JPH082563Y2 - 測長装置 - Google Patents
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- JPH082563Y2 JPH082563Y2 JP914892U JP914892U JPH082563Y2 JP H082563 Y2 JPH082563 Y2 JP H082563Y2 JP 914892 U JP914892 U JP 914892U JP 914892 U JP914892 U JP 914892U JP H082563 Y2 JPH082563 Y2 JP H082563Y2
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本願考案は、光学式の測長装置に
係わり、特に位置検出の基準となる原点を複数有する測
長装置に関するものである。
係わり、特に位置検出の基準となる原点を複数有する測
長装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】工作機械の加工テーブル等に取り付けら
れ、例えば工具に対する加工テーブルの相対的な移動量
を読み取る際に測長装置が使用される。そしてこの測長
装置の一例として光学式の測長装置がある。
れ、例えば工具に対する加工テーブルの相対的な移動量
を読み取る際に測長装置が使用される。そしてこの測長
装置の一例として光学式の測長装置がある。
【0003】光学式の測長装置の構成として、工作機械
等に直接取り付けられるスケールユニットと、このスケ
ールユニットからの検出信号に基づいて、実際の移動量
を求め、これを表示したりするカウンタユニットから構
成される。
等に直接取り付けられるスケールユニットと、このスケ
ールユニットからの検出信号に基づいて、実際の移動量
を求め、これを表示したりするカウンタユニットから構
成される。
【0004】さらに詳述すると、図5の概略図に示すよ
うに、スケールユニットAは、ガラス板等からなるスケ
ール本体1と、このスケール本体1に対し相対移動する
検出ヘッド2から構成されている。またスケール本体1
には、Cr等を蒸着してエッチング処理することによ
り、金属膜からなる目盛1aがストライプ状に形成され
ている。このほかスケール本体1には、前記目盛1aの
上部に原点マーク1bが設けられている。
うに、スケールユニットAは、ガラス板等からなるスケ
ール本体1と、このスケール本体1に対し相対移動する
検出ヘッド2から構成されている。またスケール本体1
には、Cr等を蒸着してエッチング処理することによ
り、金属膜からなる目盛1aがストライプ状に形成され
ている。このほかスケール本体1には、前記目盛1aの
上部に原点マーク1bが設けられている。
【0005】また検出ヘッド2には、前記スケール本体
1を挟んで、一方に光源3が、他方にスリット4、5な
らびに光電変換素子6、7が設けられている。さらにス
リット4は、原点マーク1bに対応して設けられ、スリ
ット4ならびに原点マーク1bを通過した光源3からの
光を、光電変換素子6で受光する構成である。
1を挟んで、一方に光源3が、他方にスリット4、5な
らびに光電変換素子6、7が設けられている。さらにス
リット4は、原点マーク1bに対応して設けられ、スリ
ット4ならびに原点マーク1bを通過した光源3からの
光を、光電変換素子6で受光する構成である。
【0006】このほかスリット5は、目盛1aに対し傾
斜して設けられている。そして光源3からの光は、スリ
ット5と目盛1aとでモアレ縞として現れ、光電変換素
子7a、7bは、モアレ縞の位相が90度ずれて検出で
きる位置に配設されている。そして2つの光電変換素子
7a、7bでの検出信号に基づいて、スケール本体1に
対する検出ヘッド1の移動方向ならびに移動量を求める
ことができる。
斜して設けられている。そして光源3からの光は、スリ
ット5と目盛1aとでモアレ縞として現れ、光電変換素
子7a、7bは、モアレ縞の位相が90度ずれて検出で
きる位置に配設されている。そして2つの光電変換素子
7a、7bでの検出信号に基づいて、スケール本体1に
対する検出ヘッド1の移動方向ならびに移動量を求める
ことができる。
【0007】次に図6、図7を用いて加工の基準となる
原点の求め方を説明する。図6は、スケール本体1に形
成された原点マーク1bと、検出ヘッド2のスリット4
とを模式的に示した図である。また図7は、原点マーク
付近での光電変換素子6の受光量の変化を示したグラフ
で、縦軸に受光量を、横軸に移動位置を示している。
原点の求め方を説明する。図6は、スケール本体1に形
成された原点マーク1bと、検出ヘッド2のスリット4
とを模式的に示した図である。また図7は、原点マーク
付近での光電変換素子6の受光量の変化を示したグラフ
で、縦軸に受光量を、横軸に移動位置を示している。
【0008】図6に示すように原点マーク1bとスリッ
ト4は、ネガ・ポジの関係にパターンが形成されてい
る。そしてスケール本体1に対し検出ヘッド2が相対移
動すると、原点マーク1bがスリット4に対し移動し、
双方の重なり具合いが変化する。そして原点マーク1b
の動きによって、光電変換素子6での受光量が変化す
る。
ト4は、ネガ・ポジの関係にパターンが形成されてい
る。そしてスケール本体1に対し検出ヘッド2が相対移
動すると、原点マーク1bがスリット4に対し移動し、
双方の重なり具合いが変化する。そして原点マーク1b
の動きによって、光電変換素子6での受光量が変化す
る。
【0009】光電変換素子6の受光量は、図7に示すよ
うに原点マーク1bとスリット4が、完全に重なった際
に最小となるピーク波形を生じ、これを図示しないピー
クホールド回路によって基準値と比較し、パルス状の原
点出力波形とする。そうして図示しないカウンタユニッ
トによって原点出力波形を検出し原点信号とするもので
ある。
うに原点マーク1bとスリット4が、完全に重なった際
に最小となるピーク波形を生じ、これを図示しないピー
クホールド回路によって基準値と比較し、パルス状の原
点出力波形とする。そうして図示しないカウンタユニッ
トによって原点出力波形を検出し原点信号とするもので
ある。
【0010】
【考案が解決しようとする課題】ところで、原点マーク
1bは、使用する測長装置の目的によって(例えば、工
作機械の加工の種類やユーザの使い勝手によって)、ス
ケール本体1の中央部に設けたり端部に設けたり、種々
異なるものである。従来の方式では、原点マーク1bの
位置は直接スケール本体1に設けられ、またスリット4
も検出ヘッド2に直接形成されるので、スケール本体1
を形成した後、原点位置を変更することはできなっか
た。
1bは、使用する測長装置の目的によって(例えば、工
作機械の加工の種類やユーザの使い勝手によって)、ス
ケール本体1の中央部に設けたり端部に設けたり、種々
異なるものである。従来の方式では、原点マーク1bの
位置は直接スケール本体1に設けられ、またスリット4
も検出ヘッド2に直接形成されるので、スケール本体1
を形成した後、原点位置を変更することはできなっか
た。
【0011】そのためユーザーは、測長装置を購入する
際にあらかじめ原点位置を指定しなければならない。逆
に製造者側では、ユーザーによって原点位置のみ異なる
測長装置が多数存在し、大量生産ができないという製造
上の問題が生じる。また管理の上でも煩雑になるという
問題があった。
際にあらかじめ原点位置を指定しなければならない。逆
に製造者側では、ユーザーによって原点位置のみ異なる
測長装置が多数存在し、大量生産ができないという製造
上の問題が生じる。また管理の上でも煩雑になるという
問題があった。
【0012】本考案は上述した問題に鑑みてなされたも
のであり、加工位置の基準となる原点をいくつか選択可
能な測長装置を提供することを目的とする。
のであり、加工位置の基準となる原点をいくつか選択可
能な測長装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本考案の構成は、スケー
ル本体に一定の間隔で形成された金属膜等からなる測定
用の目盛と、測定位置の基準となる原点マークを有し、
スケール本体に対し相対移動する検出ヘッドには、光源
と、測定用のスリットならびに原点検出用のスリット
と、光電変換素子が設けられ、光源からの光をスケール
本体ならびにスリットを通して光電変換素子で受光し、
スケール本体と検出ヘッドの相対位置を検出する測長装
置において、前記原点検出用のスリットは、検出ヘッド
に対し回動自在に保持・固定され、かつ前記原点マーク
は原点検出用のスリットと対応する形状で、それぞれ異
なる回動角度位置で複数スケール本体に配設されたもの
である。
ル本体に一定の間隔で形成された金属膜等からなる測定
用の目盛と、測定位置の基準となる原点マークを有し、
スケール本体に対し相対移動する検出ヘッドには、光源
と、測定用のスリットならびに原点検出用のスリット
と、光電変換素子が設けられ、光源からの光をスケール
本体ならびにスリットを通して光電変換素子で受光し、
スケール本体と検出ヘッドの相対位置を検出する測長装
置において、前記原点検出用のスリットは、検出ヘッド
に対し回動自在に保持・固定され、かつ前記原点マーク
は原点検出用のスリットと対応する形状で、それぞれ異
なる回動角度位置で複数スケール本体に配設されたもの
である。
【0014】また前記原点検出用のスリットは、検出ヘ
ッドに対し取り換え可能に設けられ、かつ前記原点マー
クは、それぞれ異なる傾斜角度位置で複数スケール本体
に配設され、選択すべき原点マークに応じた原点検出用
のスリットを検出ヘッドに取り付けたものである。
ッドに対し取り換え可能に設けられ、かつ前記原点マー
クは、それぞれ異なる傾斜角度位置で複数スケール本体
に配設され、選択すべき原点マークに応じた原点検出用
のスリットを検出ヘッドに取り付けたものである。
【0015】
【作用】以上のような構成であるから、原点マークの回
動角度位置に応じて原点検出用のスリットの傾斜位置を
変えることができる。
動角度位置に応じて原点検出用のスリットの傾斜位置を
変えることができる。
【0016】
【実施例】以下図面を用いて本考案を詳細に説明する。
図1は本考案の測長装置の一例を示したもので、(a)
はスケールユニットを示した概略図であり、(b)はそ
の要部拡大図である。
図1は本考案の測長装置の一例を示したもので、(a)
はスケールユニットを示した概略図であり、(b)はそ
の要部拡大図である。
【0017】スケールユニットBは、ガラス板等からな
るスケール本体11と、このスケール本体11に対し相
対移動する検出ヘッド13から構成されている。このス
ケール本体11には、従来と同様金属膜からなる目盛1
1aがストライプ状に多数形成されている。またスケー
ル本体11には、前記目盛11aの上方で、両端部と中
央位置に原点マーク12a、12b、12cが形成され
ている。この原点マーク12a、12b、12cは、ほ
ぼ同一パターン形状のスリットからなり、このスリット
を回動角度が異なるように設けたものである。
るスケール本体11と、このスケール本体11に対し相
対移動する検出ヘッド13から構成されている。このス
ケール本体11には、従来と同様金属膜からなる目盛1
1aがストライプ状に多数形成されている。またスケー
ル本体11には、前記目盛11aの上方で、両端部と中
央位置に原点マーク12a、12b、12cが形成され
ている。この原点マーク12a、12b、12cは、ほ
ぼ同一パターン形状のスリットからなり、このスリット
を回動角度が異なるように設けたものである。
【0018】また検出ヘッド13は、略コ字形のホルダ
13aにスケール本体11を挟んで、一方に光源14
が、他方に原点検出用のスリット16、測長用のスリッ
ト15、ならびに光電変換素子19、20が設けられて
いる。なお前記スリット16は、ホルダ13aに対し回
動可能に支持されたスリット支持体18に形成されてい
る。またホルダ13aには、調整歯車17が回動可能に
保持され、スリット16の外周部18aが、調整歯車1
7に噛合する構成である。そうして調整歯車17を回動
させることにより、スリット支持体18が回動し、スリ
ット16の回動角度位置を変えることができる。
13aにスケール本体11を挟んで、一方に光源14
が、他方に原点検出用のスリット16、測長用のスリッ
ト15、ならびに光電変換素子19、20が設けられて
いる。なお前記スリット16は、ホルダ13aに対し回
動可能に支持されたスリット支持体18に形成されてい
る。またホルダ13aには、調整歯車17が回動可能に
保持され、スリット16の外周部18aが、調整歯車1
7に噛合する構成である。そうして調整歯車17を回動
させることにより、スリット支持体18が回動し、スリ
ット16の回動角度位置を変えることができる。
【0019】このほかホルダ13aには、測定用のスリ
ット15が形成されている。またスリット15は、スケ
ール本体11の目盛11aに対し傾斜したスリットであ
り、前記目盛11aとでモアレ縞を形成するものであ
る。
ット15が形成されている。またスリット15は、スケ
ール本体11の目盛11aに対し傾斜したスリットであ
り、前記目盛11aとでモアレ縞を形成するものであ
る。
【0020】そうして光源14からの光を原点マーク1
2a、12b、12c、ならびにスリット16を通して
光電変換素子20で検出するものである。また光源14
からの光は、目盛11aならびにスリット15を通して
モアレ縞を形成し、このモアレ縞に対し位相の異なる位
置に光電変換素子19a、19bが設けられている。
2a、12b、12c、ならびにスリット16を通して
光電変換素子20で検出するものである。また光源14
からの光は、目盛11aならびにスリット15を通して
モアレ縞を形成し、このモアレ縞に対し位相の異なる位
置に光電変換素子19a、19bが設けられている。
【0021】次に図2、図3、を用いて原点位置の選定
について説明する。図2(a)、(b)、(c)は、そ
れぞれ原点マーク12a、12b、12cとスリット1
6の重なりを示したもので、図3(a)、(b)(c)
はそれぞれ原点マーク12a、12b、12c付近での
光電変換素子20の受光量を示したグラフである。なお
原点位置は、スケール本体11の中央に形成された原点
マーク12bを選択する場合を例として説明する。
について説明する。図2(a)、(b)、(c)は、そ
れぞれ原点マーク12a、12b、12cとスリット1
6の重なりを示したもので、図3(a)、(b)(c)
はそれぞれ原点マーク12a、12b、12c付近での
光電変換素子20の受光量を示したグラフである。なお
原点位置は、スケール本体11の中央に形成された原点
マーク12bを選択する場合を例として説明する。
【0022】まず検出ヘッド13のスリット支持体18
を調整歯車17によって回動させて、スリット16の回
動角度を原点検出マーク12bの回動角度に一致させ
る。仮に原点マーク12a、12cが、原点検出マーク
12bに対し+10度、−10度回動した位置にずれて
いたとすると、原点マーク12a、12b、12cとス
リット16の位置関係ならびに光電変換素子19a、1
9bの検出状態は次のようになる。
を調整歯車17によって回動させて、スリット16の回
動角度を原点検出マーク12bの回動角度に一致させ
る。仮に原点マーク12a、12cが、原点検出マーク
12bに対し+10度、−10度回動した位置にずれて
いたとすると、原点マーク12a、12b、12cとス
リット16の位置関係ならびに光電変換素子19a、1
9bの検出状態は次のようになる。
【0023】まず図2(a)に示すように、スリット1
6と原点マーク12aとは回動角度(傾斜角度)が異な
り、両者は完全に重ならない。そしてその隙間から光源
14からの光が漏れ、光電変換素子20での検出値は、
図3(a)に示すように基準値に達しない。
6と原点マーク12aとは回動角度(傾斜角度)が異な
り、両者は完全に重ならない。そしてその隙間から光源
14からの光が漏れ、光電変換素子20での検出値は、
図3(a)に示すように基準値に達しない。
【0024】同様に図2(c)に示すように、スリット
16と原点マーク12cとは、回動角度(傾斜角度)が
異なり、両者は完全に重ならない。そして光電変換素子
20での検出値は、図3(c)に示すように基準値に達
しない。
16と原点マーク12cとは、回動角度(傾斜角度)が
異なり、両者は完全に重ならない。そして光電変換素子
20での検出値は、図3(c)に示すように基準値に達
しない。
【0025】これに対して、図2(b)に示すように原
点マーク12bとスリット16は、両者の回動角度(傾
斜角度)が等しいので完全に重なる。そして図3(b)
に示すように光電変換素子20での受光量が最も減少
し、その検出値が基準値に達し、ピークホールド回路等
によって原点位置の位置信号が出力される。このように
原点マーク12a、12b、12c、の傾斜角度に、ス
リット16の回動角度を合わせることにより、原点位置
を選択的に検出することができる。
点マーク12bとスリット16は、両者の回動角度(傾
斜角度)が等しいので完全に重なる。そして図3(b)
に示すように光電変換素子20での受光量が最も減少
し、その検出値が基準値に達し、ピークホールド回路等
によって原点位置の位置信号が出力される。このように
原点マーク12a、12b、12c、の傾斜角度に、ス
リット16の回動角度を合わせることにより、原点位置
を選択的に検出することができる。
【0026】
【他の実施例】また図4(a)、(b)は、本考案の測
長装置の他の実施例を示した概略図で、スケール本体の
形状は前実施例と同様で、検出ヘッドのホルダ形状が異
なるものである。検出ヘッド30は、従来と同様略コ字
形の断面形状のホルダ31を有する構成である。そして
ホルダ31には、挿入凹部31aが形成され、この凹部
31aに、原点検出用のスリット33が形成されたスリ
ット保持部32が嵌装された構成である。
長装置の他の実施例を示した概略図で、スケール本体の
形状は前実施例と同様で、検出ヘッドのホルダ形状が異
なるものである。検出ヘッド30は、従来と同様略コ字
形の断面形状のホルダ31を有する構成である。そして
ホルダ31には、挿入凹部31aが形成され、この凹部
31aに、原点検出用のスリット33が形成されたスリ
ット保持部32が嵌装された構成である。
【0027】このスリット33は、図示しないスケール
本体の原点マークの一つに、傾斜角度が一致するように
設けられている。またホルダ31には、測定用のスリッ
ト34が形成されている。そうして、図示しないが前実
施例と同様に、光源からの光をスケール本体に形成され
た原点マークならびにスリット33を通して光電変換素
子で検出し、複数の原点マークの内、検出値が基準値を
越えたところを原点とするものである。
本体の原点マークの一つに、傾斜角度が一致するように
設けられている。またホルダ31には、測定用のスリッ
ト34が形成されている。そうして、図示しないが前実
施例と同様に、光源からの光をスケール本体に形成され
た原点マークならびにスリット33を通して光電変換素
子で検出し、複数の原点マークの内、検出値が基準値を
越えたところを原点とするものである。
【0028】そうして図4(b)に示すように、原点マ
ークに対応して傾斜角の異なるスリット42を有するス
リット保持部41を用意して、前記ホルダ31に対しス
リット保持部32と交換すれば、別の位置の原点を検出
することができる。
ークに対応して傾斜角の異なるスリット42を有するス
リット保持部41を用意して、前記ホルダ31に対しス
リット保持部32と交換すれば、別の位置の原点を検出
することができる。
【0029】
【効果】以上のように本考案の測長装置は、スケール本
体に、異なる回動角度位置で原点マークを複数箇所に形
成し、対する検出ヘッドには、原点検出用のスリットを
回動自在に保持・固定できるようにし、選択すべき原点
マークに応じて前記スリットの回動角度を換えられるよ
うにしたものである。
体に、異なる回動角度位置で原点マークを複数箇所に形
成し、対する検出ヘッドには、原点検出用のスリットを
回動自在に保持・固定できるようにし、選択すべき原点
マークに応じて前記スリットの回動角度を換えられるよ
うにしたものである。
【0030】また他の構成として、原点検出用のスリッ
トが形成されたスリット部を、検出ヘッドから交換可能
に設け、あらかじめ原点マークの傾斜角に応じたスリッ
ト保持部をいくつか用意し、選択すべき原点マークの傾
斜角度に応じて交換するものである。
トが形成されたスリット部を、検出ヘッドから交換可能
に設け、あらかじめ原点マークの傾斜角に応じたスリッ
ト保持部をいくつか用意し、選択すべき原点マークの傾
斜角度に応じて交換するものである。
【0031】したがってユーザーは、複数の原点を希望
に応じて選択することができ、選択の幅が広がることか
ら、複数の加工にも対応でき、ユーザーの使い勝手がよ
くなる。また測長装置を製造する側でも、従来原点位置
の違いにより個別に生産し管理していたものを、集約し
た生産が可能となり、しかも管理が大幅に簡素化できる
効果がある。
に応じて選択することができ、選択の幅が広がることか
ら、複数の加工にも対応でき、ユーザーの使い勝手がよ
くなる。また測長装置を製造する側でも、従来原点位置
の違いにより個別に生産し管理していたものを、集約し
た生産が可能となり、しかも管理が大幅に簡素化できる
効果がある。
【図1】図1は本考案の測長装置の一例を示したもの
で、(a)はスケールユニットを示した概略図であり、
(b)はその要部拡大図である。
で、(a)はスケールユニットを示した概略図であり、
(b)はその要部拡大図である。
【図2】(a)、(b)、(c)は、原点マークと検出
用のスリットとの重なり具合いを示した模式図である。
用のスリットとの重なり具合いを示した模式図である。
【図3】(a)、(b)、(c)は、光電変換素子の検
出値を示したグラフである。
出値を示したグラフである。
【図4】本考案の他の実施例を示した概略図で、(a)
は検出ヘッドの要部拡大図であり、(b)は、スリット
部を示した図である。
は検出ヘッドの要部拡大図であり、(b)は、スリット
部を示した図である。
【図5】従来のスケールユニットの概略図。
【図6】原点マーク、検出ヘッドのスリットとを模式的
に示した図である。
に示した図である。
【図7】光電変換素子の受光量の変化を示したグラフで
ある。
ある。
11 スケール本体 11a 測定用の目盛り 12a 原点マーク 12b 原点マーク 12c 原点マーク 13 検出ヘッド 14 光源 15 測定用のスリット 16 原点マーク検出用スリット 17 調整歯車 18 スリット支持体 19 光電変換素子 20 光電変換素子 32 スリット保持部 33 原点検出用のスリット 34 測定用のスリット
Claims (2)
- 【請求項1】 スケール本体に一定の間隔で形成された
金属膜等からなる測定用の目盛と、測定位置の基準とな
る原点マークを有し、スケール本体に対し相対移動する
検出ヘッドには、光源と、測定用のスリットならびに原
点検出用のスリットと、光電変換素子が設けられ、光源
からの光をスケール本体ならびにスリットを通して光電
変換素子で受光し、スケール本体と検出ヘッドの相対位
置を検出する測長装置において、前記原点検出用のスリ
ットは、検出ヘッドに対し回動自在に保持・固定され、
かつ前記原点マークは原点検出用のスリットと対応する
形状で、それぞれ異なる回動角度位置で複数スケール本
体に配設されたことを特徴とする測長装置。 - 【請求項2】 スケール本体に一定の間隔で形成された
金属膜等からなる測定用の目盛と、測定位置の基準とな
る原点マークを有し、スケール本体に対し相対移動する
検出ヘッドには、光源と、測定用のスリットならびに原
点検出用のスリットと、光電変換素子が設けられ、光源
からの光をスケール本体ならびにスリットを通して光電
変換素子で受光し、スケール本体と検出ヘッドの相対位
置を検出する測長装置において、前記原点検出用のスリ
ットは、検出ヘッドに対し取り換え可能に設けられ、か
つ前記原点マークは、それぞれ異なる傾斜角度位置で複
数スケール本体に配設され、選択すべき原点マークに応
じた原点検出用のスリットを検出ヘッドに取り付けたこ
とを特徴とする測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP914892U JPH082563Y2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP914892U JPH082563Y2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562804U JPH0562804U (ja) | 1993-08-20 |
| JPH082563Y2 true JPH082563Y2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=11712543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP914892U Expired - Fee Related JPH082563Y2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH082563Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100393281B1 (ko) * | 2000-07-20 | 2003-07-31 | (주)세기엔지니어링 | 광학소자를 이용한 길이 및 경사도 측정장치 및 방법 |
| KR100393282B1 (ko) * | 2000-07-20 | 2003-07-31 | (주)세기엔지니어링 | 광도파로를 이용한 미세 길이 및 기울기 측정장치 및 방법 |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP914892U patent/JPH082563Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0562804U (ja) | 1993-08-20 |
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