JPH08290004A - 溶液減圧蒸溜装置 - Google Patents
溶液減圧蒸溜装置Info
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- JPH08290004A JPH08290004A JP9466595A JP9466595A JPH08290004A JP H08290004 A JPH08290004 A JP H08290004A JP 9466595 A JP9466595 A JP 9466595A JP 9466595 A JP9466595 A JP 9466595A JP H08290004 A JPH08290004 A JP H08290004A
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- Japan
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- tank
- refrigerant
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- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大掛かりな付帯設備を要することなく溶液か
ら軽質又は重質の液を有効に分離回収することである。 【構成】 真空ポンプ３２に接続された負圧の環境下で
原液を蒸発させる蒸溜タンク２１と、蒸発した蒸気を冷
凍機冷媒の直膨ガスで冷却して減圧下で連続的に液化す
る凝縮再生器２７と、この凝縮再生器２７で液化された
液を減圧下で回収する回収タンク２９とを配設し、前記
凝縮再生器２７に供給された冷凍機冷媒を圧縮する冷凍
機３５を設け、この冷凍機３５の吐出側に接続された溶
液加熱器３６を前記蒸溜タンク２１内に配設した。
ら軽質又は重質の液を有効に分離回収することである。 【構成】 真空ポンプ３２に接続された負圧の環境下で
原液を蒸発させる蒸溜タンク２１と、蒸発した蒸気を冷
凍機冷媒の直膨ガスで冷却して減圧下で連続的に液化す
る凝縮再生器２７と、この凝縮再生器２７で液化された
液を減圧下で回収する回収タンク２９とを配設し、前記
凝縮再生器２７に供給された冷凍機冷媒を圧縮する冷凍
機３５を設け、この冷凍機３５の吐出側に接続された溶
液加熱器３６を前記蒸溜タンク２１内に配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンウェハー及び
機械部品等の工業製品の洗浄やクリーニング等に用いら
れる汚染された炭化水素系溶剤を浄化する洗浄液再生回
収装置や溶液から濃縮液を取り出すための蒸溜濃縮装置
等に利用される溶液減圧蒸溜装置に関するものである。
機械部品等の工業製品の洗浄やクリーニング等に用いら
れる汚染された炭化水素系溶剤を浄化する洗浄液再生回
収装置や溶液から濃縮液を取り出すための蒸溜濃縮装置
等に利用される溶液減圧蒸溜装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工業製品の洗浄のために、純水や炭化水
素系溶剤が用いられるが、炭化水素系溶剤の場合には、
環境汚染防止のために洗浄によって汚染された炭化水素
系溶剤中の重質の油等を除去して軽質油分である回収
液、すなわち、炭化水素系溶剤を再生することが行なわ
れている。この炭化水素系溶剤の再生時に、溶剤の劣化
を防止し、かつ、その回収率を向上させるために、減圧
された環境下で蒸溜再生を行なっている。すなわち、大
気圧下で加熱蒸発させる方法もあるが、効率良く蒸溜す
るために減圧と加熱とを併用している。そして、蒸発し
た気体を冷却凝縮することにより蒸発分離した気体を液
化して回収することが行われている。
素系溶剤が用いられるが、炭化水素系溶剤の場合には、
環境汚染防止のために洗浄によって汚染された炭化水素
系溶剤中の重質の油等を除去して軽質油分である回収
液、すなわち、炭化水素系溶剤を再生することが行なわ
れている。この炭化水素系溶剤の再生時に、溶剤の劣化
を防止し、かつ、その回収率を向上させるために、減圧
された環境下で蒸溜再生を行なっている。すなわち、大
気圧下で加熱蒸発させる方法もあるが、効率良く蒸溜す
るために減圧と加熱とを併用している。そして、蒸発し
た気体を冷却凝縮することにより蒸発分離した気体を液
化して回収することが行われている。
【０００３】その一例を図２に基づいて説明する。ま
ず、原液貯槽１に貯えられた原液は、プレートフィン型
熱交換器により形成された蒸発器２に供給され、この蒸
発器２中において、熱媒体加熱器３で加熱された熱媒体
４により加熱される。そして、蒸発器２の内部では、真
空ポンプ５による減圧された状態で蒸発し、気液分離器
６によって廃油と蒸気に分離される。ついで、この気液
分離器６で分離された蒸気は、凝縮器７中で冷却水８に
より冷却されて液化し、再生油受け器９に回収される。
また、気液分離器６で分離された廃油１０は、廃油受け
器１１に回収される。一方、熱媒体４は、熱媒体受け器
１２を介して熱媒体加熱器３に送られて循環する。そし
て、熱媒体加熱器３には、熱源装置１３が接続されて熱
媒体４を所定の温度に加熱している。このような方式に
よるため、フラッシュ蒸溜は減圧下で行なわれ、熱媒体
４を熱安定性の高い油とすれば、間接加熱が可能であ
り、安全な操業が可能になっている。
ず、原液貯槽１に貯えられた原液は、プレートフィン型
熱交換器により形成された蒸発器２に供給され、この蒸
発器２中において、熱媒体加熱器３で加熱された熱媒体
４により加熱される。そして、蒸発器２の内部では、真
空ポンプ５による減圧された状態で蒸発し、気液分離器
６によって廃油と蒸気に分離される。ついで、この気液
分離器６で分離された蒸気は、凝縮器７中で冷却水８に
より冷却されて液化し、再生油受け器９に回収される。
また、気液分離器６で分離された廃油１０は、廃油受け
器１１に回収される。一方、熱媒体４は、熱媒体受け器
１２を介して熱媒体加熱器３に送られて循環する。そし
て、熱媒体加熱器３には、熱源装置１３が接続されて熱
媒体４を所定の温度に加熱している。このような方式に
よるため、フラッシュ蒸溜は減圧下で行なわれ、熱媒体
４を熱安定性の高い油とすれば、間接加熱が可能であ
り、安全な操業が可能になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述の装置によれば、
原液を蒸発器２内で加熱する熱媒体４は、熱媒体加熱器
３内で加熱されるものであるが、引火防止のために間接
加熱をしなければならず、その熱媒体加熱器３内の熱媒
体４を加熱する熱源装置１３は、付帯設備として独立し
た構造のものを付加しなければならない。そのため、熱
源装置１３自体がボイラー等の他の熱源として構造的に
別個の装置が必要になり、構造が複雑化すると共に大型
化する。また、熱エネルギーとしても、熱媒体４を加熱
するために相当なものが必要となっている。
原液を蒸発器２内で加熱する熱媒体４は、熱媒体加熱器
３内で加熱されるものであるが、引火防止のために間接
加熱をしなければならず、その熱媒体加熱器３内の熱媒
体４を加熱する熱源装置１３は、付帯設備として独立し
た構造のものを付加しなければならない。そのため、熱
源装置１３自体がボイラー等の他の熱源として構造的に
別個の装置が必要になり、構造が複雑化すると共に大型
化する。また、熱エネルギーとしても、熱媒体４を加熱
するために相当なものが必要となっている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
真空ポンプに接続された負圧の環境下で原液を蒸発させ
る蒸溜タンクと、蒸発した蒸気を冷凍機直膨ガスで冷却
して減圧下で連続的に液化する凝縮再生器と、この凝縮
再生器で液化された液を減圧下で回収する回収タンクと
を配設し、前記凝縮再生器に供給された冷凍機冷媒を圧
縮する冷凍機を設け、この冷凍機の吐出側に接続された
溶液加熱器を前記蒸溜タンク内に配設した。
真空ポンプに接続された負圧の環境下で原液を蒸発させ
る蒸溜タンクと、蒸発した蒸気を冷凍機直膨ガスで冷却
して減圧下で連続的に液化する凝縮再生器と、この凝縮
再生器で液化された液を減圧下で回収する回収タンクと
を配設し、前記凝縮再生器に供給された冷凍機冷媒を圧
縮する冷凍機を設け、この冷凍機の吐出側に接続された
溶液加熱器を前記蒸溜タンク内に配設した。
【０００６】請求項２記載の発明は、中管に冷凍機冷媒
を通過させ外管に蒸発した蒸気を通過させる二重管構造
で螺旋状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液
化してその自重で下方の回収タンクに流下するようにし
た凝縮再生器とした。
を通過させ外管に蒸発した蒸気を通過させる二重管構造
で螺旋状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液
化してその自重で下方の回収タンクに流下するようにし
た凝縮再生器とした。
【０００７】請求項３記載の発明は、蒸溜タンクの下部
に濃縮液取出口を形成した。
に濃縮液取出口を形成した。
【０００８】請求項４記載の発明は、冷凍機の吐出側と
蒸溜タンク内の溶液加熱器との間に、冷凍機冷媒補助加
熱ヒータを配設した。
蒸溜タンク内の溶液加熱器との間に、冷凍機冷媒補助加
熱ヒータを配設した。
【０００９】請求項５記載の発明は、冷凍機冷媒管の内
部にシースヒータを配設した。
部にシースヒータを配設した。
【００１０】
【作用】請求項１記載の発明によれば、冷凍機の吐出側
に発生する熱を利用して蒸溜タンク内の原液を加熱して
蒸発させることができ、これにより、冷凍機冷媒を圧縮
した際の熱を有効に利用することができ、また、冷凍機
の吐出側に接続した溶液加熱器を蒸溜タンク内に設けて
いるため、大掛かりな付帯設備を要することがなく、装
置も大型化することもない。
に発生する熱を利用して蒸溜タンク内の原液を加熱して
蒸発させることができ、これにより、冷凍機冷媒を圧縮
した際の熱を有効に利用することができ、また、冷凍機
の吐出側に接続した溶液加熱器を蒸溜タンク内に設けて
いるため、大掛かりな付帯設備を要することがなく、装
置も大型化することもない。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、冷却液化し
た液の回収が容易になる。
た液の回収が容易になる。
【００１２】請求項３記載の発明によれば、蒸溜タンク
内で濃縮液を生成して回収することができる。
内で濃縮液を生成して回収することができる。
【００１３】請求項４記載の発明によれば、冷凍機の吐
出側に発生する熱だけでなく、外部熱源の利用も簡単に
行なうことができる。
出側に発生する熱だけでなく、外部熱源の利用も簡単に
行なうことができる。
【００１４】請求項５記載の発明によれば、冷凍機冷媒
を直接的に加熱しても引火のおそれがない。
を直接的に加熱しても引火のおそれがない。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例を図１に基づいて説明す
る。本実施例は、汚染された炭化水素系溶剤を浄化する
洗浄液再生回収装置に関するものである。まず、蒸溜タ
ンク２１には、洗浄に使用されて汚染された原液が供給
される原液供給口２２が供給バルブ２３を介して接続さ
れている。この蒸溜タンク２１の下方からは、バルブ２
４を介して濃縮液取出口としても作用する廃油排出口２
５が引き出されている。また、前記蒸溜タンク２１に
は、制御バルブ２６を介して凝縮再生器２７が接続され
ている。この凝縮再生器２７には、制御バルブ２８を介
して回収タンク２９が接続され、この回収タンク２９に
は、バルブ３０を介して回収液吐出口３１が接続されて
いる。そして、前記蒸溜タンク２１と前記凝縮再生器２
７とには、真空ポンプ３２が接続されている。
る。本実施例は、汚染された炭化水素系溶剤を浄化する
洗浄液再生回収装置に関するものである。まず、蒸溜タ
ンク２１には、洗浄に使用されて汚染された原液が供給
される原液供給口２２が供給バルブ２３を介して接続さ
れている。この蒸溜タンク２１の下方からは、バルブ２
４を介して濃縮液取出口としても作用する廃油排出口２
５が引き出されている。また、前記蒸溜タンク２１に
は、制御バルブ２６を介して凝縮再生器２７が接続され
ている。この凝縮再生器２７には、制御バルブ２８を介
して回収タンク２９が接続され、この回収タンク２９に
は、バルブ３０を介して回収液吐出口３１が接続されて
いる。そして、前記蒸溜タンク２１と前記凝縮再生器２
７とには、真空ポンプ３２が接続されている。
【００１６】ついで、冷凍機冷媒を凝縮する冷媒ガス凝
縮器３３が設けられ、この冷媒ガス凝縮器３３には、膨
張弁３４が接続され、この膨張弁３４には前記凝縮再生
器２７が接続されている。この凝縮再生器２７を経た冷
凍機冷媒の経路は、冷凍機３５に接続されているもので
あり、この冷凍機３５の吐出側と前記冷媒ガス凝縮器３
３との間には、前記蒸溜タンク２１内に位置する溶液加
熱器３６が設けられている。また、前記冷凍機３５と前
記溶液加熱器３６との間の冷凍機冷媒管３７の中には、
電気ヒータ電源３８に接続されたシースヒータ３９が挿
通されて冷凍機冷媒補助加熱ヒータ４０が形成されてい
る。
縮器３３が設けられ、この冷媒ガス凝縮器３３には、膨
張弁３４が接続され、この膨張弁３４には前記凝縮再生
器２７が接続されている。この凝縮再生器２７を経た冷
凍機冷媒の経路は、冷凍機３５に接続されているもので
あり、この冷凍機３５の吐出側と前記冷媒ガス凝縮器３
３との間には、前記蒸溜タンク２１内に位置する溶液加
熱器３６が設けられている。また、前記冷凍機３５と前
記溶液加熱器３６との間の冷凍機冷媒管３７の中には、
電気ヒータ電源３８に接続されたシースヒータ３９が挿
通されて冷凍機冷媒補助加熱ヒータ４０が形成されてい
る。
【００１７】しかして、前記凝縮再生器２７は、冷凍機
冷媒を通過させる中管４１と蒸発した蒸気を通過させる
外管４２とによる二重管構造であり、この二重管は、螺
旋状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液化し
てその自重で下方の回収タンク２９に流下するように形
成されている。
冷媒を通過させる中管４１と蒸発した蒸気を通過させる
外管４２とによる二重管構造であり、この二重管は、螺
旋状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液化し
てその自重で下方の回収タンク２９に流下するように形
成されている。
【００１８】このような構成において、冷凍機３５及び
真空ポンプ３２が駆動された状態で蒸溜タンク２１に原
液が供給される。供給された原液は、蒸溜タンク２１内
の減圧された環境下で蒸発する。この際、溶液加熱器３
６により加熱されるが、溶液加熱器３６による加熱は間
接加熱であるため引火が防止された状態であり、１５０
℃まで加熱しても安全である。そのため、減圧されると
共に加熱されていることから原液は有効に蒸発し、分離
すべき廃油となる重質の油等は、蒸溜タンク２１の底部
に溜る。一方、この蒸溜タンク２１で発生した被凝縮ガ
スとしての蒸気は、凝縮再生器２７で冷却されて回収液
として再生される。この凝縮再生器２７は、二重管構造
であり、中管４１に冷凍機冷媒が通され、外管４２に被
凝縮ガスが通される。その中管４１内の冷凍機冷媒は、
膨張弁３４の部分で膨張するため、その潜熱により被凝
縮ガスを冷却して液化させる。また、構造的には、螺旋
状に二重管が巻き上げられている。そのため、内部で凝
縮液化すれば、液化した回収液は自重で流下し、下方の
回収タンク２９内に流れ込む。
真空ポンプ３２が駆動された状態で蒸溜タンク２１に原
液が供給される。供給された原液は、蒸溜タンク２１内
の減圧された環境下で蒸発する。この際、溶液加熱器３
６により加熱されるが、溶液加熱器３６による加熱は間
接加熱であるため引火が防止された状態であり、１５０
℃まで加熱しても安全である。そのため、減圧されると
共に加熱されていることから原液は有効に蒸発し、分離
すべき廃油となる重質の油等は、蒸溜タンク２１の底部
に溜る。一方、この蒸溜タンク２１で発生した被凝縮ガ
スとしての蒸気は、凝縮再生器２７で冷却されて回収液
として再生される。この凝縮再生器２７は、二重管構造
であり、中管４１に冷凍機冷媒が通され、外管４２に被
凝縮ガスが通される。その中管４１内の冷凍機冷媒は、
膨張弁３４の部分で膨張するため、その潜熱により被凝
縮ガスを冷却して液化させる。また、構造的には、螺旋
状に二重管が巻き上げられている。そのため、内部で凝
縮液化すれば、液化した回収液は自重で流下し、下方の
回収タンク２９内に流れ込む。
【００１９】しかして、冷凍機３５は継続的に運転され
ているため、凝縮再生器２７を通過した冷凍機冷媒を圧
縮する。この圧縮により冷凍機３５の吐出側の温度は、
６０〜９０℃程度にまで温度上昇する。この冷凍機３５
で温度上昇した冷凍機冷媒は、冷凍機冷媒補助加熱ヒー
タ４０でさらに１５０℃程度にまで加熱された上で溶液
加熱器３６に供給され、前述のように原液を加熱する。
この冷凍機冷媒補助加熱ヒータ４０部分の構造も、冷凍
機冷媒管３７内にシースヒータ３９が通されたものであ
るため、直接加熱であってもその安全性は高い。
ているため、凝縮再生器２７を通過した冷凍機冷媒を圧
縮する。この圧縮により冷凍機３５の吐出側の温度は、
６０〜９０℃程度にまで温度上昇する。この冷凍機３５
で温度上昇した冷凍機冷媒は、冷凍機冷媒補助加熱ヒー
タ４０でさらに１５０℃程度にまで加熱された上で溶液
加熱器３６に供給され、前述のように原液を加熱する。
この冷凍機冷媒補助加熱ヒータ４０部分の構造も、冷凍
機冷媒管３７内にシースヒータ３９が通されたものであ
るため、直接加熱であってもその安全性は高い。
【００２０】このようなことから、冷凍機冷媒の配管の
一部に溶液加熱器分を設けることにより、蒸溜タンク２
１内での原液を加熱することができるため、大掛かりな
付帯設備を設けることなく有効な蒸発作用を行なわせる
ことができるものである。
一部に溶液加熱器分を設けることにより、蒸溜タンク２
１内での原液を加熱することができるため、大掛かりな
付帯設備を設けることなく有効な蒸発作用を行なわせる
ことができるものである。
【００２１】なお、前記実施例では、汚染された炭化水
素系溶剤からの蒸発成分を液化することにより浄化して
再生油として回収する洗浄液再生回収装置について説明
したが、複数種類の混合された状態の液体から軽質の液
体を除去して濃縮液を回収するための蒸溜濃縮装置とし
ても利用することが可能である。この場合には、軽質の
液体を蒸発させてその残りとしての蒸溜タンク２１の下
部に濃縮液が溜ることになる。この蒸溜タンク２１の下
方に設けられた廃油排出口２５が濃縮液取出口として作
用し、生成された濃縮液は回収される。
素系溶剤からの蒸発成分を液化することにより浄化して
再生油として回収する洗浄液再生回収装置について説明
したが、複数種類の混合された状態の液体から軽質の液
体を除去して濃縮液を回収するための蒸溜濃縮装置とし
ても利用することが可能である。この場合には、軽質の
液体を蒸発させてその残りとしての蒸溜タンク２１の下
部に濃縮液が溜ることになる。この蒸溜タンク２１の下
方に設けられた廃油排出口２５が濃縮液取出口として作
用し、生成された濃縮液は回収される。
【００２２】
【発明の効果】本発明は上述のように、真空ポンプに接
続された負圧の環境下で原液を蒸発させる蒸溜タンク
と、蒸発した蒸気を冷凍機直膨ガスで冷却して減圧下で
連続的に液化する凝縮再生器と、この凝縮再生器で液化
された液を減圧下で回収する回収タンクとを配設し、前
記凝縮再生器に供給された冷凍機冷媒を圧縮する冷凍機
を設け、この冷凍機の吐出側に接続された溶液加熱器を
前記蒸溜タンク内に配設したので、冷凍機の吐出側に発
生する熱を利用して蒸溜タンク内の原液を加熱して蒸発
させることができ、これにより、冷凍機冷媒を圧縮した
際の熱を有効に利用することができ、また、冷凍機の吐
出側に接続した溶液加熱器を蒸溜タンク内に設けている
ため、大掛かりな付帯設備を要することがなく、装置も
大型化することもなく、また、中管に冷凍機冷媒を通過
させ外管に蒸発した蒸気を通過させる二重管構造で螺旋
状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液化して
その自重で下方の回収タンクに流下するようにした凝縮
再生器としたので、冷却液化した液の回収が容易にな
り、冷凍機の吐出側と蒸溜タンク内の溶液加熱器との間
に、冷凍機冷媒補助加熱ヒータを配設したので、冷凍機
の吐出側に発生する熱だけでなく、外部熱源の利用も引
火のおそれのない状態で簡単に行なうことができ、冷凍
機冷媒管の内部にシースヒータを配設することにより、
冷凍機冷媒を直接的に加熱しても引火のおそれがなく、
蒸溜タンクの下部に濃縮液取出口を形成することによ
り、蒸溜タンク内で濃縮液を生成して回収することがで
きる等の効果を有する。
続された負圧の環境下で原液を蒸発させる蒸溜タンク
と、蒸発した蒸気を冷凍機直膨ガスで冷却して減圧下で
連続的に液化する凝縮再生器と、この凝縮再生器で液化
された液を減圧下で回収する回収タンクとを配設し、前
記凝縮再生器に供給された冷凍機冷媒を圧縮する冷凍機
を設け、この冷凍機の吐出側に接続された溶液加熱器を
前記蒸溜タンク内に配設したので、冷凍機の吐出側に発
生する熱を利用して蒸溜タンク内の原液を加熱して蒸発
させることができ、これにより、冷凍機冷媒を圧縮した
際の熱を有効に利用することができ、また、冷凍機の吐
出側に接続した溶液加熱器を蒸溜タンク内に設けている
ため、大掛かりな付帯設備を要することがなく、装置も
大型化することもなく、また、中管に冷凍機冷媒を通過
させ外管に蒸発した蒸気を通過させる二重管構造で螺旋
状に立ち上がらせて通過途中で前記蒸気が冷却液化して
その自重で下方の回収タンクに流下するようにした凝縮
再生器としたので、冷却液化した液の回収が容易にな
り、冷凍機の吐出側と蒸溜タンク内の溶液加熱器との間
に、冷凍機冷媒補助加熱ヒータを配設したので、冷凍機
の吐出側に発生する熱だけでなく、外部熱源の利用も引
火のおそれのない状態で簡単に行なうことができ、冷凍
機冷媒管の内部にシースヒータを配設することにより、
冷凍機冷媒を直接的に加熱しても引火のおそれがなく、
蒸溜タンクの下部に濃縮液取出口を形成することによ
り、蒸溜タンク内で濃縮液を生成して回収することがで
きる等の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すシステム図である。
【図２】従来の洗浄液再生回収装置のプロセスを示す説
明図である。
明図である。
２１ 蒸溜タンク ２７ 凝縮再生器 ２９ 回収タンク ３２ 真空ポンプ ３３ 冷媒ガス凝縮器 ３５ 冷凍機 ３６ 溶液加熱器 ４０ 冷凍機冷媒補助加熱ヒータ ４１ 中管 ４２ 外管
Claims (5)
- 【請求項１】 真空ポンプに接続された負圧の環境下で
原液を蒸発させる蒸溜タンクと、蒸発した蒸気を冷凍機
冷媒の直膨ガスで冷却して減圧下で連続的に液化する凝
縮再生器と、この凝縮再生器で液化された液を減圧下で
回収する回収タンクとを配設し、前記凝縮再生器に供給
された冷凍機冷媒を圧縮する冷凍機を設け、この冷凍機
の吐出側に接続された溶液加熱器を前記蒸溜タンク内に
配設したことを特徴とする溶液減圧蒸溜装置。 - 【請求項２】 中管に冷凍機冷媒を通過させ外管に蒸発
した蒸気を通過させる二重管構造で螺旋状に立ち上がら
せて通過途中で前記蒸気が冷却液化してその自重で下方
の回収タンクに流下するようにした凝縮再生器であるこ
とを特徴とする請求項１記載の溶液減圧蒸溜装置。 - 【請求項３】 蒸溜タンクの下部に濃縮液取出口を形成
したことを特徴とする請求項１記載の溶液減圧蒸溜装
置。 - 【請求項４】 冷凍機の吐出側と蒸溜タンク内の溶液加
熱器との間に、冷凍機冷媒補助加熱ヒータを配設したこ
とを特徴とする請求項１記載の溶液減圧蒸溜装置。 - 【請求項５】 冷凍機冷媒管の内部にシースヒータを配
設したことを特徴とする請求項４記載の溶液減圧蒸溜装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9466595A JPH08290004A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 溶液減圧蒸溜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9466595A JPH08290004A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 溶液減圧蒸溜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290004A true JPH08290004A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14116551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9466595A Pending JPH08290004A (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | 溶液減圧蒸溜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08290004A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008026301A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Distillation apparatus |
| CN108587793A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-09-28 | 福建省三明市明溪天馨香料有限公司 | 一种中部回旋扩散负压蒸馏的工业植物精油提取工艺及设备 |
| CN119028879A (zh) * | 2024-08-27 | 2024-11-26 | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 | 一种晶圆用回收处理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS541476U (ja) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | ||
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