 2009-01-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Air bearing slider with a side pad having a shallow recess depth |
| US8248729B2 (en) * | 2006-11-16 | 2012-08-21 | Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. | Slider with hook-shaped air compression mechanisms near trailing edge corners |
| US7916426B2 (en) * | 2007-11-30 | 2011-03-29 | Western Digital (Fremont), Llc | Head with an air bearing surface having left and right leading pressurizing steps, each with short and long regions |
| US8081400B1 (en) | 2008-08-29 | 2011-12-20 | Western Digital (Fremont), Llc | Slider with an air-bearing surface including four pressure generating pockets for countering disruptive movement |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0786369B2 (ja) * | 1989-02-04 | 1995-09-20 | 豊田工機株式会社 | 角スライド静圧支承装置 |
| CA1323421C (en) * | 1989-03-17 | 1993-10-19 | Yiao-Tee Hsia | Disc drive slider configured to counteract roll |
| JPH0335469A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ディスク駆動装置 |
| US5098204A (en) * | 1989-11-03 | 1992-03-24 | John H. Blanz Company, Inc. | Load balanced planar bearing assembly especially for a cryogenic probe station |
| JPH0636489A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-02-10 | Read Rite Corp | 空気支持方式の磁気ヘッドスライダ |
| DE4222140C2 (de) * | 1992-07-06 | 1994-06-16 | Heinzl Joachim | Aerostatisches Miniaturlager |
| JPH0652646A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 浮動ヘッドスライダ |
| US5438467A (en) * | 1992-10-28 | 1995-08-01 | International Business Machines Corporation | Negative pressure air bearing design |
-
1995
- 1995-04-10 US US08/419,760 patent/US5568981A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-17 EP EP95112971A patent/EP0701249A3/en not_active Withdrawn
- 1995-08-18 JP JP7210842A patent/JPH08297828A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012014785A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | ヘッドおよびこれを備えたディスク装置 |
| US8320082B2 (en) | 2010-06-30 | 2012-11-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Head with guide groove in center rail and ribs extending along air intake groove and disk device with the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0701249A2 (en) | 1996-03-13 |
| EP0701249A3 (en) | 1996-07-17 |
| US5568981A (en) | 1996-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08297828A (ja) | 負圧空気支承スライダ | |
| US6178064B1 (en) | Air bearing slider with shaped taper | |
| JP2781467B2 (ja) | 空気支持によるディスクヘッドのスライダー | |
| US6504682B1 (en) | Disc head slider having recessed, channeled rails for reduced stiction | |
| US5359480A (en) | Magnetic head air bearing slider | |
| US6771468B1 (en) | Slider with high pitch-stiffness air bearing design | |
| JP2689373B2 (ja) | 磁気ヘツド用滑動子 | |
| US5343343A (en) | Air bearing slider with relieved rail ends | |
| US4218715A (en) | Magnetic head slider assembly | |
| US6229672B1 (en) | High gram load air bearing geometry for a tripad slider | |
| US3855625A (en) | Magnetic head slider assembly | |
| KR0145029B1 (ko) | 자기 기록 디스크 드라이브 및 변환기 조립체 | |
| US4475135A (en) | Magnetic head air bearing slider | |
| US6515831B1 (en) | Disc head slider having leading and trailing channeled rails for enhanced damping | |
| US5210666A (en) | Self-loading air bearing slider with a relieved leading edge | |
| US6072662A (en) | Magnetic head slider with U-shaped and/or V-shaped portions | |
| US5721650A (en) | Self-loading disc head slider having blunt cross rail | |
| US6710976B2 (en) | Disk head slider having air bearing pressure relief features | |
| JPH0468706B2 (ja) | ||
| JP3207269B2 (ja) | 磁気記録用フライトスライダー | |
| US6606222B1 (en) | Convergent channel, trenched disc head slider | |
| US6678119B1 (en) | Disc head slider having rails with enclosed depressions | |
| US5754367A (en) | Air bearing slider having etched and shaped leading edge taper | |
| JP2765952B2 (ja) | 浮動ヘツドスライダ | |
| US5685645A (en) | Roll balance sub-ambient pressure air bearing slider |