JPH08291346A - スクラップから希土類元素を回収する方法および希土類−遷移金属系合金粉末を製造する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スパッタリングターゲットのスクラップから
希土類元素を分離回収する方法を提供する。 【解決手段】 スパッタリングターゲットのスクラップ
を酸で溶解して溶液とした後、この溶液中の希土類元素
を０．６〜２．０当量の蓚酸にて選択的に沈澱し、濾過
・乾燥後、さらに７００℃以上の温度に酸化焙焼させ、
希土類酸化物として回収し、そして、この希土類酸化物
から希土類−遷移金属系合金粉末を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、希土類元素を主要
元素として含有する光磁気記録媒体（ディスク）の製造
において生じるスクラップから、希土類元素を希土類酸
化物粉末として回収する方法、および希土類−遷移金属
系合金粉末を製造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、情報を高密度で記録でき、再生、
消去さらに再記録を容易に行うことができる記録媒体と
して光磁気記録媒体が開発され、その記録層を形成する
磁性金属薄膜用の合金として、希土類−遷移金属系の非
晶質合金が知られている。この磁性金属薄膜の製造方法
としてスパッタリング法、イオンプレーティング法、真
空蒸着法が用いられているが、スパッタリング法が最も
良く用いられている。このスパッタリング法には合金タ
ーゲットが必要である。

【０００３】スパッタリング法により磁性金属薄膜を製
造するための合金ターゲットを製造する方法としては、 １．希土類元素と遷移金属を熔解・鋳造して成形する方
法、 ２．前記鋳造物をさらに不活性ガス雰囲気中で粉砕し粉
末冶金法にて成形する方法、 ３．希土類元素粉末と遷移金属粉末を混合した後、粉末
冶金法にて形成する方法、 ４．還元拡散法にて希土類−遷移金属系合金粉末を製造
して、粉末冶金法にて形成する方法などがある。 このようにして成形されたスパッタリングターゲットに
は様々な組成が存在するものの、多くのスパッタリング
ターゲットにはＴｂ、Ｇｄ、Ｄｙをはじめとする希土類
元素が含まれている。希土類元素は高価であり、希土類
元素の含有量がスパッタリングターゲットの価格に反映
されている。また、現在のところスパッタリングターゲ
ットの使用効率は悪く、６０重量％近くがスクラップと
して残ってしまう。従って、コスト的に有利な方法でス
パッタリングターゲットのスクラップから希土類元素を
回収できることが望まれている。

【０００４】スパッタリングターゲットのスクラップか
らの希土類元素回収方法としては、様々な方法が考案さ
れている。しかし、高純度な希土類酸化物を回収するた
めには、遷移金属や他の希土類元素と分離するために溶
媒抽出などの煩雑な工程が必要である。さらに、これを
希土類元素とするには還元工程が必要となりコスト高と
なってしまうため、有効な回収方法および再利用方法が
模索されているところである。さらに、遷移金属の他、
ハンダ成分であるＩｎも含まれているスパッタリングタ
ーゲットのスクラップから高純度な希土類元素を分離回
収するプロセスは確立されておらず、安価な回収方法を
早急に確立することが必要とされている。一方、スパッ
タリングターゲットとして用いる低酸素含有量の希土類
元素−遷移金属合金を製造する方法が特公平５−４８２
８１号に開示されている。この方法は、還元剤として働
くアルカリ金属、アルカリ土類金属を配合し、還元拡散
法と呼ばれる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、光磁
気記録媒体用スパッタリングターゲットのスクラップか
ら、溶媒抽出などの複雑な工程を通さずに、希土類元素
を回収する方法および当該方法により生成した希土類元
素粉末を提供することにある。本発明の他の目的は、光
磁気記録媒体用スパッタリングターゲットのスクラップ
から、溶媒抽出などの複雑な工程を通さずに、遷移金属
元素を含む希土類酸化物を得て、還元拡散法により、高
純度希土類酸化物を用いた場合と同様の安定した組成で
スパッタリングターゲットに適した焼結用合金粉末を製
造する方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる希土類元
素の回収方法は、希土類元素と共に遷移金属およびＩｎ
を含むスクラップから希土類元素を回収するのに適用さ
れ、スパッタリングターゲットのスクラップを酸で溶解
して溶液とした後、該溶液のｐＨを１〜５に調整し、こ
の溶液中の希土類元素を０．６〜２．０当量の蓚酸にて
選択的に沈澱させ、濾過・乾燥後、さらに７００℃以上
の温度にて酸化焙焼し、希土類酸化物粉末として回収す
る。スパッタリングターゲットのスクラップを溶解し、
濾過により未溶解残渣を除去した溶液には、そこに含有
される希土類元素を蓚酸物として沈澱させるのに必要な
蓚酸の量に対し０．６〜２．０当量の蓚酸を添加して希
土類元素を蓚酸塩として沈澱させる。このとき、蓚酸添
加当量が少ないと、希土類元素の回収率が低くなり、蓚
酸添加当量が高いと希土類元素の回収率は良くなるが、
Ｆｅ等の不純物濃度が高くなる傾向があり、かつ蓚酸コ
ストの面でも好ましくない。希土類元素として回収する
場合、Ｆｅ、Ｃｏ等の遷移金属元素の共沈をできるだけ
防ぐために蓚酸添加当量は低い方がよいが、希土類元素
の収率向上のために、望ましくは、０．８〜１．０当量
の蓚酸添加量とする。

【０００７】また、蓚酸添加時の液ｐＨを全く調整しな
いまま、具体的にはｐＨ１未満で蓚酸による沈澱を実施
すると、希土類元素の回収率が低くなってしまう。逆
に、ｐＨが５を越えると、鉄をはじめとする遷移金属元
素や、上記スクラップに付着しているＩｎが水酸化物と
して沈澱してしまい、希土類元素のみの選択的な回収が
困難になる。そこで、水酸化ナトリウム水溶液等のアル
カリを添加してｐＨを１以上５以下になるように調整す
る必要がある。特に、効果的に沈澱を生じさせるには、
ｐＨを２付近に維持することが最も好ましい。この操作
により、上記スクラップに付着しているＩｎ等の不純物
は液中に残るから、沈澱する希土類元素から分離でき
る。沈澱させた希土類蓚酸塩は濾過・水洗後、大気中で
乾燥し、さらに希土類蓚酸塩を７００℃以上で酸化焙焼
することによって、蓚酸を完全に分解し、炭素を含まな
い希土類酸化物が得られる。なお、焙焼温度が１３００
℃を超えると、周辺機器への影響が大きくなり、且つ、
エネルギー損失が増大する。このようにして得られた希
土類酸化物は粉末状で、その粒径は０．１〜３０ミクロ
ンである。そして、遷移金属系不純物の含有量は０．３
重量％以下となる。

【０００８】一方、本発明による希土類−遷移金属系合
金粉の製造方法では、希土類元素と共に遷移金属を含む
スパッタリングターゲット用合金粉末として回収するの
で、希土類元素のみを選択的に回収する場合とは、蓚酸
添加時の当量やｐＨが異なる。すなわち、スパッタリン
グターゲットのスクラップを酸で溶解して溶液とした
後、ｐＨを調整しないで、この溶液中の希土類元素を
１．０〜１．５当量の蓚酸にて沈殿させ、濾過・乾燥
後、７００℃以上の温度で酸化焙焼し、低品位の遷移金
属元素を含む希土類酸化物として回収する。希土類−遷
移金属系合金粉の製造方法では、蓚酸添加当量は１．０
〜１．５当量が望ましい。この際、ターゲットに含まれ
る遷移金属であるＦｅが若干混入するが、再び使用する
ターゲット組成にはＦｅが含まれていることと、還元拡
散法で希土類を還元する際に同時に還元されることか
ら、特に問題とはならない。しかし、Ｆｅの含有量が１
０％を越えるようだと、還元拡散法で製造される合金粉
末の焼結が進行して好ましくない。低コストで高い希土
類回収率を得るための蓚酸添加量は、１．１〜１．３当
量程度が好ましい。

【０００９】次に、このようにして、回収した希土類酸
化物の粉末と、Ｆｅ、ＮｉおよびＣｏの少なくとも１種
を含む遷移金属の粉末と、アルカリ金属、アルカリ土類
金属から選ばれる少なくとも１種と、塩化カルシウムと
を混合する。そして、該混合物を不活性ガス雰囲気中ま
たは真空下で加熱した後、反応生成混合物を湿式処理す
ることにより希土類−遷移金属系合金粉末を製造する。
これについて、以下に説明する。上記アルカリ金属等
は、還元剤として作用し、不活性ガス雰囲気中、または
真空中で加熱処理することにより混合物の還元が行われ
る。不活性ガスとしては、たとえばアルゴン等が好適で
あり、真空中で行う場合には、真空度を１０^-1Ｐａ以下
とすることが望ましい。

【００１０】また加熱処理の温度は、９００〜１３００
℃、特に９５０〜１１５０℃の範囲が適当であり、加熱
時間は特に制約されないが、組成が均一な合金粉を得る
ためには１〜１０時間とすることが好ましい。この還元
反応により得られる生成物は、目的とする希土類−遷移
金属の他、還元剤であるアルカリ金属等の酸化物および
未反応のアルカリ金属、塩化カルシウムを含む塊状の混
合物である。この塊状混合物を湿式処理に付するわけで
あるが、この湿式処理は、該混合物を水中に投入し攪拌
するなどの方法で水と接触させればよい。すなわち、塊
状混合物を水と接触させると、これに含まれている未反
応還元剤および副生した還元剤の酸化物等が水と反応
し、たとえばＣａ（ＯＨ）₂ 等の水酸化物を生成して溶
解する。したがって、塊状混合物は容易に崩壊する。本
発明において、この崩壊時間は１〜２時間で完結する。
得られた合金粉末は、実質的に５０メッシュ以下の粒度
を有し、Ｃａなどの不純物は０．３重量％以下となる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明で、希土類元素を回収し、
また希土類−遷移金属系合金粉を製造するのに用いられ
るスクラップは、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｎｄ、Ｐｒ等の希
土類元素を１種もしくは２種以上含有している使用済み
の光磁気記録媒体製造用スパッタリングターゲットであ
る。このスパッタリングターゲットのスクラップ中に
は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｒ等の遷移金属元素と、さらにボン
ディングに使用されるハンダ成分であるＩｎ等の不純物
が付着している。本発明において、上記スクラップを溶
解するための酸類としては、塩酸、硫酸、硝酸等様々な
種類のものが挙げられるが、価格の面からは、塩酸が望
ましい。当該塩酸の濃度は、１規定程度にまで希釈した
ものを用いても問題ないが、上記スクラップの溶解速度
の関係から６規定程度が好ましい。また、上記スクラッ
プはそのままの形でも酸溶解することが可能であるが、
溶解時間を短縮するために数ミリ角以下に粉碎すること
が望ましい。上記スクラップを溶解した溶液は、濾過し
て未溶解残渣を除去する。

【００１２】未溶解残渣を除去した溶液には、そこに含
有される希土類元素を蓚酸物として沈澱させるのに必要
な蓚酸の量に対し、希土類元素を酸化物として回収する
場合には、０．６〜１．０当量の蓚酸を、また希土類元
素−遷移金属系合金粉として回収する場合には、１．０
〜１．５当量の蓚酸を添加して希土類元素を蓚酸塩とし
て沈澱させる。この操作により、上記スクラップに付着
しているＩｎ等の不純物は液中に残るため、沈澱する希
土類元素から分離される。沈澱させた希土類蓚酸塩は、
濾過・水洗後、乾燥器中で大気乾燥し、さらに希土類蓚
酸物は、磁性ルツボに装入後、酸化雰囲気に保持された
電気炉中で、７００℃〜１３００℃で、１〜５時間酸化
焙焼する。この酸化焙焼によって、蓚酸を完全に分解さ
せ、粒径が０．１〜３０ミクロンの粉末状希土類酸化物
を得る。さらに、希土類−遷移金属系合金粉を得る場
合、上述した工程で得られた希土類酸化物粉末と遷移金
属の粉末、およびアルカリ金属等の還元剤、さらに、水
中崩壊促進剤として作用する塩化カルシウムとを混合
し、混合物を形成する。各成分の混合は、乾燥不活性ガ
ス雰囲気等の吸湿の生じない条件下で行われる。

【００１３】上記混合物の還元は、不活性ガス雰囲気
中、または真空中で加熱処理することにより行われる。
不活性ガスとしては、たとえばアルゴン等が好適であ
り、真空中で行う場合には、真空度を１０^-1Ｐａ以下と
することが望ましい。また加熱処理の温度は、９００〜
１３００℃、特に９５０〜１１５０℃の範囲が適当であ
り、加熱時間は特に制約されないが、組成が均一な合金
粉を得るためには１〜１０時間とすることが好ましい。
この還元反応により得られる生成物は、目的とする希土
類−遷移金属の他、還元剤であるアルカリ金属等の酸化
物および未反応のアルカリ金属、塩化カルシウムを含む
塊状の混合物である。該混合物を水中に投入し攪拌する
などの方法で水と接触させる。

【００１４】水との接触によって崩壊したスラリーを攪
拌後、デカンテーションによって上部のアルカリ金属等
の水酸化物を除去し、注水−攪拌−デカンテーションの
操作を繰り返すことにより、該水酸化物を得られた合金
粉末から除去する。また、一部残留した水酸化物は、酢
酸あるいは塩酸を用いて、ｐＨ３〜６、好ましくは４〜
５を維持しながら、３〜１０分酸洗し、残留水酸化物と
合金粉表面に生成した酸化皮膜を除去する。このような
湿式処理を経て得られた合金粉末は、たとえば、水洗後
あるいはエタノール等の有機溶剤で洗浄、脱水し、真空
乾燥すれば良い。上記説明したように、スパッタリング
ターゲットスクラップから回収した希土類酸化物を用い
て得られた合金粉末は、再び光磁気記録媒体用合金ター
ゲット用合金粉末として利用することが可能になる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。以下において、％は重量％を表す。 ［実施例１］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃ
ｒ系スパッタリングターゲット（組成はＴｂ：４５．５
０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃｒ：
１．９０％）、のスクラップ（ターゲット組成の他にハ
ンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６００ｇを６
規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解した。この溶
液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去した。濾液
に水酸化ナトリウム溶液を加えてｐＨが２になるよう調
整して、攪拌しながら、蓚酸０．８当量（ここに当量
は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をいう）すなわち２６
０．１６ｇを水に溶解したものを徐々に加えて蓚酸Ｔｂ
を沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水洗し、大
気乾燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分を除去
した蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ大気雰囲気中で
酸化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃で、保持時間
は２時間とした。こうして回収した酸化物を分析した結
果、その組成はＴｂ：８４．６％、Ｆｅ：０．１６％、
Ｃｏ：０．０４％、Ｃｒ：＜０．０１％、Ｉｎ：＜０．
０１％、Ｃ：０．０２６％で、Ｔｂ以外の元素が非常に
低い酸化Ｔｂが得られた。この酸化Ｔｂの粒度は０．１
〜２０ミクロン（中位径４．２ミクロン）であった。ま
た回収した酸化物の重量は２４８．１ｇで、Ｔｂ回収率
は７６．９％であった。

【００１６】［実施例２］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系スパッタリングターゲット（組成はＴ
ｂ：４５．５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１
０％、Ｃｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組
成の他にハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６
００ｇを６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解し
た。この溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去
した。濾液に水酸化ナトリウム溶液を加えてｐＨが２に
なるよう調整して、濾液を攪拌しながら、蓚酸１．０当
量（ここに当量は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をい
う）、すなわち、３２５．２０ｇを水に溶解したものを
徐々に加えて蓚酸Ｔｂを沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔ
ｂを回収・水洗し、大気乾燥器中で約１００℃で一昼夜
乾燥した。水分を除去した蓚酸Ｔｂをセラミックルツボ
に入れ、大気雰囲気中で酸化焙焼を行った。焙焼温度は
１０００℃で、保持時間は２時間とした。こうして回収
した酸化物を分析した結果、その組成はＴｂ：８５．９
％、Ｆｅ：０．２０％、Ｃｏ：０．０４％、Ｃｒ：＜
０．０１％、Ｉｎ：＜０．０１％、Ｃ：０．０１８％
で、Ｔｂ以外の元素の濃度が非常に低い酸化物が得られ
た。この酸化物の粒度は０．１〜２０ミクロン（中位径
４．８ミクロン）であった。また回収した酸化物の重量
は３０６．５ｇで、Ｔｂ回収率は９６．４％と良好であ
った。

【００１７】［実施例３］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｇ
ｄ−Ｆｅ系スパッタリングターゲット（組成はＴｂ：１
４．９３％、Ｇｄ：３７．０４％、Ｆｅ：４８．０３
％）のスクラップ（ターゲット組成の他にハンダ成分で
あるＩｎ：０．７５％を含む）６００ｇを６規定塩酸３
０５０ｍｌに攪拌しながら溶解した。この溶液を濾過
し、僅かに残った未溶解残渣を除去した。濾液に水酸化
ナトリウム溶液を加えてｐＨが２になるよう調整して、
濾液を攪拌しながら、蓚酸１．０当量（ここに当量は、
ＴｂおよびＧｄを沈澱させるに必要な量をいう）、すな
わち、３７２．４７ｇを水に溶解したものを徐々に加え
て、蓚酸Ｔｂと蓚酸Ｇｄの混合物を沈澱させた。濾過に
より蓚酸混合物を回収・水洗し、大気乾燥器中で約１０
０℃で一昼夜乾燥した。水分を除去した蓚酸Ｔｂと蓚酸
Ｇｄの混合物をセラミックルツボに入れ、大気雰囲気中
で酸化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃で、保持時
間は２時間とした。こうして得られた酸化物を分析した
結果、その組成はＴｂ：２４．１１％、Ｇｄ：６０．０
８％、Ｆｅ：０．２８％、Ｉｎ：＜０．０１％、Ｃ：
０．０２１％で、希土類元素以外の元素の濃度が非常に
低い酸化物が得られた。この酸化物の粒度は０．１〜２
０ミクロン（中位径６．１ミクロン）であった。また、
回収した酸化物の重量は３３９．１ｇで、希土類元素回
収率は９１．６％と良好であった。

【００１８】［比較例１］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系スパッタリングターゲット（組成はＴ
ｂ：４５．５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１
０％、Ｃｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組
成の他にハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６
００ｇを６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解し
た。この溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去
した。濾液に水酸化ナトリウム溶液を加えてｐＨが２に
なるよう調整して、攪拌しながら蓚酸０．５当量（ここ
に当量は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をいう）すなわ
ち１６０．６ｇを水に溶解したものを徐々に加えて蓚酸
Ｔｂを沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水洗
し、大気乾燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分
を除去した蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気雰
囲気中で酸化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃で、
保持時間は２時間とした。こうして回収した酸化物を分
析した結果、その組成はＴｂ：８４．９％、Ｆｅ：０．
１６％、Ｃｏ：０．０４％、Ｃｒ：＜０．０１％、Ｉ
ｎ：＜０．０１％、Ｃ：０．０２６％で、Ｔｂ以外の元
素が非常に低い酸化物が得られた。この酸化物の粒度は
０．１〜２０ミクロン（中位径２．７ミクロン）であっ
た。しかし、回収した酸化物の重量は１４８．５ｇと少
なく、Ｔｂ回収率は４６．２％であった。

【００１９】［比較例２］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系スパッタリングターゲット（組成はＴ
ｂ：４５．５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１
０％、Ｃｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組
成の他にハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６
００ｇを６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解し
た。この溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去
した。濾液に水酸化ナトリウム溶液を加えてｐＨが２に
なるよう調整して、攪拌しながら、蓚酸２．１当量（こ
こに当量は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をいう）すな
わち６８２．９ｇを水に溶解したものを徐々に加えて蓚
酸Ｔｂを沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水洗
し、大気乾燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分
を除去した蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気雰
囲気中で酸化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃保持
で、時間は２時間とした。こうして回収した酸化物を分
析した結果、その組成はＴｂ：６２．７％、Ｆｅ：１
３．３％、Ｃｏ：３．５２％、Ｃｒ：１．８７％、Ｉ
ｎ：０．３２％、Ｃ：０．０２４％で、該酸化物の重量
は４１０．２ｇでＴｂ回収率は９４．２％であった。ま
た、この酸化物の粒度は０．１〜２０ミクロン（中位径
８．４ミクロン）であった。しかし、該酸化物中にはＦ
ｅ、Ｃｏ、Ｃｒ等の遷移金属元素とハンダ成分のＩｎと
が多く含まれていた。

【００２０】［比較例３］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系スパッタリングターゲット（組成はＴ
ｂ：４５．５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１
０％、Ｃｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組
成の他にハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６
００ｇを６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解し
た。この溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去
した。濾液に水酸化ナトリウム溶液を加えて、ｐＨが２
になるよう調整して、濾液を攪拌しながら、蓚酸１．０
当量（ここに当量は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をい
う）３２５．２０ｇを水に溶解したものを徐々に加えて
蓚酸Ｔｂを沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水
洗し、大気乾燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水
分を除去した蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気
雰囲気中で酸化焙焼を行った。焙焼温度は６５０℃で、
保持時間は２時間とした。こうして回収した酸化物を分
析した結果、その組成はＴｂ：７２．４％、Ｆｅ：０．
１９％、Ｃｏ：０．０５％、Ｃｒ：＜０．０１％、Ｉ
ｎ：＜０．０１％、Ｃ：１４．８％で、またその粒度は
０．１〜２０ミクロン（中位径５．０ミクロン）であっ
た、このように、Ｃ濃度が高く蓚酸Ｔｂの酸化が不十分
であった。

【００２１】［比較例４］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合金ターゲット（組成はＴｂ：４５．
５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃ
ｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組成の他に
ハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６００ｇを
６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解した。この
溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去した。濾
液ｐＨ調整は特に行わずｐＨ１未満のままで、濾液を攪
拌しながら、蓚酸１．０当量（ここに当量は、Ｔｂを沈
澱させるに必要な量をいう）、すなわち３２５．２０ｇ
を水に溶解したものを徐々に加えて蓚酸Ｔｂを沈澱させ
た。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水洗し、大気乾燥器中
で約１００℃で一昼夜乾燥した。セラミックルツボに水
分を除去した蓚酸Ｔｂを入れ、これを大気雰囲気中の電
気炉中で酸化焙焼を行って蓚酸を除去した。この時の焙
焼温度は１０００℃で、保持時間は２時間とした。こう
して回収した酸化物を分析した結果、その組成はＴｂ：
８５．０％、Ｆｅ：０．３５％、Ｃｏ：０．０６％、Ｃ
ｒ：０．０１％、Ｉｎ：０．０９％、Ｃ：０．０１８％
で、Ｉｎが混入していた。また、回収した酸化物の粒度
は０．１〜２０ミクロン（中位径４．５ミクロン）で、
重量は２８０．１ｇで、Ｔｂ回収率は８７．２％であっ
た。

【００２２】［比較例５］数ミリ角に粉砕したＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合金ターゲット（組成はＴｂ：４５．
５０％、Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃ
ｒ：１．９０％）のスクラップ（ターゲット組成の他に
ハンダ成分であるＩｎ：０．７５％を含む）６００ｇを
６規定塩酸２９００ｍｌに攪拌しながら溶解した。この
溶液を濾過し、僅かに残った未溶解残渣を除去した。濾
液に水酸化ナトリウム溶液を加えてｐＨが６になるよう
調整し、濾液を攪拌しながら蓚酸１．０当量（ここに当
量は、Ｔｂを沈澱させるに必要な量をいう）すなわち３
２５．２０ｇを水に溶解したものを徐々に加えて、蓚酸
Ｔｂを沈澱させた。濾過により蓚酸Ｔｂを回収・水洗
し、大気乾燥器中約１００℃で一昼夜乾燥した。セラミ
ックルツボに水分を除去した蓚酸Ｔｂを入れ、これを大
気雰囲気中の電気炉中で酸化焙焼を行って蓚酸を除去し
た。この時の焙焼温度は１０００℃で、保持時間は２時
間とした。こうして回収した酸化物を分析した結果、そ
の組成はＴｂ：８０．３％、Ｆｅ：３．１５％、Ｃｏ：
０．８６％、Ｃｒ：０．２１％、Ｉｎ：０．１１％、
Ｃ：０．０１８％で、Ｉｎが混入していた。また、回収
した酸化物の粒度は０．１〜２０ミクロン（中位径９．
２ミクロン）で、重量は２６８．９ｇで、Ｔｂ回収率は
８３．７％であった。

【００２３】［実施例４］Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合
金ターゲットスクラップ（組成はＴｂ：４５．５０％、
Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃｒ：１．９
０％）６００ｇを数ミリ角に粉砕し、６規定塩酸２９０
０ｍｌに攪拌しながら溶解した。溶液を濾過し、僅かに
残った未溶解残渣を除去した。ろ液のｐＨ調整は、特に
行わず、１以下で、ろ液を攪拌しながら、蓚酸１．１当
量（当量：Ｔｂを沈澱させるに必要な量）である３５
３．３６ｇを水で溶解後徐々に加えて、約１００℃で一
昼夜乾燥した。水分を除去した蓚酸Ｔｂをセラミックル
ツボに入れ、大気雰囲気中で酸化焙焼を行った。焙焼温
度は１０００℃、保持時間は２時間とした。酸化Ｔｂの
分析結果はＴｂ：８５．０％、Ｆｅ：０．３５％、Ｃ
ｏ：０．０６％、Ｃｒ：０．０１％、Ｉｎ：＜０．０１
％、Ｃ：０．０１８％であった。また、回収した酸化Ｔ
ｂの重量は３１５．８ｇで、Ｔｂ回収率は９８．３％で
あった。

【００２４】上記酸化Ｔｂを用いてＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ系合金粉末（目標組成はＴｂ：２９．５６％、Ｆ
ｅ：５９．５６％、Ｃｏ：８．４１％、Ｃｒ：２．７８
％）８００ｇの製造を目的として、上記回収酸化Ｔｂ２
８２．４５ｇ（設定歩留まり９８．５％）、鉄粉（粒度
３２５メッシュ以下）４７５．４９ｇ、コバルト粉（粒
度３００メッシュ以下、設定歩留まり９５．０％）７
０．６５ｇ、クロム粉（粒度２００メッシュ以下、設定
歩留まり９３．０％）２３．８９ｇ、金属カルシウム
（粒度４メッシュ以下）１５６．９９ｇ、無水塩化カル
シウム粉末（試薬１級）２７．４８ｇを配合し、不活性
ガス雰囲気中で充分に混合した。なお、この調合時に
は、上記酸化Ｔｂ中に含まれるＦｅ、Ｃｏの含有量分を
補正してから添加している。混合物をステンレススチー
ル製のルツボに入れ、さらにステンレススチール製の蓋
をした後、ステンレススチール製の反応容器に入れ、高
純度Ａｒガス雰囲気に置換後、流量２リットル／分のＡ
ｒガスを流しながら、１０５０℃まで約１時間で昇温
し、その温度で５時間保持した後、室温まで冷却した。

【００２５】生成した塊状の混合物を１ｃｍ角程度に粉
砕した後、約１５リットルの水に投入し攪拌した。１．
５時間後には混合物が崩壊した。生じたスラリーから上
層のＣａ（ＯＨ）₂ 懸濁物をデカンテーションによって
分離し水洗した後、スラリーを５分間攪拌し、再びデカ
ンテーションを行った。この時、未崩壊の粒子を取り除
くため、４８メッシュの篩で水中でふるい篩を通過した
合金粉について、この注水−攪拌−デカンテーションの
操作を繰り返して合金粉末から酸化カルシウムを充分に
分離した。得られた合金粉末に水を加えたスラリーに、
ｐＨ５．０になるように攪拌しながら希酢酸を滴下し、
これを５分間保持した。これを濾過して得られた合金粉
末を水洗後エタノールで洗浄し、４０℃、１×１０^-1Ｐ
ａで１２時間真空乾燥した。このようにして得られた合
金粉末の組成は、Ｔｂ：２８．９９％、Ｆｅ：５９．６
％、Ｃｏ：８．４３％、Ｃｒ：２．７２％であり、不純
物濃度としてはＣａ：０．１２％、Ｏ₂ ：０．１３％、
Ｃ：０．０２２％であった。また、４８メッシュの篩を
通過できなかった合金粉末は存在しなかった。

【００２６】［実施例５］Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合
金ターゲットスクラップ（組成はＴｂ：４５．５０％、
Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃｒ：１．９
０％）６００ｇを数ミリ角に粉砕し、６規定塩酸２９０
０ｍｌに攪拌しながら溶解した。溶液を濾過し、僅かに
残った未溶解残渣を除去した。ろ液のｐＨ調整は、特に
行わず、１以下で、ろ液を攪拌しながら蓚酸１．２当量
（当量：Ｔｂを沈澱させるに必要な量）である３９０．
２４ｇを水で溶解後徐々に加えて蓚酸Ｔｂを沈澱させ
た。濾過による蓚酸Ｔｂの回収後、水洗を行い大気乾燥
器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分を除去した蓚
酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気雰囲気中で酸化
焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃、保持時間は２時
間とした。酸化Ｔｂの分析結果は、Ｔｂ：８１．１％、
Ｆｅ：２．８４％、Ｃｏ：０．３６％、Ｃｒ：０．０６
％、Ｉｎ：＜０．０１％、Ｃ：０．０２１％であった。
また、回収した酸化Ｔｂの重量は３２０．０８ｇでＴｂ
回収率は９９．７％であった。

【００２７】上記酸化Ｔｂを用いてＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ系合金粉末（目標組成はＴｂ：２９．５６％、Ｆ
ｅ：５９．５６％、Ｃｏ：８．４１％、Ｃｒ：２．７８
％）８００ｇの製造を目的として、上記回収酸化Ｔｂ２
９２．０７ｇ（設定歩留まり９８．５％）、鉄粉（粒度
３２５メッシュ以下）４６８．１９ｇ、コバルト粉（粒
度３００メッシュ以下、設定歩留まり９５．０％）６
９．７７ｇ、クロム粉（粒度２００メッシュ以下、設定
歩留まり９３．０％）２３．７３ｇ、金属カルシウム
（粒度４メッシュ以下）１５６．９９ｇ、無水塩化カル
シウム粉末（試薬１級）２７．４８ｇを配合し、不活性
ガス雰囲気中に混合した。なお、この調合時には、上記
酸化Ｔｂ中に含まれるＦｅ、Ｃｏ、Ｃｒの含有量分を補
正してから添加している。混合物をステンレススチール
製のルツボに入れ、さらにステンレススチール製の蓋を
した後、ステンレススチール製の反応容器に入れ、高純
度Ａｒガス雰囲気に置換後、流量２リットル／分のＡｒ
ガスを流しながら、１０５０℃まで約１時間で昇温し、
その温度で５時間保持した後、室温まで冷却した。

【００２８】生成した塊状の混合物を約１ｃｍ角程度に
粉砕した後、約１５リットルの水に投入し攪拌した。
１．５時間後には混合物が崩壊した。生じたスラリーか
ら上層のＣａ（ＯＨ）₂ 懸濁物をデカンテーションによ
って分離し水洗した後、スラリーを５分間攪拌し、再び
デカンテーションを行った。この時、未崩壊の粒子を取
り除くため、４８メッシュの篩で水中でふるい、篩を通
過した合金粉について、この注水−攪拌−デカンテーシ
ョンの操作を繰り返して合金粉末から酸化カルシウムを
充分に分離した。得られた合金粉末に水を加えたスラリ
ーに、ｐＨ５．０になるように攪拌しながら希酢酸を滴
下し、これを５分間保持した。これを濾過して得られた
合金粉を水洗後エタノールで洗浄し、４０℃、１×１０
^-1Ｐａで１２時間真空乾燥した。このようにして得られ
た合金粉末の組成は、Ｔｂ：２９．１９％、Ｆｅ：５
９．４％、Ｃｏ：８．３９％、Ｃｒ：２．７６％であ
り、不純物濃度としては、Ｃａ：０．１４％、Ｏ₂ ：
０．１０％、Ｃ：０．０１８％であった。また、４８メ
ッシュの篩を通過できなかった合金粉末は０．８ｇであ
った。

【００２９】［比較例６］Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合
金ターゲットスクラップ（組成はＴｂ：４５．５０％、
Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃｒ：１．９
０％）６００ｇを数ミリ角に粉砕し、６規定塩酸２９０
０ｍｌに攪拌しながら溶解した。溶液を濾過し、僅かに
残った溶解残渣を除去した。ろ液のｐＨ調整は、特に行
わず、１以下で、ろ液を攪拌しながら蓚酸０．９当量
（当量：Ｔｂを沈澱させるに必要な量）である２５６．
８４ｇを水で溶解後徐々に加えて蓚酸Ｔｂを沈澱させ
た。濾過による蓚酸Ｔｂの回収後、水洗を行い、大気乾
燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分を除去した
蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気雰囲気中で酸
化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃、保持時間は２
時間とした。酸化Ｔｂの分析結果はＴｂ：８４．８％、
Ｆｅ：０．２２％、Ｃｏ：０．０３％、Ｃｒ：＜０．０
１％、Ｃ：０．０２３％であった。また、回収した酸化
Ｔｂの重量は２７７．２３ｇで、Ｔｂ回収率は８６．３
％で、不純物濃度は低かったが、Ｔｂ回収率が悪かっ
た。

【００３０】上記酸化Ｔｂを用いて、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ系合金粉末（目標組成Ｔｂ：２９．５６％、Ｆ
ｅ：５９．５６％、Ｃｏ：８．４１％、Ｃｒ：２．７８
％）８００ｇの製造を目的として、上記回収酸化Ｔｂ２
８３．１１ｇ（設定歩留まり９８．５％）、鉄粉（粒度
３２５メッシュ以下）４７５．８６ｇ、コバルト粉（粒
度３００メッシュ以下、設定歩留まり９５．０％）７
０．７４ｇ、クロム粉（粒度２００メッシュ以下、設定
歩留まり９３．０％）２３．７３ｇ、金属カルシウム
（粒度４メッシュ以下）１５６．９９ｇ、無水塩化カル
シウム粉末（試薬１級）２７．４８ｇを配合し、不活性
ガス雰囲気中に混合した。なお、この調合時には、上記
酸化Ｔｂ中に含まれるＦｅ、Ｃｏ、Ｃｒの含有量分を補
正してから添加している。混合物をステンレススチール
製のルツボに入れ、さらにステンレススチール製の蓋を
した後、ステンレススチール製の反応容器に入れ、高純
度Ａｒガス雰囲気に置換後、流量２リットル／分のＡｒ
ガスを流しながら１０５０℃まで約１時間で昇温し、そ
の温度で５時間保持した後、室温まで冷却した。

【００３１】生成した塊状の混合物を約１ｃｍ角程度に
粉砕した後、約１５リットルの水に投入し攪拌した。
１．５時間後には混合物が崩壊した。生じたスラリーか
ら上層のＣａ（ＯＨ）₂ 懸濁物をデカンテーションによ
って分離し水洗した後、スラリーを５分間攪拌し、再び
デカンテーションを行った。この時、未崩壊の粒子を取
り除くため、４８メッシュの篩で水中でふるい、篩を通
過した合金粉について、この注水−攪拌−デカンテーシ
ョンの操作を繰り返して合金粉末から酸化カルシウムを
充分に分離した。得られた合金粉末に水を加えたスラリ
ーに、ｐＨ５．０になるように攪拌しながら希酢酸を滴
下し、これを５分間保持した。これを濾過して得られた
合金粉を水洗後エタノールで洗浄し、４０℃、１×１０
^-1Ｐａで１２時間真空乾燥した。このようにして得られ
た合金粉末の組成は、Ｔｂ：２９．５８％、Ｆｅ：５
９．０％、Ｃｏ：８．４４％、Ｃｒ：２．７３％であ
り、不純物濃度としてはＣａ：０．１２％、Ｏ₂ ：０．
１１％、Ｃ：０．０１６％であった。また、４８メッシ
ュの篩を通過できなかった合金粉末は存在しなかった。

【００３２】［比較例７］Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ系合
金ターゲットスクラップ（組成はＴｂ：４５．５０％、
Ｆｅ：４６．５０％、Ｃｏ：６．１０％、Ｃｒ：１．９
０％）６００ｇを数ミリ角に粉砕し、６規定塩酸２９０
０ｍｌに攪拌しながら溶解した。溶液を濾過し、僅かに
残った未溶解残査を除去した。ろ液のｐＨ調整は、特に
行わず、１以下で、ろ液を攪拌しながら蓚酸１．６当量
（当量：Ｔｂを沈澱させるに必要な量）である５１３．
６９ｇを水で溶解後徐々に加えて蓚酸Ｔｂを沈澱させ
た。濾過による蓚酸Ｔｂの回収後、水洗を行い、大気乾
燥器中で約１００℃で一昼夜乾燥した。水分を除去した
蓚酸Ｔｂをセラミックルツボに入れ、大気雰囲気中で酸
化焙焼を行った。焙焼温度は１０００℃、保持時間は２
時間とした。酸化Ｔｂの分析結果は、Ｔｂ：６８．７
％、Ｆｅ：１２．４％、Ｃｏ：０．８３％、Ｃｒ：０．
３２％、Ｃ：０．０４７％であった。また、回収した酸
化Ｔｂの重量は３２０．６０ｇで、Ｔｂ回収率は９９．
８％で、Ｔｂ回収率は良かったが、不純物濃度は高かっ
た。

【００３３】上記酸化Ｔｂを用いてＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ系合金粉末（目標組成はＴｂ：２９．５６％、Ｆ
ｅ：５９．５６％、Ｃｏ：８．４１％、Ｃｒ：２．７８
％）８００ｇの製造を目的として、上記酸化Ｔｂ２８
３．１１ｇ（設定歩留まり９８．５％）、鉄粉（粒度３
２５メッシュ以下）４７５．８６ｇ、コバルト粉（粒度
３００メッシュ以下、設定歩留まり９５．０％）７０．
７４ｇ、クロム粉（粒度２００メッシュ以下、設定歩留
まり９３．０％）２３．７３ｇ、金属カルシウム（粒度
４メッシュ以下）１５６．９９ｇ、無水塩化カルシウム
粉末（試薬１級）２７．４８ｇを配合し、不活性ガス雰
囲気中で充分に混合した。なお、この調合時には、上記
酸化Ｔｂ中に含まれるＦｅ、Ｃｏ、Ｃｒの含有量分を補
正してから添加している。混合物をステンレススチール
製のルツボに入れ、さらにステンレススチール製の蓋を
した後、ステンレススチール製の反応容器に入れ、高純
度Ａｒガス雰囲気に置換後、流量２リットル／分のＡｒ
ガスを流しながら、１０５０℃まで約１時間で昇温し、
その温度で５時間保持した後、室温まで冷却した。

【００３４】生成した塊状の混合物を約１ｃｍ角程度に
粉砕した後、約１５リットルの水に投入し攪拌した。従
来の通り、１．５時間混合物を崩壊させたが、崩壊が進
まないため、さらに８．５時間保持したところ、ある程
度崩壊が進行した。こうして生じたスラリーから上層の
Ｃａ（ＯＨ）₂ 懸濁物をデカンテーションによって分離
し、水洗した後、スラリーを５分間攪拌し、再びデカン
テーションを行った。この時、未崩壊の粒子を取り除く
ため、４８メッシュの篩で水中でふるい、篩を通過した
合金粉について、この注水−攪拌−デカンテーションの
操作を繰り返して合金粉末から酸化カルシウムを充分に
分離した。得られた合金粉末に水を加えたスラリーに、
ｐＨ５．０になるように攪拌しながら希酢酸を滴下し、
これを５分間保持した。これを濾過して得られた合金粉
を水洗後エタノールで洗浄し、４０℃、１×１０^-1Ｐａ
で１２時間真空乾燥した。このようにして得られた合金
粉末の組成は、Ｔｂ：２４．４５％、Ｆｅ：６７．２
％、Ｃｏ：５．８４％、Ｃｒ：１．２９％で、目標の組
成とは大きくずれたものであり、不純物濃度としてはＣ
ａ：０．８６％、Ｏ₂ ：０．３２％、Ｃ：０．０４３％
で、いずれも高く、ターゲット製造に使用できるもので
はなかった。また、４８メッシュの篩を通過できなかっ
た合金粉末は１４８．８ｇも存在した。これらの原因
は、製造した酸化希土類粉末中の遷移金属品位、特にＦ
ｅが高すぎるため、Ｆｅ₂Ｏ₃がＣａによって還元される
際のＣａの酸化熱が大きく、合金粉の焼結が発生したた
めと考えられる。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、希土類元素を主要元素
として含有する光磁気ディスク製造に使用されたスパッ
タリングターゲットのスクラップから、希土類元素を酸
化物粉末として容易に低コストで回収することができ
る。また、本発明によれば、光磁気ディスク製造に使用
された合金ターゲットスクラップから低品位の遷移金属
元素を含む、酸化希土類粉末を回収し、酸素、カルシウ
ム等の不純物濃度が低く、安定した組成の焼結用希土類
−遷移金属系合金粉末を低コストで製造することができ
る。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 希土類元素と共に遷移金属およびＩｎを
   含むスクラップから希土類元素を回収する方法におい
   て、該スクラップを酸で溶解して溶液とした後、該溶液
   のｐＨを１〜５に調整し、この溶液中の希土類元素を
   ０．６〜２．０当量の蓚酸にて選択的に沈澱させ、濾過
   ・乾燥後、７００℃以上の温度で酸化焙焼させ、希土類
   酸化物として回収することからなる希土類元素回収方
   法。
2. 【請求項２】 蓚酸添加当量が０．８〜１．０当量であ
   る請求項１に記載の方法。
3. 【請求項３】 スクラップが光磁気記録媒体の製造に用
   いられたスパッタリングターゲットから生じたものであ
   る請求項１または２に記載の方法。
4. 【請求項４】 希土類元素と共に遷移金属およびＩｎを
   含むスクラップから希土類元素を回収し、希土類−遷移
   金属系合金粉末を製造する方法において、該スクラップ
   を酸で溶解して溶液とした後、該溶液中の希土類元素を
   １．０〜１．５当量の蓚酸にて沈澱させ、濾過・乾燥
   後、７００℃以上の温度で酸化焙焼し、遷移金属元素を
   含む希土類酸化物の粉末として回収し、この希土類酸化
   物の粉末と、Ｆｅ、Ｎｉ、およびＣｏの少なくとも１種
   を含む遷移金属の粉末と、アルカリ金属、アルカリ土類
   金属から選ばれる少なくとも１種と、塩化カルシウムと
   を混合し、該混合物を不活性ガス雰囲気中または真空下
   で加熱した後、反応生成混合物を湿式処理することから
   成る希土類−遷移金属系合金粉末の製造方法。
5. 【請求項５】 蓚酸添加当量が１．１〜１．３当量であ
   る請求項４記載の製造方法。
6. 【請求項６】 スクラップが光磁気記録媒体の製造に用
   いられたスパッタリングターゲットから生じたものであ
   る請求項４または５に記載の希土類−遷移金属系合金粉
   末の製造方法。
7. 【請求項７】 希土類元素と共に遷移金属およびＩｎを
   含むスクラップを酸で溶解して溶液とした後、該溶液の
   ｐＨを１〜５に調整し、この溶液中の希土類元素を０．
   ８〜１．０当量の蓚酸にて選択的に沈澱させ、濾過・乾
   燥後、７００℃以上の温度で酸化焙焼させることにより
   生成し、粒度が０．１〜３０ミクロンで、遷移金属系不
   純物が０．３重量％以下である希土類元素粉末。
8. 【請求項８】希土類元素と共に遷移金属およびＩｎを含
   むスクラップを酸で溶解して溶液とした後、該溶液中の
   希土類元素を１．０〜１．５当量の蓚酸にて沈澱させ、
   濾過・乾燥後、７００℃以上の温度で酸化焙焼した希土
   類酸化物の粉末と、Ｆｅ、Ｎｉ、およびＣｏの少なくと
   も１種を含む遷移金属の粉末と、アルカリ金属、アルカ
   リ土類金属から選ばれる少なくとも１種と、塩化カルシ
   ウムとを混合し、該混合物を不活性ガス雰囲気中または
   真空下で加熱した後、反応生成混合物を湿式処理するこ
   とにより生成し、粒度が５０メッシュ以下で、不純物が
   ０．３重量％以下である希土類−遷移金属系合金粉末の
   製造方法。