JPH08309251A

JPH08309251A - 極薄膜感光性フィルムの製造法

Info

Publication number: JPH08309251A
Application number: JP12202895A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Manabu Saito; 学斉藤; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1995-05-22
Filing date: 1995-05-22
Publication date: 1996-11-26

Abstract

(57)【要約】【目的】感光性樹脂組成物溶液を支持体フィルムに塗
布する際に、色ムラ、縦縞、横縞等がなく、収率良く塗
布することができる極薄膜感光性フィルムの製造法を提
供する。【構成】感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解した感光
性樹脂組成物溶液を、フィルム性支持体上に塗布、乾燥
して、膜厚０．５〜５μｍの極薄膜の感光性樹脂組成物
層を形成する極薄膜感光性フィルムの製造法において、
前記感光性樹脂組成物溶液をフィルム性支持体上に塗布
する際の接触角を、１２〜２０度とすることを特徴とす
る極薄膜感光性フィルムの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は極薄膜感光性フィルムの
製造法に関する。更に詳しくは、カラーフィルタの作製
に好適なアルカリ現像型の極薄膜の感光性樹脂組成物層
を有する極薄膜感光性フィルムの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルタは、ガラス等の光学的に
透明な基板の表面に、二種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて、平行又は交差して並べた物である。こ
れらのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をお
いて整然と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層と
する必要があり、種々のカラーフィルタの製造法が提案
されている。例えば、スクリーン印刷法では、低コスト
のカラーフィルタの形成が可能であり、また、フォトリ
ソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィル
タ用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマスクを
通して紫外線照射し、未露光部を除去した後、防染層を
形成しながら染色する方法等がある。

【０００３】前記の方法の改良法として、基板上に着色
した溶液状の感光性樹脂組成物を、塗布、乾燥した後、
露光、現像して一色のパターンを形成させる工程を、他
の色についても同様に繰り返し行うことによりカラーフ
ィルタを形成する方法等がある。また、現在プリント配
線板製造時のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソ
ルダレジスト等に一般に使用されている、透明支持体フ
ィルム及び感光性樹脂層から成る感光性フィルムを使用
した、多色の微細なストライプ状又はモザイク状のパタ
ーンを簡単に高精度で形成できるカラーフィルタの製造
法等が知られている。

【０００４】透明基板上に、支持体フィルムと一色に着
色された感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、着
色された感光性樹脂層が基板に面するように貼り合わせ
る工程、露光して所定のパターンを形成させる工程及び
前記支持体フィルムを剥がして現像する工程を繰り返し
て、多色パターンを形成させてカラーフィルタが製造さ
れる。

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂の層を、透明支持体フィルムに塗布、乾燥した感光性
フィルムの感光性樹脂の層を、透明な板の上に転写し
て、所定のパターンのマスクを介して露光、現像してパ
ターンを形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公
報）、前記フィルムに所定のパターンのマスクを介して
露光、現像してパターンを形成した後に、透明な板の上
に転写してカラーフィルタのパターンを形成する方法
（特開昭６１−９９１０３号公報）、前記フィルムを透
明な板の上に加熱、圧着して、所定のパターンのマスク
を介して露光して、支持体フィルムを剥離し、現像して
透明着色の画像パターンを形成する方法（特開昭６３−
１８７２０３号公報）等が知られている。

【０００６】感光性フィルムは、透明なベースフィル
ム、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のフィルム
上に、赤、緑及び青にそれぞれ着色した感光性樹脂組成
物を塗布し、乾燥させて各色に着色した着色感光性樹脂
層を形成したものである。なお、感光性樹脂層の膜厚
は、通常、０．５〜５．０μｍであり、好ましくは１．
０〜２．５μｍである。着色感光性樹脂層は、未硬化で
あり、柔軟で、粘着性を有するため、この上に更にポリ
エチレンフィルム等の保護フィルムを貼り合わせて、外
部からの損傷、異物の付着等を防止することが望まし
い。感光性フィルムに形成された着色感光性樹脂層は、
保護フィルムを剥しながら透明基板上に貼り合わされ
る。

【０００７】上記のような感光性フィルムを用いる場
合、その現像に用いる現像液は、作業環境面、ランニン
グコスト等の面から、有機溶剤ではなく、アルカリ水溶
液を用いることが好ましい。アルカリ水溶液としては、
通常、０．３〜２．０重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液が多く
用いられる。アルカリ水溶液で現像されるアルカリ現像
型の感光性樹脂組成物は、通常、アクリル酸又はメタク
リル酸を共重合したバインダポリマ、エチレン性不飽和
化合物、光重合開始剤、顔料又は染料等を含む。一般に
感光性フィルムを製造する際、感光性樹脂組成物を溶解
するための溶剤としては、従来、アセトン、メチルエチ
ルケトン、塩化メチレンプロピレングリコールメチルエ
ーテル、トルエン等の有機溶剤が用いられており、プリ
ント配線板に用いられる場合は、乾燥後の感光性樹脂層
の膜厚が、２５μｍ〜１００μｍである。

【０００８】しかし、膜厚が５μｍ未満となるように塗
布しようとする場合、乾燥性が良すぎること、樹脂の溶
解性があまり良くないこと、感光性樹脂組成物溶液を支
持体フィルムに塗布する際の接触角が小さすぎること等
が、顕著に影響し易く、塗布外観が悪くなったり（色ム
ラができたり、縦縞・横縞が発生したりする）収率が悪
くなるという問題が生じ、極薄膜感光性フィルムとして
満足できるものが得られなかった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した従
来の技術の問題点を解決し、感光性樹脂組成物溶液を支
持体フィルムに塗布する際に、色ムラ、縦縞、横縞等が
なく、収率良く塗布することができる極薄膜感光性フィ
ルムの製造法を提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、感光性樹脂組
成物を有機溶剤に溶解した感光性樹脂組成物溶液を、フ
ィルム性支持体上に塗布、乾燥して、膜厚０．５〜５μ
ｍの極薄膜の感光性樹脂組成物層を形成する極薄膜感光
性フィルムの製造法において、前記感光性樹脂組成物溶
液をフィルム性支持体上に塗布する際の接触角を、１２
〜２０度とすることを特徴とする極薄膜感光性フィルム
の製造法関する。

【００１１】本発明における感光性樹脂組成物として
は、公知の種々の感光性樹脂組成物が利用でき、例え
ば、ネガ型感光性樹脂組成物やポジ型感光性樹脂組成物
等が挙げられる。ネガ型感光性樹脂組成物としては、例
えば、ポリケイ皮酸ビニル系樹脂組成物、芳香族ビスア
ジド化合物と環化ゴム（１，４−シスポリイソプレン）
を含有する樹脂組成物、ポリビニル−ｐ−アジドベンザ
ルを含む樹脂組成物等が挙げられる。ポジ型感光性樹脂
組成物としては、例えば、フェノールノボラック樹脂と
ナフトキノンジアジドスルホン酸を含む樹脂組成物等が
挙げられる。

【００１２】本発明の極薄膜感光性フィルムの製造法で
は、耐薬品性の点から、使用する感光性樹脂組成物とし
ては、（Ａ）アクリル酸又はメタクリル酸を共重合した
フィルム性付与ポリマ、（Ｂ）エチレン性不飽和化合
物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有
するネガ型感光性樹脂組成物が好ましい。

【００１３】（Ａ）メタクリル酸又はアクリル酸を共重
合したフィルム性付与ポリマとしては、特に制限はな
く、公知のものが使用でき、メタクリル酸又はアクリル
酸と共重合するモノマとしては、重合性、Ｔｇ調節等の
点から、アクリル酸アルキルエステル及びメタクリル酸
アルキルエステル等が好ましい。アクリル酸アルキルエ
ステルとしては、例えば、炭素数４〜１２のアクリル酸
アルキルエステル（アクリル酸メチル、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル
等）などが挙げられる。メタクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、炭素数４〜１２のメタクリル酸アル
キルエステル（メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチ
ル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸２−エチルヘキ
シル等）などが挙げられる。また、これら以外でアクリ
ル酸又はメタクリル酸と共重合するモノマとしては、例
えば、アクリル酸テトラヒドロフルフリル、メタクリル
酸テトラヒドロフルフリル、アクリル酸２，２，２−ト
リフルオロエチル、メタクリル酸２，２，２−トリフル
オロエチル、アクリル酸２，２，３，３−テトラフルオ
ロプロピル、メタクリル酸２，２，３，３−テトラフル
オロプロピル、アクリルアミド、ジアセトンアクリルア
ミド、スチレン、ビニルトルエン等を使用することもで
きる。

【００１４】（Ａ）成分におけるアクリル酸又はメタク
リル酸の共重合の割合は、１７〜３０重量％とすること
が好ましい。この割合が、１７重量％未満では、現像性
が低下する傾向があり、３０重量％を超えると、微細パ
ターン部の欠落が発生する傾向がある。また、（Ａ）成
分には、上記以外のフィルム性付与ポリマを併用するこ
とができる。上記以外のフィルム性付与ポリマとして
は、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイ
ミド、ポリウレタン、ブタジエン／アクリロニトリル共
重合体、セルロースアセテートブチレート等が挙げられ
る。

【００１５】（Ａ）成分の使用により、塗膜性、硬化物
の膜特性等が向上し、その配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、４５〜７０重
量部とすることが好ましい。この配合量が、４５重量部
未満では、フィルム形成性が不足する傾向があり、７０
重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。ま
た、（Ａ）成分の重量平均分子量（ゲルパーミエーショ
ンクロマトグラフィー法により、標準ポリスチレンを用
いて作成した検量線より算出した）は、５０，０００〜
１５０，０００とすることが好ましい。この重量平均分
子量が、５０，０００未満では、微細パターン部が欠落
する傾向があり、１５０，０００を超えると、現像性が
低下する傾向がある。

【００１６】（Ｂ）エチレン性不飽和化合物としては、
例えば、多価アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物、グリシジル基含有化合物に
α、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、
多価カルボン酸と水酸基及びエチレン性不飽和基を有す
る化合物とのエステル化物、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステル等がある。

【００１７】多価アルコールにα、β−不飽和カルボン
酸を付加して得られる化合物としては、例えば、トリメ
チロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロ
パンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリア
クリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラ
メチロールメタントリメタクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリ
レート、２，２′−ビス（４−（メタクリロキシペンタ
エトキシ）フェニル）プロパン、γ−クロロ−β−ヒド
ロキシプロピル−β′−メタクリロイルオキシエチル−
ｏ−フタレート等が挙げられる。

【００１８】グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和
カルボン酸を付加して得られる化合物としては、例え
ば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルト
リアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテ
ルジアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエー
テルジメタクリレート等が挙げられる。多価カルボン酸
と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物とのエ
ステル化物としては、例えば、無水フタル酸とβ−ヒド
ロキシエチルアクリレート又はβ−ヒドロキシエチルメ
タクリレートとのエステル化物等が挙げられる。アクリ
ル酸アルキルエステル又はメタクリル酸アルキルエステ
ルとしては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸
メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アク
リル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸２−エ
チルヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル等が挙
げられる。また、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナートとジアルコールとβ−ヒドロキシエチルアクリレ
ートとを反応させて得られるウレタンジアクリレート化
合物等も使用することができる。これらは単独で又は２
種類以上を組み合わせて使用される。

【００１９】（Ｂ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量を１００重量部として、３０〜５５重
量部とするのが好ましい。この配合量が、３０重量部未
満では、得られた極薄膜感光性フィルムの粘着性が低下
する傾向があり、５５重量部を超えると、極薄膜感光性
フィルムの粘着性が強くなりすぎてしまい、カラーフィ
ルタ作製時にフィルム性支持体を除去するのが困難とな
る傾向がある。

【００２０】（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケト
ン）、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベ
ンゾフェノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等）、ベンゾインエーテル（ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等）、ベンゾイン（メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール
二量体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）
−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）などが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上
を組み合わせて使用される。

【００２１】（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．１〜１０
重量部とするのが好ましい。この配合量が、０．１重量
部未満では、光感度が不十分となる傾向があり、１０重
量部を超えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が
増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向がある。

【００２２】（Ｄ）顔料又は染料としては、公知の着色
剤が使用でき、感光性樹脂層の成分、特にエチレン性不
飽和化合物又はカルボキシル基含有フィルム性付与ポリ
マに対する相溶性、目標とする色相、光透過性等を考慮
して選択することができ、例えば、Colortex Red ＵＥ
Ｍ、Colortex Blue ＵＥＭ、Colortex Green ＵＥ−１
２０３（いずれも山陽色素(株)製）等が挙げられる。
（Ｄ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総
量１００重量部に対して、０．１〜４０重量部とするこ
とが好ましい。この配合量が、０．１重量部未満では、
着色が不充分となる傾向があり、４０重量部を超える
と、光透過率が低下する傾向がある。

【００２３】本発明における感光性樹脂組成物は、上記
成分の他に、レベリング剤を含有することが好ましい。
レベリング剤としては、特に制限はなく、公知のものが
使用でき、例えば、シリコン系レベリング剤、フッ素系
レベリング剤、アクリル系レベリング剤等が挙げられ
る。シリコン系レベリング剤としては、例えば、１個以
上のＳｉＯ単位が連続して結合した鎖に、エチレンオキ
サイド又はプロピレンオキサイドとアルキル基を含む長
鎖が１個以上結合した化合物等が挙げられ、具体例とし
ては、例えば、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)
製のＳＨ−１９３、ＳＨ−７ＰＡ等やビック・ケミー社
製のＢＹＫ−３３３、ＢＹＫ−３４４等が挙げられる。

【００２４】本発明における感光性樹脂組成物は、上記
成分の他に、加熱硬化性を高める点から、メラミン樹脂
とエポキシ樹脂の少なくとも一種類の樹脂を含有するこ
とが好ましい。メラミン樹脂及びエポキシ樹脂は、
（Ａ）成分中にあるカルボキシル基と熱反応するものが
好ましく、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン等が
挙げられる。メラミン樹脂及びエポキシ樹脂の配合量
は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対
して、１〜２０重量部とすることが好ましい。上記樹脂
を含む感光性樹脂組成物を用いて感光性フィルムを作製
し、露光、現像した後、１３０〜２００℃で３０〜６０
分加熱することにより、架橋密度が向上し、耐熱性が著
しく向上させることができる。

【００２５】本発明の極薄膜感光性フィルムの製造法
は、前記感光性樹脂組成物の溶液を、フィルム性支持体
上に塗布する際の接触角を、１２〜２０度とすることに
特徴がある。接触角が１２度未満であると、得られる極
薄膜感光性フィルムに厚さムラが生じ、連続的に安定し
て一定の膜厚が得られない。また、接触角が２０度を超
えると、塗面にはじきやムラ等が生じる。従って、接触
角が１２〜２０度の範囲外であると、得られた極薄膜感
光性フィルムの外観や収率が悪くなる。

【００２６】本発明における感光性樹脂組成物は、接触
角を容易に、しかも精密に制御できる点等から、前記レ
ベリング剤を含有するものであることが好ましい。接触
角は、例えば、前記感光性樹脂組成物に含有させるレベ
リング剤と感光性樹脂組成物を溶解するための有機溶剤
との組合せ等により調整することができる。

【００２７】有機溶剤としては、特に制限はなく、公知
のものが使用でき、例えば、エチレングリコールモノエ
チルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチ
ルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキ
サノン、イソアミルアルコール等が挙げられる。これら
は単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２８】前記レベリング剤の配合量は、接触角の調
整効果の点から、感光性樹脂組成物中の（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．０１〜１
重量部とすることが好ましく、０．１〜０．６重量部と
することがより好ましく、０．４〜０．６重量部とする
ことが特に好ましい。この配合量が、０．０１重量部未
満では、接触角を１２〜２０度とすることが難しくなる
傾向があり、１重量部を超えると、カラーフィルタの製
造の際、感光性樹脂組成物のガラス板等への密着性が低
下して像が流れてしまう傾向がある。

【００２９】有機溶剤の配合量は、塗液の流れを抑える
目的から感光性樹脂組成物溶液の粘度を２０cps（２０
０Pa・s）となるようにすることが好ましく、さらに、溶
液中の固形分濃度を、１５〜２５重量％とすることが好
ましい。

【００３０】接触角は、種々の方法で測定することがで
きるが、投影法で測定することが好ましく、例えば、協
和界面科学(株)製の接触角計ＣＡ−Ｄ型等を使用して測
定することができる。

【００３１】フィルム性支持体としては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート、配向ポリプロピレン（ＯＰ
Ｐ）、無延伸ポリプロピレン、離型処理ポリエステス、
硬質ポリ塩化ビニル、アセテート（セルローストリアセ
テート）、２軸延伸ナイロン、無延伸ナイロン、ポリイ
ミド、２軸延伸ポリナフタレート等が挙げられ、配向ポ
リプロピレンとしては、例えば、２軸延伸ポリプロピレ
ン等が挙げられる。フィルム性支持体の厚さは、３〜１
００μｍとすることが好ましい。この厚さが、３μｍ未
満では、製造が困難となる傾向があり、１００μｍを超
えると、フィルムとしての柔軟性が低下する傾向があ
る。

【００３２】本発明における極薄膜感光性フィルムは、
前記感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解して感光性樹脂
組成物溶液を調製し、これをフィルム性支持体上に塗布
し、加熱して乾燥することにより製造される。塗布方法
としては、例えば、ロールコーター法、グラビアコータ
ー法、スプレーコーター法、ナイフコーター法等が挙げ
られる。加熱温度は、５０〜１７５℃とすることが好ま
しく、７０〜１５０℃とすることがより好ましい。この
加熱温度が、５０℃未満では、塗膜中に溶剤が残って膜
がべたつく傾向があり、１７５℃を超えると、光重合モ
ノマの硬化が始まって解像度が低下する傾向がある。加
熱時間は、３０〜９００秒とすることが好ましく、３０
〜６００秒とすることがより好ましい。この加熱時間
が、３０秒未満では、塗膜中に溶剤が残って膜がべたつ
く傾向があり、９００秒を超えると、光重合モノマの硬
化が始まって解像度が低下する傾向がある。

【００３３】本発明における極薄膜感光性フィルムに
は、感光性樹脂組成物層に対する外部からの損傷や異物
の付着等を防止するため、感光性樹脂組成物層に、さら
に保護フィルムを積層させることが好ましい。保護フィ
ルムとしては、例えば、ポリエステルフィルム、ポリオ
レフィンフィルム等が挙げられ、価格、柔軟性、強度、
硬度等の面から、ポリオレフィンフィルムが好ましく、
中でもポリエチレンフィルムがより好ましい。また、保
護フィルムの厚さは、１０〜４０μｍであることが好ま
しい。この厚さが、１０μｍ未満では、取扱い性が劣る
傾向があり、４０μｍを超えると、フィルムとしての柔
軟性が低下する傾向がある。

【００３４】本発明の極薄膜感光性フィルムの製造法を
用いて、カラーフィルタを製造することができる。カラ
ーフィルタの製造法としては、透明基板上に保護フィル
ムをはがしながら着色された感光性樹脂組成物層をラミ
ネート（貼り合わせ）し、着色された感光性樹脂組成物
層の表面の透明なフィルム性支持体上に、所定パターン
のネガマスクを乗せて露光した後、透明なフィルム性支
持体を除去し、次いで、未露光部分を現像液で現像し、
着色パターンを形成する工程を、色の異なる感光性フィ
ルムを用いて、所定回数繰り返し行い、他色のパターン
を形成させることによりカラーフィルタが得られる。

【００３５】ラミネート工程としては、通常、ホットロ
ールと呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼
ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれる
ロールにより、感光性樹脂組成物層を加熱、軟化しなが
ら行うことができる。

【００３６】露光工程としては、通常、専用の露光機が
あり、接触又は非接触型のものを用いて行い、ランプと
しては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドラ
ンプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射するも
のを使用することができる。

【００３７】現像方法としては、通常、デイップ法、ス
プレー法等が挙げられ、高解像度化の点で、高圧スプレ
ー法が好ましい。現像液としては、溶剤現像型とアルカ
リ現像型があり、溶剤現像型では、１，１，１−トリク
ロロエタン等が挙げられ、アルカリ現像型では、１重量
％の炭酸ナトリウムと０．１重量部ホウ砂を含む水溶液
等が挙げられる。

【００３８】

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。実施例１〜４及び比較例１、２塗工液の調製表１の材料を均一に溶解した溶液（粘度２０cps（２０
０Pa・s））を調製し、着色された感光性樹脂層用の塗工
液を得た。

【００３９】

【表１】

【００４０】得られた溶液を、グラビアコーター法でポ
リエチレンテレフタレートフィルム（透明支持体フィル
ム（帝人(株)製ＧＳタイプ、厚み：６μｍ））上に、表
２に示す接触角で塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器
で１０分間乾燥し、着色された感光性樹脂組成物層を形
成した後、３０μｍ厚のポリエチレンフィルムを保護フ
ィルムとして積層し、極薄膜感光性フィルムを得た。着
色された感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、１．８
μｍであった。得られた極薄膜感光性フィルムのフィル
ム外観を目視にて観察し、フィルム収率（％）と合わせ
て、結果を表２に示した。なお、接触角は、協和界面科
学(株)製の接触角計ＣＡ−Ｄ型で測定した。

【００４１】

【表２】

【００４２】表２から、接触角が１２〜２０度である本
発明の範囲内の実施例１〜４では、得られた感光性フィ
ルムには色ムラも縦縞・横縞もなく、かつ、フィルム収
率が高かった。これに対し、接触角が９度及び１２度で
本発明の範囲外である比較例１及び２では、得られた感
光性フィルムには色ムラや縦縞・横縞があり、さらに、
フィルム収率も低かった。

【００４３】また、実施例１及び実施例３の結果から、
レベリング剤としてＳＨ−１９３を０．６重量部配合し
た感光性樹脂組成物を用いて作製した極薄膜感光性フィ
ルムと、レベリング剤としてＢＹＫ−３３３を０．６重
量部配合した感光性樹脂組成物を用いて作製した極薄膜
感光性フィルムは、いずれも感光性樹脂組成物溶液を透
明支持体フィルム上に塗布する際の接触角が１７度前後
であり、色ムラも縦縞・横縞もなく、かつ高いフィルム
収率で製造することができた。さらに、実施例２及び実
施例４の結果から、レベリング剤としてＳＨ−７ＰＡを
０．６重量部配合した感光性樹脂組成物を用いて作製し
た極薄膜感光性フィルムと、レベリング剤としてＢＹＫ
−３４４を０．６重量部配合した感光性樹脂組成物を用
いて作製した極薄膜感光性フィルムは、それぞれ、感光
性樹脂組成物溶液を透明支持体フィルム上に塗布する際
の接触角が１２．０度及び２０．０度であり、いずれも
色ムラも縦縞・横縞もなく、フィルム収率は比較的高か
った。

【００４４】

【発明の効果】請求項１記載の極薄膜感光性フィルムの
製造法は、感光性樹脂組成物溶液を支持体フィルムに色
ムラ・縦縞・横縞がなく、さらに収率良く塗布するのに
好適である。請求項２記載の極薄膜感光性フィルムの製
造法は、請求項１記載の極薄膜感光性フィルムの製造法
の効果を奏し、さらに、耐薬品性に優れる。請求項３記
載の極薄膜感光性フィルムの製造法は、請求項１又は２
に記載の極薄膜感光性フィルムの製造法の効果を奏し、
さらに得られたフィルムの収率が極めて高い。請求項４
記載の極薄膜感光性フィルムの製造法は、請求項１、２
又は３に記載の極薄膜感光性フィルムの製造法の効果を
奏し、さらに加熱硬化性に優れた極薄膜感光性フィルム
の製造に好適である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/16 Ｇ０３Ｆ 7/16

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解した
感光性樹脂組成物溶液を、フィルム性支持体上に塗布、
乾燥して、膜厚０．５〜５μｍの極薄膜の感光性樹脂組
成物層を形成する極薄膜感光性フィルムの製造法におい
て、前記感光性樹脂組成物溶液をフィルム性支持体上に
塗布する際の接触角を、１２〜２０度とすることを特徴
とする極薄膜感光性フィルムの製造法。
【請求項２】感光性樹脂組成物が、（Ａ）アクリル酸
又はメタクリル酸を１７〜３０重量％共重合したフィル
ム性付与ポリマ４５〜７０重量部、（Ｂ）エチレン性
不飽和化合物３０〜５５重量部（但し、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量を１００重量部とする）、（Ｃ）光
重合開始剤０．１〜１０重量部（但し、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して）及び（Ｄ）
顔料又は染料０．１〜５０重量部（但し、（Ａ）成分
及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して）を含有す
るものである請求項１記載の極薄膜感光性フィルムの製
造法。
【請求項３】感光性樹脂組成物が、レベリング剤を含
有するものである請求項１又は２記載の極薄膜感光性フ
ィルムの製造法。
【請求項４】感光性樹脂組成物が、メラミン樹脂とエ
ポキシ樹脂の少なくとも一種類の樹脂を、（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、１〜２０重
量部含有するものである請求項１、２又は３記載の極薄
膜感光性フィルムの製造法。