JPH08313305A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
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- JPH08313305A JPH08313305A JP12103395A JP12103395A JPH08313305A JP H08313305 A JPH08313305 A JP H08313305A JP 12103395 A JP12103395 A JP 12103395A JP 12103395 A JP12103395 A JP 12103395A JP H08313305 A JPH08313305 A JP H08313305A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高再現性を確保し、検出系の位置のずれ、光
量の変化、検出系の変化に対して安定した基準位置検出
系を備えたエンコダを提供する。 【構成】 光束の照射を受ける基準位置検出用パターン
がスケール上の所定の位置に配置されている。２以上の
光束と２以上の光量検出手段が用いられる。そして２つ
の光束の光量、２つの検出手段の増幅率、２つのパター
ンの透過率等がそれぞれ異なるものが用いられる。これ
らにより、検出手段で得られる信号の加減算処理によっ
て基準位置信号を再現性高く得られるので精度の高いエ
ンコーダが得られる。
量の変化、検出系の変化に対して安定した基準位置検出
系を備えたエンコダを提供する。 【構成】 光束の照射を受ける基準位置検出用パターン
がスケール上の所定の位置に配置されている。２以上の
光束と２以上の光量検出手段が用いられる。そして２つ
の光束の光量、２つの検出手段の増幅率、２つのパター
ンの透過率等がそれぞれ異なるものが用いられる。これ
らにより、検出手段で得られる信号の加減算処理によっ
て基準位置信号を再現性高く得られるので精度の高いエ
ンコーダが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スケール上の所定の位
置に配置された基準位置検出用パターンを光学的または
磁気的に検出するエンコーダに関する。
置に配置された基準位置検出用パターンを光学的または
磁気的に検出するエンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来のエンコーダの、インデッ
クススケールを用いた第１の例の概略図、図７の、
（ａ）は、従来のエンコーダのインデックススケールを
用いない第２の例の概略図、（ｂ）は、（ａ）の光量検
出手段により得られた信号曲線、（ｃ）は、（ｂ）の加
算信号曲線、（ｄ）は、（ｂ）の減算信号曲線、図８
の、（ａ）は、図７の２つの光束の位置が円周方向にず
れた場合を示す図、（ｂ）は、基準位置パターンが傾い
た場合を示す図、（ｃ）は、（ａ）により得られる信号
曲線、図９は、図６の例において光量検出系の変動によ
り基準信号発生位置がずれることを示す図である。
クススケールを用いた第１の例の概略図、図７の、
（ａ）は、従来のエンコーダのインデックススケールを
用いない第２の例の概略図、（ｂ）は、（ａ）の光量検
出手段により得られた信号曲線、（ｃ）は、（ｂ）の加
算信号曲線、（ｄ）は、（ｂ）の減算信号曲線、図８
の、（ａ）は、図７の２つの光束の位置が円周方向にず
れた場合を示す図、（ｂ）は、基準位置パターンが傾い
た場合を示す図、（ｃ）は、（ａ）により得られる信号
曲線、図９は、図６の例において光量検出系の変動によ
り基準信号発生位置がずれることを示す図である。
【０００３】従来、パルスを計数することにより位置ま
たは角度を検出するインクリメンタルエンコーダ、特に
位置・回転の検出に用いられる機器では、パルス計数の
基準となる位置を検出するための基準位置信号を発生す
るものがある。図６は一般的な光学式ロータリーエンコ
ーダの基準信号検出系である。図示しない光源からの光
束６１ａ、６１ｂ，６１ｃをメインスケール６２の３カ
所に入射し、インデックススケール６３のスリット６３
ａ、６３ｂ、６３ｃとメインスケール６２のスリット６
２ａ、６２ｃとが一致した状態で、光束が光量検出手段
６５に到達し、ａ，ｂ，ｃ（不図示）の３種類の位相の
異なる信号を得られる。基準位置信号は一般に光束６１
の照射位置に設けたスリット６２ｃにより、一回転で１
パルスの信号を出力する。光束６１ａ、６１ｂによる信
号は回転方向情報を含む位相のずれた２相インクリメン
タル信号として出力される。
たは角度を検出するインクリメンタルエンコーダ、特に
位置・回転の検出に用いられる機器では、パルス計数の
基準となる位置を検出するための基準位置信号を発生す
るものがある。図６は一般的な光学式ロータリーエンコ
ーダの基準信号検出系である。図示しない光源からの光
束６１ａ、６１ｂ，６１ｃをメインスケール６２の３カ
所に入射し、インデックススケール６３のスリット６３
ａ、６３ｂ、６３ｃとメインスケール６２のスリット６
２ａ、６２ｃとが一致した状態で、光束が光量検出手段
６５に到達し、ａ，ｂ，ｃ（不図示）の３種類の位相の
異なる信号を得られる。基準位置信号は一般に光束６１
の照射位置に設けたスリット６２ｃにより、一回転で１
パルスの信号を出力する。光束６１ａ、６１ｂによる信
号は回転方向情報を含む位相のずれた２相インクリメン
タル信号として出力される。
【０００４】特に高分解能・高精度のエンコーダの場
合、高精度の測定に用いられるために、基準位置信号は
高再現性を要求される。すなわち誤差が極力少ないもの
でなければならない。
合、高精度の測定に用いられるために、基準位置信号は
高再現性を要求される。すなわち誤差が極力少ないもの
でなければならない。
【０００５】図７（ａ）は特にインデックススケールを
用いずに高再現性を確保するための構成を有する基準位
置信号検出系であり、図７（ｂ）はこの検出系により得
られた信号出力である。図７（ａ）の円周方向に細く絞
った２光束７１ａ，７１ｂをスケール７２に照射する。
スケール上には基準位置検出用のスリット７３が設けら
れており、それぞれの光束について設けられた光量検出
手段７４がパターンにより図７（ｂ）の７５ａ，７５ｂ
のような、立ち上がりと立ち下がり部分で交差する２相
信号が得られる。この２相信号を処理し、２つの信号の
高さ曲線が交差する位置７５ｃで基準位置信号を出力す
る。ただし、ロータリーエンコーダの場合、２つの信号
が交差する位置は０カ所か２カ所以上であるので、信号
の処理としては、例えば図７（ｂ）の２相信号７５ａ，
７５ｂから、（ｃ）の加算信号７６および（ｄ）の減算
信号７７を得て、加算信号が一定レベル以上のとき７６
ａの範囲内で減算信号が０となる位置７７ｃで基準位置
信号を出力する構成等が考えられる。
用いずに高再現性を確保するための構成を有する基準位
置信号検出系であり、図７（ｂ）はこの検出系により得
られた信号出力である。図７（ａ）の円周方向に細く絞
った２光束７１ａ，７１ｂをスケール７２に照射する。
スケール上には基準位置検出用のスリット７３が設けら
れており、それぞれの光束について設けられた光量検出
手段７４がパターンにより図７（ｂ）の７５ａ，７５ｂ
のような、立ち上がりと立ち下がり部分で交差する２相
信号が得られる。この２相信号を処理し、２つの信号の
高さ曲線が交差する位置７５ｃで基準位置信号を出力す
る。ただし、ロータリーエンコーダの場合、２つの信号
が交差する位置は０カ所か２カ所以上であるので、信号
の処理としては、例えば図７（ｂ）の２相信号７５ａ，
７５ｂから、（ｃ）の加算信号７６および（ｄ）の減算
信号７７を得て、加算信号が一定レベル以上のとき７６
ａの範囲内で減算信号が０となる位置７７ｃで基準位置
信号を出力する構成等が考えられる。
【０００６】この構成では、例えばレーザ光線のように
数μｍに集光可能な光源を用いることにより、図７
（ｂ）のように２相信号の単位回転角度あたりの信号曲
線の高さの変化率θが大きくなるので、高再現性を確保
できるという利点を狙ったものであった。
数μｍに集光可能な光源を用いることにより、図７
（ｂ）のように２相信号の単位回転角度あたりの信号曲
線の高さの変化率θが大きくなるので、高再現性を確保
できるという利点を狙ったものであった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図７に示した構成では、高再現性が確保される反面、ス
ケール、スケール上の基準位置パターン、光束、および
光量検出手段を高精度に位置決めする必要があり、何ら
かの要因で前記のいずれかの位置がずれた場合、検出が
できなくなることがある。
図７に示した構成では、高再現性が確保される反面、ス
ケール、スケール上の基準位置パターン、光束、および
光量検出手段を高精度に位置決めする必要があり、何ら
かの要因で前記のいずれかの位置がずれた場合、検出が
できなくなることがある。
【０００８】例えば、図８（ａ）のように２光束の位置
が円周方向にずれた場合、２相信号は図８（ｃ）の８１
のようになり、図８（ｄ）の加算信号８２のレベルが減
算信号（不図示）が０になる位置（基準位置発生位置）
近傍で落ち込むこととなり、信号が得られなくなる。ま
た、スケールの偏心や傾きにより、基準位置パターンが
理想状態から傾いた場合、光束の位置ずれと同様に信号
が得られないことがある。そして、光量の変化、または
検出系の温度特性等により、２相信号の振幅が減少した
場合にも、加算信号のレベルの判定が適当でなくなる場
合がある。
が円周方向にずれた場合、２相信号は図８（ｃ）の８１
のようになり、図８（ｄ）の加算信号８２のレベルが減
算信号（不図示）が０になる位置（基準位置発生位置）
近傍で落ち込むこととなり、信号が得られなくなる。ま
た、スケールの偏心や傾きにより、基準位置パターンが
理想状態から傾いた場合、光束の位置ずれと同様に信号
が得られないことがある。そして、光量の変化、または
検出系の温度特性等により、２相信号の振幅が減少した
場合にも、加算信号のレベルの判定が適当でなくなる場
合がある。
【０００９】なお、図９に、簡易な１相信号を用いた場
合に得られる信号９１と９２の間に基準位置信号発生位
置のずれが生ず状態（差異Ｓ）を示す。
合に得られる信号９１と９２の間に基準位置信号発生位
置のずれが生ず状態（差異Ｓ）を示す。
【００１０】本発明の目的は、高再現性を確保し、検出
系の位置ずれ、光量変化、検出系の変化に対して安定な
基準位置検出系を備えたエンコーダを提供することであ
る。なお、本書において、エンコーダは、ロータリエン
コダとリニアエンコダの両者を含むものとするが、両者
は基準位置検出用パターンおよびその担体スケールの移
動方向に違いがあるほかは、本発明の内容については全
く共通であるので説明は主としてロータリエンコダにつ
いて行うこととする。
系の位置ずれ、光量変化、検出系の変化に対して安定な
基準位置検出系を備えたエンコーダを提供することであ
る。なお、本書において、エンコーダは、ロータリエン
コダとリニアエンコダの両者を含むものとするが、両者
は基準位置検出用パターンおよびその担体スケールの移
動方向に違いがあるほかは、本発明の内容については全
く共通であるので説明は主としてロータリエンコダにつ
いて行うこととする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のエンコーダは、
スケール上の所定の位置に配置された基準位置検出用パ
ターンを光学的または磁気的に検出するエンコーダにお
いて、振幅、位相ともにそれぞれ異なる２相信号を得
て、２相信号を処理することによって、基準位置信号発
生位置の範囲を把握し、かつ減算信号曲線の零点を基準
位置信号の発生位置と定めて、この位置から基準位置信
号を発生する構造を有することを特徴としている。
スケール上の所定の位置に配置された基準位置検出用パ
ターンを光学的または磁気的に検出するエンコーダにお
いて、振幅、位相ともにそれぞれ異なる２相信号を得
て、２相信号を処理することによって、基準位置信号発
生位置の範囲を把握し、かつ減算信号曲線の零点を基準
位置信号の発生位置と定めて、この位置から基準位置信
号を発生する構造を有することを特徴としている。
【００１２】なお、本発明のエンコーダは、２以上の光
束が使用され、２以上の検出手段を有するものであるこ
とが望ましく、さらに振幅の２相信号が、光束の光量が
互いに異なるものを用いて得られるものであることも望
ましい。また、振幅の異なる２相信号が、２つの検出手
段の増幅率、透過率、反射率等がそれぞれ互いに異なる
ものを用いて得られるものであることも一層望ましい。
束が使用され、２以上の検出手段を有するものであるこ
とが望ましく、さらに振幅の２相信号が、光束の光量が
互いに異なるものを用いて得られるものであることも望
ましい。また、振幅の異なる２相信号が、２つの検出手
段の増幅率、透過率、反射率等がそれぞれ互いに異なる
ものを用いて得られるものであることも一層望ましい。
【００１３】
【作用】スケール上の所定の位置に配置された基準位置
検出用のパターンへ２つ以上の光束を照射すると、２つ
の光束の光量、２つの検出手段の増幅率、２つのパター
ンの透過率等の異なるものが用いられているので、光量
検出段において、振幅、位相ともそれぞれ異なる２相信
号が得られる。この２相信号の加算信号の一定レベル範
囲内の位置において、両信号の交点を基準信号発生位置
と定める。これにより、検出用パターン位置のずれ、光
量変化、検出手段の変化等があっても、簡単な方法で安
定した基準位置信号を発生するので、エンコーダの精度
が高い。上述は光を用いる例であるが、磁気を用いる場
合等も同様の成果が得られる。
検出用のパターンへ２つ以上の光束を照射すると、２つ
の光束の光量、２つの検出手段の増幅率、２つのパター
ンの透過率等の異なるものが用いられているので、光量
検出段において、振幅、位相ともそれぞれ異なる２相信
号が得られる。この２相信号の加算信号の一定レベル範
囲内の位置において、両信号の交点を基準信号発生位置
と定める。これにより、検出用パターン位置のずれ、光
量変化、検出手段の変化等があっても、簡単な方法で安
定した基準位置信号を発生するので、エンコーダの精度
が高い。上述は光を用いる例であるが、磁気を用いる場
合等も同様の成果が得られる。
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１５】図１の、（ａ）は、本発明のエンコーダの
一実施例の概略図、（ｂ）は、本実施例の基準位置検出
用パターン１２ａ，１２ｂおよび同時照射位置１２ａ
１，１２ｂ１を示す図、（ｃ）は、光量検出手段１４
ａ，１４ｂにおいて得られた信号１５ａ，１５ｂの曲線
図、（ｄ）は、両信号の減算操作１５ａ−１５ｂによる
減算信号１６の曲線図、図２の、（ａ），（ｂ）は、本
実施例の光束がずれた場合の２つの例を示し、（ｃ）
は、これらの場合において光量検出手段により得られる
信号２１、２２の曲線図、（ｄ）は、（ｃ）の減算信号
２３の曲線図、図３は、本実施例において、光量検出系
の出力変化が生じた場合でも基準位置信号が不変である
ことを示す図である。
一実施例の概略図、（ｂ）は、本実施例の基準位置検出
用パターン１２ａ，１２ｂおよび同時照射位置１２ａ
１，１２ｂ１を示す図、（ｃ）は、光量検出手段１４
ａ，１４ｂにおいて得られた信号１５ａ，１５ｂの曲線
図、（ｄ）は、両信号の減算操作１５ａ−１５ｂによる
減算信号１６の曲線図、図２の、（ａ），（ｂ）は、本
実施例の光束がずれた場合の２つの例を示し、（ｃ）
は、これらの場合において光量検出手段により得られる
信号２１、２２の曲線図、（ｄ）は、（ｃ）の減算信号
２３の曲線図、図３は、本実施例において、光量検出系
の出力変化が生じた場合でも基準位置信号が不変である
ことを示す図である。
【００１６】図１（ａ）において、スケール１１上に透
過率の異なる２つの基準位置パターン１２ａ，１２ｂが
設けられている。パターンの形状およびこの検出系にて
得られる信号を図１（ｃ）の１５ａ，１５ｂで示す。２
光束１３ａ，１３ｂを図１（ｂ）に示す位置１２ａ１，
１２ｂ１に照射し、スケールを挟んで、対向する位置に
設けられた検出手段１４ａ，１４ｂで検出する。２光束
の光量、またはパターンの透過率、または光量検出手段
の憎幅度を互いに異なる値に設定することにより、スケ
ールの移動に伴い、光量検出手段１４ａ，１４ｂによ
り、図１（ｃ）の信号１５ａ，１５ｂが得られる。図１
（ｄ）に示すようにこの２相信号の差をとると、１６の
信号が得られ、この信号１５ａが一定レベル以上の範囲
１７内で減算信号１６が０となる位置１６ｃにて基準位
置信号を発生する。
過率の異なる２つの基準位置パターン１２ａ，１２ｂが
設けられている。パターンの形状およびこの検出系にて
得られる信号を図１（ｃ）の１５ａ，１５ｂで示す。２
光束１３ａ，１３ｂを図１（ｂ）に示す位置１２ａ１，
１２ｂ１に照射し、スケールを挟んで、対向する位置に
設けられた検出手段１４ａ，１４ｂで検出する。２光束
の光量、またはパターンの透過率、または光量検出手段
の憎幅度を互いに異なる値に設定することにより、スケ
ールの移動に伴い、光量検出手段１４ａ，１４ｂによ
り、図１（ｃ）の信号１５ａ，１５ｂが得られる。図１
（ｄ）に示すようにこの２相信号の差をとると、１６の
信号が得られ、この信号１５ａが一定レベル以上の範囲
１７内で減算信号１６が０となる位置１６ｃにて基準位
置信号を発生する。
【００１７】本実施例の構成によれば、図２（ａ），
（ｂ）に示すようにスケールや光束のずれが生じた場合
にも、２相信号２１、２２から減算信号２３が得られ、
基準位置信号が確実に得られる。
（ｂ）に示すようにスケールや光束のずれが生じた場合
にも、２相信号２１、２２から減算信号２３が得られ、
基準位置信号が確実に得られる。
【００１８】なお、図３に示すように、２相信号の減算
値が０となる位置１５ｃ，３５ｃで基準位置信号を出力
するが、前述の図９に示す従来のものと異なり、光源の
光量変化、スケールの反射、透過率の変化、光量検出手
段の光電変換効率の変化等によって、光量検出系の出力
が変化した場合、基準位置信号発生位置にずれが生ずる
ことなく、同じ位置で１５ｃ，３５ｃで基準位置信号を
生成できる。
値が０となる位置１５ｃ，３５ｃで基準位置信号を出力
するが、前述の図９に示す従来のものと異なり、光源の
光量変化、スケールの反射、透過率の変化、光量検出手
段の光電変換効率の変化等によって、光量検出系の出力
が変化した場合、基準位置信号発生位置にずれが生ずる
ことなく、同じ位置で１５ｃ，３５ｃで基準位置信号を
生成できる。
【００１９】次に、第２の実施例について説明する。
【００２０】図４は、本発明のエンコーダの第２の実施
例の概略図である。本実施例においては、反射率の異な
る２つのパターン４３ａ，４３ｂをスケール４２上に形
成し、反射型の構成としたものである。
例の概略図である。本実施例においては、反射率の異な
る２つのパターン４３ａ，４３ｂをスケール４２上に形
成し、反射型の構成としたものである。
【００２１】スケール４２上に設けられた他とは反射率
の異なるパターン４３ａ，４３ｂの位置に入射し、２つ
の光束４１を投射し、その反射光を光量検出手段４４に
より検出する。この信号を第１の実施例と同様に処理す
ることにより、基準信号を得る。
の異なるパターン４３ａ，４３ｂの位置に入射し、２つ
の光束４１を投射し、その反射光を光量検出手段４４に
より検出する。この信号を第１の実施例と同様に処理す
ることにより、基準信号を得る。
【００２２】次に、第３の実施例について説明する。
【００２３】図５は、本発明のエンコーダの第３の実施
例のスケールとパターンを示す図である。第１、第２の
実施例はロータリーエンコーダであるが、本実施例は直
接変位を検出する方法を利用するリニアエンコーダの場
合である。本実施例はスケール５２の運動形態に関して
第１、第２の実施例と異なるが信号の発生、処理につい
ては全く同様である。
例のスケールとパターンを示す図である。第１、第２の
実施例はロータリーエンコーダであるが、本実施例は直
接変位を検出する方法を利用するリニアエンコーダの場
合である。本実施例はスケール５２の運動形態に関して
第１、第２の実施例と異なるが信号の発生、処理につい
ては全く同様である。
【００２４】また、本発明における信号発生、処理方式
は、光学式ロータリーエンコーダのみならず、磁気式、
静電容量式等、他のスケールパターン検出方式を用いる
エンコーダ、さらには、エンコーダ以外のアナログ出力
を持つ角度または変移の検出装置の基準位置信号信号検
出系に適用できる。それらの実施例も原理が同様なの
で、図示および説明は省略する。
は、光学式ロータリーエンコーダのみならず、磁気式、
静電容量式等、他のスケールパターン検出方式を用いる
エンコーダ、さらには、エンコーダ以外のアナログ出力
を持つ角度または変移の検出装置の基準位置信号信号検
出系に適用できる。それらの実施例も原理が同様なの
で、図示および説明は省略する。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したとおり本発明は、例えば２
以上の光束と、２以上の光量検出手段とにより得られた
振幅、位相の異なる２相信号を処理して基準信号発生位
置を定める構造とすることにより、検出系の位置のずれ
や光量の変化がある場合でも基準位置信号を精度高く安
定して、しかも簡易な方法で出力できるエンコーダを提
供できる効果がある。
以上の光束と、２以上の光量検出手段とにより得られた
振幅、位相の異なる２相信号を処理して基準信号発生位
置を定める構造とすることにより、検出系の位置のずれ
や光量の変化がある場合でも基準位置信号を精度高く安
定して、しかも簡易な方法で出力できるエンコーダを提
供できる効果がある。
【図１】（ａ）は、本発明のエンコーダの一実施例の概
略図、（ｂ）は、本実施例の基準一検出用パターン１２
ａ，１２ｂおよび同時照射位置１２ａ１，１２ｂ１を示
す図、（ｃ）は、光量検出手段１４ａ，１４ｂにおいて
得られた信号１５ａ，１５ｂｎｏ曲線図、（ｄ）は、両
信号の減算操作１５ａ−１５ｂによる減算信号１６の曲
線図である。
略図、（ｂ）は、本実施例の基準一検出用パターン１２
ａ，１２ｂおよび同時照射位置１２ａ１，１２ｂ１を示
す図、（ｃ）は、光量検出手段１４ａ，１４ｂにおいて
得られた信号１５ａ，１５ｂｎｏ曲線図、（ｄ）は、両
信号の減算操作１５ａ−１５ｂによる減算信号１６の曲
線図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は、本実施例の光束がずれた場
合の２つの例を示し、（ｃ）は、これらの場合において
光量検出手段により得られる信号２１、２２の曲線図、
（ｄ）は、（ｃ）の減算信号２３の曲線図である。
合の２つの例を示し、（ｃ）は、これらの場合において
光量検出手段により得られる信号２１、２２の曲線図、
（ｄ）は、（ｃ）の減算信号２３の曲線図である。
【図３】本実施例において、光量検出系の出力変化が生
じた場合でも基準位置信号生成位置が不変であることを
示す図である。
じた場合でも基準位置信号生成位置が不変であることを
示す図である。
【図４】本発明のエンコーダの第２の実施例の概略図で
ある。
ある。
【図５】本発明のエンコーダの第３の実施例のスケール
とパターンを示す図である。
とパターンを示す図である。
【図６】従来のエンコーダの、インデックススケールを
用いた第１の例の概略図である。
用いた第１の例の概略図である。
【図７】（ａ）は、従来のエンコーダの、インデックス
スケールを用いない第２の例の概略図、（ｂ）は、
（ａ）の光量検出手段により得られた信号曲線、（ｃ）
は、（ｂ）の加算信号曲線、（ｄ）は、（ｂ）の減算信
号曲線である。
スケールを用いない第２の例の概略図、（ｂ）は、
（ａ）の光量検出手段により得られた信号曲線、（ｃ）
は、（ｂ）の加算信号曲線、（ｄ）は、（ｂ）の減算信
号曲線である。
【図８】（ａ）は、図７の２つの光束の位置が円周方向
にずれた場合を示す図、（ｂ）は、基準位置パターンが
傾いた場合を示す図、（ｃ）は、（ａ）により得られる
信号曲線、（ｄ）は、（ｃ）の加算信号曲線である。
にずれた場合を示す図、（ｂ）は、基準位置パターンが
傾いた場合を示す図、（ｃ）は、（ａ）により得られる
信号曲線、（ｄ）は、（ｃ）の加算信号曲線である。
【図９】図６の例において、光量検出系の変動により基
準信号発生位置がずれることを示す図である。
準信号発生位置がずれることを示す図である。
１１，４２，５２，６２，７２ スケール １２，１２ａ，１２ｂ，４３，４３ａ，４３ｂ，５３，
５３ａ，５３ｂ，７３，７３ａ，７３ｂ 基準検出用
パターン １２ａ１，１２ｂ１ 光束照射位置 １３ａ，１３ｂ，４１，６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，７１
ａ，７１ｂ 光束 １４ａ，１４ｂ，４４，６５，７４ 光量検出手段 １５ａ，１５ｂ，２１，２２，３５ａ，３５ｂ，７５
ａ，７５ｂ，８１，８２，９１，９２ 得られた信号 １５ｃ，２１ｃ，３５ｃ，７５ｃ 交点 １６，２３，７７ 減算信号 １６ｃ，２３ｃ，７７ｃ，９１ｃ，９２ｃ 基準位置
信号の発生位置 １７，２４，７６ａ 基準位置信号の発生位置範囲 ６２ メインスケール ６２ａ，６２ｃ，６３ａ，６３ｂ，６３ｃ スリット ６３ インデックススケール ７６ 加算信号
５３ａ，５３ｂ，７３，７３ａ，７３ｂ 基準検出用
パターン １２ａ１，１２ｂ１ 光束照射位置 １３ａ，１３ｂ，４１，６１ａ，６１ｂ，６１ｃ，７１
ａ，７１ｂ 光束 １４ａ，１４ｂ，４４，６５，７４ 光量検出手段 １５ａ，１５ｂ，２１，２２，３５ａ，３５ｂ，７５
ａ，７５ｂ，８１，８２，９１，９２ 得られた信号 １５ｃ，２１ｃ，３５ｃ，７５ｃ 交点 １６，２３，７７ 減算信号 １６ｃ，２３ｃ，７７ｃ，９１ｃ，９２ｃ 基準位置
信号の発生位置 １７，２４，７６ａ 基準位置信号の発生位置範囲 ６２ メインスケール ６２ａ，６２ｃ，６３ａ，６３ｂ，６３ｃ スリット ６３ インデックススケール ７６ 加算信号
Claims (6)
- 【請求項１】 スケール上の所定の位置に配置された基
準位置検出用パターンを光学的または磁気的に検出する
エンコーダーにおいて、 振幅、位相ともにそれぞれ異なる２相信号を得て、前記
２相信号を処理することによって、基準位置信号発生位
置の範囲を把握しかつ、２信号曲線の交点を基準位置信
号の発生位置と定めて、該位置から前記基準位置信号を
発生する構造を有することを特徴とするエンコーダ。 - 【請求項２】 ２以上の光束が使用され、２以上の検出
手段を有する請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項３】 振幅の異なる２相信号が、２つの光束の
光量が互いに異なるものを用いて得られる構造である請
求項２記載のエンコーダ。 - 【請求項４】 振幅の異なる２相信号が、２つの検出手
段の増幅率が互いに異なるものを用いて得られる構造で
ある請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項５】 振幅の異なる２相信号が、２つのパター
ンの透過率が互いに異なるものを用いて得られる構造で
ある請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項６】 振幅の異なる２相信号が、２つのパター
ンの反射率が互いに異なるものを用いて得られる構造で
ある請求項１記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12103395A JPH08313305A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12103395A JPH08313305A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313305A true JPH08313305A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14801161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12103395A Pending JPH08313305A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08313305A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016133452A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
| JPWO2020158677A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2021-11-11 | 株式会社メトロール | 位置検出装置 |
-
1995
- 1995-05-19 JP JP12103395A patent/JPH08313305A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016133452A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダ |
| CN105806372A (zh) * | 2015-01-21 | 2016-07-27 | 株式会社三丰 | 编码器 |
| JPWO2020158677A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2021-11-11 | 株式会社メトロール | 位置検出装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040602 |