JPH0830964A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0830964A JPH0830964A JP15607094A JP15607094A JPH0830964A JP H0830964 A JPH0830964 A JP H0830964A JP 15607094 A JP15607094 A JP 15607094A JP 15607094 A JP15607094 A JP 15607094A JP H0830964 A JPH0830964 A JP H0830964A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- magnetic
- recording layer
- metal
- thin film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走行耐久性に優れた磁気記録媒体を提供す
る。 【構成】 非磁性基体上に強磁性金属を主成分とする薄
膜磁気記録層を形成し、その上に非磁性硬質保護膜を形
成してなるものにおいて、前記磁気記録層中の磁性金属
元素もしくは非磁性金属元素の一部が金属状態のまま非
磁性硬質保護膜と接していることを特徴とする。
る。 【構成】 非磁性基体上に強磁性金属を主成分とする薄
膜磁気記録層を形成し、その上に非磁性硬質保護膜を形
成してなるものにおいて、前記磁気記録層中の磁性金属
元素もしくは非磁性金属元素の一部が金属状態のまま非
磁性硬質保護膜と接していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、強磁性金属を主成分と
する薄膜型磁気記録媒体に係わり、さらに詳しくは薄膜
磁気記録層の改良に関する。
する薄膜型磁気記録媒体に係わり、さらに詳しくは薄膜
磁気記録層の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気
記録媒体は、高密度記録に適した優れた特性を持つた
め、薄膜型固定ディスク、ディジタルＶＴＲ等の次世代
の磁気記録媒体として注目されている。
記録媒体は、高密度記録に適した優れた特性を持つた
め、薄膜型固定ディスク、ディジタルＶＴＲ等の次世代
の磁気記録媒体として注目されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、表面に金属
が露出しているので、磁気ヘッド等との摺動時に磨耗し
やすく走行耐久性に劣るという欠点を持つため、カーボ
ン膜やＳｉＯ2 膜等の非磁性硬質保護膜を薄膜磁気記録
層上に設けることが提案されている。
が露出しているので、磁気ヘッド等との摺動時に磨耗し
やすく走行耐久性に劣るという欠点を持つため、カーボ
ン膜やＳｉＯ2 膜等の非磁性硬質保護膜を薄膜磁気記録
層上に設けることが提案されている。
【０００４】しかしながら、走行中に非磁性硬質保護膜
が剥離するなどの問題があり、走行耐久性を十分に改善
するには至っていない。
が剥離するなどの問題があり、走行耐久性を十分に改善
するには至っていない。
【０００５】本発明は、上記従来技術が有していた非磁
性硬質保護膜が剥離しやすいという欠点を解決し、以て
走行耐久性に優れた磁気記録媒体の提供を目的とする。
性硬質保護膜が剥離しやすいという欠点を解決し、以て
走行耐久性に優れた磁気記録媒体の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、非磁性基体上に強磁性金属を主成分とする薄
膜磁気記録層を形成し、さらに該薄膜磁気記録層の上部
に非磁性硬質保護膜を形成してなる磁気記録媒体におい
て、薄膜磁気記録層中の磁性金属もしくは非磁性金属元
素を一部金属状態のままで非磁性硬質保護膜に接しせし
めたことを特徴とするものである。
するため、非磁性基体上に強磁性金属を主成分とする薄
膜磁気記録層を形成し、さらに該薄膜磁気記録層の上部
に非磁性硬質保護膜を形成してなる磁気記録媒体におい
て、薄膜磁気記録層中の磁性金属もしくは非磁性金属元
素を一部金属状態のままで非磁性硬質保護膜に接しせし
めたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】薄膜磁気記録層の表面は、通常、１〜２０ｎｍ
厚の酸化物で覆われている。特に金属と金属酸化物の混
合物を磁気記録層とする磁気記録媒体においては、磁気
記録層を形成する際に、酸素ガスを導入するために、磁
気記録層表面は厚く硬質な金属酸化物となっている。こ
の上部に非磁性硬質保護膜を形成するが、硬質なもの同
士の接触なので歪みが入りやすく、摺動時に衝撃で剥離
が起きやすい。そこで、磁気記録層表面を金属化するこ
とにより軟質な金属により歪みが吸収され、摺動耐久性
が著しく向上する。 磁気記録層上の金属成分の存在量
は、少なく過ぎると歪み吸収効果が低減するため、硬質
保護膜に接する磁気記録層の表面側５ｎｍ深部までの金
属元素の１０原子％以上、好ましくは２０原子％以上が
金属状態であることが望ましい。
厚の酸化物で覆われている。特に金属と金属酸化物の混
合物を磁気記録層とする磁気記録媒体においては、磁気
記録層を形成する際に、酸素ガスを導入するために、磁
気記録層表面は厚く硬質な金属酸化物となっている。こ
の上部に非磁性硬質保護膜を形成するが、硬質なもの同
士の接触なので歪みが入りやすく、摺動時に衝撃で剥離
が起きやすい。そこで、磁気記録層表面を金属化するこ
とにより軟質な金属により歪みが吸収され、摺動耐久性
が著しく向上する。 磁気記録層上の金属成分の存在量
は、少なく過ぎると歪み吸収効果が低減するため、硬質
保護膜に接する磁気記録層の表面側５ｎｍ深部までの金
属元素の１０原子％以上、好ましくは２０原子％以上が
金属状態であることが望ましい。
【０００８】
【実施例】基体上に形成される薄膜磁気記録層は、Ｃ
ｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃ
ｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ合金などの強磁性金属や合
金を真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリン
グ、メッキ等の手段によって、基体上に被着するなどの
方法で形成される。なお、この磁気記録層中には、例え
ば、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｍｎなどの非磁性金属からなる
第３金属元素を添加する場合もある。
ｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃ
ｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ合金などの強磁性金属や合
金を真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリン
グ、メッキ等の手段によって、基体上に被着するなどの
方法で形成される。なお、この磁気記録層中には、例え
ば、Ｃｒ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｍｎなどの非磁性金属からなる
第３金属元素を添加する場合もある。
【０００９】磁気記録層表面を金属化する方法として
は、水素プラズマに晒す、水素気流中で加熱する、表面
酸化層をエッチングで除去する等、種々の手法が適用で
きる。磁気記録層表面の金属成分量を定量する方法とし
ては、ＥＳＣＡやオージェ電子分光法が最適であり、当
該金属のスペクトルをピーク分離して金属成分と金属酸
化物成分を定量する。
は、水素プラズマに晒す、水素気流中で加熱する、表面
酸化層をエッチングで除去する等、種々の手法が適用で
きる。磁気記録層表面の金属成分量を定量する方法とし
ては、ＥＳＣＡやオージェ電子分光法が最適であり、当
該金属のスペクトルをピーク分離して金属成分と金属酸
化物成分を定量する。
【００１０】非磁性硬質保護膜としては、ダイヤモンド
構造を有するアモルファスカーボン（ＤＬＣ）、ＳｉＯ
2 、ＴｉＯ2 、ＴｉＯ、Ａｌ2 Ｏ3 等のビッカース硬度
２００以上のものが全て好適に使用され、蒸着、スパッ
タリング、ＣＶＤ等の方法で、磁気記録層上に形成され
る。
構造を有するアモルファスカーボン（ＤＬＣ）、ＳｉＯ
2 、ＴｉＯ2 、ＴｉＯ、Ａｌ2 Ｏ3 等のビッカース硬度
２００以上のものが全て好適に使用され、蒸着、スパッ
タリング、ＣＶＤ等の方法で、磁気記録層上に形成され
る。
【００１１】磁気記録媒体としては、ポリエステルフィ
ルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基
体とする磁気テープ、ガラス板、アルミニウム板、合成
樹脂板などを基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど
磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
ルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹脂フィルムを基
体とする磁気テープ、ガラス板、アルミニウム板、合成
樹脂板などを基体とする磁気ディスクや磁気ドラムなど
磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含する。
【００１２】次に本発明の具体的な実施例について説明
する。
する。
【００１３】（実施例１）厚さ１０μｍのポリエステル
フィルムを真空蒸着装置にセットし、１０-6Ｔｏｒｒの
真空下で、Ｃｏ８０原子％・Ｎｉ２０原子％合金を加熱
蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポリエステルフィ
ルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉ強磁性金属薄膜から
なる磁気記録層を形成した。
フィルムを真空蒸着装置にセットし、１０-6Ｔｏｒｒの
真空下で、Ｃｏ８０原子％・Ｎｉ２０原子％合金を加熱
蒸発させ、酸素ガスを導入しながら、ポリエステルフィ
ルム上に厚さ２００ｎｍのＣｏＮｉ強磁性金属薄膜から
なる磁気記録層を形成した。
【００１４】次いで磁気記録層表面をＲＦ１３．５６Ｍ
Ｈｚ、ガス圧５Ｐａ、ガス流量２００ｃｃ／ｍｉｎ（４
℃）、０．５Ｗ／ｃｍ2 の条件の水素プラズマに１０秒
間晒した。続いてＲＦスパッタ法により、磁気記録層上
に厚さ１０ｎｍのＳｉＯ2 からなる非磁性硬質保護層を
形成し、さらに最表面にディップ塗布法により、パーフ
ルオロポリエーテルからなる潤滑層を５ｎｍの厚さで形
成して磁気テープを作った。
Ｈｚ、ガス圧５Ｐａ、ガス流量２００ｃｃ／ｍｉｎ（４
℃）、０．５Ｗ／ｃｍ2 の条件の水素プラズマに１０秒
間晒した。続いてＲＦスパッタ法により、磁気記録層上
に厚さ１０ｎｍのＳｉＯ2 からなる非磁性硬質保護層を
形成し、さらに最表面にディップ塗布法により、パーフ
ルオロポリエーテルからなる潤滑層を５ｎｍの厚さで形
成して磁気テープを作った。
【００１５】（実施例２）実施例１において、磁気記録
層表面を水素プラズマに晒す代わりに、条件のアルゴン
イオンを照射して表面を１０ｎｍエッチングした他は同
様にして磁気テープを作った。
層表面を水素プラズマに晒す代わりに、条件のアルゴン
イオンを照射して表面を１０ｎｍエッチングした他は同
様にして磁気テープを作った。
【００１６】（比較例１）実施例１において、磁気記録
層表面の水素プラズマ処理を省いた他は同様にして磁気
テープを作った。
層表面の水素プラズマ処理を省いた他は同様にして磁気
テープを作った。
【００１７】（比較例２）実施例１において、磁気記録
層表面の水素プラズマ処理と非磁性硬質保護膜の形成を
省いた他は同様にして磁気テープを作った。
層表面の水素プラズマ処理と非磁性硬質保護膜の形成を
省いた他は同様にして磁気テープを作った。
【００１８】以上のようにして作製した磁気記録媒体に
ついて走行耐久性を調べた。走行耐久性は鋼球摺動試験
を行い、荷重１０ｇ、速度２ｍ／ｍｉｎの条件で摺動を
行い、磁気記録層に傷が入るまでのパス回数により評価
した。結果と潤滑層の表面分布状態を次の表に示す。
ついて走行耐久性を調べた。走行耐久性は鋼球摺動試験
を行い、荷重１０ｇ、速度２ｍ／ｍｉｎの条件で摺動を
行い、磁気記録層に傷が入るまでのパス回数により評価
した。結果と潤滑層の表面分布状態を次の表に示す。
【００１９】
【００２０】
【発明の効果】上表より、明らかに実施例１、２で得ら
れた磁気記録媒体は比較例１、２に比べて走行耐久性に
優れることが分かる。従って、本発明によれば著しく走
行耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
れた磁気記録媒体は比較例１、２に比べて走行耐久性に
優れることが分かる。従って、本発明によれば著しく走
行耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性基体上に強磁性金属を主成分とす
る薄膜磁気記録層を形成し、さらに該薄膜磁気記録層の
上部に非磁性硬質保護膜を形成してなる磁気記録媒体に
おいて、 薄膜磁気記録層中の磁性金属元素もしくは非磁性金属元
素が一部金属状態のままで非磁性硬質保護膜に接してい
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１において、非磁性硬質保護膜に
接する薄膜磁気記録層の表面側５ｎｍ深部までの金属元
素の１０原子％以上が金属状態であることを特徴とする
磁気記録媒体。 - 【請求項３】 請求項１において、薄膜磁気記録層が金
属と金属酸化物からなることを特徴とする磁気記録媒
体。 - 【請求項４】 請求項１において、薄膜磁気記録層が斜
め蒸着磁気記録層であることを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15607094A JPH0830964A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15607094A JPH0830964A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0830964A true JPH0830964A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15619652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15607094A Pending JPH0830964A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830964A (ja) |
-
1994
- 1994-07-07 JP JP15607094A patent/JPH0830964A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030701 |