JP3141461B2 - Tb含有希土類−遷移金属系合金粉の製造方法 - Google Patents

Tb含有希土類−遷移金属系合金粉の製造方法

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JP3141461B2 JP03302288A JP30228891A JP3141461B2 JP 3141461 B2 JP3141461 B2 JP 3141461B2 JP 03302288 A JP03302288 A JP 03302288A JP 30228891 A JP30228891 A JP 30228891A JP 3141461 B2 JP3141461 B2 JP 3141461B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、Tbを主要元素として含
有する希土類−遷移金属系合金粉末の製造方法に関する
ものであり、特に光磁気記録用や磁気記録用の合金ター
ゲット用として好適に使用されるTb含有希土類−遷移金
属系合金粉の製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】近年、情報を高密度で記録でき、再生、消
去さらに再記録を容易に行うことができる記録媒体とし
て光磁気記録媒体が開発され、その記録層を形成する磁
性金属薄膜用の合金として、希土類−遷移金属系の非晶
質合金(例えばTb−Fe−Co,Gd−Tb−Coなど)が知られ
ている。これらは、記録に必要なエネルギーが少なくて
すむこと、粒界ノイズが現れないこと、比較的容易に大
型のものが作成できる等、多くの利点を有しており、実
用上注目されている。
【0003】また、磁気記録媒体の分野では、γ−Fe2
O3 等の磁性粉末を、有機バインダーを用いて非磁性基
盤上に塗布して磁気記録層とする塗布型の磁気記録媒体
が、一般に使用されてきたが、近年、記録の高密度化を
目的として、非磁性支持体上にFe, Co, Niを主成分とす
る磁性金属薄膜が形成された金属薄膜型磁気記録媒体が
開発されている。さらに、これら金属薄膜型磁気記録媒
体のうち、可撓性を有する支持体の上に金属薄膜が成膜
されたものは、磁性金属が外気に露出するために腐食さ
れ易く、また空孔が多いという問題を有していたが、Co
あるいはNiに希土類元素を添加してなる合金を金属薄膜
とすることにより、このような問題が有効に改善される
ことが知られている。
【0004】このように、光磁気記録媒体及び磁気記録
媒体の何れにおいても希土類−遷移金属系合金の薄膜が
注目されている。かかる薄膜の形成方法としては、化学
めっき法、スパッタリング法,イオンプレーティング
法,真空蒸着法等が知られているが、得られる磁性薄膜
の品質の面からスパッタリング法,イオンプレーティン
グ法及び真空蒸着法が好適に使用されている。
【0005】スパッタリング法ではターゲットが必要で
あり、イオンプレーティング法及び真空蒸着法では蒸着
源が必要であるが、歩留りが良く、組成変化が少なくて
目的組成の合金薄膜を得やすい点で、合金型のものが、
ターゲットあるいは蒸着源として有利である。この合金
の製造に使用される希土類元素の代表的なものとして
は、Tb, Dy, Gd, Nd等を挙げることができるが、光磁気
ディスクの記録媒体としての用途には、磁気特性が優れ
ているTbが主要元素として用いられる場合が多い。
【0006】ターゲットまたは蒸着源として用いる希土
類元素−遷移金属系合金の製造方法として、希土類元素
と遷移金属とをアーク放電等によって溶解させて合金化
する方法があるが、希土類元素が高活性であるため歩留
りが悪く、また偏析を生じ易く、空孔を含むインゴット
を生じ易いばかりか、希土類元素と遷移金属との合金が
有する極めて脆いという金属間化合物に特有の性質が発
現してしまい、特に大型の合金塊の製造時にヒビ、割れ
などを発生し易いという問題がある。
【0007】これに対して、希土類元素粉末と遷移金属
粉末の混合物、または希土類元素と遷移金属とを所定組
成で含有している合金粉末を原料とし、その原料粉末を
粉末冶金法により焼結することにより希土類元素−遷移
金属系合金を製造する方法も知られている。この製造方
法では、ヒビ、割れなどの問題を有効に回避することが
できる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、上記
の粉末冶金法に供される原料粉末は、例えば成分金属を
溶解して得られた合金鋳塊を粉砕して製造されていた
(特開昭60−230903号公報等参照) 。しかし、希土類元
素は空気中で酸化され易いという性質を有しているた
め、粉砕時に得られる合金粉末の酸素含有量は大とな
り、その結果、これを焼結して得られる焼結体の酸素含
量が高くなることは避けられない。ところで、この焼結
合金中の酸素は、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法及び真空蒸着法で作成した薄膜の光磁気特性及び
磁気特性を著しく低下させることとなる。焼結合金中の
酸素量を低下させるためには、前記の粉砕工程を有機溶
媒中または不活性雰囲気中で行なえばよいが、この場合
には、粉砕工程が煩雑なものとなるうえ、コスト的な不
利を免れない。
【0009】これに対して、粉末冶金法に供する原料合
金粉末の製造方法として、還元拡散法を使用し、工程の
複雑化を防ぎ製造コストを低くした方法も知られている
(特開昭63−105909号公報)。しかしながら、この方法
では、製造された合金粉末中にアルカリ金属、アルカリ
土類金属及び塩素等が不純物として含まれる。特に塩素
は、スパッタリング法等により形成された薄膜の耐候性
を低下させるという問題がある。
【0010】従って本発明の目的は、酸素、塩素含有量
が低く、光磁気記録媒体あるいは磁気記録媒体の記録層
となる金属薄膜を形成するのに有用な焼結合金を製造す
るためのTb含有合金粉末を製造する方法を提供すること
にある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、テルビ
ウム(Tb)の酸化物粉末と、鉄、ニッケル及びコバルト
の少なくとも1種を含む遷移金属の粉末と、アルカリ金
属、アルカリ土類金属及びこれらの水素化物から選ばれ
る少なくとも1種と、酸化カルシウムとを混合し、該混
合物を不活性ガス雰囲気中または真空下で加熱した後、
反応生成混合物を湿式処理することから成るTb含有希土
類−遷移金属系合金粉の製造方法が提供される。
【0012】
【作用】本発明においては、Tb酸化物を含有する混合粉
末の加熱処理に先立って、酸化カルシウムを混合してお
くことが極めて重要である。この酸化カルシウムは、原
料として使用される金属粉末や生成合金粒子が、互いに
溶着、結合したり、副生するアルカリ金属酸化物等等の
酸化物の粒子と結合するのを抑制する作用を有している
ものであり、また塊状混合物として得られる加熱反応生
成物の湿式処理に際してその崩壊を促進させる作用を有
している。
【0013】本来、金属カルシウム等の還元剤を用いて
Tb酸化物を含有する混合粉末の還元を行う場合には酸化
カルシウムが生成するために、湿式処理によって生成物
の崩壊が進行するのであるが、このように生成する酸化
カルシウムのみでは量的に不十分であり、崩壊に長時間
を要し、また崩壊されずに粗大な粒子のまま残るものも
あり、製品としての歩留りが低下する。
【0014】また前述した特開昭63−105909号公報に開
示されている方法では、崩壊を促進させるものとして塩
化カルシウム等のアルカリ土類金属塩が使用されてい
る。この方法によれば、崩壊性は改善され、製品歩留り
も向上するのであるが、塩素等の添加したアルカリ土類
金属塩の塩形成成分が製品中に残留するため、該製品を
焼結して得られた合金粉末を光磁気ディスク等の磁気記
録材料の用途に使用した場合に、その光磁気ディスク等
の耐久性等の特性が著しく阻害されることになるのであ
る。
【0015】本発明によれば、崩壊促進剤として酸化カ
ルシウムを使用することにより、塩素のみならず、酸
素、カーボン等の不純物の製品中への混入が有効に回避
され、得られた粉末製品を磁気記録材料の用途に使用し
た場合にも、その製品の特性の低下が有効に防止され
る。本発明において、上述した酸化カルシウムは、希土
類酸化物当り1〜30重量%、特に5重量%以上の割合で
使用される。
【0016】原料粉末 本発明において使用される主要な希土類元素は、Tbであ
る。Tbの酸化物には、Tb4 O7 とTb2 O3 とがあるが、
本発明においてはTb2 O3 が好適に使用される。即ち、
アルカリ金属等による還元反応に際しての発熱を、Tb2
O3 の形で使用することによりTb4 O7 の形で使用する
場合よりも有効に抑えることができる。従って、この発
熱によって生じる粒子同士の焼結や、粒子中へのアルカ
リ金属等の噛み込みを有効に回避することができ、結果
として酸素やアルカリ金属等の不純物の含有量を低く抑
えることが可能となる。
【0017】尚、Tb2 O3 は、Tb4 O7 (Tbの酸化物
は、通常、この形で存在する)をアルミナ等の坩堝に入
れ、真空中またはアルゴン等の不活性雰囲気中で 700〜
1100℃の温度で1〜3時間焙焼することによって得られ
る。Tb2 O3 は、空気中で直ちに酸化してTb4 O7 とな
るものではないが、一般的には真空アルミパックによっ
て保存しておくことが好適である。また用いるTb酸化物
は、平均粒径が1〜50μm (フィッシャー・サブシーブ
・サイザー法、以下同じ)であることが好ましい。尚、
本発明においては、Tb以外の希土類元素の酸化物粉末も
併用することが可能である。
【0018】また本発明で使用される遷移金属は、Fe,
Co及びNiの少なくとも1種を 含有していることが必要
であるが、特に得られる合金粉末を磁気記録媒体の金属
薄膜形成用として使用する場合には、Co及びNiの何れか
を使用することが必要である。またFe, Co及びNi以外の
遷移金属、例えばMn, Cr, V, Ti 等を併用することも可
能である。
【0019】これらの遷移金属は、金属または合金粉
末、あるいこれら形態の混合物の形でも使用することが
できる。また金属または合金粉末の一部は酸化物として
使用することもできる。特に当該金属の使用量が遷移金
属全体の使用量に比して少量であるときには、当該金属
の全量を酸化物の形態で使用することもできる。これら
遷移金属粉末等の粒度は特に限定されないが、製造され
る合金粉末の粒度及び合金組成の均一性からいって、粒
度 100メッシュ以下(タイラー基準、以下同じ)である
ことが望ましい。
【0020】本発明においては、上述したTb酸化物粉末
等と遷移金属粉末等との混合粉末とを原料粉末として使
用する。両者の配合比は、目的とする合金粉末の組成に
応じて適宜設定される。またこの原料粉末の粒度は、目
標粒度の1/2以下であることが望ましく、例えば粉末
冶金原料として好適な 100メッシュ以下の微細な合金粉
末を製造するためには、粒度 200メッシュ以下の混合粉
末を使用することが好ましい。
【0021】還元剤 本発明においては、上記の混合粉末に還元剤を配合す
る。この還元剤としては、アルカリ金属、アルカリ土類
金属及びこれらの水素化物から選ばれる少なくとも1種
が使用される。その代表的な例としては、リチウム、ナ
トリウム、カリウム、カルシウム、マグネシウム及びこ
れらの水素化物を例示することができるが、取扱の安全
性及びコストの点から金属カルシウムが好適である。ま
たこれらの還元剤は、粒状または粉末状の形で使用され
るが、特にコストの点から粒度4メッシュ以下の粒状金
属カルシウムが好適である。これらの還元剤は、反応当
量(希土類酸化物を還元するのに必要な化学量論量であ
り、遷移金属を酸化物の形で使用した場合には、これを
還元するに必要な分を含む)の 1.1〜3.0倍量、好まし
くは 1.5〜2.0 倍量の割合で使用される。
【0022】還元反応 本発明においては、上述した原料粉末と還元剤、及び前
述した崩壊促進剤として作用する酸化カルシウムとを混
合し、該混合物の還元を行う。各成分の混合は、乾燥不
活性ガス雰囲気等の吸湿を生じない条件下で行われる。
本発明において、上記混合物の還元は、不活性ガス雰囲
気中または真空中で加熱処理するにより行われる。真空
中で行う場合には、真空度を10-3torr以下とすることが
望ましい。また不活性ガスとしては、例えばアルゴン等
が好適に使用される。また加熱処理の温度は、 900〜13
00℃、特に 950〜1100℃の範囲が適当であり、加熱処理
時間は特に制約されないが、組成が均一な合金粉末を得
るためには1〜10時間とすることが好ましい。この還元
反応により得られる生成物は、目的とする希土類−遷移
金属の他、還元剤であるアルカリ金属等の酸化物及び未
反応のアルカリ金属等を含む塊状の混合物である。
【0023】湿式処理 本発明によれば、上記で得られた塊状混合物を湿式処理
に付する。この湿式処理は、該混合物を水中に投入し攪
拌する等の方法で水と接触させればよい。即ち、塊状混
合物を水と接触させると、これに含まれている未反応還
元剤及び副生した還元剤の酸化物等が水と反応し、例え
ばCa(OH)2 等の水酸化物を生成して溶解する。従って、
塊状混合物は容易に崩壊する。本発明において、この崩
壊は1〜2時間で完結するが、例えば酸化カルシウムを
使用しない場合には、20〜30時間を要する。
【0024】崩壊によって生成したスラリーを攪拌後、
デカンテーションによって、上部のアルカリ金属等の水
酸化物を除去し、注水−攪拌−デカンテーションの操作
を繰り返すことにより、該水酸化物を得られた合金粉末
から除去することができる。また一部残留した水酸化物
は、酢酸あるいは塩酸等の酸を用いて、pH3〜6、好ま
しくはpH4〜5の範囲で酸洗浄することによって完全に
除去される。このような湿式処理終了後は、例えば水洗
後、アルコールあるいはアセトン等の有機溶剤で洗浄、
脱水した後、真空乾燥すればよい。
【0025】上述した本発明によれば、不純物含量が極
めて有効に抑制された焼結用合金粉末が得られる。例え
ば、崩壊促進剤として塩化カルシウム、Tb酸化物として
Tb4 O7 及び還元剤としてカルシウムを用いて、合金粉
末を製造した場合、得られる合金粉末の不純物含量(重
量%で示す)は、Ca: 0.2%以下、C:0.02%以下、O
2 : 0.2%以下、Cl:0.01〜0.03%である。これに対し
て、Tb酸化物としてTb4 O7 を使用し、還元剤としてカ
ルシウムを用いて本発明の製造方法(崩壊促進剤として
CaOを使用)を実施した場合を例に取ると、得られる合
金粉末の不純物含量は、Ca:0.2%以下、C:0.02%以
下、O2 : 0.2%以下、Cl: 0.001%以下である。さら
に上記においてTb酸化物としてTb2 O3 を使用した場合
には、Ca:0.15%以下、C:0.02%以下、O2 :0.15%
以下、Cl: 0.001%以下である。
【0026】このように本発明によれば、不純物含量、
例えば塩素含量が極めて低く、光磁気記録用ターゲット
用等の原料粉末して極めて有用な合金粉末が得られる。
即ち、上記の如くして得られた合金粉末は、例えば粉末
冶金法による焼結に付され、これにより焼結合金とされ
る。この場合、該合金粉末は、それ単独で使用すること
もできるし、また必要に応じてFe, Co, Ni等の遷移金属
粉末を適当量混合して組成の調整を行うこともできる。
【0027】粉末冶金法による焼結は、それ自体公知の
条件で行うことができ、例えば、合金粉末を常温で 0.5
〜5t/cm2 の圧力で単純圧縮するか、 0.5〜2t/cm2 の
圧力で静水圧プレスにて成形した後、真空、あるいはAr
雰囲気中、 900〜1300℃の温度で1〜5時間焼結する常
圧焼結法、真空中、 0.1〜0.5t/cm2 の圧力で 800〜120
0℃の温度で1〜5時間焼結する熱間加圧法、更には弾
性体中に封入後、 800〜1200℃の温度、 0.1〜2t/cm2
の圧力で1〜5時間焼結する熱間静水圧加圧法等により
行うことができる。このような粉末冶金法によりターゲ
ット化された後、スパッタリング法、イオンプレーティ
ング法あるいは真空蒸着法により、例えば光磁気ディス
ク用の薄膜とされる。
【0028】
【実施例】尚、以下の例において、「%」は特記しない
限り、「重量%」を示す。また以下の実施例及び比較例
は全て、Tb−Fe−Co系合金粉末の製造(目標組成;Tb 4
9.85%, Fe 44.46%,Co 5.69%)を目的とする。
【0029】実施例1 純度99.9%以上のTb4 O7 (平均粒径3μm以下) 60.4
4g、鉄粉(粒度 325メッシュ以下) 44.46g、コバル
ト粉(粒度 300メッシュ以下)5.96g、金属カルシウム
(粒度4メッシュ以下) 29.63g、及び、酸化カルシウ
ム(粒度 100メッシュ以下)6.04g、を、不活性雰囲気
中で十分に混合した。この混合物をステンレススチール
製の反応容器に入れ、高純度Arガス雰囲気中で1050℃ま
で約1時間で昇温し、その温度で5時間保持した後、室
温まで冷却した。
【0030】生成した塊状の混合物を約1cm四角程度に
粉砕した後、約15リットルの水中に投入した。 1.5時間
後、混合物が完全に崩壊し、生じたスラリーから上層の
Ca(OH)2 懸濁物をデカンテーションによって分離し、注
水した後、スラリーを5分間攪拌し、再びデカンテーシ
ョンを行った。この注水−攪拌−デカンテーションの操
作を繰り返して合金粉末から、未反応のカルシウム、水
酸化カルシウム及び酸化カルシウムを十分に分離した。
次いで、合金粉末に水を加えたスラリーに、pHが 5.0
となるように攪拌しながら希酢酸を滴下して5分間保持
した後、ろ過を行い、得られた合金粉末を水洗後、エタ
ノールで洗浄し、50℃、1×10-2torrで12時間真空乾燥
した。
【0031】この様にして得られた合金粉の組成は、次
の通りであった。 Tb 49.83%, Fe 44.2%, Co 5.66% また不純物濃度は、次の通りであった。 Ca:0.14%、C: 0.015%、O2 :0.15%、Cl: 0.001
%未満 尚、48メッシュの篩を通過できなかった焙焼物は存在し
なかった。
【0032】実施例2 純度99.9%以上のTb2 O3 (平均粒径3μm以下) 59.1
5g、鉄粉(粒度 325メッシュ以下) 44.46g、コバル
ト粉(粒度 300メッシュ以下)5.96g、金属カルシウム
(粒度4メッシュ以下) 29.10g、及び、酸化カルシウ
ム(粒度 100メッシュ以下)5.92g、を、不活性雰囲気
中で十分に混合し、実施例1と同様に加熱処理及び湿式
処理を行ったところ、塊状混合物の崩壊に要した時間は
1.5時間であった。また実施例1と同様に注水−攪拌−
デカンテーションの操作を繰り返し、酸洗、エタノール
洗浄及び真空乾燥を行った。
【0033】この様にして得られた合金粉の組成は、次
の通りであった。 Tb 49.63%, Fe 44.2%, Co 5.94% また不純物濃度は、次の通りであった。 Ca:0.12%、C: 0.013%、O2 :0.10%、Cl: 0.001
%未満 尚、48メッシュの篩を通過できなかった焙焼物は存在し
なかった。
【0034】比較例1 実施例1において、酸化カルシウムを使用しない以外
は、実施例1と同様にして各成分を混合し、加熱処理及
び湿式処理を行ったところ、塊状混合物が崩壊するのに
30時間を要した。また実施例1と同様に、注水−攪拌−
デカンテーションの操作を繰り返し、酸洗、エタノール
洗浄及び真空乾燥を行った。
【0035】この様にして得られた合金粉の組成は、次
の通りであった。 Tb 48.48%, Fe 45.30%, Co 5.72% また不純物濃度は、次の通りであった。 Ca:0.28%、C: 0.014%、O2 :0.21%、Cl: 0.001
%未満 実施例に比して、酸素及びカルシウムの不純物濃度が高
くなっていることが了解される。また48メッシュの篩を
通過できなかった焙焼物が11.2g存在し、製品の歩留り
が悪かった。
【0036】比較例2 実施例2において、酸化カルシウムを使用しない以外
は、実施例2と同様にして各成分を混合し、加熱処理及
び湿式処理を行ったところ、塊状混合物が崩壊するのに
30時間を要した。また実施例2と同様に、注水−攪拌−
デカンテーションの操作を繰り返し、酸洗、エタノール
洗浄及び真空乾燥を行った。
【0037】この様にして得られた合金粉の組成は、次
の通りであった。 Tb 48.41%, Fe 45.45%, Co 5.74% また不純物濃度は、次の通りであった。 Ca:0.21%、C: 0.016%、O2 :0.17%、Cl: 0.001
%未満 実施例に比して、酸素及びカルシウムの不純物濃度が高
くなっている。また48メッシュの篩を通過できなかった
焙焼物が 5.4g存在し、製品の歩留りが悪かった。但
し、不純物濃度及び歩留りに関して、比較例1よりは改
善されていることが了解される。
【0038】比較例3純度99.9%以上のTb4 O7(平均
粒径3μm 以下)302.19g、鉄粉(粒度 325メッシュ以
下)222.30g、コバルト粉(粒度 300メッシュ以下) 2
9.79g、金属カルシウム(粒度4メッシュ以下)148.17
g、及び、塩化カルシウム(粒度 100メッシュ以下) 3
0.22g、を、不活性雰囲気中で十分に混合し、実施例1
と同様にして加熱処理及び湿式処理を行ったところ、崩
壊に要した時間は 1.5時間であった。また実施例1と同
様に、注水−攪拌−デカンテーションの操作を繰り返
し、酸洗、エタノール洗浄及び真空乾燥を行った。
【0039】この様にして得られた合金粉の組成は、次
の通りであった。 Tb 49.35%, Fe 44.6%, Co 5.73% また不純物濃度は、次の通りであった。 Ca:0.15%、C: 0.018%、O2 :0.15%、Cl: 0.015
% 実施例に比して、酸素、カルシウム及び塩素の不純物濃
度が高くなっている。尚、48メッシュの篩を通過できな
かった焙焼物は存在しなかった。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、Ca含量、酸素含量及び
塩素含量が有効に抑制され、且つ組成が均一なTb含有希
土類−遷移金属系合金粉末を得ることができる。特に本
発明方法によれば、還元により生成した塊状の生成混合
物の崩壊性(微粉末化)が極めて高いため、目標粒度の
合金粉末を短時間で容易に製造することが可能である。
また磁気特性に悪影響を与える塩素含量が有効に抑制さ
れていることから、本発明により得られた合金粉末を粉
末冶金法によりターゲット化した後、これを用いて、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法あるいは真空
蒸着法により形成された磁性金属薄膜、例えば光磁気デ
ィスク用の薄膜は、極めて耐候性等の特性に優れてい
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B22F 9/20 H01F 1/06

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テルビウム(Tb)の酸化物粉末と、鉄、
    ニッケル及びコバルトの少なくとも1種を含む遷移金属
    の粉末と、アルカリ金属、アルカリ土類金属及びこれら
    の水素化物から選ばれる少なくとも1種と、酸化カルシ
    ウムとを混合し、該混合物を不活性ガス雰囲気中または
    真空下で加熱した後、反応生成混合物を湿式処理するこ
    とから成るTb含有希土類−遷移金属系合金粉の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 Tbの酸化物として、Tb2 O3 を使用する
    請求項1に記載の製造方法。
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