JPH10110462A - 真空吸引搬送装置及び真空吸引搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空ポンプが液体を吸引することを確実に防
止する。 【解決手段】 真空タンク４と真空ポンプ１５を接続す
る気体吸引管に三方弁９を設け、真空タンク４内の液体
水位が気体吸引管に接近したときに検出作動する第２水
位センサ１９を設け、この第２水位センサ１９の検出信
号によって三方弁９を切換えて真空タンク４を大気に開
口すると共に、真空ポンプ１５と遮断して真空タンク４
内の空気吸引を停止することで真空タンク１５が液体を
吸引しないようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、地中に埋設された
下水管内の汚水等の液体を真空吸引力を利用して搬送す
る真空吸引搬送装置及び真空吸引搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空吸引搬送装置としては例えば、真空
ポンプで真空タンク内を負圧とし、その真空タンク内に
液体を吸引し、排出ポンプで真空タンク内の液体を排出
するものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述の真空吸引搬送装
置によって液体を搬送している時に排出ポンプが作動不
良を起して排出能力が低下、あるいは排出能力がゼロと
なると、真空タンク内の液体の水位が高くなり、その液
体の一部が真空ポンプ内に吸引され、その真空ポンプが
損傷することがある。

【０００４】このことを解消するには、例えば特開昭５
６−５７６７５号公報に示すフロート弁を真空タンク内
に設け、真空ポンプがフロート弁を経て真空タンク内の
空気を吸引するようにし、真空タンク内の液体の水位が
高くなるとフロート弁が閉じ作動して真空タンク内の液
体が真空ポンプに吸引されないようにすることが考えら
れる。

【０００５】しかしながら、フロート弁は液体の水位に
よって開閉作動するものであるから、そのフロート弁が
完全に閉じるまでの間に真空ポンプの真空吸引力で液体
が真空ポンプに吸引されることがあり、真空ポンプに液
体が吸引されることを確実に防止できない。

【０００６】そこで、本発明は前述の課題を解決できる
ようにした真空吸引搬送装置及び真空吸引搬送方法を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び作用・効果】第１の発
明は、密閉された真空タンク４と、この真空タンク４内
の液体を排出する排出ポンプと、前記真空タンク４内に
突出した液体吸引管７と、真空ポンプ１５と、この真空
ポンプ１５と真空タンク４内部を接続する気体吸引管
と、前記真空タンク４内の液体水位が前記気体吸引管に
接近した設定の高さとなったことを検出する水位センサ
と、前記水位センサが検出作動した時に真空ポンプ１５
による真空タンク４内の空気吸引を停止する手段を設け
たことを特徴とする真空吸引搬送装置である。

【０００８】第１の発明によれば、真空ポンプ１５、排
出ポンプを駆動して液体を吸引搬送している時に、真空
タンク４内の液体水位が異常に高くなって気体吸引管に
接近した設定の高さとなると、水位センサが検出作動し
て真空タンク４内の空気吸引が停止する。従って真空タ
ンク４内には、それ以上液体吸引管より液体が流れ込む
ことはない。

【０００９】これにより、排出ポンプの異常、故障など
によって排出能力が低下したり、ゼロとなり、真空タン
ク４内の液体水位が設定の高さとなると液体を吸引しな
くなるため、真空タンク４内の液体水位が設定の高さ以
上とならないので、真空ポンプ１５が液体を吸引するこ
とを確実に防止できる。

【００１０】第２の発明は、第１の発明の真空吸引搬送
装置において、空気吸引停止手段として、前記気体吸引
管の途中に、真空タンク４内と真空ポンプを連通する第
１の状態と、真空タンク４内と真空ポンプを遮断する第
２の状態とに切り換え作動する切換弁を設けた事を特徴
とする真空吸引搬送装置である。

【００１１】第２の発明によれば、真空ポンプ１５、排
出ポンプを駆動して液体を吸引搬送している時には切換
弁は第１の状態になっている。真空タンク内の液体水位
が異常に高くなって気体吸引管に接近した設定となる
と、水位センサが作動して、切換弁が第２の状態とな
り、真空タンク４内の空気吸引が停止する。

【００１２】これにより、排出ポンプの異常、故障など
によって排出能力が低下したり、ゼロとなり、真空タン
ク４内の水位が設定の高さとなると液体を吸引しなくな
るので、真空タンク４内の液体水位は設定の高さ以上と
ならないので、真空ポンプ１５が液体を吸引することを
確実に防止できる。

【００１３】しかも、真空ポンプ１５は連続して駆動し
ているから、切換弁９を第２の状態から第１の状態に切
換えた時に真空ポンプ１５によって真空タンク内を短時
間に所定の負圧とする事ができる。つまり、真空ポンプ
１５を駆動開始してから吸引力が所定の負圧となるまで
はある程度の時間がかかるためである。また、真空ポン
プ１５を駆動・停止させたりせず、連続して作動させて
いるので、真空ポンプ１５の耐久性も向上する。

【００１４】第３の発明は、第１の発明又は第２の発明
において、前記水位センサが検出作動した時真空タンク
４内を大気に開口する手段を設けたことを特徴とする真
空吸引搬送装置である。

【００１５】第３の発明によれば、真空ポンプ１５、排
出ポンプを駆動して液体を吸引搬送している時に、真空
タンク４内の液体水位が異常に高くなって気体吸引管に
接近した設定の高さとなるし、水位センサが検出作動し
て真空タンク４内の空気吸引が停止すると共に、真空タ
ンク４内が大気に開口する。

【００１６】これにより、排出ポンプの異常、故障など
によって排出能力が低下したり、ゼロとなり、真空タン
ク４内の水位が設定の高さとなると液体を吸引しなくな
るので、真空タンク４内の液体水位は設定の高さ以上と
ならないので、真空ポンプ１５が液体を吸引することを
確実に防止できる。

【００１７】しかも、真空タンク４内が大気に開口して
大気圧となるので、水位センサが検出作動してから空気
吸引停止までのタイムラグが少なくなる。従って真空タ
ンク４内に残留した負圧で液体を吸引することがなく、
水位センサの検出作動する液体水位の設定の高さを気体
吸引管により一層接近できる。

【００１８】これによって、水位センサが作動するひん
度が少なくなる。

【００１９】第４の発明は、第３の発明において、空気
吸引を停止する手段及び真空タンク４内を大気に開口す
る手段として、気体吸引管の途中に、真空タンク４内と
真空ポンプ１５を連通し、かつ大気と遮断する第１の状
態と、真空タンク４内を大気に開口し、かつ真空ポンプ
１５と遮断する第２の状態とに切換え作動する切換弁９
を設けた真空吸引搬送装置である。

【００２０】これにより、真空タンク４内の水位が設定
の高さとなると液体を吸引しなくなる。しかも、真空タ
ンク４内が大気に開口して大気圧となるので、真空タン
ク４内に残留した負圧で液体を吸引することがない。こ
れにより、水位センサの検出作動する液体水位の設定の
高さを気体吸引管に、より一層接近できる。

【００２１】また、空気吸引を停止する手段及び真空タ
ンク４内を大気に開口する手段として切換弁９を１つ設
ければ良く、構造が簡単となるし、両方の制御が１つで
すみ制御も容易となる。しかも、１つの切換弁９の制御
で空気吸引停止と真空タンク４内を大気に開口する事が
同時に行うことができる。また、真空ポンプ１５は連続
して駆動しているから切換弁９を第２の状態から第１の
状態に切換えた時に真空ポンプ１５によって真空タンク
４内を短時間に所定の負圧とすることができるし、真空
ポンプ１５の耐久性が向上する。つまり、真空ポンプ１
５を駆動開始してから吸引力が所定の負圧となるまでは
ある程度の時間がかかるし、真空ポンプ１５を駆動・停
止を繰り返しすると耐久性が低下する。

【００２２】第５の発明は、第１又は第２又は第３又は
第４の発明において、真空タンク４に、その真空タンク
４内の液体水位が設定した最も低い高さの時に検出作動
して排出ポンプを停止する信号を出力する排出ポンプ用
下部水位センサ１７と、真空タンク４内の液体水位が前
記水位センサと前記排出ポンプ用下部水位センサ１７と
の高さの時に検出作動して排出ポンプを起動する信号を
出力する排出ポンプ用上部水位センサ１６を設けた真空
吸引搬送装置である。

【００２３】第５の発明によれば、排出ポンプが真空タ
ンク４内の液体水位によって駆動したり、停止するの
で、排出ポンプを有効に駆動して真空タンク４内の液体
を排出できるから、排出ポンプの駆動エネルギーを少な
くできるし、真空タンク４内に液体がない時に排出ポン
プが駆動してエアー吸引することを防止できる。

【００２４】第６の発明は、真空タンク４内の空気を真
空ポンプ１５で吸引して負圧とすることで真空タンク４
内に液体を吸引し、その真空タンク４内の液体を排出ポ
ンプで排出する真空吸引搬送方法において、前記真空タ
ンク４内の液体水位が真空ポンプ１５によって真空ポン
プ１５側に液体吸引の恐れがある高さとなった時に真空
タンク４内の空気吸引を停止させ、この後に真空タンク
４内の液体水位が前記高さよりも所定の値だけ低くなっ
た時に真空タンク４内の空気吸引を開始するようにした
ことを特徴とする真空吸引搬送方法である。

【００２５】第６の発明によれば、真空タンク４内の液
体が真空ポンプ１５によって真空ポンプ１５側に液体吸
引する恐れがある高さまで溜ると真空タンク４内の空気
吸引が停止するので、真空ポンプ１５が液体を吸引する
ことを確実に防止できる。

【００２６】また、排水ポンプの排水能力が正常に復帰
して真空タンク４内の液体水位が所定の値だけ低下する
と真空タンク４内の空気吸引を再開するから、再び液体
を吸引して搬送できる。

【００２７】第７の発明は、第６の発明において、前記
真空タンク４内の空気吸引を停止させる前に前記排出ポ
ンプを起動動作させることを特徴とする真空吸引搬送方
法である。

【００２８】第７の発明によれば、真空タンク４内の液
体が真空ポンプ１５によって真空ポンプ１５側に液体吸
引する恐れがある第１の高さまで溜ると空気吸引を停止
させる前に、まず排水ポンプを起動し、この後さらに水
位が上昇すると真空タンク４内の空気吸引が停止するの
で、真空ポンプ１５が液体を吸引することを確実に防止
できるし、排水ポンプの起動ミス等の場合には排水ポン
プが確実に起動し、真空タンク４内の空気吸引を無駄に
停止することがない。

【００２９】また、排水ポンプの排水能力が正常に復帰
して真空タンク４内の液体水位が所定の値だけ低下する
と真空タンク４内の空気吸引を再開するから、再び液体
を吸引して搬送できる。

【００３０】

【発明の実施の形態】図１に示すように、筒体１の上部
に上板２に取付け、この筒体１の下部に下板３を取付け
て密閉された真空タンク４としてある。前記下板３の中
央部には排出ポンプである水中ポンプ５が取付けてあ
り、この水中ポンプ５の吐出口に接続した吐出管６が筒
体１よりも外部に突出している。

【００３１】液体吸引管７は上板２より真空タンク４内
に突出している。第１気体吸引管８は筒体１の上部から
真空タンク４内の上部寄りに突出している。この第１気
体吸引管８は切換弁９で大気取入管１０と第２気体吸引
管１１の一方に選択的に連通される。

【００３２】前記第２気体吸引管１１はドレーン用弁１
２で第３気体吸引管１３とドレーン管１４の一方に選択
的に連通される。前記第３気体吸引管１３が真空ポンプ
１５に接続している。

【００３３】前記真空タンク４内の下部寄りには排出ポ
ンプ用上部水位センサ１６と排出ポンプ用下部水位セン
サ１７が取付けてある。前記真空タンク４内の上部寄り
には第１水位センサ１８と第２水位センサ１９が上下方
向に離隔してそれぞれ取付けてある。

【００３４】前記各水位センサは液体に浸るとＯＮする
もの、フロートとスイッチを組み合せたフロートスイッ
チなどであり、真空タンク４内の水位が設定した高さと
なると信号を出力する。

【００３５】前記切換弁９は図２に示すように、第１ポ
ート２０と第２ポート２１と第３ポート２２を有する弁
本体２３と、この弁本体２３内に回転自在に設けた切換
体２４と、この切換体２４を回転する駆動機構２５より
構成してある。前記切換体２４には図２に実線で示すよ
うに第１ポート２０と第２ポート２１を連通し、かつ第
３ポート２２を閉じる第１の通路２６と、図２に仮想線
で示すように第１ポート２０と第３ポート２２を連通
し、かつ第２ポート２１を閉じる第２の通路２７を有す
る。

【００３６】前記駆動機構２５は切換体２４の支軸２４
ａに設けたピニオン２８と、ラック２９と、シリンダ３
０を備え、このシリンダ３０には後述する電磁弁によっ
てエアーが供給されて伸縮作動する。

【００３７】前記第１ポート２０に第１気体吸引管８が
接続し、第２ポート２１に第２気体吸引管１１が接続
し、第３ポート２２に大気取入管１０が接続している。

【００３８】このようであるから、切換体２４を図２の
実線で示す第１の状態とすれば第１ポート２０と第２ポ
ート２１が第１の通路２６で連通して第１気体吸引管８
は第２気体吸引管１１に連通し、かつ大気取入管１０と
は遮断する。切換体２４を所定の角度回転して図２の仮
想線で示す第２の状態とすれば第１ポート２０と第３ポ
ート２２が第２の通路２７で連通して第１気体吸引管８
は大気取入管１０に連通し、かつ第２気体吸引管１１と
は遮断する。

【００３９】前記ドレーン弁１２は図２に示すように、
第１ポート３１と第２ポート３２と第３ポート３３を有
する弁本体３４と、この弁本体３４内に回転自在に設け
た切換体３５と、この切換体３５を回転するハンドル３
６より構成してある。前記切換体３５には図２に実線で
示すように第１ポート３１と第２ポート３２を連通し、
かつ第３ポート３３を閉じる第１の通路３７と、図２に
仮想線で示すように第１ポート３１と第３ポート３２を
連通し、かつ第２ポート３２を閉じる第２の通路３８を
有する。

【００４０】前記第１ポート３１に第２気体吸引管１１
が接続し、第２ポート３２に第３気体吸引管１３が接続
し、第３ポート３３にドレーン管１４が接続している。

【００４１】このようであるから、切換体３５を図２の
実線で示す第１の状態とすれば第１ポート３１と第２ポ
ート３２が第１の通路３７で連通して第２気体吸引管１
１は第３気体吸引管１３に連通し、かつドレーン管１４
とは遮断する。切換体３５を所定の角度回転して図２の
仮想線で示す第２の状態とすれば第１ポート３１と第３
ポート３３が第２の通路３８で連通して第２気体吸引管
１１はドレーン管１４に連通し、かつ第３気体吸引管１
４とは遮断する。

【００４２】これにより、第２気体吸引管１１内の液体
を排水できる。

【００４３】前記シリンダ３０には図３に示すように電
磁弁４０でエアー源４１のエアーが供給される。この電
磁弁４０はスプリング力で中立位置Ａに保持され、第１
ソレノイド４２に通電されると第１位置Ｂとなり、第２
ソレノイド４３に通電されると第２位置Ｃとなる。

【００４４】前記第１ソレノイド４２、第２ソレノイド
４３にはコントローラ４４で通電コントロールされる。
このコントローラ４４に前記各水位センサの信号が入力
されると共に、起動スイッチ４５から起動信号が入力さ
れる。前記水中ポンプ５の電動モータ４６、真空ポンプ
１５の電動モータ４７はコントローラ４４で通電コント
ロールされる。

【００４５】次に作動を説明する。起動スイッチ４５を
操作してコントローラ４４に起動信号を入力すると、コ
ントローラ４４は電動モータ４７に起動信号を出力して
真空ポンプ１５を駆動すると同時に第１ソレノイド４２
に通電して電磁弁４０を第１位置Ｂとする。この時、ド
レーン弁１２の切換体３５は第１の状態としてある。

【００４６】シリンダ３０の伸び室３０ａにエアーが供
給されて伸び作動し、切換弁９の切換体２４を第１の状
態として真空ポンプ１５の吸引側が真空タンク４内に連
通する。

【００４７】これによって、真空タンク４内が負圧とな
って液体吸引管７より真空タンク４内に液体を吸引す
る。

【００４８】真空タンク４内の液体の水位が上って排出
ポンプ用上部水位センサ１６がＯＮすると、コントロー
ラ４４は電動モータ４６に通電して水中ポンプ５を駆動
し、真空タンク４内の液体を吐出管６で外部に排出す
る。

【００４９】真空タンク４内の液体の水位が下がって排
出ポンプ用下部水位センサ１７がＯＦＦすると、コント
ローラ４４は電動モータ４６への通電を止めて水中ポン
プ５を停止する。

【００５０】以上の動作は水中ポンプ５が正常に駆動し
て所定の排出能力を発揮している状態であり、水中ポン
プ５の排出能力が異常等によって低下すると、真空タン
ク４内に吸引される液体量に比べて排出される液体量が
減少して真空タンク４内の水位は排出ポンプ用水位セン
サ１６よりも上る。

【００５１】そして、真空タンク４内の水位が第１水位
センサ１８以上となって第１水位センサ１８がＯＮする
と、コントローラ４４は水中ポンプ５の電動モータ４６
に確認のために再度通電して水中ポンプ５を再駆動す
る。

【００５２】これにより、起動スイッチ４５から起動信
号を入力した時に電動モータ４６に正しく通電されてい
なかった場合などには電動モータ４６に正しく通電され
て水中ポンプ５が正常に駆動して真空タンク４内の液体
を排出するから、真空タンク４の水位が下がって第１水
位センサ１８はＯＦＦする。

【００５３】前述のように電動モータ４６に再度通電し
ても、水位が更に上がって第２水位センサ１９がＯＮす
ると、（例えば水中ポンプ５が故障している場合など）
コントローラ４４は電磁弁４０の第２ソレノイド４３に
通電して第２位置Ｃとしてシリンダ３０の縮み室３０ｂ
にエアーを供給して切換弁９の弁本体２４を第２の状態
とする。

【００５４】これにより、真空タンク４内は大気に開口
して真空ポンプ１５の吸引側とは連通しなくなるので、
真空タンク４内は直ちに大気圧となり、液体吸引管７か
らの液体吸引を直ちに中止するから、真空タンク４内の
水位が第２水位センサ１９よりも高くなることがない。

【００５５】したがって、真空タンク４内の水位は第１
気体吸引管８よりも低い状態に維持され、第１気体吸引
管８内に液体が流れ込むことがなく、切換弁９の切換体
２４を第１の状態として真空タンク４内の空気を真空ポ
ンプ１５で吸引開始した時に液体が真空ポンプ１５に吸
引されることがない。

【００５６】なお、コントローラ４４は第２水位センサ
１９のＯＮ信号が入力されたらブザーやランプ等の表示
器４８を表示作動して水中ポンプ５の異常を知らせるよ
うにしてある。

【００５７】前述の動作の時に、水中ポンプ５が若干の
排水能力をもっていれば真空タンク４内の水位は下が
り、その水位が排水ポンプ用上部水位センサ１６以下と
なってＯＦＦした時には、コントローラ４４は電磁弁４
０の第１ソレノイド４２に通電して切換弁９の切換体２
４を第１の状態として真空タンク４内の空気を吸引して
負圧として液体吸引を再開する。

【００５８】なお、真空タンク４内に図２で仮想線で示
すように第３水位センサ４９を設け、この第３水位セン
サ４９がＯＦＦしたら前述のようにして液体吸引を再開
するようにしても良い。

【００５９】次に本発明の第２の実施の形態を説明す
る。図４に示すように、第１気体吸引管８と第２気体吸
引管１１を第１開閉弁５０で接続し、真空タンク４内を
第２開閉弁５１で大気に開口する。

【００６０】前記第１開閉弁５０は図５に示すように、
スプリングで開位置Ｄに保持され、ソレノイド５２に通
電されると閉位置Ｅとなる。前記第２開閉弁５１はスプ
リングで閉位置Ｅに保持され、ソレノイド５３に通電さ
れると開位置Ｄとなる。

【００６１】そして、各ソレノイド５２，５３は前述と
同様に第２水位センサ１９がＯＮした時にコントローラ
４４から通電されるようにしてあり、水中ポンプ５の排
水能力が異常の時に前述と同様に真空タンク４内が大気
圧となる。

【００６２】なお、第２開閉弁５１を設けずに第２水位
センサ１９がＯＮした時に第１開閉弁５０を閉として真
空タンク４内の空気を真空ポンプ１５が吸引しないよう
にしても良い。

【００６３】次に本発明の第３の実施の形態を説明す
る。図６に示すように、第１気体吸引管８と第２気体吸
引管１１を直接連続させると共に、図７に示すように第
２水位センサ１９がＯＮした時にコントローラ４４が真
空ポンプ１５の電動モータ４７への通電を止めて真空ポ
ンプ１５を停止し、それによって真空ポンプ１５が真空
タンク４内の空気を吸引せずに液体吸引を停止する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す真空吸引搬送
装置の断面図である。

【図２】切換弁とドレーン弁の断面図である。

【図３】制御回路図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態を示す真空吸引搬送
装置の断面図である。

【図５】制御回路図である。

【図６】本発明の第３の実施の形態を示す真空吸引搬送
装置の断面図である。

【図７】制御回路図である。

【符号の説明】

４…真空タンク ５…水中ポンプ ７…液体吸引管 ８…第１気体吸引管 ９…切換弁 １１…第２気体吸引管 １２…ドレーン弁 １３…第３気体吸引管 １５…真空ポンプ １６…排水ポンプ用上部水位センサ １７…排水ポンプ用下部水位センサ １８…第１水位センサ １９…第２水位センサ ２３…弁本体 ２４…切換体 ３０…シリンダ ３４…弁本体 ３５…切換体 ４０…電磁弁 ４４…コントローラ ４６…電動モータ ４７…電動モータ ５０…第１開閉弁 ５１…第２開閉弁

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 密閉された真空タンク４と、この真空タ
   ンク４内の液体を排出する排出ポンプと、前記真空タン
   ク４内に突出した液体吸引管７と、真空ポンプ１５と、
   この真空ポンプ１５と真空タンク４内部を接続する気体
   吸引管と、前記真空タンク４内の液体水位が前記気体吸
   引管に接近した設定の高さとなったことを検出する水位
   センサと、前記水位センサが検出作動した時に真空ポン
   プ１５による真空タンク４内の空気吸引を停止する手段
   を設けたことを特徴とする真空吸引搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の真空吸引搬送装置におい
   て、空気吸引停止手段として、前記気体吸引管の途中
   に、真空タンク４内と真空ポンプを連通する第１の状態
   と、真空タンク４内と真空ポンプを遮断する第２の状態
   とに切り換え作動する切換弁を設けた事を特徴とする真
   空吸引搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の真空吸引搬
   送装置において、前記水位センサが検出作動した時真空
   タンク４内を大気に開口する手段を設けたことを特徴と
   する真空吸引搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の真空吸引搬送装置におい
   て、空気吸引を停止する手段及び真空タンク４内を大気
   に開口する手段として、前記気体吸引管の途中に、真空
   タンク４内と真空ポンプ１５を連通し、かつ大気と遮断
   する第１の状態と、真空タンク４内を大気に開口し、か
   つ真空ポンプ１５と遮断する第２の状態とに切換え作動
   する切換弁９を設けた真空吸引搬送装置。
5. 【請求項５】 前記真空タンク４に、その真空タンク４
   内の液体水位が設定した最も低い高さの時に検出作動し
   て排出ポンプを停止する信号を出力する排出ポンプ用下
   部水位センサ１７と、真空タンク４内の液体水位が前記
   水位センサと前記排出ポンプ用下部水位センサ１７との
   間の高さの時に検出作動して排出ポンプを起動する信号
   を出力する排出ポンプ用上部水位センサ１６を設けた請
   求項１又は２又は３又は４記載の真空吸引搬送装置。
6. 【請求項６】 真空タンク４内の空気を真空ポンプ１５
   で吸引して負圧とすることで真空タンク４内に液体を吸
   引し、その真空タンク４内の液体を排出ポンプで排出す
   る真空吸引搬送方法において、 前記真空タンク４内の液体水位が真空ポンプ１５によっ
   て真空ポンプ１５側に液体吸引の恐れがある高さとなっ
   た時に真空タンク４内の空気吸引を停止させ、この後に
   真空タンク４内の液体水位が前記高さよりも所定の値だ
   け低くなった時に真空タンク４内の空気吸引を開始する
   ようにしたことを特徴とする真空吸引搬送方法。
7. 【請求項７】 請求項６記載の真空吸引搬送方法におい
   て、前記真空タンク４内の空気吸引を停止させる前に前
   記排出ポンプを起動動作させることを特徴とする真空吸
   引搬送方法。