JPH08313320A - 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 - Google Patents
熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計Info
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- JPH08313320A JPH08313320A JP7121154A JP12115495A JPH08313320A JP H08313320 A JPH08313320 A JP H08313320A JP 7121154 A JP7121154 A JP 7121154A JP 12115495 A JP12115495 A JP 12115495A JP H08313320 A JPH08313320 A JP H08313320A
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】抵抗体同志の熱絶縁を改善し、抵抗体の電気的
接続を簡略化して、高精度で低コストの熱式空気流量計
用測定素子を提供する。 【構成】空気流７の流れ方向に並設されスリット10を有
する基板４の発熱体成膜部位4aに成膜された一対の発熱
抵抗体１，２と、補償体成膜部位4bに成膜された一対の
温度補償用抵抗体３と、各抵抗体から電気的信号を取り
出すために発熱体成膜部位4a及び補償体成膜部位4bを除
いた部位であって基板４が支持される支持部位4cに成膜
された電極端子6a〜6fとから、流量を検出する検出回路
が構成され、発熱体成膜部位4aと補償体成膜部位4bと
は、空気流７の流れ方向に対し前後方向に段違いに、か
つ、流れに対し重ならないよう左右方向にずらして配置
され、さらに支持部位4cは、基板の一方端に位置し、該
一方端に電極端子6a〜6fが成膜されている熱式空気流量
計用測定素子。
接続を簡略化して、高精度で低コストの熱式空気流量計
用測定素子を提供する。 【構成】空気流７の流れ方向に並設されスリット10を有
する基板４の発熱体成膜部位4aに成膜された一対の発熱
抵抗体１，２と、補償体成膜部位4bに成膜された一対の
温度補償用抵抗体３と、各抵抗体から電気的信号を取り
出すために発熱体成膜部位4a及び補償体成膜部位4bを除
いた部位であって基板４が支持される支持部位4cに成膜
された電極端子6a〜6fとから、流量を検出する検出回路
が構成され、発熱体成膜部位4aと補償体成膜部位4bと
は、空気流７の流れ方向に対し前後方向に段違いに、か
つ、流れに対し重ならないよう左右方向にずらして配置
され、さらに支持部位4cは、基板の一方端に位置し、該
一方端に電極端子6a〜6fが成膜されている熱式空気流量
計用測定素子。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱式空気流量計用測定
素子に係り、特に内燃機関の吸入空気量を測定するに好
適な熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計に関
する。
素子に係り、特に内燃機関の吸入空気量を測定するに好
適な熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計に関
する。
【０００２】
【従来の技術】自動車などの内燃機関の電子制御燃料噴
射装置に実装された、吸入空気量を測定する空気流量計
としては、質量空気量を直接検知できることから熱式の
ものが主流となっており、特開昭62−821号公報、特開
昭62−73124号公報に開示されたものがある。上記公報
に記載の技術は、逆流の影響による空気流量の測定誤差
を少なくするために、順流と逆流を別々に検出するため
の発熱および温度補償用の熱線プローブがそれぞれ２個
づつ（計４個）あるものであるが、熱線プローブの製造
コストが増大するなどの問題があった。
射装置に実装された、吸入空気量を測定する空気流量計
としては、質量空気量を直接検知できることから熱式の
ものが主流となっており、特開昭62−821号公報、特開
昭62−73124号公報に開示されたものがある。上記公報
に記載の技術は、逆流の影響による空気流量の測定誤差
を少なくするために、順流と逆流を別々に検出するため
の発熱および温度補償用の熱線プローブがそれぞれ２個
づつ（計４個）あるものであるが、熱線プローブの製造
コストが増大するなどの問題があった。
【０００３】そこで、上記熱線プローブの製造コストを
低減するものとして、薄膜を用いて基板上に４個の熱線
プローブを製造する従来技術が、特開平1−185416号公
報に記載されている。
低減するものとして、薄膜を用いて基板上に４個の熱線
プローブを製造する従来技術が、特開平1−185416号公
報に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平1-
185416号公報に記載の従来技術には次の課題があり、図
８を参照し説明する。図８は、従来の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図であり、該公報に記載の第４図で
ある。図において、１，２が発熱抵抗体、３ａ，３ｂが
温度補償用抵抗体、４がセラミックなどの熱伝導率の大
きい電気絶縁材料からなる基板、６が電極端子、１０が
スリットである。このような構成では、発熱抵抗体１，
２と温度補償用抵抗体３ａ，３ｂの間にスリット１０を
設けているが、両抵抗体間が近接していると共に、熱伝
導率の大きい基板４がスリット１０の両端部で繋がって
いるため、 発熱抵抗体１，２から温度補償用抵抗体３
ａ，３ｂへ熱が容易に移動し熱絶縁が十分でないので、
空気流量の計測精度を悪化させている。なお、７は空気
流で、流れ方向を示している。
185416号公報に記載の従来技術には次の課題があり、図
８を参照し説明する。図８は、従来の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図であり、該公報に記載の第４図で
ある。図において、１，２が発熱抵抗体、３ａ，３ｂが
温度補償用抵抗体、４がセラミックなどの熱伝導率の大
きい電気絶縁材料からなる基板、６が電極端子、１０が
スリットである。このような構成では、発熱抵抗体１，
２と温度補償用抵抗体３ａ，３ｂの間にスリット１０を
設けているが、両抵抗体間が近接していると共に、熱伝
導率の大きい基板４がスリット１０の両端部で繋がって
いるため、 発熱抵抗体１，２から温度補償用抵抗体３
ａ，３ｂへ熱が容易に移動し熱絶縁が十分でないので、
空気流量の計測精度を悪化させている。なお、７は空気
流で、流れ方向を示している。
【０００５】また、発熱抵抗体１，２および温度補償用
抵抗体３ａ，３ｂからの電気的信号は、基板４の二方端
(図示の左右端)に位置する電極端子６から取り出され、
電極端子６は、該二方端にて支持され、かつ図示してな
い外部回路に接続されるという、二方端支持の構造とな
っている。この場合、外部回路との接続のための電極端
子６が８個であり、電気的接続が煩雑になると共に、電
極端子６の基板面積に占める割合が大きくなり、コスト
高になっているという問題があった。
抵抗体３ａ，３ｂからの電気的信号は、基板４の二方端
(図示の左右端)に位置する電極端子６から取り出され、
電極端子６は、該二方端にて支持され、かつ図示してな
い外部回路に接続されるという、二方端支持の構造とな
っている。この場合、外部回路との接続のための電極端
子６が８個であり、電気的接続が煩雑になると共に、電
極端子６の基板面積に占める割合が大きくなり、コスト
高になっているという問題があった。
【０００６】従って、本発明の目的は、抵抗体同志の熱
絶縁を改善し、かつ抵抗体の電気的接続を簡略化して、
高精度で低コストの熱式空気流量計用測定素子及びそれ
を含む熱式空気流量計を提供することにある。
絶縁を改善し、かつ抵抗体の電気的接続を簡略化して、
高精度で低コストの熱式空気流量計用測定素子及びそれ
を含む熱式空気流量計を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、被測定流
体の流れ方向に並設され基板の発熱体成膜部位に成膜さ
れた一対の発熱抵抗体と、前記基板の補償体成膜部位に
成膜された一対の温度補償用抵抗体と、それぞれの前記
発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体から電気的信号を取り
出すために、前記発熱体成膜部位及び補償体成膜部位を
除いた部位であって前記基板が支持される支持部位に成
膜された複数の電極端子とから、前記被測定流体の流量
を検出する検出回路が構成された熱式空気流量計用測定
素子において、前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部
位とは、前記被測定流体の流れ方向に対し前後方向に段
違いに配置され、かつ、前記発熱抵抗体と前記温度補償
用抵抗体とが前記流れ方向に対し重ならないよう、前記
流れ方向の左右方向にずらして配置され、前記支持部位
は、前記基板の一方端に位置し、該一方端に前記複数の
電極端子が成膜されていることにより達成される。
体の流れ方向に並設され基板の発熱体成膜部位に成膜さ
れた一対の発熱抵抗体と、前記基板の補償体成膜部位に
成膜された一対の温度補償用抵抗体と、それぞれの前記
発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体から電気的信号を取り
出すために、前記発熱体成膜部位及び補償体成膜部位を
除いた部位であって前記基板が支持される支持部位に成
膜された複数の電極端子とから、前記被測定流体の流量
を検出する検出回路が構成された熱式空気流量計用測定
素子において、前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部
位とは、前記被測定流体の流れ方向に対し前後方向に段
違いに配置され、かつ、前記発熱抵抗体と前記温度補償
用抵抗体とが前記流れ方向に対し重ならないよう、前記
流れ方向の左右方向にずらして配置され、前記支持部位
は、前記基板の一方端に位置し、該一方端に前記複数の
電極端子が成膜されていることにより達成される。
【０００８】そして、前後左右に段違いに且つずらして
配置された前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部位と
の間に、スリットを設けることが望ましい。
配置された前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部位と
の間に、スリットを設けることが望ましい。
【０００９】またさらに、前記複数の電極端子のうち、
一方の前記発熱抵抗体の一端と一方の前記温度補償用抵
抗体の一端に電気的に接続されて前記電極端子を共用す
る１組の共用電極端子と、他方の前記発熱抵抗体の一端
と他方の前記温度補償用抵抗体の一端に電気的に接続さ
れて前記電極端子を共用する１組の共用電極端子の、２
組の該共用電極端子を設けた熱式空気流量計用測定素子
でも良い。
一方の前記発熱抵抗体の一端と一方の前記温度補償用抵
抗体の一端に電気的に接続されて前記電極端子を共用す
る１組の共用電極端子と、他方の前記発熱抵抗体の一端
と他方の前記温度補償用抵抗体の一端に電気的に接続さ
れて前記電極端子を共用する１組の共用電極端子の、２
組の該共用電極端子を設けた熱式空気流量計用測定素子
でも良い。
【００１０】また、上記目的を達成する熱式空気流量計
は、請求項１ないし請求項５記載の熱式空気流量計用測
定素子を含み、被測定流体の流量を測定するものであ
る。
は、請求項１ないし請求項５記載の熱式空気流量計用測
定素子を含み、被測定流体の流量を測定するものであ
る。
【００１１】
【作用】上記構成のように前後左右に段違いにずれた位
置関係とすれば、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体間がよ
り隔絶され、両者の熱絶縁がより効果的となり、発熱抵
抗体による温度補償用抵抗体への熱影響が殆ど無くなり
計測精度が向上する。特に、発熱体成膜部位と補償体成
膜部位の間にスリットを設けると、隔絶効果が増し、精
度が向上する。
置関係とすれば、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体間がよ
り隔絶され、両者の熱絶縁がより効果的となり、発熱抵
抗体による温度補償用抵抗体への熱影響が殆ど無くなり
計測精度が向上する。特に、発熱体成膜部位と補償体成
膜部位の間にスリットを設けると、隔絶効果が増し、精
度が向上する。
【００１２】また、一方端に複数の電極端子が集中して
いるので、発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体の電極端子
の一部を共用化することができ、外部回路との電気的接
続が簡略化されて、低コストに結び付くものである。
いるので、発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体の電極端子
の一部を共用化することができ、外部回路との電気的接
続が簡略化されて、低コストに結び付くものである。
【００１３】
【実施例】以下、本発明による実施例について、図面を
参照し説明する。図１は、本発明による一実施例の熱式
空気流量計用測定素子を示す平面図である。熱式空気流
量計用測定素子は、基板４と、該基板４の空気流７の下
流側に配置され成膜された発熱抵抗体１，２と、上流側
に配置され成膜された温度補償用抵抗体３と、発熱抵抗
体及び温度補償用抵抗体から電気的信号を取り出すため
の電極端子６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆと、発
熱抵抗体及び温度補償用抵抗体と電極端子とを電気的に
接続する複数のリード線３０とから構成される。
参照し説明する。図１は、本発明による一実施例の熱式
空気流量計用測定素子を示す平面図である。熱式空気流
量計用測定素子は、基板４と、該基板４の空気流７の下
流側に配置され成膜された発熱抵抗体１，２と、上流側
に配置され成膜された温度補償用抵抗体３と、発熱抵抗
体及び温度補償用抵抗体から電気的信号を取り出すため
の電極端子６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆと、発
熱抵抗体及び温度補償用抵抗体と電極端子とを電気的に
接続する複数のリード線３０とから構成される。
【００１４】そして、基板４は、発熱抵抗体１，２が成
膜される発熱体成膜部位４ａと、温度補償用抵抗体３が
成膜される補償体成膜部位４ｂと、該発熱体成膜部位及
び補償体成膜部位を除いた部位であって基板４が支持さ
れる支持部位４ｃとを有し、かつ、スリット１０を有し
ている。また、図１の破線で図示されている部分は、基
板４を支持する支持体５(後述するもの)を示す仮想線で
ある。
膜される発熱体成膜部位４ａと、温度補償用抵抗体３が
成膜される補償体成膜部位４ｂと、該発熱体成膜部位及
び補償体成膜部位を除いた部位であって基板４が支持さ
れる支持部位４ｃとを有し、かつ、スリット１０を有し
ている。また、図１の破線で図示されている部分は、基
板４を支持する支持体５(後述するもの)を示す仮想線で
ある。
【００１５】また、発熱体成膜部位４ａ(発熱抵抗体
１，２)と、補償体成膜部位４ｂ(温度補償用抵抗体３)
との位置関係は、被測定流体としての空気流７の流れ方
向に対し、前後方向(上流と下流の位置関係)および左右
方向(流れに対し垂直方向の位置関係)にずれているもの
とする。すなわち、例えば図１に図示したように、発熱
体成膜部位４ａが下流・左側に配置されれば、補償体成
膜部位４ｂは上流・右側に配置されるというように、空
気流７の流れ方向に対し、前後左右に段違いでずれた位
置関係にあるものとする。これは、発熱抵抗体１，２と
温度補償用抵抗体３とが空気流７の流れ方向に対し重な
らないようにし、かつ、発熱抵抗体１，２と温度補償用
抵抗体３との間をできるだけ遠くに離し、熱絶縁の向上
を図るためである。
１，２)と、補償体成膜部位４ｂ(温度補償用抵抗体３)
との位置関係は、被測定流体としての空気流７の流れ方
向に対し、前後方向(上流と下流の位置関係)および左右
方向(流れに対し垂直方向の位置関係)にずれているもの
とする。すなわち、例えば図１に図示したように、発熱
体成膜部位４ａが下流・左側に配置されれば、補償体成
膜部位４ｂは上流・右側に配置されるというように、空
気流７の流れ方向に対し、前後左右に段違いでずれた位
置関係にあるものとする。これは、発熱抵抗体１，２と
温度補償用抵抗体３とが空気流７の流れ方向に対し重な
らないようにし、かつ、発熱抵抗体１，２と温度補償用
抵抗体３との間をできるだけ遠くに離し、熱絶縁の向上
を図るためである。
【００１６】更に、上記の段違いに且つずらして配置さ
れた発熱体成膜部位４ａと補償体成膜部位４ｂとの間
に、スリット１０を設ける。このスリット１０は、発熱
抵抗体１，２と温度補償用抵抗体３間をさらに隔離する
ので、さらに熱絶縁を良くし、逆流の時でも発熱抵抗体
１，２によって熱せられた逆流の空気が温度補償用抵抗
体３ａ，３ｂに熱影響を及ぼさず、精度の高い空気流量
の計測が可能となる。
れた発熱体成膜部位４ａと補償体成膜部位４ｂとの間
に、スリット１０を設ける。このスリット１０は、発熱
抵抗体１，２と温度補償用抵抗体３間をさらに隔離する
ので、さらに熱絶縁を良くし、逆流の時でも発熱抵抗体
１，２によって熱せられた逆流の空気が温度補償用抵抗
体３ａ，３ｂに熱影響を及ぼさず、精度の高い空気流量
の計測が可能となる。
【００１７】この場合、スリット１０を、 図１に示す
破線で図示されている支持部位４ｃ(即ち、支持体５)の
境界４０に達するまで、流れ方向の左右方向に延長する
ことによって、基板４を介し伝達される発熱抵抗体１，
２の熱が、支持体５(破線で図示されている部分)の方へ
放熱されるので、温度補償用抵抗体３ａ，３ｂへの熱影
響が低減され、さらに測定精度を向上させることができ
る。これは、余分な基板縁による熱移動が無くなり、熱
伝達路が遮断されるからである。
破線で図示されている支持部位４ｃ(即ち、支持体５)の
境界４０に達するまで、流れ方向の左右方向に延長する
ことによって、基板４を介し伝達される発熱抵抗体１，
２の熱が、支持体５(破線で図示されている部分)の方へ
放熱されるので、温度補償用抵抗体３ａ，３ｂへの熱影
響が低減され、さらに測定精度を向上させることができ
る。これは、余分な基板縁による熱移動が無くなり、熱
伝達路が遮断されるからである。
【００１８】なお、図１に示すようにスリット１０の延
長は、支持部位４ｃの境界４０を越えて延長され、支持
体５(の下)に重なっていることが、支持体５への放熱
上、ならびにスリットを起点として基板４が割れること
が回避されるという耐強度上からも望ましいと言える。
長は、支持部位４ｃの境界４０を越えて延長され、支持
体５(の下)に重なっていることが、支持体５への放熱
上、ならびにスリットを起点として基板４が割れること
が回避されるという耐強度上からも望ましいと言える。
【００１９】一方、抵抗体１，２，３および電極端子６
が形成された基板４は、支持体５によって、機械的に支
持されると共に、図示されていない外部回路９と電極端
子６とが電気的に接続されるように、一方端支持され
る。換言すれば、この熱式空気流量計用測定素子が実装
される時、支持体５即ち支持体５と重なっている支持部
位４ｃによって、基板４は支持される。
が形成された基板４は、支持体５によって、機械的に支
持されると共に、図示されていない外部回路９と電極端
子６とが電気的に接続されるように、一方端支持され
る。換言すれば、この熱式空気流量計用測定素子が実装
される時、支持体５即ち支持体５と重なっている支持部
位４ｃによって、基板４は支持される。
【００２０】さらに、支持部位４ｃは、空気流７の流れ
方向に対し左右方向のどちらか一方の基板４の一方端に
位置し、該一方端に複数の電極端子６ａ〜６ｆが成膜さ
れているものである。そして、この一方端支持の構造
は、従来の二方端支持の構造に比べ、外部回路との接続
が一方向で済むので、電気的接続の簡略化に結び付くも
のである。
方向に対し左右方向のどちらか一方の基板４の一方端に
位置し、該一方端に複数の電極端子６ａ〜６ｆが成膜さ
れているものである。そして、この一方端支持の構造
は、従来の二方端支持の構造に比べ、外部回路との接続
が一方向で済むので、電気的接続の簡略化に結び付くも
のである。
【００２１】図２は、図１の発熱抵抗体の薄膜パターン
を示す拡大図である。図３は、図１の温度補償用抵抗体
の薄膜パターンを示す拡大図である。図２において、被
測定流体としての空気流７の流れ方向に並設され基板４
の発熱体成膜部位４ａに成膜された一対の発熱抵抗体
１，２が示され、図３において、空気流７の流れ方向に
並設され補償体成膜部位４ｂに成膜された一対の温度補
償用抵抗体３ａ，３ｂが示されている。
を示す拡大図である。図３は、図１の温度補償用抵抗体
の薄膜パターンを示す拡大図である。図２において、被
測定流体としての空気流７の流れ方向に並設され基板４
の発熱体成膜部位４ａに成膜された一対の発熱抵抗体
１，２が示され、図３において、空気流７の流れ方向に
並設され補償体成膜部位４ｂに成膜された一対の温度補
償用抵抗体３ａ，３ｂが示されている。
【００２２】従って、図１〜図３に示した熱式空気流量
計用測定素子の構成を換言すれば、被測定流体の流れ方
向に並設され基板の発熱体成膜部位に成膜された一対の
発熱抵抗体と、補償体成膜部位に成膜された一対の温度
補償用抵抗体と、それぞれの発熱抵抗体及び温度補償用
抵抗体から電気的信号を取り出すために、発熱体成膜部
位及び補償体成膜部位を除いた部位であって基板が支持
される支持部位に成膜された複数の電極端子とから構成
されたものであって、発熱体成膜部位と補償体成膜部位
とは、被測定流体の流れ方向に対し、前後方向に段違い
に配置され、かつ、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体とが
流れ方向に対し重ならないよう、流れ方向の左右方向に
ずらして配置され、支持部位は、基板の一方端に位置
し、該一方端に複数の電極端子が成膜されている熱式空
気流量計用測定素子ということになる。
計用測定素子の構成を換言すれば、被測定流体の流れ方
向に並設され基板の発熱体成膜部位に成膜された一対の
発熱抵抗体と、補償体成膜部位に成膜された一対の温度
補償用抵抗体と、それぞれの発熱抵抗体及び温度補償用
抵抗体から電気的信号を取り出すために、発熱体成膜部
位及び補償体成膜部位を除いた部位であって基板が支持
される支持部位に成膜された複数の電極端子とから構成
されたものであって、発熱体成膜部位と補償体成膜部位
とは、被測定流体の流れ方向に対し、前後方向に段違い
に配置され、かつ、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体とが
流れ方向に対し重ならないよう、流れ方向の左右方向に
ずらして配置され、支持部位は、基板の一方端に位置
し、該一方端に複数の電極端子が成膜されている熱式空
気流量計用測定素子ということになる。
【００２３】ここで、基板４は、アルミナ等のセラミッ
クより成り、応答速度を高めるために、0.05ｍｍから0.
15ｍｍの極めて薄い厚みのものから選択される。発熱抵
抗体１，２および温度補償用抵抗体３は、白金薄膜より
成り、スパッタ、蒸着などの方法により、0.1ミクロン
から 2ミクロンの膜厚で、一括して基板４上に着膜され
る。その後、ホトエッチングなどの方法により、図３、
４に示した形状に形成される。なお、「一括して」と
は、同一材料を用いて同一工程の同一製造条件で同一膜
厚に成膜することを意味している。すなわち、図１に示
した実施例では、発熱抵抗体１，２および温度補償用抵
抗体３ａ，３ｂは、基板４上に、同一材料を用いて同一
工程の同一製造条件で同一膜厚に成膜される。これによ
って、発熱抵抗体１，２および温度補償用抵抗体３ａ，
３ｂの電気抵抗の温度係数が同じになるので、各抵抗体
間の温度特性のばらつきが低減でき、この点からも計測
精度が向上する。
クより成り、応答速度を高めるために、0.05ｍｍから0.
15ｍｍの極めて薄い厚みのものから選択される。発熱抵
抗体１，２および温度補償用抵抗体３は、白金薄膜より
成り、スパッタ、蒸着などの方法により、0.1ミクロン
から 2ミクロンの膜厚で、一括して基板４上に着膜され
る。その後、ホトエッチングなどの方法により、図３、
４に示した形状に形成される。なお、「一括して」と
は、同一材料を用いて同一工程の同一製造条件で同一膜
厚に成膜することを意味している。すなわち、図１に示
した実施例では、発熱抵抗体１，２および温度補償用抵
抗体３ａ，３ｂは、基板４上に、同一材料を用いて同一
工程の同一製造条件で同一膜厚に成膜される。これによ
って、発熱抵抗体１，２および温度補償用抵抗体３ａ，
３ｂの電気抵抗の温度係数が同じになるので、各抵抗体
間の温度特性のばらつきが低減でき、この点からも計測
精度が向上する。
【００２４】そして、発熱抵抗体１，２と温度補償用抵
抗体３ａ，３ｂとを接続するための電極端子６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ及びリード線３０は、電気
抵抗を少なくするために、抵抗体１，２，３の白金薄膜
より厚い白金−銀合金等の厚膜を、該白金薄膜上に印刷
等の方法で形成する。また、抵抗体１，２，３上には、
アルミナ、二酸化ケイ素、ガラス等からなる保護膜(図
示していないもの)が形成される。スリット１０は、レ
ーザー加工等の方法で形成される。
抗体３ａ，３ｂとを接続するための電極端子６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ及びリード線３０は、電気
抵抗を少なくするために、抵抗体１，２，３の白金薄膜
より厚い白金−銀合金等の厚膜を、該白金薄膜上に印刷
等の方法で形成する。また、抵抗体１，２，３上には、
アルミナ、二酸化ケイ素、ガラス等からなる保護膜(図
示していないもの)が形成される。スリット１０は、レ
ーザー加工等の方法で形成される。
【００２５】図４は、図１の熱式空気流量計用測定素子
を実装した実施例を示す断面図である。例えば、内燃機
関の吸気通路に実装した熱式空気流量計の実施例を示す
断面図である。熱式空気流量計は、図のように、抵抗体
１，２，３と、支持体５と、外部回路９とを含み構成さ
れる。そして吸気通路８の内部にある副通路２７に、抵
抗体１，２，３が配置される。外部回路９は支持体５を
介して抵抗体１，２，３と電気的に接続されている。
を実装した実施例を示す断面図である。例えば、内燃機
関の吸気通路に実装した熱式空気流量計の実施例を示す
断面図である。熱式空気流量計は、図のように、抵抗体
１，２，３と、支持体５と、外部回路９とを含み構成さ
れる。そして吸気通路８の内部にある副通路２７に、抵
抗体１，２，３が配置される。外部回路９は支持体５を
介して抵抗体１，２，３と電気的に接続されている。
【００２６】図５は、外部回路９と抵抗体１，２，３
ａ，３ｂの電気回路を示す図である。図５を参照し、本
発明の実施例の動作について説明する。熱線駆動回路１
１，１２は、それぞれ独立した回路であり、電源１７に
接続され、別々に空気流量に応じた信号を出力する。熱
線駆動回路１１は、発熱抵抗体１、温度補償用抵抗体３
ａ、抵抗１８，１９からなるホイーストンブリッジ回路
により、ブリッジ中点の電位差が零になるように差動増
幅器２０、トランジスタ２１によって発熱抵抗体１に流
れる電流を調整するよう構成される。この構成により空
気流速によらず発熱抵抗体１の抵抗値は一定に、即ち、
温度が一定値になるよう制御される。
ａ，３ｂの電気回路を示す図である。図５を参照し、本
発明の実施例の動作について説明する。熱線駆動回路１
１，１２は、それぞれ独立した回路であり、電源１７に
接続され、別々に空気流量に応じた信号を出力する。熱
線駆動回路１１は、発熱抵抗体１、温度補償用抵抗体３
ａ、抵抗１８，１９からなるホイーストンブリッジ回路
により、ブリッジ中点の電位差が零になるように差動増
幅器２０、トランジスタ２１によって発熱抵抗体１に流
れる電流を調整するよう構成される。この構成により空
気流速によらず発熱抵抗体１の抵抗値は一定に、即ち、
温度が一定値になるよう制御される。
【００２７】このとき、発熱抵抗体１による空気流速に
対応する信号は、図中Ａ点の電位である。また熱線駆動
回路１２の発熱抵抗体２も同様であり、発熱抵抗体２に
よる空気流速に対応する信号は、図中Ｂ点の電位であ
る。発熱抵抗体１，２は、自動車等の内燃機関の吸気通
路内に図２に示すように設けられ、例えば、吸気上流側
には発熱抵抗体１が、吸気下流側には発熱抵抗体２が設
けられ、近接して配置される。発熱抵抗体１，２の温度
は、通常の定温度型熱式流速計と同様に、空気温度との
差が空気流速に関係なく一定値になるように、熱線駆動
回路１１，１２により電気加熱される。
対応する信号は、図中Ａ点の電位である。また熱線駆動
回路１２の発熱抵抗体２も同様であり、発熱抵抗体２に
よる空気流速に対応する信号は、図中Ｂ点の電位であ
る。発熱抵抗体１，２は、自動車等の内燃機関の吸気通
路内に図２に示すように設けられ、例えば、吸気上流側
には発熱抵抗体１が、吸気下流側には発熱抵抗体２が設
けられ、近接して配置される。発熱抵抗体１，２の温度
は、通常の定温度型熱式流速計と同様に、空気温度との
差が空気流速に関係なく一定値になるように、熱線駆動
回路１１，１２により電気加熱される。
【００２８】まず、吸気上流側から下流側の順方向に空
気が流れるときは、発熱抵抗体１は発熱抵抗体２に比べ
て空気流による冷却が大であるので、熱線駆動回路１１
からの供給電流は発熱抵抗体１の方が大となる。一方、
吸気下流側から上流側の逆方向に空気が流れるときは、
空気流による冷却は前と逆に発熱抵抗体２の方が大とな
り、熱線駆動回路１２からの供給電流は発熱抵抗体２の
方が大となる。
気が流れるときは、発熱抵抗体１は発熱抵抗体２に比べ
て空気流による冷却が大であるので、熱線駆動回路１１
からの供給電流は発熱抵抗体１の方が大となる。一方、
吸気下流側から上流側の逆方向に空気が流れるときは、
空気流による冷却は前と逆に発熱抵抗体２の方が大とな
り、熱線駆動回路１２からの供給電流は発熱抵抗体２の
方が大となる。
【００２９】従って、発熱抵抗体１，２への供給電流の
大小の差により、空気流の方向を検知することができ
る。イコライザ回路１３，１４は、発熱抵抗体１，２の
それぞれの空気流量に応じた出力を電気的に周波数応答
性を改善し、電圧比較器１５によりイコライザ回路１
３，１４の出力の大小の差により空気流の方向を検知す
ると共に、スイッチ回路１６によりイコライザ回路１
３，１４の出力を切り替えて逆流誤差の少ない流量信号
として出力するためのものである。
大小の差により、空気流の方向を検知することができ
る。イコライザ回路１３，１４は、発熱抵抗体１，２の
それぞれの空気流量に応じた出力を電気的に周波数応答
性を改善し、電圧比較器１５によりイコライザ回路１
３，１４の出力の大小の差により空気流の方向を検知す
ると共に、スイッチ回路１６によりイコライザ回路１
３，１４の出力を切り替えて逆流誤差の少ない流量信号
として出力するためのものである。
【００３０】次に、図６は、熱式空気流量計の動作を説
明する図である。図により動作について詳説する。ここ
での熱線信号は、全て空気流量に換算し表示している。
一般に空気流量は、４気筒以下のエンジンの低回転数・
重負荷時の場合、吸入空気量の脈動振幅が大きく図６
(ａ)に示すように、逆流と呼ぶ負の空気流量を伴う正弦
波に近い波形となる。これは例えば、エンジン回転数が
1000ｒｐｍの場合は、約３３Ｈｚの脈動周波数となる。
このような現象は、エンジンの燃焼室形状、吸排気管形
状およびエアークリーナ形状などによって異なった形態
を示す。この逆流を伴った脈動流を応答性の速い理想的
な熱線プローブを用いた場合、図６(ｂ)に示すように順
流、逆流の方向に関係なく流速の絶対値に対応した正の
信号を出力する。
明する図である。図により動作について詳説する。ここ
での熱線信号は、全て空気流量に換算し表示している。
一般に空気流量は、４気筒以下のエンジンの低回転数・
重負荷時の場合、吸入空気量の脈動振幅が大きく図６
(ａ)に示すように、逆流と呼ぶ負の空気流量を伴う正弦
波に近い波形となる。これは例えば、エンジン回転数が
1000ｒｐｍの場合は、約３３Ｈｚの脈動周波数となる。
このような現象は、エンジンの燃焼室形状、吸排気管形
状およびエアークリーナ形状などによって異なった形態
を示す。この逆流を伴った脈動流を応答性の速い理想的
な熱線プローブを用いた場合、図６(ｂ)に示すように順
流、逆流の方向に関係なく流速の絶対値に対応した正の
信号を出力する。
【００３１】実際の熱線プローブでは、図６(ｃ)に示す
ような応答遅れが生じることから、順流と逆流の切り替
え時において熱線信号は零とならない信号を出力する。
また吸気上流側に配置された抵抗発熱体１の出力Ａは、
順流時は大きく逆流時は小さい。逆に吸気下流側に配置
された抵抗発熱体２の出力Ｂは、逆流時は大きく順流時
は小さい。これら２つの信号を電圧比較器１５で比較し
た結果は、図６(ｄ)に示すような順流を示す高電位レベ
ル(Ｈi)、逆流を示す低電位レベル(Ｌow)を繰り返す。
スイッチ回路１６によって、方向信号を用いて順逆の切
り替えをして逆流補正した熱線信号は、図６(ｅ)に示す
ような逆流を伴う合成波形となる。
ような応答遅れが生じることから、順流と逆流の切り替
え時において熱線信号は零とならない信号を出力する。
また吸気上流側に配置された抵抗発熱体１の出力Ａは、
順流時は大きく逆流時は小さい。逆に吸気下流側に配置
された抵抗発熱体２の出力Ｂは、逆流時は大きく順流時
は小さい。これら２つの信号を電圧比較器１５で比較し
た結果は、図６(ｄ)に示すような順流を示す高電位レベ
ル(Ｈi)、逆流を示す低電位レベル(Ｌow)を繰り返す。
スイッチ回路１６によって、方向信号を用いて順逆の切
り替えをして逆流補正した熱線信号は、図６(ｅ)に示す
ような逆流を伴う合成波形となる。
【００３２】ただし、真の空気流量に対して位相がず
れ、空気流量が零付近での波形に飛びが生じるため、平
均空気流量を比較すると、方向信号を用いて合成しただ
けでは誤差が生ずる。更に、イコライザ回路１３，１４
を採用することにより電気的に応答遅れを回復でき、図
６(ｆ)に示すような信号となる。応答遅れを回復した順
逆２つの熱線信号出力Ａ２，Ｂ２は、位相と振幅が真の
空気流量に近くなるように、イコライザ回路１３，１４
で調整され、図６(ｇ)に示すような真の空気流量そのも
のに近い逆流補正した熱線信号を得ることができ、平均
空気流量の誤差を非常に小さくすることができる。
れ、空気流量が零付近での波形に飛びが生じるため、平
均空気流量を比較すると、方向信号を用いて合成しただ
けでは誤差が生ずる。更に、イコライザ回路１３，１４
を採用することにより電気的に応答遅れを回復でき、図
６(ｆ)に示すような信号となる。応答遅れを回復した順
逆２つの熱線信号出力Ａ２，Ｂ２は、位相と振幅が真の
空気流量に近くなるように、イコライザ回路１３，１４
で調整され、図６(ｇ)に示すような真の空気流量そのも
のに近い逆流補正した熱線信号を得ることができ、平均
空気流量の誤差を非常に小さくすることができる。
【００３３】ところで、基板４を一方端支持の構造とす
ると同時に、図５のブリッジ回路に示す回路の接続点で
ある電極端子６ａ，６ｄにおいて、図１に示すように、
電極端子６ａにおいて、発熱抵抗体２の一端と温度補償
用抵抗体３ｂの一端が接続され、電極端子６ｄにおい
て、発熱抵抗体１の一端と温度補償用抵抗体３ａの一端
が接続される。
ると同時に、図５のブリッジ回路に示す回路の接続点で
ある電極端子６ａ，６ｄにおいて、図１に示すように、
電極端子６ａにおいて、発熱抵抗体２の一端と温度補償
用抵抗体３ｂの一端が接続され、電極端子６ｄにおい
て、発熱抵抗体１の一端と温度補償用抵抗体３ａの一端
が接続される。
【００３４】すなわち、電極端子６ａ〜６ｆのうち、一
方の発熱抵抗体２の一端と一方の温度補償用抵抗体３ｂ
の一端に電気的に接続された１組の共用電極端子として
の電極端子６ａと、他方の発熱抵抗体１の一端と他方の
温度補償用抵抗体３ａの一端に電気的に接続された１組
の共用電極端子としての電極端子６ｄとからなる、２組
の共用電極端子を設けることにより、従来の８個の電極
端子から６個に低減できる。これによって、前述の一方
向接続(一方端での電気的接続)と合わせ、外部回路９と
測定素子との電気的接続の簡略化が図られる。同時に、
電極端子の基板占有面積が小さくなるために素子取り数
が増え、コスト低減に繋がる。
方の発熱抵抗体２の一端と一方の温度補償用抵抗体３ｂ
の一端に電気的に接続された１組の共用電極端子として
の電極端子６ａと、他方の発熱抵抗体１の一端と他方の
温度補償用抵抗体３ａの一端に電気的に接続された１組
の共用電極端子としての電極端子６ｄとからなる、２組
の共用電極端子を設けることにより、従来の８個の電極
端子から６個に低減できる。これによって、前述の一方
向接続(一方端での電気的接続)と合わせ、外部回路９と
測定素子との電気的接続の簡略化が図られる。同時に、
電極端子の基板占有面積が小さくなるために素子取り数
が増え、コスト低減に繋がる。
【００３５】図７は、素子取りの一実施例を示す図であ
る。前述した段差のある基板であっても、図示のように
して段差を確保しつつ素子取りすることができる。この
ように段差を確保し、抵抗体同志の熱絶縁を向上するも
のである。
る。前述した段差のある基板であっても、図示のように
して段差を確保しつつ素子取りすることができる。この
ように段差を確保し、抵抗体同志の熱絶縁を向上するも
のである。
【００３６】また、本実施例では回路にイコライザ回路
を適用しているが、十分に応答速度の早い抵抗素子の場
合には必ずしもイコライザ回路を適用する必要はない。
さらに、本実施例では温度補償用抵抗体３を発熱抵抗体
１、２の上流側に配置しているが、温度補償用抵抗体３
は発熱抵抗体１，２に対して段差を構成しているので下
流側に配置しても本発明の効果に変わりはない。
を適用しているが、十分に応答速度の早い抵抗素子の場
合には必ずしもイコライザ回路を適用する必要はない。
さらに、本実施例では温度補償用抵抗体３を発熱抵抗体
１、２の上流側に配置しているが、温度補償用抵抗体３
は発熱抵抗体１，２に対して段差を構成しているので下
流側に配置しても本発明の効果に変わりはない。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、発熱抵抗体からの熱絶
縁がより効果的に行えると共に、発熱抵抗体と温度補償
用抵抗体の電極端子を共用化し外部回路との接続が簡略
化されるので、高精度の空気流量計測が可能で且つ低コ
ストの熱式空気流量計用測定素子が提供できる。
縁がより効果的に行えると共に、発熱抵抗体と温度補償
用抵抗体の電極端子を共用化し外部回路との接続が簡略
化されるので、高精度の空気流量計測が可能で且つ低コ
ストの熱式空気流量計用測定素子が提供できる。
【図１】本発明による一実施例の熱式空気流量計用測定
素子を示す平面図である。
素子を示す平面図である。
【図２】図１の発熱抵抗体の薄膜パターンを示す拡大図
である。
である。
【図３】図１の温度補償用抵抗体の薄膜パターンを示す
拡大図である。
拡大図である。
【図４】図１の熱式空気流量計用測定素子を実装した実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図５】外部回路９と抵抗体１，２，３ａ，３ｂの電気
回路を示す図である。
回路を示す図である。
【図６】熱式空気流量計の動作を説明する図である。
【図７】素子取りの一実施例を示す図である。
【図８】従来の熱式空気流量計用測定素子を示す平面図
である。
である。
１，２…発熱抵抗体、３，３ａ，３ｂ…温度補償用抵抗
体、４…基板、４ａ…発熱体成膜部位、４ｂ…補償体成
膜部位、４ｃ…支持部位、５…支持体、６，６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ…電極端子、７…空気流、
８…吸気通路、９…外部回路、１０…スリット、１１，
１２…熱線駆動回路、１３，１４…イコライザ回路、１
５，２０，２４…差動増幅器、１６…スイッチ回路、１
７…電源、１８，１９，２２，２３、…抵抗、２１，２
５…トランジスタ、２７…副通路、３０…リード線、４
０…境界
体、４…基板、４ａ…発熱体成膜部位、４ｂ…補償体成
膜部位、４ｃ…支持部位、５…支持体、６，６ａ，６
ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ…電極端子、７…空気流、
８…吸気通路、９…外部回路、１０…スリット、１１，
１２…熱線駆動回路、１３，１４…イコライザ回路、１
５，２０，２４…差動増幅器、１６…スイッチ回路、１
７…電源、１８，１９，２２，２３、…抵抗、２１，２
５…トランジスタ、２７…副通路、３０…リード線、４
０…境界
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内山 薫 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内 (72)発明者 渡辺 泉 茨城県ひたちなか市大字高場字鹿島谷津 2477番地３日立オートモティブエンジニア リング株式会社内 (72)発明者 磯野 忠 茨城県ひたちなか市大字高場字鹿島谷津 2477番地３日立オートモティブエンジニア リング株式会社内 (72)発明者 中右 利彦 茨城県ひたちなか市大字高場字鹿島谷津 2477番地３日立オートモティブエンジニア リング株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】被測定流体の流れ方向に並設され基板の発
熱体成膜部位に成膜された一対の発熱抵抗体と、 前記基板の補償体成膜部位に成膜された一対の温度補償
用抵抗体と、 それぞれの前記発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体から電
気的信号を取り出すために、前記発熱体成膜部位及び補
償体成膜部位を除いた部位であって前記基板が支持され
る支持部位に成膜された複数の電極端子とから、 前記被測定流体の流量を検出する検出回路が構成された
熱式空気流量計用測定素子において、 前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部位とは、前記被
測定流体の流れ方向に対し上流側と下流側(前後方向)に
段違いに配置され、かつ、前記発熱抵抗体と前記温度補
償用抵抗体とが前記流れ方向に対し重ならないよう、前
記流れ方向の垂直方向(左右方向)にずらして配置され、 前記支持部位は、前記基板の一方端に位置し、該一方端
に前記複数の電極端子が成膜されていることを特徴とす
る熱式空気流量計用測定素子。 - 【請求項２】請求項１において、前後左右に段違いに且
つずらして配置された前記発熱体成膜部位と前記補償体
成膜部位との間に、スリットを設けたことを特徴とする
熱式空気流量計用測定素子。 - 【請求項３】請求項２において、前記スリットは、前記
支持部位に達するまで前記左右方向に延長されているこ
とを特徴とする熱式空気流量計用測定素子。 - 【請求項４】請求項１ないし請求項３において、前記複
数の電極端子のうち、一方の前記発熱抵抗体の一端と一
方の前記温度補償用抵抗体の一端に電気的に接続されて
前記電極端子を共用する１組の共用電極端子と、他方の
前記発熱抵抗体の一端と他方の前記温度補償用抵抗体の
一端に電気的に接続されて前記電極端子を共用する１組
の共用電極端子の、２組の該共用電極端子を設けたこと
を特徴とする熱式空気流量計用測定素子。 - 【請求項５】請求項１ないし請求項４において、前記発
熱抵抗体及び温度補償用抵抗体は、同一材料を用いて同
一工程の同一製造条件で同一膜厚に成膜されたことを特
徴とする熱式空気流量計用測定素子。 - 【請求項６】請求項１ないし請求項５記載の熱式空気流
量計用測定素子を含み、被測定流体の流量を測定するこ
とを特徴とする熱式空気流量計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7121154A JPH08313320A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 |
| DE19619910A DE19619910C2 (de) | 1995-05-19 | 1996-05-17 | Meßelement für einen Massenluftstromsensor und Massenluftstromsensor, der das Meßelement verwendet |
| US08/649,177 US5708205A (en) | 1995-05-19 | 1996-05-17 | Measuring element for a mass air flow sensor and mass air flow sensor using the measuring element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7121154A JPH08313320A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313320A true JPH08313320A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14804194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7121154A Pending JPH08313320A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5708205A (ja) |
| JP (1) | JPH08313320A (ja) |
| DE (1) | DE19619910C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018105753A3 (ja) * | 2017-05-08 | 2018-08-09 | 株式会社村田製作所 | センサ基板、風速測定装置および風量測定装置 |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3361708B2 (ja) * | 1997-01-10 | 2003-01-07 | 株式会社日立製作所 | 空気流量計測装置用測定素子及びそれを備えた空気流量計測装置 |
| JPH11125550A (ja) * | 1997-10-22 | 1999-05-11 | Ricoh Co Ltd | センサ |
| JP3658170B2 (ja) * | 1998-01-19 | 2005-06-08 | 三菱電機株式会社 | 流量センサ |
| DE19808248A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Pierburg Ag | Meßvorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| JP3455473B2 (ja) * | 1999-07-14 | 2003-10-14 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| US6477901B1 (en) * | 1999-12-21 | 2002-11-12 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Micromachined fluidic apparatus |
| JP2001272260A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 質量流量センサ及びそれを用いた質量流量計 |
| JP4101518B2 (ja) * | 2000-05-02 | 2008-06-18 | 株式会社日立製作所 | 空気流量計 |
| US6516785B1 (en) * | 2000-07-27 | 2003-02-11 | Hitachi, Ltd. | Air flow sensor |
| DE10065723A1 (de) * | 2000-12-29 | 2002-07-04 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zur Temperaturmessung und -regelung |
| US6776817B2 (en) | 2001-11-26 | 2004-08-17 | Honeywell International Inc. | Airflow sensor, system and method for detecting airflow within an air handling system |
| US7009829B2 (en) * | 2002-11-26 | 2006-03-07 | Honeywell International Inc. | System, apparatus, and method for controlling lamp operation when subject to thermal cycling |
| US6819060B2 (en) * | 2002-11-26 | 2004-11-16 | Honeywell International Inc. | Power line monitor and interrupt arrangement for averting premature lamp mortality in low voltage conditions |
| US7912904B2 (en) * | 2004-03-31 | 2011-03-22 | Google Inc. | Email system with conversation-centric user interface |
| DE102004058553A1 (de) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung des Durchflusses eines Messmediums |
| JP4975972B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2012-07-11 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量センサ |
| DE102005025787B3 (de) * | 2005-06-04 | 2007-01-04 | Diehl Ako Stiftung & Co. Kg | Dunstabzugshaube und Verfahren zum Steuern einer Dunstabzugshaube |
| DE102005063350B4 (de) * | 2005-06-04 | 2008-04-24 | Diehl Ako Stiftung & Co. Kg | Dunstabzugshaube |
| JP4845440B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-12-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計測装置 |
| JP2007139672A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Yazaki Corp | 流体計測装置及び流体計測方法 |
| JP2008292361A (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Denso Corp | 流量測定装置 |
| BRPI0820148A2 (pt) * | 2008-01-31 | 2015-05-12 | Hewlett Packard Development Co | Sistema de aberturas, sistema de computador e método para usinar aberturas |
| US20160003975A1 (en) * | 2013-02-22 | 2016-01-07 | Vaisala Oyj | A radiosonde and a method for atmospheric measurements performed at an elevated temperature |
| JP6372097B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2018-08-15 | 株式会社リコー | 検出装置、検出回路、センサモジュール及び画像形成装置 |
| JP6842622B2 (ja) * | 2015-11-18 | 2021-03-17 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | フローセンサ及びその製造方法 |
| JP7095507B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-07-05 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
| JP7127441B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-08-30 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置及び流量計測装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0752124B2 (ja) * | 1985-06-26 | 1995-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 赤外線検出素子 |
| JPS6273124A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-03 | Mitsubishi Electric Corp | 熱式流量検出器 |
| JPH01185416A (ja) * | 1988-01-20 | 1989-07-25 | Mitsubishi Electric Corp | 内燃機関用熱式流量計 |
| DE4115040A1 (de) * | 1991-05-08 | 1992-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Messelement |
| DE4139631C1 (en) * | 1991-11-30 | 1993-03-11 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | Measuring element for intake air flowmeter of IC engine - has slot in substrate board separating film resistors |
| US5231878A (en) * | 1991-12-23 | 1993-08-03 | Ford Motor Company | Mass air flow sensor |
| DE4308227C2 (de) * | 1993-03-16 | 1996-02-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung der Masse eines strömenden Mediums |
-
1995
- 1995-05-19 JP JP7121154A patent/JPH08313320A/ja active Pending
-
1996
- 1996-05-17 US US08/649,177 patent/US5708205A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-17 DE DE19619910A patent/DE19619910C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018105753A3 (ja) * | 2017-05-08 | 2018-08-09 | 株式会社村田製作所 | センサ基板、風速測定装置および風量測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19619910A1 (de) | 1996-12-19 |
| DE19619910C2 (de) | 2002-02-21 |
| US5708205A (en) | 1998-01-13 |
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