JPH0826734A - Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末 - Google Patents
Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末Info
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- JPH0826734A JPH0826734A JP6186624A JP18662494A JPH0826734A JP H0826734 A JPH0826734 A JP H0826734A JP 6186624 A JP6186624 A JP 6186624A JP 18662494 A JP18662494 A JP 18662494A JP H0826734 A JPH0826734 A JP H0826734A
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- magnetic garnet
- garnet oxide
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/34—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites
- H01F1/342—Oxides
- H01F1/344—Ferrites, e.g. having a cubic spinel structure (X2+O)(Y23+O3), e.g. magnetite Fe3O4
- H01F1/346—[(TO4) 3] with T= Si, Al, Fe, Ga
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- Magnetic Ceramics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 粒子径が小さく、かつ径の分布がシャープ
で、異方的な粒子形状を有するCa−V系磁性ガーネッ
ト酸化物粉末を供する。 【構成】 Fe、Ca、V、およびYを含む少なくとも
1種類の希土類元素からなるCa−V系磁性ガーネット
酸化物粉末であって、前記各元素の硝酸塩とアミノ酸と
の錯体の溶液を、その溶媒の沸点以上の温度で加熱して
得られた粉末である。
で、異方的な粒子形状を有するCa−V系磁性ガーネッ
ト酸化物粉末を供する。 【構成】 Fe、Ca、V、およびYを含む少なくとも
1種類の希土類元素からなるCa−V系磁性ガーネット
酸化物粉末であって、前記各元素の硝酸塩とアミノ酸と
の錯体の溶液を、その溶媒の沸点以上の温度で加熱して
得られた粉末である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、Ca−V系磁性ガーネ
ットの原料となる高純度で、組成が均一で、かつ微細粒
径のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末とその製造方
法に関する。
ットの原料となる高純度で、組成が均一で、かつ微細粒
径のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末とその製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】以前より、Ca−V系磁性ガーネット材
料はマイクロ波アイソレータ用材料として用いられてい
る。このアイソレータ用の材料としては低磁界損失が小
さく、飽和磁化の小さいことが要求されるが、Ca−V
系磁性ガーネット材料はこれらの条件を満たす優れた材
料である。ところで、従来のCa−V系磁性ガーネット
酸化物粉末の製造には、一般的な粉末冶金による固相反
応を利用した製法や共沈法が用いられてきた。
料はマイクロ波アイソレータ用材料として用いられてい
る。このアイソレータ用の材料としては低磁界損失が小
さく、飽和磁化の小さいことが要求されるが、Ca−V
系磁性ガーネット材料はこれらの条件を満たす優れた材
料である。ところで、従来のCa−V系磁性ガーネット
酸化物粉末の製造には、一般的な粉末冶金による固相反
応を利用した製法や共沈法が用いられてきた。
【0003】前者においては、Ca−V系磁性ガーネッ
トの構成元素であるFe、Ca、V、および希土類元素
(但し、Yを含む)等の酸化物粉末を目標組成になるよ
うに秤量し、湿式もしくは乾式で混合し、乾燥、熱処理
を施して製造する。
トの構成元素であるFe、Ca、V、および希土類元素
(但し、Yを含む)等の酸化物粉末を目標組成になるよ
うに秤量し、湿式もしくは乾式で混合し、乾燥、熱処理
を施して製造する。
【0004】又、共沈法においては、目標の組成になる
ように調整した硝酸塩混合水溶液に、アンモニア水等の
アルカリ溶液をPHが9〜11前後になるように加え、
共沈澱物を得る。この共沈澱物を蒸留水等で充分に洗浄
し、遠心分離機等により脱水した後、乾燥し、500〜
700℃で熱処理して磁性ガーネット粉末を製造する。
ように調整した硝酸塩混合水溶液に、アンモニア水等の
アルカリ溶液をPHが9〜11前後になるように加え、
共沈澱物を得る。この共沈澱物を蒸留水等で充分に洗浄
し、遠心分離機等により脱水した後、乾燥し、500〜
700℃で熱処理して磁性ガーネット粉末を製造する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の一般的な粉末冶
金法により、Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末を製
造しようとする場合、Fe、Ca、V、および希土類元
素(但し、Yを含む)の酸化物原料粉末を均一に混合す
ることは非常に難しく、分散剤を溶媒に加えて粉末同志
の凝集を防ぎながら長時間混合しなければならない。長
時間混合する場合には、外部やボールミル装置等から不
純物が混入する可能性があり、製造工程の管理が難し
い。又長時間混合することはコストアップにもつなが
る。特に湿式混合の場合では、脱水、乾燥の工程を経た
後、熱処理を施さなければならないため非常に手間がか
かりコスト高の要因となっている。
金法により、Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末を製
造しようとする場合、Fe、Ca、V、および希土類元
素(但し、Yを含む)の酸化物原料粉末を均一に混合す
ることは非常に難しく、分散剤を溶媒に加えて粉末同志
の凝集を防ぎながら長時間混合しなければならない。長
時間混合する場合には、外部やボールミル装置等から不
純物が混入する可能性があり、製造工程の管理が難し
い。又長時間混合することはコストアップにもつなが
る。特に湿式混合の場合では、脱水、乾燥の工程を経た
後、熱処理を施さなければならないため非常に手間がか
かりコスト高の要因となっている。
【0006】又、一般的な粉末冶金による製造方法にお
いては、熱処理の段階における反応が固相反応であるた
め、均一に構成元素同志を反応させることは非常に困難
で、均一な組成のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末
を得ることは難しい。
いては、熱処理の段階における反応が固相反応であるた
め、均一に構成元素同志を反応させることは非常に困難
で、均一な組成のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末
を得ることは難しい。
【0007】一方、共沈法の場合には、組成の均一な粉
末は得られるが、反応に時間がかかるため量産に適して
いない。
末は得られるが、反応に時間がかかるため量産に適して
いない。
【0008】近年、積層タイプのアイソレータへの応用
が考えられており、平均粒径0.5μm以下でかつ粒度
分布の狭いCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末の要求
が高まってきている。しかし、粉末冶金的な製造方法で
は、出発原料の粉末の平均粒径が既に0.5μm以上あ
り、更に、熱処理を施すため粒成長を引き起こし、この
要求に応えることができない。一方、共沈法によっても
500〜700℃で熱処理を施さねばならず、この熱処
理により粒成長が進み、上記の要求を満たすことができ
ない。従って、粒径が大きいことから、固相反応を完結
するためには、焼成温度が1300℃以上となり、層状
の磁性粉末と導体との一体焼成を可能とするためには、
内部導体あるいは電極は、融点の高いPd系合金を使わ
なければならず、低コスト化のためにも焼成温度の低下
が可能なCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末が望まれ
ている。
が考えられており、平均粒径0.5μm以下でかつ粒度
分布の狭いCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末の要求
が高まってきている。しかし、粉末冶金的な製造方法で
は、出発原料の粉末の平均粒径が既に0.5μm以上あ
り、更に、熱処理を施すため粒成長を引き起こし、この
要求に応えることができない。一方、共沈法によっても
500〜700℃で熱処理を施さねばならず、この熱処
理により粒成長が進み、上記の要求を満たすことができ
ない。従って、粒径が大きいことから、固相反応を完結
するためには、焼成温度が1300℃以上となり、層状
の磁性粉末と導体との一体焼成を可能とするためには、
内部導体あるいは電極は、融点の高いPd系合金を使わ
なければならず、低コスト化のためにも焼成温度の低下
が可能なCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末が望まれ
ている。
【0009】又、積層タイプのアイソレータを作製する
場合、層状の磁性層を形成するのに、Ca−V系磁性ガ
ーネット酸化物粉末の粒子形状は、異方的なものが望ま
しい。しかし、粉末冶金法、共沈法、いずれの製法によ
っても異方的な形状を有する粉末粒子を得ることができ
ない。
場合、層状の磁性層を形成するのに、Ca−V系磁性ガ
ーネット酸化物粉末の粒子形状は、異方的なものが望ま
しい。しかし、粉末冶金法、共沈法、いずれの製法によ
っても異方的な形状を有する粉末粒子を得ることができ
ない。
【0010】従って、本発明の技術的課題は、従来の粉
末冶金法、あるいは共沈法等の製法で得られた粉末より
も微粒で、粒度が揃っており、かつ異方的な形状を有す
るCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末、およびその製
法を供するものである。
末冶金法、あるいは共沈法等の製法で得られた粉末より
も微粒で、粒度が揃っており、かつ異方的な形状を有す
るCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末、およびその製
法を供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】Fe、Ca、V、および
Yを含む希土類元素の少なくとも1種(R)からなる磁
性ガーネット酸化物粉末において、Ca、Fe、V、お
よびRの硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を溶媒の沸点
以上の温度で加熱して得られたCa−V系磁性ガーネッ
ト酸化物粉末は、積層タイプのアイソレータにも適用可
能な磁性粉末である。
Yを含む希土類元素の少なくとも1種(R)からなる磁
性ガーネット酸化物粉末において、Ca、Fe、V、お
よびRの硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を溶媒の沸点
以上の温度で加熱して得られたCa−V系磁性ガーネッ
ト酸化物粉末は、積層タイプのアイソレータにも適用可
能な磁性粉末である。
【0012】
【作用】Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末の構成元
素の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を、その溶媒の沸
点以上の温度で加熱すると、自己燃焼反応が起こり、組
成の均一なCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末が得ら
れる。この反応は非常に速やかに起こるため、量産性が
高い。更に、反応が瞬時に進むことから粒成長が起こら
ないため、平均粒径が0.5μm以下で粒度分布の幅の
狭いCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末を製造するこ
とができる。
素の硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を、その溶媒の沸
点以上の温度で加熱すると、自己燃焼反応が起こり、組
成の均一なCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末が得ら
れる。この反応は非常に速やかに起こるため、量産性が
高い。更に、反応が瞬時に進むことから粒成長が起こら
ないため、平均粒径が0.5μm以下で粒度分布の幅の
狭いCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末を製造するこ
とができる。
【0013】又、現在の所、技術的な根拠は不明ではあ
るが、異方的な形状の粉末の製造が可能である。
るが、異方的な形状の粉末の製造が可能である。
【0014】更に、本発明により製造された粉末を基板
に塗布した後、熱処理することにより、Ca−V系磁性
ガーネットの厚膜の製造が可能である。
に塗布した後、熱処理することにより、Ca−V系磁性
ガーネットの厚膜の製造が可能である。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0016】(実施例1)Ca、V、Y、Feの硝酸塩
を組成が(Ca1.4Y1.6)(Fe1/3V2/3)5O1 2とな
るように秤量し、純水中に溶解させ、その溶液中にアミ
ノ酸を15wt%となるように添加し、よく混合した。
次に、この溶液を300℃に加熱し、水分を蒸発させ
た。水分蒸発後、溶液の残留物は自己燃焼反応を起こ
し、Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末を得た。
を組成が(Ca1.4Y1.6)(Fe1/3V2/3)5O1 2とな
るように秤量し、純水中に溶解させ、その溶液中にアミ
ノ酸を15wt%となるように添加し、よく混合した。
次に、この溶液を300℃に加熱し、水分を蒸発させ
た。水分蒸発後、溶液の残留物は自己燃焼反応を起こ
し、Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末を得た。
【0017】(比較例1)比較例としての共沈法による
粉末の製造は、次のように行った。組成が(Ca1.4Y
1.6)(Fe1/3V2/3)5O12となるように調整したC
a、Y、V、Feの硝酸塩を純水に溶解し、これにアン
モニア水を混入し、共沈澱物を得た。最終的な溶液のP
Hは、10.7であった。この沈澱物を500〜700
℃で1時間熱処理することにより、粉末を得た。
粉末の製造は、次のように行った。組成が(Ca1.4Y
1.6)(Fe1/3V2/3)5O12となるように調整したC
a、Y、V、Feの硝酸塩を純水に溶解し、これにアン
モニア水を混入し、共沈澱物を得た。最終的な溶液のP
Hは、10.7であった。この沈澱物を500〜700
℃で1時間熱処理することにより、粉末を得た。
【0018】(比較例2)比較例としての通常の粉末冶
金法による粉末の製造方法は、次の通りである。原料と
しては、CaO、V2O3、Y2O3、Fe2O3の粉末を
(Ca1.4Y1.6)(Fe1/3V2/3)5O12となるように
秤量し、純水中で40時間エンプラ製のボールミルで混
合し、脱水、乾燥させた後、700℃で熱処理して粉末
を得た。
金法による粉末の製造方法は、次の通りである。原料と
しては、CaO、V2O3、Y2O3、Fe2O3の粉末を
(Ca1.4Y1.6)(Fe1/3V2/3)5O12となるように
秤量し、純水中で40時間エンプラ製のボールミルで混
合し、脱水、乾燥させた後、700℃で熱処理して粉末
を得た。
【0019】図1に、本発明により製造されたCa−V
系磁性ガーネット酸化物粉末の粒度分布と、比較例とし
て、従来の製造方法により製造されたCa−V系磁性ガ
ーネット酸化物粉末の粒度分布を示す。図中(1)は、
本発明より製造された粉末の粒度分布であり、(2)
は、比較例として共沈法により製造された粉末の粒度分
布、(3)は、比較例として従来の粉末冶金法により製
造された粉末の粒度分布である。
系磁性ガーネット酸化物粉末の粒度分布と、比較例とし
て、従来の製造方法により製造されたCa−V系磁性ガ
ーネット酸化物粉末の粒度分布を示す。図中(1)は、
本発明より製造された粉末の粒度分布であり、(2)
は、比較例として共沈法により製造された粉末の粒度分
布、(3)は、比較例として従来の粉末冶金法により製
造された粉末の粒度分布である。
【0020】この結果からわかるように、本発明によれ
ば、従来の方法に比べて、粒度分布の幅が狭く、平均粒
径の小さな粉末が得られる。
ば、従来の方法に比べて、粒度分布の幅が狭く、平均粒
径の小さな粉末が得られる。
【0021】(実施例2)V、Y、Ca、Feの硝酸塩
を組成が[(Ca3/4Y1/4)3(Fe2/3V1/3)5O12]
となるように秤量し、純水に溶解し、その溶液中にアミ
ノ酸を15wt%添加し、よく混合した。次に、この溶
液を300℃に加熱し、水分を蒸発させた。水分蒸発
後、溶液の残留物は自己燃焼反応を起こし、Ca−V系
磁性ガーネット酸化物粉末を得た。
を組成が[(Ca3/4Y1/4)3(Fe2/3V1/3)5O12]
となるように秤量し、純水に溶解し、その溶液中にアミ
ノ酸を15wt%添加し、よく混合した。次に、この溶
液を300℃に加熱し、水分を蒸発させた。水分蒸発
後、溶液の残留物は自己燃焼反応を起こし、Ca−V系
磁性ガーネット酸化物粉末を得た。
【0022】(比較例3)比較例としての共沈法による
粉末の製造は、次のように行った。Y、Ca、Fe、V
の硝酸塩を(Ca3/4Y1/4)3(Fe2/3V1/3)5O12と
なるように秤量し、純水に溶解し、これにアンモニア水
を混入し、共沈澱物を得た。最終的な溶液のPHは1
0.7であった。この沈澱物を500〜700℃で1時
間熱処理することにより、粉末を得た。
粉末の製造は、次のように行った。Y、Ca、Fe、V
の硝酸塩を(Ca3/4Y1/4)3(Fe2/3V1/3)5O12と
なるように秤量し、純水に溶解し、これにアンモニア水
を混入し、共沈澱物を得た。最終的な溶液のPHは1
0.7であった。この沈澱物を500〜700℃で1時
間熱処理することにより、粉末を得た。
【0023】(比較例4)比較例として、実施例2と同
一組成のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末を、比較
例2と同様な粉末治金法によって得た。
一組成のCa−V系磁性ガーネット酸化物粉末を、比較
例2と同様な粉末治金法によって得た。
【0024】これらの粉末をプレス成形して、1200
〜1300℃で焼成し、焼結体の相対密度を測定した結
果を図2に示す。図2において、縦軸に相対密度
(%)、横軸に焼結温度(℃)を示している。(4)は
本発明の粉末によるもの、(5)は比較例であって共沈
法によって作製された粉末によるもの、(6)も比較例
であって粉末冶金方法により作製された粉末によるもの
である。
〜1300℃で焼成し、焼結体の相対密度を測定した結
果を図2に示す。図2において、縦軸に相対密度
(%)、横軸に焼結温度(℃)を示している。(4)は
本発明の粉末によるもの、(5)は比較例であって共沈
法によって作製された粉末によるもの、(6)も比較例
であって粉末冶金方法により作製された粉末によるもの
である。
【0025】図2からわかるように、本発明の方法によ
る粉末を使用したものは、従来の製法による粉末を使用
したものに比べて、低温で相対密度の高い焼結体が得ら
れることがわかる。
る粉末を使用したものは、従来の製法による粉末を使用
したものに比べて、低温で相対密度の高い焼結体が得ら
れることがわかる。
【0026】更に、図3に、本発明および従来のCa−
V系磁性ガーネット酸化物粉末の形状を比較して示す。
縦軸は相対頻度を、横軸は粉体のSEM像より2次元的
な解析により粉体の慣性モーメントを求め、それに相当
する楕円の短軸/長軸の比を示している。なお、粉末試
料は、実施例2および比較例3によるものを使用した。
V系磁性ガーネット酸化物粉末の形状を比較して示す。
縦軸は相対頻度を、横軸は粉体のSEM像より2次元的
な解析により粉体の慣性モーメントを求め、それに相当
する楕円の短軸/長軸の比を示している。なお、粉末試
料は、実施例2および比較例3によるものを使用した。
【0027】図3からわかるように、本発明によれば従
来の共沈法に比べて短軸/長軸の比が小さい異方的な粉
末が得られている。
来の共沈法に比べて短軸/長軸の比が小さい異方的な粉
末が得られている。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、従来の共沈法等の製造
方法に比べて、微粒で粒度が揃っており、異方的な形状
の粉末が得られる。又、得られた粉末を用いて焼結すれ
ば、従来法よりも低い温度でCa−V系磁性ガーネット
が得られる。
方法に比べて、微粒で粒度が揃っており、異方的な形状
の粉末が得られる。又、得られた粉末を用いて焼結すれ
ば、従来法よりも低い温度でCa−V系磁性ガーネット
が得られる。
【図1】組成が(Ca1.4Y1.6)(Fe1/3V2/3)5O
12で示される本発明によるCa−V系磁性ガーネット酸
化物粉末と、従来法による粉末との粒度分布を比較して
示す特性図。
12で示される本発明によるCa−V系磁性ガーネット酸
化物粉末と、従来法による粉末との粒度分布を比較して
示す特性図。
【図2】組成が(Ca3/4Y1/4)3(V1/3Fe2/3)5O
12で示される本発明によるCa−V系磁性ガーネット酸
化物粉末、および従来法による粉末を使用して作製した
焼結体の相対密度の焼結温度依存性を比較して示す特性
図。
12で示される本発明によるCa−V系磁性ガーネット酸
化物粉末、および従来法による粉末を使用して作製した
焼結体の相対密度の焼結温度依存性を比較して示す特性
図。
【図3】本発明および従来法によるCa−V系磁性ガー
ネット酸化物粉末の形状の解析結果を比較して示した特
性図。
ネット酸化物粉末の形状の解析結果を比較して示した特
性図。
(1) 本発明の方法によって得られた粉末(実施例
1) (2) 共沈法によって得られた粉末(比較例1) (3) 粉末治金的な方法によって得られた粉末(比
較例2) (4) 本発明の方法によって得られた粉末(実施例
2) (5) 共沈法によって得られた粉末(比較例3) (6) 粉末冶金的な方法によって得られた粉末(比
較例4)
1) (2) 共沈法によって得られた粉末(比較例1) (3) 粉末治金的な方法によって得られた粉末(比
較例2) (4) 本発明の方法によって得られた粉末(実施例
2) (5) 共沈法によって得られた粉末(比較例3) (6) 粉末冶金的な方法によって得られた粉末(比
較例4)
Claims (1)
- 【請求項1】 鉄(Fe)、カルシウム(Ca)、バナ
ジウム(V)、およびR(ここでRはイットリウムを含
む希土類元素のうち少なくとも1種)からなるCa−V
系磁性ガーネット酸化物粉末において、Ca、Fe、
V、およびRの硝酸塩とアミノ酸との錯体の溶液を、そ
の溶媒の沸点以上の温度で加熱して得られた、平均粒径
が0.5μm以下で、異方的な形状を有する粉末である
ことを特徴とするCa−V系磁性ガーネット酸化物粉
末。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6186624A JPH0826734A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6186624A JPH0826734A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0826734A true JPH0826734A (ja) | 1996-01-30 |
Family
ID=16191842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6186624A Withdrawn JPH0826734A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | Ca−V系磁性ガーネット酸化物粉末 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0826734A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005139050A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Toda Kogyo Corp | フェライト磁性粉体及びフェライト磁性粉体を含有する半導体封止用樹脂組成物 |
| CN105087924A (zh) * | 2015-10-11 | 2015-11-25 | 江西理工大学 | 一种用于强化浸取离子型稀土矿的助浸剂及其浸取方法 |
| CN105427995A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-03-23 | 浙江凯文磁业有限公司 | 一种有机重稀土配合物增强烧结钕铁硼矫顽力的制备方法 |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP6186624A patent/JPH0826734A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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