JPS6182321A

JPS6182321A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPS6182321A
Application number: JP59202964A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Kimura; 明弘木村; Toshio Ando; 敏男安藤; Toshikazu Nishihara; 西原　敏和
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1984-09-29
Filing date: 1984-09-29
Publication date: 1986-04-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気記録媒体に関するものである。

〔従来技術とその問題点〕

近年、高密度記録の為に、例えばＣ０１Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃ
ｏ−’Ｐ又はＣｏ−Ｎ１−Ｐ等の磁性材料を基体上に、
例、え、ばスパッタ、電気メッキ又は無電解メッキ等の
手段で形成した金属薄膜型磁気記録媒体が提案されてい
る。

しかし、この種の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁性層の
摩耗がひどく、又、耐食性に乏しいといった欠点がある
。

そこで、このような欠点を解決する為に、例えば５ｉＯ
＝又はＣ等の層を設けることが提案されている。

しかし、Ｓ　ｒ　Ｏｓ膜を設けたものは、耐食性に富ん
でいるものの、潤滑性に劣っておシ、又、カーボン膜を
設けたものは、潤滑性には優れているものの、耐食性に
劣っているといった欠点がある。

そこで、本発明者は、かかる知見を基にして磁性層上に
Ｓ　ｔ　Ｏ２膜を設け、この８　ｔ　Ｏｘ膜上にカーボ
ン層を設けたものを試作してみたのである、が、この磁
気記録媒体はカーボンのストレスの問題からＳｉＯ□膜
層に亀裂が生じ、発錆現象が大きく、実用的には全く問
題のあるものであった。

〔発明の開示〕

本発明者は、金属薄膜型の磁性層上に、例えばクロム、
チタン、Ｆｅ−Ｃｒ合金、Ｎｉ−Ｃｒ　合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ　　合金といった耐食性を有する第１の層を設け、こ
の第１の層上に、例えばカーボン、二硫化モリブデン、
窒化炭素、窒化ホウ素といった潤滑性を有する第２の層
を設け、この第２の層上に、例えばりｏム、チタン、Ｆ
ｅ−Ｃｒ　合金、Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｃｏ　−、Ｃｒ　合
金、モリブデン、ＴｉＣ，ＴｉＮ、　亜鉛、アルミニウ
ム、Ｆｅ−Ｎｉ　　合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ合金といっ
た耐食性を有する第３の層を設けた磁気記録媒体は、潤
滑性に富み、かつ耐食性に優れていることを見い出した
。

すなわち、磁性層上に、例えばカーボンといった潤滑性
を有する層を設け、この層上にクロムといった耐食性を
有する層を設けたのみの金属薄膜型の磁気記録媒体でも
、走行性及び耐食性に著しい向上が認められるものの、
前記のように構成することによって、ストレスが緩和さ
れ、金属薄膜型の磁性層上の保護膜層の耐久性が著しく
良くなり、耐食性がさらに一層改善され、耐久性に一層
優れ、又、走行性も良いものであるととを見い出したの
である。

伺、クロムといった耐食性を有する第１の層は、その厚
さが約２　ｎｍ以上、望甘しくけ約２〜１１００ｎであ
ることが好ましく、又、カーボンといった潤滑性を有す
る第２の層は、その厚さが約５ｎｍ以上、望ましくは約
５〜１００　ｎｍであることが好ましく、又、クロムと
いった耐食性を有する第３の層は、その厚さが約１〜７
　ｎｍであることが好ましく、そしてさらには第１の層
、第２の層及び第３の層の厚さの和が約２００　ｎｍ以
下のものであることが好ましい。つまり、第１の層があ
まりにも薄すぎるとストレス緩和の効果が弱いからであ
り、例えば第１の層が０．５層ｍといったように薄すぎ
るとストレス緩和の効果が小さくなり、又、第？の層が
薄すぎると充分な潤滑効果が発揮されないからであり、
又、第３の層が薄すぎる場合には耐食性の点で問題があ
り、逆に厚すぎる場合には下層の第２の層による潤滑効
果が低下するからであわ、そして全体の厚さが厚すぎる
と磁性層と磁気ヘッドとの距離が遠くなシすぎ、記録再
生特性上好ましくないからである。

〔実施例１〕図面は、本発明に係る磁気記録媒体の断面説明図である
。

同図中、１は、表面に例えば非磁性Ｎ１−Ｐメッキ層が
設けられたディスク形状のアルミニウムの基体である。

２は、前記非磁性Ｎ１−Ｐメッキ層上に設けられた、例
えばＣｏ−Ｐメッキ層といった金属薄膜型の磁性層であ
る。

３は、磁性層２の形成された基体１を、例えばＤＣマグ
ネトロンスパッタ装置に入れ、例えば５　Ｘ　１０　　
Ｔｏｒｒのアルゴンガス中でスパッタエツチングし、そ
の後磁性層２上に形成された約２ｎｍ以上、例えば３Ｑ
ｎｍ厚のＣｏ　ｏ、ｓ　Ｃｒ　Ｏ，２層といった耐食性
を有する第１の層である。

４は、耐食性を有する第１の層３上に形成された約５　
ｎｍ以上、例えば３Ｑｎｍ厚のカーボン層といった潤滑
性を有する第２の層である。

５は、潤滑性を有する第２の層４上に形成された約１〜
７０ｍ、例えば２層ｍ厚のＣ００８Ｃｒ０２層といった
耐食性を有する第３の層である。

上記実施例の磁気ディスクを、浮上量０．２５μｍ、ギ
ャップ長１．４μｍのＩＢＭ製３３５０タイプのノ・−
ドディスク用ヘッドディスクを用いてＣ８Ｓテストを行
なった所、２万回のパス後においてもヘッド及び磁気デ
ィスクに損傷はなく、又再生出力の低下も認められなか
った。

又、上記磁気ディスクを、６０℃で結露の雰囲気下に２
５０時間放置しエラーレートを調べたが、エラーレート
の増加はほとんど認められず、耐食性に極めて優れてい
るものであった。

〔実施例２〕実施例１において、潤滑性を有する第２の層４の厚みを
約１００　ｎｍ以上、例えば３００　ｎｍとする以外は
全く同様に行ない、磁気ディスクを構成した。

本実施例の磁気ディスクを、６０℃で結露の雰囲気下に
２５０時間放置しエラーレートを調べたが、エラーレー
トの増加はほとんど認められず、耐食性に優れたもので
あり、又、浮上量０．２５μｍ、ギャツブ長１．４μｍ
のＩＢＭ製３３５０タイプのハードディスク用ヘッドを
用いてＣ８Ｓテストを行なった所、２万回のパス後にお
いてもヘッド及び磁気ディスクに損傷はないものであっ
た。

但し、実施例１のものに比べると、再生出力の低下が認
められ、実施例１の磁気ディスクよシは劣るものではあ
った。

〔実施例３〕実施例１において、潤滑性を有する第２の層４の厚みを
５　ｎｍ以下、例えば２　ｎｍ　とする以外は全く同様
に行ない、磁気ディスクを構成した。

本実施例の磁気ディスクを、６０℃で結露の雰囲気下に
２５０時間放置して耐食性テストを行なった所、耐食性
には優れたものであったが、Ｃ８Ｓテストでは６０００
回目にヘッドクラッシュが起きたことより、走行性の面
で実施例１のものより劣るものではあった。

〔実施例４〕実施例１において、耐食性を有する第３の層５の厚みを
８　ｎｍ以上、例えばｌＱｎｍとする以外は全く同様に
行ない、磁気ディスクを構成した。

〔比較例〕

実施例１において、耐食性を有する層を全く設けず、そ
の他は同様にして磁気ディスクを構成した。

この磁気ディスクを、６０℃で結露の雰囲気下に２４時
間放置して耐食性テストを行なった所、磁気ディスク表
面は全面腐食が起きていて磁化は全く低下しておシ、全
く耐久性に乏しいものであった。

〔効果〕

走行性及び耐食性に良いものであり、耐久性に富んでい
る。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明に係る磁気記録媒体の１実施例の断面説
明図である。１・・・基体、２・・・磁性層、３・・・耐食性を有す
る第１の層、４・・・潤滑性を有する第２の層、５・・
・耐食性を有する第３の層。手続補正書昭和６０年３月ｇ日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）磁性層上に耐食性を有する第１の層を、この第１
の層上に潤滑性を有する第２の層を、この第２の層上に
耐食性を有する第３の層を設けたことを特徴とする磁気
記録媒体。
（２）特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体におい
て、第１の層の厚さが約２ｎｍ以上であり、第２の層が
約５ｎｍ以上であり、第３の層が約１〜７ｎｍであるも
の。