JPH08293757A - 表面弾性波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板端面で反射する不要な波の影響を除去す
る。 【構成】 インターデジタル電極11、12と基板端面との
間の表面弾性波の伝播路上に、表面弾性波の伝播方向に
直角の方向に対して傾斜するストリップ電極13、14を配
置する。ストリップ電極は複数本とし、傾斜する角度に
変化を付けたり、間隔に差を持たせてもよい。共振器型
の表面弾性波フィルタでは、反射器と基板端面との間に
同様のストリップ電極を配置する。 【効果】 基板の切断方向を斜めにする必要がなく、基
板を効率的に切り出すことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面弾性波フィルタの
電極構造に係るもので、特に基板端面での反射波による
影響を除去する構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】表面弾性波フィルタは、電気信号と表面
弾性波との変換によって、所望の通過帯域特性を得るも
のであり、入力インターデジタル電極で励振した表面弾
性波を出力インターデジタル電極で電気信号に変換する
ものである。

【０００３】インターデジタル電極は圧電基板上に形成
される。入力インターデジタル電極で励振された表面弾
性波は、出力インターデジタル電極を通過し、基板の端
面で反射して再び出力インターデジタル電極に到達する
ものもある。この成分をインターデジタル電極で電気信
号に変換して出力してしまうと、出力信号に不要な信号
が重畳されて所望の特性が得られなくなる。

【０００４】これは、トランスバーサル型の表面弾性波
フィルタと共振器型の表面弾性波フィルタでいずれも問
題となり、前者においてはスプリアス、リップルの原因
となり、後者においては帯域外抑圧比の悪化の原因とな
る。

【０００５】上記の問題を解決するために、通常圧電基
板の表面弾性波の反射する端面を、表面弾性波の伝播方
向に対して直角にならないようにしている。すなわち、
圧電基板の形状を反射端面を傾けた平行四辺形として、
端面で反射された不要な表面弾性波の成分を伝播路外に
散乱させる方策を採っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、圧電基板のウ
ェハを平行四辺形に切り出すと、一枚のウェハあたりの
収量が減少して、無駄な部分が多くなってしまう。

【０００７】また、基板端面付近の伝播路上に不要な表
面弾性波を吸収するための緩衝材を塗布する方法もある
が、材料、工数の増加によるコストアップとなってしま
う。

【０００８】本発明は、上記のような問題を解決して、
基板端面で反射される不要な表面弾性波の影響を、コス
トを増加させることなく、除去する構造を提供するもの
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、インターデジ
タル電極と基板端面との間に、ストリップ電極を付加す
ることにより、上記の課題を解決するものである。

【００１０】すなわち、圧電基板上にインターデジタル
電極による入出力電極を具えた表面弾性波フィルタにお
いて、インターデジタル電極と基板端面との間の表面弾
性波の伝播路上にに、表面弾性波の伝播方向と直角の方
向に対して傾斜したストリップ電極を具えたことに特徴
を有するものである。

【００１１】また、圧電基板上にインターデジタル電極
による入出力電極とそれを挟む反射器を具えた共振器型
表面弾性波フィルタにおいて、反射器と基板端面との間
の表面弾性波の伝播路上にに、表面弾性波の伝播方向と
直角の方向に対して傾斜したストリップ電極を具えたこ
とに特徴を有するものである。

【００１２】

【作用】ストリップ電極によって、入出力インターデジ
タル電極から圧電基板の端面に進行する表面弾性波は伝
播路外に反射されて散乱され、出力インターデジタル電
極で電気信号に変換されて出力されることを防止でき
る。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。

【００１４】図１は、本発明の実施例を示す平面図で、
トランスバーサル型の表面弾性波フィルタの例を示すも
のである。圧電基板10の表面に入力インターデジタル電
極11と出力インターデジタル電極12が配置されている。
入力インターデジタル電極11で入力信号が表面弾性波に
変換され、圧電基板10表面を伝播した表面弾性波は、出
力インターデジタル電極12で出力電気信号に変換され
る。

【００１５】この表面弾性波フィルタにおいては、入力
インターデジタル電極11と圧電基板10の端面との間に平
行なストリップ電極13が、出力インターデジタル電極12
と圧電基板10の端面との間に平行なストリップ電極14が
配置される。これらのストリップ電極13、14は表面弾性
波の伝播路上に配置され、伝播方向に直角の方向に対し
て傾斜して形成される。

【００１６】入力インターデジタル電極11で発生した表
面弾性波のうち出力インターデジタル電極12と反対側の
基板端面に進行する表面弾性波は、ストリップ電極13で
伝播路外の方向に反射される。いったんストリップ電極
13を通過して圧電基板10の端面で反射した波もストリッ
プ電極13で伝播路外に反射される。

【００１７】出力インターデジタル電極12を通過した表
面弾性波も、ストリップ電極14で伝播路外の方向に反射
される。一端ストリップ電極14を通過して圧電基板10の
端面で反射した波もストリップ電極14で伝播路外に反射
される。

【００１８】図２は、ストリップ電極の他の例を示す部
分平面図で、（ａ）はストリップ電極23ａを平行でな
く、各部分で反射方向を異ならせる構造としたものであ
り、（ｂ）は平行で各部分の間隔を変化させたストリッ
プ電極23ｂを形成した例を示したものである。これらの
構造によって、反射方向をより分散させたり、位相をず
らせたりすることが可能となり、除去の効率を上げるこ
とができる。

【００１９】本発明は、反射器を用いる共振器型表面弾
性波フィルタにも利用できる。図３は、その例を示す平
面図で圧電基板30の表面に入力インターデジタル電極31
と出力インターデジタル電極32が配置されている。入力
インターデジタル電極31と出力インターデジタル電極32
を挟んで反射器35、36が配置され、表面弾性波の多重反
射により定在波が生じて共振器が構成されるものであ
る。

【００２０】反射器35、36と圧電基板30の端面との間に
は傾斜したストリップ電極33、34が配置される。この例
では反射器とストリップ電極を一体に形成したが分離し
て形成してもよい。また、前記のような平行でない構
造、間隔を変えた構造としてもよい。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、圧電基板の端面で反射
して出力トランスデューサに達してしまう不要な表面弾
性波を散乱させて除去することが可能となる。

【００２２】また、ウェハから圧電基板を効率よく切り
出すことも可能となり、緩衝材の塗布も不要となり、コ
スト低減の面でもきわめて有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す平面図

【図２】 本発明の他の実施例を示す部分平面図

【図３】 本発明の他の実施例を示す平面図

【符号の説明】

10、30：圧電基板 11、31：入力インターデジタル電極 12、32：出力インターデジタル電極 13、14、33、34：ストリップ電極

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板上にインターデジタル電極によ
   る入出力電極を具えた表面弾性波フィルタにおいて、イ
   ンターデジタル電極と基板端面との間の表面弾性波の伝
   播路上に、表面弾性波の伝播方向と直角の方向に対して
   傾斜したストリップ電極を具えたことを特徴とする表面
   弾性波フィルタ。
2. 【請求項２】 ストリップ電極が複数本形成された請求
   項１記載の表面弾性波フィルタ。
3. 【請求項３】 ストリップ電極が平行に複数本形成され
   た請求項１記載の表面弾性波フィルタ。
4. 【請求項４】 平行でないストリップ電極が複数本形成
   された請求項１記載の表面弾性波フィルタ。
5. 【請求項５】 圧電基板上にインターデジタル電極によ
   る入出力電極とそれを挟む反射器を具えた共振器型表面
   弾性波フィルタにおいて、反射器と基板端面との間の表
   面弾性波の伝播路上に、表面弾性波の伝播方向と直角の
   方向に対して傾斜したストリップ電極を具えたことを特
   徴とする共振器型表面弾性波フィルタ。