JPH08279405A - チップ電子部品の製造方法 - Google Patents

チップ電子部品の製造方法

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JPH08279405A
JPH08279405A JP7108333A JP10833395A JPH08279405A JP H08279405 A JPH08279405 A JP H08279405A JP 7108333 A JP7108333 A JP 7108333A JP 10833395 A JP10833395 A JP 10833395A JP H08279405 A JPH08279405 A JP H08279405A
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JP
Japan
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wax
ceramic substrate
fixing film
electronic component
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP7108333A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Hiramatsu
慈 平松
Keiichi Tanaka
圭一 田中
Ichiro Ishiyama
一郎 石山
Masato Shimada
真人 嶋田
Hiroyuki Kurokawa
寛幸 黒川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hokuriku Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Hokuriku Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な工程で、容易に分割することができ、
バリも発生させにくいものにする。 【構成】 接着層20が形成された基板固定フィルム2
5を設け、この基板固定フィルム25の接着層20に、
抵抗体等の電子素子が多数縦横に形成されたセラミック
基板12を貼り付ける。セラミック基板12の表面に、
150℃前後に加熱して溶剤中に溶かしたワックス26
を常温に冷却し常温で塗布し、この後セラミック基板1
2を加熱してワックス26中の溶剤27を除去し、各チ
ップ電子部品10毎に分割するダイシングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、セラミック基板上に
抵抗体等の電子素子が多数形成された基板を個々の電子
部品に分割するチップ電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のチップ電子部品を製造する際のダ
イシング方法は、先ず、ガラスやベークライト等の板上
にワックスを塗布しその上に、分割するセラミック基板
を載せて固定していた。そして、ガラス板上に固定され
たセラミック基板を、ダイシングブレードにより、個々
のチップに切断分割するものである。また、ガラス基板
の代わりに、フィルムを用い、紫外線によりまたは加熱
により接着力のなくなる剥離樹脂がこのフィルム上に形
成され、セラミック基板をこのフィルムの剥離樹脂に貼
り付けて固定し、ダイシングするものもある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の前者
の場合、マルチブレードを用いたダイシングの場合等に
は、セラミック基板にかかる力が大きく、分割したチッ
プ部品がワックスで固定したガラス板等から飛んでしま
う場合があった。また、ガラス板等の価格が高価であ
り、コスト高になるという問題もあった。また、上記従
来の技術の後者の場合も、セラミック基板の裏面が接着
されているだけであり、ダイシングの際に、分割した電
子部品が飛んでしまうという問題がある。さらに、紫外
線による剥離では、接着力の低下が十分ではなく、ダイ
シング後に、手作業による剥離作業が必要であった。ま
た、上記各従来の技術の場合、ダイシングにより電極部
に、バリが発生し易いものであった。
【0004】この発明は、上記従来の技術に鑑みて成さ
れたもので、簡単な工程で、容易に分割することがで
き、バリも発生させにくいチップ電子部品の製造方法を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、接着層が形
成された基板固定フィルムを設け、この基板固定フィル
ムの接着層に、抵抗体等の電子素子が多数縦横に形成さ
れたセラミック基板を貼り付け、このセラミック基板の
表面に、150℃前後に加熱して溶剤中に溶かしたワッ
クスを常温に冷却し常温で塗布し、この後上記セラミッ
ク基板を加熱等により乾燥させ上記ワックス中の溶剤を
除去し、各チップ電子部品毎に分割するダイシングを行
うチップ電子部品の製造方法である。
【0006】また、この発明は、接着剤との接着性の高
い接着用フィルムを介して耐熱性フィルム表面に接着層
が形成された基板固定フィルムを設け、この基板固定フ
ィルムの接着層に、抵抗体等の電子素子が多数縦横に形
成されたセラミック基板を貼り付け、このセラミック基
板を加熱するとともにその表面に、120℃前後に加熱
溶解されたワックスを塗布し、冷却して硬化させ、この
後各チップ電子部品毎に分割するダイシングを行い、そ
の後上記基板固定フィルムを溶剤中に浸漬し、上記フィ
ルムに接着された個々のチップ電子部品を上記基板固定
フィルムから分離するとともに、各チップ電子部品の表
面のワックスを除去するチップ電子部品の製造方法であ
る。さらに、上記セラミック基板には、複数のスリット
が形成され、このスリット間に電子素子が形成され、上
記ワックスはこのスリットを埋めるように塗布されてい
るものである。
【0007】
【作用】この発明のチップ電子部品の製造方法は、分割
するセラミック基板を基板固定フィルム上に接着し、セ
ラミック基板をダイシングする際に、ワックスにより個
々のチップが保護されて、ダイシング時にバリが発生し
にくい。しかも、セラミック基板と基板固定フィルムと
が強固に接着しているとともに、分離は、溶剤により容
易になされる。また、セラミック基板表面に塗布するワ
ックスは、当初粘性が低く、印刷等により自動的に可能
であり、しかもダイシング時には確実に表面を保護する
ものである。
【0008】
【実施例】以下この発明の実施例について図面に基づい
て説明する。この実施例のチップ電子部品であるチップ
抵抗器10は、図1、図3に示すように、セラミック基
板12には、各チップ抵抗器10が整列した状態で、各
列毎に、スリット14が形成され、各スリット14の端
面部には、ニッケルメッキ及びハンダメッキよる電極1
6が形成され、さらに、銀塗料等で電極17が印刷形成
されている。電極17間には、スパッタリングや印刷等
で、多数の抵抗体18が、整列状態で一列に形成されそ
の上にオーバーコートが施されている。
【0009】次にこの実施例のチップ抵抗器10の製造
方法について説明する。この実施例のチップ抵抗器10
は、電極16,17及び抵抗体18等を形成した後、図
1、図2に示すように、PET等の耐熱性フィルム24
に、接着層20が形成された基板固定フィルム25を用
い、この基板固定フィルム25の接着層20に、セラミ
ック基板12を貼り付ける。接着層20は、アクリル等
の接着剤により形成され、この接着剤及び耐熱性フィル
ム24との接着性の高いポリオレフィン形樹脂の接着用
フィルム22が、接着層20と耐熱性フィルム24の間
に形成されている。この基板固定フィルムは、長尺のテ
ープ状のもので、多数のセラミック基板12を並設し
て、順次印刷及びダイシング等の作業を行うことができ
るものであると良い。
【0010】次に、このセラミック基板12の表面に、
加熱して溶剤中に溶かしたワックス26を塗布する。こ
のワックス26は、透明なものであり、パラフィンを主
成分とし、融点が78℃のものであり、溶剤27は、蒸
点が120〜230℃である。このワックス26は、1
50℃程度に加熱し、ブチルカルビトール、エチルカル
ビトール、メチルカルビトール、ブチルセロソルブ、エ
チルセロソルブ、メチルセロソルブ、イソブタノール、
アルコール類等の溶剤27を、20〜30wt%を混合
し攪拌して、ペースト状にされる。また、ワックス26
は、図2に示すように、セラミックス基板12のスリッ
ト14中にも入り込むよう確実に塗布する。溶剤27
は、印刷性が良好で、粘度調整が良く、ポットライフも
長いものを用いる。
【0011】この後、ワックス26を常温に冷却し、常
温でもペースト状のペーストワックス28を、セラミッ
ク基板12の表面に塗布する。塗布は、図1に示すよう
に、金属板製の厚さ0.2mm程度のメタルマスク30
を用い、各チップ抵抗器10が縦横に整列された区画毎
に塗布されるようにする。ペーストワックス28は、ス
キージ32により、セラミック基板12の表面で均一の
厚さにになるように延ばされて塗布される。次に、セラ
ミック基板12を140〜170℃に加熱して、ペース
トワックス28を溶かし、ペーストワックス28中の溶
剤27を飛散させて除去し乾燥させ、この後、冷却して
ワックス26を固化させる。ここで、セラミック基板1
2の加熱は、冷却後のワックス26の均一性を得るため
に、段階的な温度プロファイルで加熱する。
【0012】この後、基板固定フィルム25上にセラミ
ック基板12が接着されワックス26が固化した状態
で、各チップ電子部品10毎に分割するダイシングを行
う。ダイシングは、図3に示すように、図示しないマル
チブレードにより、図中2点鎖線沿ってセラミック基板
12の切断が行われる。切断時には、基板固定フィルム
25の表面が多少削られるが、切断されてしまうことは
なく、セラミック基板12のみがワックス26ととも
に、確実に切断させる。
【0013】そして、各チップ抵抗器10が基板固定フ
ィルム25に貼り付けられた状態で、透明なワックス2
6の上から各チップ抵抗器10のダイシング状態等の外
観検査を行う。その後、基板固定フィルム25を溶剤中
に浸漬し、基板固定フィルム25に接着された個々のチ
ップ電子部品10を、基板固定フィルム25から分離す
るとともに、各チップ電子部品10の表面のワックス2
6を除去する。
【0014】この実施例によれば、ダイシング時に、ワ
ックス26により、電極16によるバリが生じにくいも
のである。即ち、図3に示すように、従来は、切断端部
の電極16が、ダイシングによりバリ34として延びて
くる現象が大きく現れていた。しかし、この実施例によ
り、セラミック基板12の表面がワックス26で覆われ
ているので、バリ34が延びにくくなるものである。ま
たワックス26は、溶剤27を添加してペースト状にし
て塗布しているので、簡単に塗布が可能となり、自動機
により塗布することも可能となる。さらに、ワックス2
6は、ペースト状で塗布されるので、セラミック基板1
2に常温で均一に印刷可能であり、しかも印刷時にセラ
ミック基板12を加熱する必要がなく、印刷工程におい
てエネルギー消費も少なく、作業時間も少ないものとな
り、大幅な製造工数及びコストの削減が可能である。ま
た、ワックス26は、透明であり、塗布した上からダイ
シング後の外観検査が可能なものである。
【0015】さらに、基板固定フィルム25は、接着層
20により強固にセラミック基板12を保持可能である
とともに、溶剤により、容易に且つ確実に個々のチップ
抵抗器10の剥離が可能となるものである。また、基板
固定フィルム25は、安価であるとともに、ガラス基板
と比較して薄く軽量であり、作業性が良い。さらに、基
板固定フィルム25に、セラミック基板12を固定する
とともに、表面をワックス26で覆ったので、ダイシン
グ時に、チップ抵抗器10のとびがなくなり、良好なダ
イシング可能となる。
【0016】なお、ワックス26の塗布に際して、上記
のように溶剤27に溶かしたものを用いる代わりに、ワ
ックス26を、120℃前後に加熱して溶かし、さら
に、セラミック基板12を基板固定フィルム25ととも
にホットプレート等で加熱して、ワックス26を直接セ
ラミック基板12に塗布してもよい。また基板固定フィ
ルムは、1枚にしても良く、比較的温度が高い場合PE
Tフィルムを用い、温度が低い場合塩化ビニルを用い
る。
【0017】
【発明の効果】この発明のチップ電子部品の製造方法
は、ダイシング時に、分割される電子部品の飛びがな
く、バリも生じにくいものである。さらに、基板固定フ
ィルムにより、強固にセラミック基板を保持し、しか
も、溶剤により、ワックスとともに確実に個々のチップ
電子部品の剥離が可能となるものである。またワックス
は、溶剤を添加してペースト状にして塗布しているの
で、簡単に塗布が可能となり、自動機により塗布も可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例のチップ電子部品の製造方
法におけるワックスの塗布方法を示す概略斜視図であ
る。
【図2】この実施例のチップ電子部品の部分拡大縦断面
図である。
【図3】この実施例のチップ電子部品の部分拡大平面図
である。
【符号の説明】
10 チップ抵抗器(チップ電子部品) 12 セラミック基板 14 スリット 20 接着層 22 接着用フィルム 24 耐熱性フィルム 25 基板固定フィルム 26 ワックス 27 溶剤 28 ペーストワックス
フロントページの続き (72)発明者 嶋田 真人 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社内 (72)発明者 黒川 寛幸 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 接着層が形成された基板固定フィルムを
    設け、この基板固定フィルムの接着層に、電子素子が多
    数縦横に形成されたセラミック基板を貼り付け、このセ
    ラミック基板の表面に、加熱して溶剤中に溶かしたワッ
    クスを常温に冷却し塗布し、この後上記セラミック基板
    を乾燥させて上記ワックス中の溶剤を除去し、各チップ
    電子部品毎に分割するダイシングを行うチップ電子部品
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 接着剤との接着性の高い接着用フィルム
    を介して耐熱性フィルム表面に接着層が形成された基板
    固定フィルムを設け、この基板固定フィルムの接着層
    に、電子素子が多数縦横に形成されたセラミック基板を
    貼り付け、このセラミック基板を加熱するとともにその
    表面に、加熱溶解されたワックスを塗布し、冷却して硬
    化させ、この後各チップ電子部品毎に分割するダイシン
    グを行い、その後上記基板固定フィルムを溶剤中に浸漬
    し、上記フィルムに接着された個々のチップ電子部品を
    上記基板固定フィルムから分離するとともに、各チップ
    電子部品の表面のワックスを除去するチップ電子部品の
    製造方法。
  3. 【請求項3】 接着剤との接着性の高い接着用フィルム
    を介して耐熱性フィルム表面に接着層が形成された基板
    固定フィルムを設け、この基板固定フィルムの接着層
    に、電子素子が多数縦横に形成されたセラミック基板を
    貼り付け、このセラミック基板の表面に、加熱して溶剤
    中に溶かしたワックスを常温に冷却し塗布し、この後上
    記セラミック基板を加熱して上記ワックス中の溶剤を除
    去し、その後このワックスを冷却して硬化させ、各チッ
    プ電子部品毎に分割するダイシングを行い、その後上記
    基板固定フィルムを溶剤中に浸漬し、上記フィルムに接
    着された個々のチップ電子部品を上記基板固定フィルム
    から分離するとともに、各チップ電子部品の表面のワッ
    クスを除去するチップ電子部品の製造方法。
  4. 【請求項4】 上記セラミック基板には、複数のスリッ
    トが形成され、このスリット間に電子素子が形成され、
    上記ワックスはこのスリットを埋めるように塗布されて
    いる請求項1,2または3記載のチップ電子部品の製造
    方法。
JP7108333A 1995-04-06 1995-04-06 チップ電子部品の製造方法 Pending JPH08279405A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108732664A (zh) * 2018-08-20 2018-11-02 浙江舜宇光学有限公司 一种遮光片及镜头
CN109559864A (zh) * 2018-11-29 2019-04-02 常州大学 一种碳纳米管/石蜡电阻器的制作及其使用方法
CN115012091A (zh) * 2022-06-14 2022-09-06 上海洲康医疗器械有限公司 一种医用编织管及其切割工艺

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