JPH08269747A - エッチング液の再生方法およびエッチング液 - Google Patents
エッチング液の再生方法およびエッチング液Info
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- JPH08269747A JPH08269747A JP7538395A JP7538395A JPH08269747A JP H08269747 A JPH08269747 A JP H08269747A JP 7538395 A JP7538395 A JP 7538395A JP 7538395 A JP7538395 A JP 7538395A JP H08269747 A JPH08269747 A JP H08269747A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】安全のための設備費等が不要で危険性が無く、
且つ、エッチング液の再生にかかる費用を安価にするエ
ッチング液の再生方法を提供することにある。 【構成】タンク１およびタンク２に貯蔵されている過酸
化水素および塩酸がミキサ３に投入されて混合される。
エッチングマシン４でエッチングに使用されて組成が変
化した塩化(II)鉄溶液が投入されている再生タンク５に
ミキサ３から過酸化水素と塩酸が投入される。再生タン
ク５内では塩化(II)鉄溶液、過酸化水素、および、塩酸
とが反応して塩化(III) 鉄溶液が再生される。 【効果】エッチング液を再生する際には急激な反応が起
こらないので危険性をともなわず、また、有害なガスの
使用や発生がないので設備費を安価にすることができ
る。さらに、エッチング液の再生にかかる費用を安価に
することができる。
且つ、エッチング液の再生にかかる費用を安価にするエ
ッチング液の再生方法を提供することにある。 【構成】タンク１およびタンク２に貯蔵されている過酸
化水素および塩酸がミキサ３に投入されて混合される。
エッチングマシン４でエッチングに使用されて組成が変
化した塩化(II)鉄溶液が投入されている再生タンク５に
ミキサ３から過酸化水素と塩酸が投入される。再生タン
ク５内では塩化(II)鉄溶液、過酸化水素、および、塩酸
とが反応して塩化(III) 鉄溶液が再生される。 【効果】エッチング液を再生する際には急激な反応が起
こらないので危険性をともなわず、また、有害なガスの
使用や発生がないので設備費を安価にすることができ
る。さらに、エッチング液の再生にかかる費用を安価に
することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、金属を腐食して組成
の変化したエッチング液を再度エッチング可能な組成に
再生するエッチング液の再生方法およびエッチングに使
用するエッチング液に関する。
の変化したエッチング液を再度エッチング可能な組成に
再生するエッチング液の再生方法およびエッチングに使
用するエッチング液に関する。
【０００２】
【従来の技術】エッチング液は、パターンレジストされ
たプリント基板等に対してエッチングを行うと、腐食し
た金属と反応して組成が変化する。組成が変化したエッ
チング液ではエッチングを行うことができないので、こ
の組成の変化したエッチング液に対して再生助剤を加え
てエッチング液の組成をエッチング可能な組成に再生し
ている。例えば、鉄をエッチングする場合、エッチング
液として塩化(III) 鉄溶液を用いると、エッチング液で
ある塩化(III) 鉄溶液はエッチングによって以下のよう
に組成が変化する。 ４ＦｅＣｌ3 ＋２Ｆｅ →６ＦｅＣｌ2 すなわち、塩化(III) 鉄溶液はエッチングした金属であ
る鉄と反応して組成が塩化(II)鉄溶液に変化する。
たプリント基板等に対してエッチングを行うと、腐食し
た金属と反応して組成が変化する。組成が変化したエッ
チング液ではエッチングを行うことができないので、こ
の組成の変化したエッチング液に対して再生助剤を加え
てエッチング液の組成をエッチング可能な組成に再生し
ている。例えば、鉄をエッチングする場合、エッチング
液として塩化(III) 鉄溶液を用いると、エッチング液で
ある塩化(III) 鉄溶液はエッチングによって以下のよう
に組成が変化する。 ４ＦｅＣｌ3 ＋２Ｆｅ →６ＦｅＣｌ2 すなわち、塩化(III) 鉄溶液はエッチングした金属であ
る鉄と反応して組成が塩化(II)鉄溶液に変化する。
【０００３】そして、この塩化(II)鉄溶液に組成の変化
したエッチング液に再生助剤を加え、これを塩化(III)
鉄溶液に再生している。再生助剤としては以下に示す
、、および、が一般的に用いられている。また、
生成助剤と塩化(II)鉄溶液との反応式を同時に示す。
したエッチング液に再生助剤を加え、これを塩化(III)
鉄溶液に再生している。再生助剤としては以下に示す
、、および、が一般的に用いられている。また、
生成助剤と塩化(II)鉄溶液との反応式を同時に示す。
【０００４】再生助剤として塩素ガスを用いる場合 ６ＦｅＣｌ2 ＋３Ｃｌ2 →６ＦｅＣｌ3 という反応に
よって塩化(III) 鉄溶液に再生される。
よって塩化(III) 鉄溶液に再生される。
【０００５】再生助剤として塩素酸ソーダおよび塩酸
を用いた場合 ６ＦｅＣｌ2 ＋ＮａＣｌＯ3 ＋６ＨＣｌ→６ＦｅＣｌ3
＋３Ｈ2 Ｏ＋ＮａＣｌという反応によって塩化(III) 鉄
溶液に再生される。
を用いた場合 ６ＦｅＣｌ2 ＋ＮａＣｌＯ3 ＋６ＨＣｌ→６ＦｅＣｌ3
＋３Ｈ2 Ｏ＋ＮａＣｌという反応によって塩化(III) 鉄
溶液に再生される。
【０００６】再生助剤としてオゾンおよび塩酸を用い
る場合 ２ＦｅＣｌ2 ＋Ｏ3 ＋２ＨＣｌ→２ＦｅＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ
＋Ｏ2 ↑ という反応によって塩化(III) 鉄溶液に再生
される。
る場合 ２ＦｅＣｌ2 ＋Ｏ3 ＋２ＨＣｌ→２ＦｅＣｌ3 ＋Ｈ2 Ｏ
＋Ｏ2 ↑ という反応によって塩化(III) 鉄溶液に再生
される。
【０００７】このようすれば、組成が塩化(II)鉄溶液に
変化したエッチング液に再生助剤を加えることでエッチ
ング液の組成を塩化(III) 鉄溶液に再生することができ
る。当然、この再生されたエッチング液で再度エッチン
グを行うことができることはいうまでない。
変化したエッチング液に再生助剤を加えることでエッチ
ング液の組成を塩化(III) 鉄溶液に再生することができ
る。当然、この再生されたエッチング液で再度エッチン
グを行うことができることはいうまでない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たの方法で再生助剤として用いる塩素ガスは、人間が
吸い込むと人命にかかわるものであるため事故に備えて
安全のための設備等が必要となり、この設備等を設ける
のにかかる費用が莫大なものであった。また、の方法
では不純物として塩化ナトリウムが発生してしまうと言
う問題があるとともに、この塩素酸ソーダが有機物と反
応して燃え、入れすぎると自己分解して爆発する危険性
を有している。さらに、の方法ではＯ3 を発生させる
ための設備が高価であり、且つ、電力や電極等のランニ
ングコストも効果であるためエッチング液の再生にかか
る費用が高価になるという問題があった。
たの方法で再生助剤として用いる塩素ガスは、人間が
吸い込むと人命にかかわるものであるため事故に備えて
安全のための設備等が必要となり、この設備等を設ける
のにかかる費用が莫大なものであった。また、の方法
では不純物として塩化ナトリウムが発生してしまうと言
う問題があるとともに、この塩素酸ソーダが有機物と反
応して燃え、入れすぎると自己分解して爆発する危険性
を有している。さらに、の方法ではＯ3 を発生させる
ための設備が高価であり、且つ、電力や電極等のランニ
ングコストも効果であるためエッチング液の再生にかか
る費用が高価になるという問題があった。
【０００９】この発明の目的は、安全のための設備費等
が不要で危険性が無く、且つ、エッチング液の再生にか
かる費用を安価にするエッチング液の再生方法を提供す
ることにある。
が不要で危険性が無く、且つ、エッチング液の再生にか
かる費用を安価にするエッチング液の再生方法を提供す
ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明のエッチング液
の再生方法は、所定量の塩酸とこの塩酸と同量または少
ない量の過酸化水素水とを混合し、これらを混合した溶
液を金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
投入することを特徴とする。
の再生方法は、所定量の塩酸とこの塩酸と同量または少
ない量の過酸化水素水とを混合し、これらを混合した溶
液を金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
投入することを特徴とする。
【００１１】また、この発明のエッチング液再生方法
は、金属の腐食を行って組成が変化したエッチング液
に、所定量の塩酸を投入し、その後にこの投入した塩酸
と同量または少ない量の過酸化水素水を投入することを
特徴とする。
は、金属の腐食を行って組成が変化したエッチング液
に、所定量の塩酸を投入し、その後にこの投入した塩酸
と同量または少ない量の過酸化水素水を投入することを
特徴とする。
【００１２】また、前記エッチング液は、鉄、クロム、
ニッケル等の金属を腐食することができる塩化(III) 鉄
溶液であることを特徴とする。
ニッケル等の金属を腐食することができる塩化(III) 鉄
溶液であることを特徴とする。
【００１３】さらに、この発明のエッチング液は、塩化
(III) 鉄溶液に所定量の塩酸を含有していることを特徴
とする。
(III) 鉄溶液に所定量の塩酸を含有していることを特徴
とする。
【００１４】
【作用】この発明のエッチング液の再生方法において
は、金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
塩酸とこの塩酸と同量または少ない量の過酸化水素水と
を混合した溶液が投入される。すなわち、エッチング液
に過酸化水素と塩酸とが同時に投入されるので、急激な
過酸化水素の分解がおこることはなく、エッチング液を
再生する工程において爆発等がおこるおそれはない。ま
た、過酸化水素や塩酸は単価が安いので、このエッチン
グ液の再生にかかる費用も安くなる。
は、金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
塩酸とこの塩酸と同量または少ない量の過酸化水素水と
を混合した溶液が投入される。すなわち、エッチング液
に過酸化水素と塩酸とが同時に投入されるので、急激な
過酸化水素の分解がおこることはなく、エッチング液を
再生する工程において爆発等がおこるおそれはない。ま
た、過酸化水素や塩酸は単価が安いので、このエッチン
グ液の再生にかかる費用も安くなる。
【００１５】また、この発明のエッチング液の再生方法
は、金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
塩酸を投入した後にこの投入した塩酸よりも少ないモル
量の過酸化水素を投入する。すなわち、過酸化水素を投
入される以前に塩酸がエッチング液に投入されているの
で、急激な過酸化水素の分解がおこることはなく、エッ
チング液を再生する工程において爆発等がおこるおそれ
はない。また、上記同様に過酸化水素や塩酸は単価が安
いので、このエッチング液の再生にかかる費用も安くな
る。
は、金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
塩酸を投入した後にこの投入した塩酸よりも少ないモル
量の過酸化水素を投入する。すなわち、過酸化水素を投
入される以前に塩酸がエッチング液に投入されているの
で、急激な過酸化水素の分解がおこることはなく、エッ
チング液を再生する工程において爆発等がおこるおそれ
はない。また、上記同様に過酸化水素や塩酸は単価が安
いので、このエッチング液の再生にかかる費用も安くな
る。
【００１６】さらに、この発明のエッチング液には所定
量の塩酸が混合されているので、過酸化水素水を投入す
るだけで再生を行うことができる。
量の塩酸が混合されているので、過酸化水素水を投入す
るだけで再生を行うことができる。
【００１７】
【実施例】図１は、この発明の実施例となるエッチング
液の再生方法を適用したエッチングシステムの概略の構
成を示す図である。エッチングシステムは、過酸化水素
水を貯蔵するタンク１と、塩酸を貯蔵するタンク２と、
前記タンク１およびタンク２に貯蔵されている過酸化水
素水と塩酸とを混合するミキサ３と、エッチングを行う
エッチングマシン４と、前記エッチングマシン４で使用
され組成が変化したことでエッチング能力が低下したエ
ッチング液を再生する再生タンク５とを備えている。な
お、この実施例ではエッチング液が塩化(III) 鉄溶液で
あり、エッチングマシン４では鉄をエッチングしてい
る。また、タンク１、２は過酸化水素水と塩酸を単独で
貯蔵するので、タンク１、２内で過酸化水素や塩酸はほ
とんど分離しないので、タンク１、２の容量を大きくし
て長期間に渡って過酸化水素水および塩酸を貯蔵するこ
ともできる。このようにすると、タンク１、２へ過酸化
水素水、塩酸を補充する作業の回数を減らすことができ
る。
液の再生方法を適用したエッチングシステムの概略の構
成を示す図である。エッチングシステムは、過酸化水素
水を貯蔵するタンク１と、塩酸を貯蔵するタンク２と、
前記タンク１およびタンク２に貯蔵されている過酸化水
素水と塩酸とを混合するミキサ３と、エッチングを行う
エッチングマシン４と、前記エッチングマシン４で使用
され組成が変化したことでエッチング能力が低下したエ
ッチング液を再生する再生タンク５とを備えている。な
お、この実施例ではエッチング液が塩化(III) 鉄溶液で
あり、エッチングマシン４では鉄をエッチングしてい
る。また、タンク１、２は過酸化水素水と塩酸を単独で
貯蔵するので、タンク１、２内で過酸化水素や塩酸はほ
とんど分離しないので、タンク１、２の容量を大きくし
て長期間に渡って過酸化水素水および塩酸を貯蔵するこ
ともできる。このようにすると、タンク１、２へ過酸化
水素水、塩酸を補充する作業の回数を減らすことができ
る。
【００１８】エッチングマシン４で使用されている塩化
(III) 鉄溶液は鉄をエッチングするにつれて以下のよう
に組成が変化する。 ４ＦｅＣｌ3 ＋２Ｆｅ →６ＦｅＣｌ2 すなわち、エッチング液である塩化(III) 鉄溶液は鉄を
腐食することで塩化(II)鉄溶液に変化する。エッチング
マシン４は、このように組成の変化したエッチング液を
図示していないポンプを利用して再生タンク５に排出す
る。
(III) 鉄溶液は鉄をエッチングするにつれて以下のよう
に組成が変化する。 ４ＦｅＣｌ3 ＋２Ｆｅ →６ＦｅＣｌ2 すなわち、エッチング液である塩化(III) 鉄溶液は鉄を
腐食することで塩化(II)鉄溶液に変化する。エッチング
マシン４は、このように組成の変化したエッチング液を
図示していないポンプを利用して再生タンク５に排出す
る。
【００１９】また、タンク１およびタンク２に貯蔵され
ている過酸化水素水および塩酸がそれぞれミキサ３に排
出され、ミキサ３で過酸化水素水と塩酸とが混合され
る。ミキサ３内で過酸化水素の急激な分解や、塩酸と反
応することもない。また、この混合されている溶液中で
はＨＣｌとＨ2 Ｏ2 とがＨＣｌ：Ｈ2 Ｏ2 ＝２：１ の
比率で混合されている。なお、この比率はミキサ３内の
溶液中に含まれＨＣｌとＨ2 Ｏ2 とのモル量の比率であ
って、タンク１およびタンク２から投入される溶液の量
の比率ではない。タンク１内のＨ2 Ｏ2の濃度とタンク
２内のＨＣｌの濃度によって、これらの投入する溶液の
量の比率は変化させる。また、この溶液中にはモル量で
ＨＣｌがＨ2 Ｏ2 の２倍含まれているとしているが、こ
れが２倍以上であれば２．５倍や３倍等であってもよ
い。すなわち、ＨＣｌのモル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２
倍以上であればよい。このような比率とする理由につい
ては後述する。
ている過酸化水素水および塩酸がそれぞれミキサ３に排
出され、ミキサ３で過酸化水素水と塩酸とが混合され
る。ミキサ３内で過酸化水素の急激な分解や、塩酸と反
応することもない。また、この混合されている溶液中で
はＨＣｌとＨ2 Ｏ2 とがＨＣｌ：Ｈ2 Ｏ2 ＝２：１ の
比率で混合されている。なお、この比率はミキサ３内の
溶液中に含まれＨＣｌとＨ2 Ｏ2 とのモル量の比率であ
って、タンク１およびタンク２から投入される溶液の量
の比率ではない。タンク１内のＨ2 Ｏ2の濃度とタンク
２内のＨＣｌの濃度によって、これらの投入する溶液の
量の比率は変化させる。また、この溶液中にはモル量で
ＨＣｌがＨ2 Ｏ2 の２倍含まれているとしているが、こ
れが２倍以上であれば２．５倍や３倍等であってもよ
い。すなわち、ＨＣｌのモル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２
倍以上であればよい。このような比率とする理由につい
ては後述する。
【００２０】そして、このミキサ３内の混合されている
過酸化水素と塩酸とを含む溶液が再生タンク５に加えら
れる。すなわち、再生タンク５の塩化(II)鉄溶液に過酸
化水素と塩酸とが同時に加えられることになり、再生タ
ンク５内では塩化(II)鉄、過酸化水素、および、塩酸と
が反応を開始する。以下に、このときの反応式を示す。 ２ＦｅＣｌ2 ＋Ｈ2 Ｏ2 ＋２ＨＣｌ→２ＦｅＣｌ3 ＋２
Ｈ2 Ｏ この化学式から明らかなように塩化(II)鉄溶液が過酸化
水素と塩酸を含む溶液を加えられると塩化(III) 鉄溶液
に変化する。なお、再生タンク５には再生された塩化(I
II) 鉄溶液の濃度等を検出するためのエッチング制御装
置（例えば、特願平７−４８５４５号の明細書に記載さ
れているエッチング制御装置）が設けられており、これ
で再生タンク５内の塩化(III) 鉄溶液が所定の濃度とな
るようにミキサ３から投入する過酸化水素と塩酸を含む
溶液の量を制御している。したがって、過剰なＨＣｌと
Ｈ2 Ｏ2 が再生タンク５に投入されることはない。ま
た、塩化(II)鉄溶液に過酸化水素と塩酸とを同時に加え
ているので、再生タンク５内で急激な過酸化水素の分解
が生じることはない。さらに、ミキサ３または再生タン
ク５に反応速度を減ずる負触媒（例えば、尿素）を投入
することでミキサ３または再生タンク５内での反応をよ
り一層安定させることができる。
過酸化水素と塩酸とを含む溶液が再生タンク５に加えら
れる。すなわち、再生タンク５の塩化(II)鉄溶液に過酸
化水素と塩酸とが同時に加えられることになり、再生タ
ンク５内では塩化(II)鉄、過酸化水素、および、塩酸と
が反応を開始する。以下に、このときの反応式を示す。 ２ＦｅＣｌ2 ＋Ｈ2 Ｏ2 ＋２ＨＣｌ→２ＦｅＣｌ3 ＋２
Ｈ2 Ｏ この化学式から明らかなように塩化(II)鉄溶液が過酸化
水素と塩酸を含む溶液を加えられると塩化(III) 鉄溶液
に変化する。なお、再生タンク５には再生された塩化(I
II) 鉄溶液の濃度等を検出するためのエッチング制御装
置（例えば、特願平７−４８５４５号の明細書に記載さ
れているエッチング制御装置）が設けられており、これ
で再生タンク５内の塩化(III) 鉄溶液が所定の濃度とな
るようにミキサ３から投入する過酸化水素と塩酸を含む
溶液の量を制御している。したがって、過剰なＨＣｌと
Ｈ2 Ｏ2 が再生タンク５に投入されることはない。ま
た、塩化(II)鉄溶液に過酸化水素と塩酸とを同時に加え
ているので、再生タンク５内で急激な過酸化水素の分解
が生じることはない。さらに、ミキサ３または再生タン
ク５に反応速度を減ずる負触媒（例えば、尿素）を投入
することでミキサ３または再生タンク５内での反応をよ
り一層安定させることができる。
【００２１】ところで、再生タンク５に先に過酸化水素
を加え、その後に塩酸を加えるようにすると、過酸化水
素を塩化(II)鉄溶液に加えると急激な過酸化水素の分解
が生じる。このため、爆発等の危険性をともなうが、こ
の実施例では上記したように一旦過酸化水素水と塩酸を
ミキサ３にて混合し、この混合した溶液を再生タンク５
内の塩化(II)鉄溶液に加えるようにしているので、この
ような危険性はない。なお、再生タンク５内の塩化(II)
鉄溶液に先に塩酸を加え、その後に過酸化水素水を加え
るようにすると、過酸化水素水を加えたときに上記した
過酸化水素の急激な分解はおこらないので上記した危険
性もない。また、この場合には、ミキサ３を不要とする
ことができ、この実施例のエッチングシステムを構成す
る際のコストを低減することができる。
を加え、その後に塩酸を加えるようにすると、過酸化水
素を塩化(II)鉄溶液に加えると急激な過酸化水素の分解
が生じる。このため、爆発等の危険性をともなうが、こ
の実施例では上記したように一旦過酸化水素水と塩酸を
ミキサ３にて混合し、この混合した溶液を再生タンク５
内の塩化(II)鉄溶液に加えるようにしているので、この
ような危険性はない。なお、再生タンク５内の塩化(II)
鉄溶液に先に塩酸を加え、その後に過酸化水素水を加え
るようにすると、過酸化水素水を加えたときに上記した
過酸化水素の急激な分解はおこらないので上記した危険
性もない。また、この場合には、ミキサ３を不要とする
ことができ、この実施例のエッチングシステムを構成す
る際のコストを低減することができる。
【００２２】ここで、ＨＣｌのモル量がＨ2 Ｏ2 のモル
量の２倍であれば、この再生工程でＨＣｌとＨ2 Ｏ2 が
全て分解される。このため、ＨＣｌを含むガスの発生も
なく人体に悪影響を与えることがない。また、ＨＣｌの
モル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２倍よりも大きければ、再
生されたエッチング液中にＨＣｌが残留することになる
が、再生工程においてＨ2 Ｏ2 が全て分解されているの
で、上記した爆発等の危険性はない。なお、ＨＣｌのモ
ル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２倍よりも小さくすれば、再
生されたエッチング液中にＨ2 Ｏ2 が残留し、爆発等の
危険性を生じる。また、ＨＣｌを含む塩化(III) 鉄溶液
をエッチング液として使用しても、エッチングは可能で
あり、このようなエッチング液であれば、エッチング液
に含まれているＨＣｌの量に応じて過酸化水素水を投入
するだけでけで、エッチング液の再生を行うことができ
る。このため、上記した塩酸を貯蔵しておくタンク２を
不要とすることができ、この実施例のエッチングシステ
ムを構成する際のコストをさらに低減することができ
る。なお、エッチング液にＨＣｌが含有していないほう
が精密にエッチングを行え、且つ、ＨＣｌを含むガスの
発生もなく人体に悪影響を与えることがないので、エッ
チング液にＨＣｌを含有させないほうが好ましい。
量の２倍であれば、この再生工程でＨＣｌとＨ2 Ｏ2 が
全て分解される。このため、ＨＣｌを含むガスの発生も
なく人体に悪影響を与えることがない。また、ＨＣｌの
モル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２倍よりも大きければ、再
生されたエッチング液中にＨＣｌが残留することになる
が、再生工程においてＨ2 Ｏ2 が全て分解されているの
で、上記した爆発等の危険性はない。なお、ＨＣｌのモ
ル量がＨ2 Ｏ2 のモル量の２倍よりも小さくすれば、再
生されたエッチング液中にＨ2 Ｏ2 が残留し、爆発等の
危険性を生じる。また、ＨＣｌを含む塩化(III) 鉄溶液
をエッチング液として使用しても、エッチングは可能で
あり、このようなエッチング液であれば、エッチング液
に含まれているＨＣｌの量に応じて過酸化水素水を投入
するだけでけで、エッチング液の再生を行うことができ
る。このため、上記した塩酸を貯蔵しておくタンク２を
不要とすることができ、この実施例のエッチングシステ
ムを構成する際のコストをさらに低減することができ
る。なお、エッチング液にＨＣｌが含有していないほう
が精密にエッチングを行え、且つ、ＨＣｌを含むガスの
発生もなく人体に悪影響を与えることがないので、エッ
チング液にＨＣｌを含有させないほうが好ましい。
【００２３】以上のように、エッチング工程で塩化(II
I) 鉄 が塩化(II)鉄に変化し、再生工程で過酸化水素
と塩酸とを加えて塩化(II)鉄を塩化(III) 鉄 に再生す
る。ところで、エッチング工程では、上記したように４
モルの塩化(III) 鉄 が６モルの塩化(II)鉄に変化して
いる。また、再生工程では、２モルの塩化(II)鉄が２モ
ルの塩化(III) 鉄 に変化している。すなわち、エッチ
ング工程および再生工程を行うことで４モルの塩化(II
I) 鉄 が６モルの塩化(III) 鉄 となり、これによっ
て１．５倍の塩化(III) 鉄 を得ることができる。した
がって、増加した塩化(III) 鉄 を他のエッチングシス
テムで使用することができる。また、再生によって増加
した塩化(III) 鉄 を他の用途に利用することもでき
る。例えば、鉄の表面を磨く洗鋼処理においては現在塩
酸やフッ酸が使用されているが、この増量した塩化(II
I) 鉄 を使用しても洗鋼処理を行うことができる。
I) 鉄 が塩化(II)鉄に変化し、再生工程で過酸化水素
と塩酸とを加えて塩化(II)鉄を塩化(III) 鉄 に再生す
る。ところで、エッチング工程では、上記したように４
モルの塩化(III) 鉄 が６モルの塩化(II)鉄に変化して
いる。また、再生工程では、２モルの塩化(II)鉄が２モ
ルの塩化(III) 鉄 に変化している。すなわち、エッチ
ング工程および再生工程を行うことで４モルの塩化(II
I) 鉄 が６モルの塩化(III) 鉄 となり、これによっ
て１．５倍の塩化(III) 鉄 を得ることができる。した
がって、増加した塩化(III) 鉄 を他のエッチングシス
テムで使用することができる。また、再生によって増加
した塩化(III) 鉄 を他の用途に利用することもでき
る。例えば、鉄の表面を磨く洗鋼処理においては現在塩
酸やフッ酸が使用されているが、この増量した塩化(II
I) 鉄 を使用しても洗鋼処理を行うことができる。
【００２４】なお、上記実施例では腐食する金属を鉄と
したが、塩化(III) 鉄溶液はニッケルやクロム等の金属
を腐食してエッチング行う場合にも使用することができ
る。この場合にも、エッチング液は上記した過酸化水素
と塩酸を加えることで再生は可能であるが、この再生に
よって塩化(III) 鉄 が増加することはない。
したが、塩化(III) 鉄溶液はニッケルやクロム等の金属
を腐食してエッチング行う場合にも使用することができ
る。この場合にも、エッチング液は上記した過酸化水素
と塩酸を加えることで再生は可能であるが、この再生に
よって塩化(III) 鉄 が増加することはない。
【００２５】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、エッ
チング液を再生する際に過酸化水素の急激な分解が生じ
ることがなく、爆発等の危険性がない。また、塩素ガス
等の有害なガスの使用や発生もないため、設備費等が安
価となるとともに、過酸化水素および塩酸を用いてエッ
チング液の再生を行うため、エッチング液の再生を安価
にすることができる。
チング液を再生する際に過酸化水素の急激な分解が生じ
ることがなく、爆発等の危険性がない。また、塩素ガス
等の有害なガスの使用や発生もないため、設備費等が安
価となるとともに、過酸化水素および塩酸を用いてエッ
チング液の再生を行うため、エッチング液の再生を安価
にすることができる。
【００２６】また、エッチング液中に塩酸を含んでいる
ので、エッチング液に過酸化水素を投入するだけで再生
することができる。
ので、エッチング液に過酸化水素を投入するだけで再生
することができる。
【図１】この発明の実施例となるエッチング液の再生方
法を適用したエッチングシステムの概略の構成を示す図
である。
法を適用したエッチングシステムの概略の構成を示す図
である。
１、２−タンク ３−ミキサ ４−エッチングマシン ５−再生タンク
Claims (4)
- 【請求項１】 所定量の塩酸とこの塩酸と同量または少
ない量の過酸化水素水とを混合し、これらを混合した溶
液を金属の腐食を行って組成の変化したエッチング液に
投入することを特徴とするエッチング液の再生方法。 - 【請求項２】 金属の腐食を行って組成が変化したエッ
チング液に、所定量の塩酸を投入し、その後にこの投入
した塩酸と同量または少ない量の過酸化水素水を投入す
ることを特徴とするエッチング液の再生方法。 - 【請求項３】 前記エッチング液は、鉄、クロム、ニッ
ケル等を腐食することができる塩化(III) 鉄溶液である
ことを特徴とする請求項１または２記載のエッチング液
の再生方法。 - 【請求項４】 塩化(III) 鉄溶液に所定量の塩酸を含有
していることを特徴とするエッチング液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538395A JP3597250B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | エッチング液の再生方法およびエッチング液再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7538395A JP3597250B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | エッチング液の再生方法およびエッチング液再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08269747A true JPH08269747A (ja) | 1996-10-15 |
| JP3597250B2 JP3597250B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=13574625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7538395A Expired - Lifetime JP3597250B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | エッチング液の再生方法およびエッチング液再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3597250B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100758596B1 (ko) * | 2006-04-17 | 2007-09-13 | 박인수 | 폐 염화철 에칭액의 재생방법 |
| KR101475869B1 (ko) * | 2013-03-12 | 2015-01-09 | 인하대학교 산학협력단 | 폐 염화철 에칭액의 재생방법 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS591679A (ja) * | 1982-06-25 | 1984-01-07 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | エツチング液の制御管理方法 |
| JPS59126777A (ja) * | 1982-12-31 | 1984-07-21 | Yamatoya Shokai:Kk | エツチング液の能力維持管理法および装置 |
| JPS6199683A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 塩化銅エッチング溶液の再生方法 |
| JPS61106781A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-24 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | エツチング処理液の再生方法 |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP7538395A patent/JP3597250B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS591679A (ja) * | 1982-06-25 | 1984-01-07 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | エツチング液の制御管理方法 |
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| JPS61106781A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-24 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | エツチング処理液の再生方法 |
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| KR100758596B1 (ko) * | 2006-04-17 | 2007-09-13 | 박인수 | 폐 염화철 에칭액의 재생방법 |
| KR101475869B1 (ko) * | 2013-03-12 | 2015-01-09 | 인하대학교 산학협력단 | 폐 염화철 에칭액의 재생방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3597250B2 (ja) | 2004-12-02 |
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