JPH08304448A - 力学量検出器および力学量検出方法 - Google Patents

力学量検出器および力学量検出方法

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JPH08304448A
JPH08304448A JP7113338A JP11333895A JPH08304448A JP H08304448 A JPH08304448 A JP H08304448A JP 7113338 A JP7113338 A JP 7113338A JP 11333895 A JP11333895 A JP 11333895A JP H08304448 A JPH08304448 A JP H08304448A
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mechanical
given
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JP7113338A
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Shinya Hara
信也 原
Mitsuhiro Okazaki
光宏 岡崎
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
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    • G01MEASURING; TESTING
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Abstract

(57)【要約】 【目的】検出精度に係る補正情報を簡単に求めることが
できる力学量検出器および力学量検出方法を提供する。 【構成】複数の検出軸を有し、各検出軸方向に作用する
力学量を検出する検出部21と、検出部21の検出結果
を補正するための補正情報を記憶する記憶部24と、補
正情報を用いて前記検出結果を補正する補正部23と、
前記複数の検出軸方向の任意の一つについて与えられ
た、互いに逆向きの力学量のそれぞれの向き及び大きさ
と、この検出軸方向以外の検出軸方向のそれぞれについ
て与えられた力学量のそれぞれの向き及び大きさと、前
記各力学量が与えられたときの検出部21の各検出結果
との関係に基づいて前記補正情報を生成し、これを記憶
部24に記憶する補正情報生成部22とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、力学量を検出するため
の力学量検出器および力学量検出方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、手振れを補正するカメラが開発さ
れているが、このカメラの内部には、普通、一つ又は複
数の加速度センサ(又は角速度センサ)が設置されてい
る。センサが一つの場合は、通常、多軸のものを使用
し、カメラにかかる軸方向の加速度等を検出している。
【0003】また、センサの検出素子からは、普通、そ
の検出結果が電圧値Vx,Vy,Vzとして出力される。
したがって、これらの電圧値に対して、予め求めておい
た係数Cx,Cy,Czおよび直流成分値VxDC′,Vy
DC′,VzDC′を用いて(式1)の如く計算を行
い、加速度などの力学量Ax′,Ay′,Az′を算出す
る。前述の係数および直流成分値は、センサをカメラに
設置する前に求めたセンサ固有の値である。
【0004】
【数1】
【0005】さて、多軸のセンサには、普通、各軸に干
渉成分があることが知られている。これについては、例
えば、特開平3−276072号公報にも記載されてお
り、具体的には、(式2)に示すような関係が知られて
いる。Ax,Ay,Azは、与えられた力学量であり、V
x,Vy,Vzは、検出素子の出力値である。また、Sx
x,Sxy,Sxz,Syx,Syy,Syz,Szx,Szy,Szz
は、検出感度係数を示している。
【0006】
【数2】
【0007】ここで、(式2)は、
【0008】
【数3】
【0009】と変形でき、さらに、
【0010】
【数4】
【0011】と表すことができる。
【0012】なお、係数C11〜C33は、検出感度係数S
xx 〜Szz の逆行列である。
【0013】そして、(式4)を一般式にすると、
【0014】
【数5】
【0015】となる。すなわち、(式5)を利用すれ
ば、各軸の干渉成分が補正された力学量Ax,Ay,Az
を求めることができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来例の何れにおいても、以下のような問題がある。
【0017】すなわち、これらの従来例では、センサを
カメラに設置する前に検出した力学量と、センサをカメ
ラに設置した後に検出した力学量とが、くい違ってしま
う。図5の直線2は、カメラ設置前における、センサの
出力と、これから求めた力学量との関係を示したもので
あり、直線1は、カメラ設置後における、センサの出力
と、これから求めた力学量との関係を示したものであ
る。
【0018】直線1、2の相互のずれは、即ち検出誤差
であり、これは主に、センサをカメラに設置する際に生
じる設置誤差によるものである。設置誤差がある場合、
カメラ設置前に求めておいた前述の係数および直流成分
値は意味をなさなくなる。
【0019】もちろん、設置誤差を解消すべく、センサ
の取り付け精度を厳しくしてもよいが、この場合はコス
トが高くなるという問題点がある。
【0020】なお、カメラのような精密器機でなく、設
置誤差をあまり問わない対象物にセンサを取り付ける場
合には、カメラ設置前に求めた検出感度係数や直流成分
値をそのまま用いても構わないが、この場合でも、検出
感度係数や直流成分値は、簡単に求めたいという要求が
ある。
【0021】以上の問題点を考慮し、本発明の第1の目
的は、検出精度の高い力学量検出器および力学量検出方
法を提供することにある。本発明の第2の目的は、検出
精度に係る補正情報を簡単に求めることができる力学量
検出器および力学量検出方法を提供することにある。
【0022】
【問題点を解決するための手段】上記目的を達成するた
めの本発明の第1の態様によれば、複数の検出軸を有
し、各検出軸方向に作用する力学量を検出する検出手段
と、前記検出手段の検出結果を補正するための補正情報
を記憶する記憶手段と、前記補正情報を用いて前記検出
結果を補正する補正手段と、前記複数の検出軸方向の任
意の一つについて与えられた、互いに逆向きの力学量の
それぞれの向き及び大きさと、この検出軸方向以外の検
出軸方向のそれぞれについて与えられた力学量のそれぞ
れの向き及び大きさと、前記各力学量が与えられたとき
の前記検出手段の各検出結果との関係に基づいて前記補
正情報を生成し、これを前記記憶手段に記憶する補正情
報生成手段とを有することを特徴とする力学量検出器が
提供される。
【0023】上記目的を達成するための本発明の第2の
態様によれば、第1の態様において、前記複数の検出軸
は、互いに直交する2軸又は3軸であることを特徴とす
る力学量検出器が提供される。
【0024】上記目的を達成するための本発明の第3の
態様によれば、第1又は第2の態様において、前記検出
手段は、対象物に設けられた状態で前記力学量を検出す
ることを特徴とする力学量検出器が提供される。
【0025】上記目的を達成するための本発明の第4の
態様によれば、対象物に設けられた力学量検出器であっ
て、与えられた力学量に応じた信号を出力する検出手段
と、前記検出手段の出力値を補正するための補正情報を
記憶する記憶手段と、既知の大きさを有する複数の向き
の力学量のそれぞれの向き及び大きさと、これらの力学
量が与えられた場合の前記検出手段の各出力値との関係
に基いて、前記補正情報を生成し、これを前記記憶手段
に記憶する補正情報生成手段と、前記記憶手段に記憶さ
れた前記補正情報をもとに前記検出手段の出力値を補正
し、その結果を出力する補正手段とを有することを特徴
とする力学量検出器が提供される。
【0026】上記目的を達成するための本発明の第5の
態様によれば、第3又は第4の態様において、前記対象
物は、カメラ本体又は鏡筒であることを特徴とする力学
量検出器が提供される。
【0027】上記目的を達成するための本発明の第6の
態様によれば、第1、第2、第3、第4、又は第5にお
いて、前記力学量は、加速度、角速度、及び、角加速度
のうちのいずれかであることを特徴とする力学量検出器
が提供される。
【0028】上記目的を達成するための本発明の第7の
態様によれば、力学量を検出するための力学量検出方法
であって、複数の検出軸を有し、各検出軸方向に作用す
る力学量を検出する検出手段を備えた対象物の姿勢を少
なくとも4回変化させ、前記複数の検出軸方向の何れか
一つについては、互いに逆向きの力学量を独立に与え、
これ以外の検出軸方向のそれぞれについては、任意の向
きの力学量を与え、与えた力学量のそれぞれの向き及び
大きさと、これらの力学量を与えた際の前記検出手段の
各検出結果に基づいて補正情報を生成し、生成した補正
情報を記憶させ、この記憶させた補正情報を基に、前記
検出手段の検出結果を補正する力学量検出方法が提供さ
れる。
【0029】上記目的を達成するための本発明の第8の
態様によれば、第7の態様において、前記力学量は、加
速度、角速度、及び、角加速度のうちのいずれかである
ことを特徴とする力学量検出方法が提供される。
【0030】
【作用】本発明の第1の態様によれば、検出手段は、複
数の検出軸を有しており、各検出軸方向に作用する力学
量を検出する。記憶手段は、検出手段の検出結果を補正
するための補正情報を記憶する。補正手段は、この補正
情報を用いて前記検出結果を補正する。なお、補正情報
は、補正情報生成手段で生成される。
【0031】また、複数の検出軸は、第2の態様の如
く、互いに直交する3軸(以下、x軸、y軸、z軸とす
る)であってもよい。この場合、例えば、補正情報生成
手段は、複数の検出軸方向の任意の一つ(例えばx軸方
向)について与えられた、互いに逆向きの力学量のそれ
ぞれの向き及び大きさと、この検出軸方向以外の検出軸
方向のそれぞれ(y軸方向、z軸方向)について与えら
れた力学量のそれぞれの向き及び大きさと、前記各力学
量が与えられたときの前記検出手段の各検出結果との関
係に基づいて前記補正情報を生成する。力学量の向きと
は、例えば、x軸方向の場合、x軸の正または負の向き
に相当するもので、具体的には符号として表現される。
力学量の大きさとは、その力学量の絶対値である。
【0032】なお、この例では、x軸方向について2
つ、y軸方向、z軸方向のそれぞれについて1つずつ、
合わせて4つの力学量が与えられるので、検出結果は4
つとなる。また、検出手段は、各検出軸方向に作用する
力学量を検出するため、これら4つの検出結果のそれぞ
れには、x軸方向に関する検出情報、y軸方向に関する
検出情報、z軸方向に関する検出情報のすべてが含まれ
ている。
【0033】以上のように、本例では、前述の4つの力
学量を与えるだけで補正情報を生成することができる。
【0034】なお、検出手段は、第3の態様のように、
対象物に設けられた状態で力学量を検出することもでき
る。
【0035】本発明の第4の態様によれば、検出手段
は、与えられた力学量に応じた信号を出力する。記憶手
段は、検出手段の出力値を補正するための補正情報を記
憶する。補正情報生成手段は、既知の大きさを有する複
数の向きの力学量のそれぞれの向き及び大きさと、これ
らの力学量が与えられた場合の前記検出手段の各出力値
との関係に基いて、前記補正情報を生成し、これを前記
記憶手段に記憶する。補正手段は、記憶手段に記憶され
た補正情報をもとに検出手段の出力値を補正し、その結
果を出力する。
【0036】なお、力学量として加速度を扱う場合に、
対象物の姿勢を順次変化させれば、既知の大きさを有す
る複数の向きの力学量として、重力加速度を用いること
ができる。対象物は、カメラ本体や鏡筒でもよく、これ
らの姿勢は、簡単に変化させることができる。
【0037】また、第3、第4の態様のように、目的の
対象物に設けられた状態で補正情報を生成すれば、対象
物に設置される前に補正情報を求める従来と比較して、
その検出精度が向上する。
【0038】第6の態様によれば、複数の検出軸を有
し、各検出軸方向に作用する力学量を検出する検出手段
を備えた対象物の姿勢を少なくとも4回変化させるだけ
で、補正情報を生成することができる。
【0039】なお、第1〜第6の態様の力学量は、加速
度のほか、角速度、または角加速度であってもよい。
【0040】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を用い
て説明する。
【0041】図1(a)〜図1(d)には、本実施例の
力学量検出器12を搭載したカメラ11の4姿勢が示さ
れており、重力はそれぞれ矢印Aの向きに作用する。力
学量検出器12は、図2に示すように、検出部21、補
正情報生成部22、補正部23を有する。本実施例で
は、検出部21に、互いに直交するx、y、z軸の各軸
成分の加速度を検出してそれぞれの検出結果を電圧値と
して出力する検出素子(例えばピエゾ抵抗効果を利用し
た半導体素子)を用いている。補正情報生成部22、補
正部23は、例えば、CPUや記憶部(記憶部24のみ
図示されている)を有して構成され、各記憶部には、後
述する演算をCPUで実行する際に必要となるプログラ
ム等が記憶されている。また、検出部21は、与えられ
た加速度に応じて撓み量が変化する可撓部に形成されて
いる。この可撓部は、加速度センサ等の力学量検出器に
一般的に用いられるので特に図示しないが、本実施例で
はシリコン基板をエッチング処理で凹型に繰り抜くこと
で製作している。なお、可撓部が形成されているシリコ
ン基板に、補正情報生成部22や補正部23も併せて製
作すれば、力学量検出器の小型化が図れるだけでなく、
配線抵抗を低減させることができる。
【0042】図1(a)は、x軸の正の向きを図中、上
にした状態である。このとき検出素子は、理論上、各軸
方向において以下のような加速度を検出する。
【0043】
【数6】
【0044】Ax:x軸方向の加速度 Ay:y軸方向の加速度 Az:z軸方向の加速度 G:は重力加速度 しかしながら、検出素子をカメラに設置する際には、一
般に、設置誤差が生じるため、一つの軸の成分に他軸の
成分が含まれてしまう。したがって、このときの検出素
子の出力電圧には、検出誤差が含まれている。いま、こ
の出力電圧をVxxu,Vyxu,Vzxuとする。Vxxu,Vyx
u,Vzxuは、順に、x軸出力、y軸出力、z軸出力に対
応している。
【0045】図1(b)は、x軸の正の向きを図中、下
にした状態である。このとき検出素子は、理論上、各軸
方向において以下のような加速度を検出する。
【0046】
【数7】
【0047】なお、このときの検出素子の出力電圧は、
Vxxd,Vyxd,Vzxdとする。これらの出力電圧には、
前述と同様、検出誤差が含まれている。
【0048】また、図1(c)は、y軸の正の向きを上
にした状態である。このとき検出素子が検出する理論上
の加速度は、
【0049】
【数8】
【0050】であり、このときの出力電圧は、Vxyu,
Vyyu,Vzyuとする。
【0051】また、図1(d)は、z軸の正の向きを上
にした状態である。このとき検出素子が検出する理論上
の加速度は、
【0052】
【数9】
【0053】であり、このときの出力電圧は、Vxzu,
Vyzu,Vzzuとする。
【0054】そして、補正情報生成部22は、Ax=
G,Ay=0,Az=0、及び、Vx=Vxxu,Vy=Vyx
u,Vz=Vzxuを(式2)に代入することで得られる3
つの方程式と、Ax=−G,Ay=0,Az=0、及び、
Vx=Vxxd,Vy=Vyxd,Vz=Vzxdを(式2)に代入
することで得られる3つの方程式と、Ax=0,Ay=
G,Az=0、及び、Vx=Vxyu,Vy=Vyyu,Vz=V
zyuを(式2)に代入することで得られる3つの方程式
と、Ax=0,Ay=0,Az=G、及び、Vx=Vxzu,
Vy=Vyzu,Vz=Vzzuを(式2)に代入することで得
られる3つの方程式から成る12の連立方程式を解くこ
とで、検出感度係数Sxx,Sxy,Sxz,Syx,Syy,S
yz,Szx,Szy,Szzと、VxDC(x軸の直流成
分)、VyDC(y軸の直流成分)、VzDC(z軸の直
流成分)を算出する。これらの値は、(式10)、(式
11)に示す通りであり、補正情報生成部22の記憶部
24に記憶される。なお、この演算は、実際の加速度検
出を行う前に実施される。
【0055】
【数10】
【0056】
【数11】
【0057】そして、実際に加速度検出を行う場合に
は、補正部23は、まず、検出素子から出力された各電
圧値Vx,Vy,Vzを受け取り、その後、これらの電圧
値のそれぞれを、補正情報生成部22で求めた検出感度
係数及び直流成分値が設定された(式3)(又は(式
4))を用いて、Ax,Ay,Azに変換する。この際、
各電圧値は、加速度に変換されるとともに、各軸の干渉
成分も補正されることになる。
【0058】この変換処理によって得られた加速度は、
図3、図4に示すように、該処理を行わない場合と比較
して検出精度が向上する。
【0059】具体的に説明すると、図3(a)には、前
述の変換処理を行わない場合のデータ(すなわち、セン
サ出力を(式1)で加速度に変換した場合のデータ)が
示されており、例えば、一列目は、x軸方向に1Gの加
速度を与えた場合の各軸の検出結果である。同様に、二
列目は、y軸方向に1Gの加速度を与えた場合の各軸の
検出結果であり、三列目は、z軸方向に1Gの加速度を
与えた場合の各軸の検出結果である。
【0060】一方、図3(b)には、前述の変換処理を
行った場合のデータが示されており、一列目は、前述と
同様、x軸方向に1Gの加速度を与えた場合の各軸の検
出結果である。また、二列目は、y軸方向に、三列目
は、z軸方向に1Gの加速度を与えた場合の検出結果で
ある。
【0061】図3(a)、(b)からもわかるように、
変換処理を行った場合のデータは、変換処理を行わない
場合のデータよりも、その検出精度が向上しており、こ
れらの違いは、図4(a)、(b)に、より顕著に表さ
れている。図4(a)、(b)は、加速度を与えた軸の
検出結果に対する他軸の干渉成分の割合を示したもので
ある。例えば、図3(b)の一列目において、x軸の検
出結果に対する、y軸、Z軸の干渉成分は、それぞれ、
(0.0012/9.8147)、(0.0007/
9.8147)であり、これらは、図4(b)の一列目
に記載されている。
【0062】図4(a)、(b)を見てもわかるよう
に、本実験では、干渉成分の割合、いわゆるクロストー
クを全体的に3桁程度低減することができた。
【0063】以上のように本実施例によれば、カメラの
姿勢を図1の如く4回変化させるだけで、検出感度係数
や直流成分値を簡単に求めることができる。また、これ
らの演算を力学量検出器がカメラに設置された後に行っ
ているため、設置誤差に無関係な正確な力学量演算を実
施することができる。すなわち、力学量検出器を精度よ
くカメラに設置しなければならない従来と比較して、設
置作業が簡単になり、作業時間が大幅に短縮される。
【0064】なお、カメラの姿勢の変化は、図1に限定
されるわけでなく、x軸方向、y軸方向及びz軸方向の
うちの何れか一つについては、互いに逆向きの加速度を
独立に与え、これ以外の検出軸方向のそれぞれについて
は、任意の向きの加速度を与えれば、検出感度係数や直
流成分値を求めることができる。なお、図1の3軸を基
準とせずに加速度を与える場合には、各加速度を与えた
場合の3軸方向の加速度成分の大きさと向きを予め把握
する必要がある。
【0065】姿勢変化については、専用の装置を用いて
カメラの出荷調整時に行ってもよいし、また、カメラの
ユーザに行わせてもよい。この場合は、例えば、カメラ
ボディの一部に、直交する4面(図1の場合は、カメラ
ボディの両側面、下面、背面)を予め形成する。ユーザ
は、これらの面を順次平らなテーブル等に合わせること
で、図1に示すような姿勢変化を実現することができ
る。
【0066】なお、カメラに与える加速度は、重力加速
度に限定されるわけでなく、例えば、加速度を強制的に
与える装置を用いて付与されたものでもよい。また、角
速度センサを用いる場合には、カメラを載置するための
回転テーブルを備えた装置を使用してもよい。
【0067】また、力学量検出器12が設置される対象
物は、カメラの鏡筒でもよい。もちろん、力学量検出器
12は、カメラ以外の様々な対象物に適用することがで
きる。なお、検出する力学量は、対象物に合わせて、加
速度、角速度、角加速度等のうちの何れかを選択すれば
よい。
【0068】また、補正情報生成部22をカメラに設置
せずに独立に設け、4姿勢を変化させたときの検出素子
の各出力をここで読みとり、前述の如く検出感度係数及
び直流成分値を計算し、その結果をカメラ内の記憶部に
記憶させるような構成でもよい。
【0069】また、ユーザからの指示を受け付けて、前
述の検出感度係数や直流成分値を随時演算できるように
構成してもよい。検出感度係数や直流成分値は、検出素
子等の経年変化によって、その補正の効果が低減する。
したがって、これらの値を随時演算できるようにすれ
ば、常に精度のよい検出結果を得ることができる。
【0070】なお、設置誤差等を問わない(すなわち検
出精度が低くてもよい)対象物の場合には、力学量検出
器を対象物に設置する前に、検出感度係数や直流成分値
を求めてよいが、この場合でも、力学量検出器を前述の
如く姿勢変化させることで、検出感度係数や直流成分値
を簡単に求めることができる。
【0071】
【発明の効果】本発明によれば、検出手段の検出結果を
補正するための補正情報を簡単に求めることができる。
また、検出手段が対象物に設置された後に補正情報を求
めるので検出精度が向上する。
【0072】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る力学量検出器の一実施例を搭載し
たカメラの4つの姿勢を示す説明図。
【図2】本発明に係る力学量検出器の一実施例の構成を
示すブロック図。
【図3】図3(a):従来の力学量検出器の各軸の出力
を示す図表。 図3(b):本発明に係る力学量検出器の一実施例の各
軸の出力を示す図表。
【図4】図4(a):従来の力学量検出器の各軸の干渉
成分を示す図表。 図4(b):本発明に係る力学量検出器の一実施例の各
軸の干渉成分を示す図表。
【図5】カメラ設置前における、力学量検出器の出力と
力学量との関係、及び、カメラ設置後における、力学量
検出器の出力と力学量との関係を示す説明図。
【符号の説明】
11:カメラ、 12:力学量検出器、 21:検出
部、 22:補正情報生成部、 23:補正部、 2
4:記憶部

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の検出軸を有し、各検出軸方向に作用
    する力学量を検出する検出手段と、 前記検出手段の検出結果を補正するための補正情報を記
    憶する記憶手段と、 前記補正情報を用いて前記検出結果を補正する補正手段
    と、 前記複数の検出軸方向の任意の一つについて与えられ
    た、互いに逆向きの力学量のそれぞれの向き及び大きさ
    と、この検出軸方向以外の検出軸方向のそれぞれについ
    て与えられた力学量のそれぞれの向き及び大きさと、前
    記各力学量が与えられたときの前記検出手段の各検出結
    果との関係に基づいて前記補正情報を生成し、これを前
    記記憶手段に記憶する補正情報生成手段とを有すること
    を特徴とする力学量検出器。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記複数の検出軸は、
    互いに直交する2軸又は3軸であることを特徴とする力
    学量検出器。
  3. 【請求項3】請求項1又は2において、 前記検出手段は、対象物に設けられた状態で前記力学量
    を検出することを特徴とする力学量検出器。
  4. 【請求項4】対象物に設けられた力学量検出器であっ
    て、 与えられた力学量に応じた信号を出力する検出手段と、 前記検出手段の出力値を補正するための補正情報を記憶
    する記憶手段と、 既知の大きさを有する複数の向きの力学量のそれぞれの
    向き及び大きさと、これらの力学量が与えられた場合の
    前記検出手段の各出力値との関係に基いて、前記補正情
    報を生成し、これを前記記憶手段に記憶する補正情報生
    成手段と、 前記記憶手段に記憶された前記補正情報をもとに前記検
    出手段の出力値を補正し、その結果を出力する補正手段
    とを有することを特徴とする力学量検出器。
  5. 【請求項5】請求項3又は4において、 前記対象物は、カメラ本体又は鏡筒であることを特徴と
    する力学量検出器。
  6. 【請求項6】請求項1、2、3、4、又は5において、 前記力学量は、加速度、角速度、及び、角加速度のうち
    のいずれかであることを特徴とする力学量検出器。
  7. 【請求項7】力学量を検出するための力学量検出方法で
    あって、 複数の検出軸を有し、各検出軸方向に作用する力学量を
    検出する検出手段を備えた対象物の姿勢を少なくとも4
    回変化させ、前記複数の検出軸方向の何れか一つについ
    ては、互いに逆向きの力学量を独立に与え、これ以外の
    検出軸方向のそれぞれについては、任意の向きの力学量
    を与え、与えた力学量のそれぞれの向き及び大きさと、
    これらの力学量を与えた際の前記検出手段の各検出結果
    に基づいて補正情報を生成し、生成した補正情報を記憶
    させ、この記憶させた補正情報を基に、前記検出手段の
    検出結果を補正する力学量検出方法。
  8. 【請求項8】請求項7において、 前記力学量は、加速度、角速度、及び、角加速度のうち
    のいずれかであることを特徴とする力学量検出方法。
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