JPH0831365A - 電子顕微鏡像記録読取方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子顕微鏡像記録読取方法および装置におい
て、試料の構造、組識を観察できる最低の電子線量を定
量的に求めることができるようにする。 【構成】 試料を透過した所定量の低い電子線により試
料を表す電子顕微鏡像を蓄積性蛍光体シートに蓄積記録
し、シートを光電的に走査することにより電子顕微鏡像
を表す画像信号を得る。次いでこの画像信号の代表値Ｈ
₁ および試料に照射された電子線量Ｎ₁ を求め、値ｋ₁
＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁ を求め、これに基づいて電子線量Ｎ₂ の
電子線を照射したときの画像信号の代表値をＨ₂ とした
ときに値Ｈ₂ ／√Ｎ₂ が予め定められた所定値ｋ₂ 以上
となるような電子線量Ｎ₂ を求める。電子線量Ｎ₂ の電
子線を再度試料に照射して試料の電子顕微鏡像を蓄積性
蛍光体シートに蓄積記録し、試料の電子顕微鏡像を表す
画像信号を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡像を記録
し、読み取る方法および装置に関するものであり、とく
に詳細には、蓄積性蛍光体シートに電子顕微鏡像を蓄積
記録して、この蓄積性蛍光体シートから電子顕微鏡像を
表す画像信号を得る電子顕微鏡像記録読取方法および装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、試料を透過させた電子線を電
界あるいは磁界によって屈折させて、試料の拡大像を得
る電子顕微鏡が周知となっている。この電子顕微鏡にお
いては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦
点面に試料の回折パターンが形成され、その回折波が再
び干渉して試料の拡大像が形成されるようになってい
る。したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれ
ば試料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦点
面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察さ
れる。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズ
を配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。

【０００３】上述のようにして形成される拡大像あるい
は回折パターン（以下、一括して透過電子線像と称す
る）を観察するため従来は一般に、投影レンズの結像面
に写真フィルムを配して透過電子線像を露光させたり、
あるいはイメージインテンシファイアを配して透過電子
線像を増幅投影するようにしたり、あるいは蛍光板を配
して透過電子線像を可視化しテレビカメラで撮影したり
していた。しかし写真フィルムは電子線に対して感度が
低い上現像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イ
メージインテンシファイアやテレビカメラを用いる場
合、画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいと
いう問題がある。

【０００４】また上記のような透過電子線像に対して
は、像を見易くする等の目的で階調処理、周波数強調処
理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理や、フ
ーリエ解析法による３次元像の再構成、画像の２値化お
よび粒子径測定等のための画像解析、さらには回折パタ
ーンの処理（結晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠
陥の解明等）等の処理が施されることが多いが、このよ
うな場合従来は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像
をミクロフォトメータで読み取って電気信号に変換し、
この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータ
により処理するという煩雑な作業を行なっていた。

【０００５】上記のような事情に鑑みて本出願人は、電
子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、しかも
各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する電気
信号が直接得られる、新しい電子顕微鏡像記録再生方法
を提案した（特開昭61-51738号、特開昭61-93539号
等）。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電子
線エネルギーを蓄積する蓄積性蛍光体シート等の２次元
センサに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いで該２次元センサに光照射あるいは加熱を行な
って蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放
出光を光電的に検出して画像信号を得、この画像信号を
用いて試料の透過電子線像を再生するものである。

【０００６】上記の２次元センサとは、電子線露出を受
けたときそのエネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄
積し、後に外部から刺激を与えると蓄積しているエネル
ギーの少なくとも一部を光、電気、音等の検出可能な形
態で放出する能力を持つ材料からなるものである。この
２次元センサとして具体的には、例えば特開昭55-12429
号公報等に示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用
いられうる。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放
射線を照射するとこの放射線のエネルギーの一部がその
蛍光体中に蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励
起光を照射すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光
体が蛍光（輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍
光体を蓄積性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体シートとは、
上記蓄積性蛍光体からなるシート状の記録体のことであ
り、一般に支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍
光体層とからなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適
当な結合剤中に分散させて形成したものであるが、この
蓄積性蛍光体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄
積性蛍光体シートとなりうる。なお、この蓄積性蛍光体
シートを形成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開
昭61-93537号に詳しく記載されている。

【０００７】上記電子顕微鏡像記録再生方法において
は、蓄積性蛍光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡
像を蓄積記録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感
度で記録することが可能になり、したがって電子顕微鏡
の電子線量を低減でき、試料の損傷を少なくすることが
できる。またこの方法においては電子顕微鏡像に階調処
理、周波数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容
易になり、また前述したような回折パターンの処理や、
３次元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記
電気信号をコンピュータに入力することにより、従来に
比べ極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように電子顕微鏡像を得る場合において、試料を保護
するために試料に照射する電子線量を低減することが行
われているが、電子線量を低減すればするほど、試料の
損傷の度合いは小さくなるが、その反面得られる電子顕
微鏡像の劣化が大きくなり、観察したい組識や構造が電
子顕微鏡像上で見ることができなくなってしまう。した
がって、電子顕微鏡像の撮影を行う際は、得られる電子
顕微鏡像を劣化させることのない最低の電子線の量をあ
らかじめ設定して撮影を行う必要があるが、この最低電
子線量の設定は従来撮影者の勘に頼るところが大きく、
適切な電子線量を求めることが困難であった。

【０００９】本発明は上記事情に鑑み、電子顕微鏡像を
劣化させることのない最低電子線量を定量的に求めるこ
とができる電子顕微鏡像記録読取方法および装置を提供
することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による電子顕微鏡
像記録読取方法は、電子線エネルギを蓄積する蓄積性蛍
光体シートに、試料を透過した所定量の電子線を照射す
ることにより試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録
し、次いで、シートに光を照射して、このシートに蓄積
記録されている電子線のエネルギを光として放出させ、
放出された放出光を光電的に読み取って電子顕微鏡像を
表す画像信号を得、得られた画像信号に基づいて、該画
像信号の代表値Ｈ₁ および試料に照射された電子線量Ｎ
₁ を求め、値ｋ₁ ＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁ を求め、さらに値ｋ₁
に基づいて、電子線量Ｎ₂ の電子線を照射したときの画
像信号の代表値をＨ₂ としたときに値Ｈ₂ ／√Ｎ₂ が予
め定められた所定値ｋ₂ 以上となるような電子線量Ｎ₂
を求め、そして、電子線量Ｎ₂ の電子線を再度試料に照
射して試料の電子顕微鏡像を蓄積性蛍光体シートに蓄積
記録し、次いで、前述したように蓄積性蛍光体シートに
蓄積記録された試料を表す画像信号を得るようにしたこ
とを特徴とするものである。

【００１１】ここで、所定量の電子線とは、電子線量Ｎ
₂ よりも十分に少ない量の電子線量をいい、具体的には
電子線量Ｎ₂ はある程度想定できるため、この想定され
た電子線量Ｎ₂ よりも十分に少ない量の電子線を所定量
の電子線とすればよい。また、画像信号の代表値とは、
例えば得られる画像信号の最大値と最小値との差、試料
を表す画像信号の平均値等の値をいう。

【００１２】また、本発明による電子顕微鏡像記録読取
装置は、本発明による電子顕微鏡像記録読取方法を実施
するためのものであり、蓄積性蛍光体シートに前述した
ように電子線エネルギを蓄積する蓄積性蛍光体シート
に、試料を透過した所定量の電子線を照射することによ
り試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録する記録手
段と、この記録手段により電子顕微鏡像が蓄積記録され
た蓄積性蛍光体シートに光を照射して、該シートに蓄積
記録されている前記電子線のエネルギを光として放出さ
せ、放出光を光電的に読み取って前記電子顕微鏡像を表
す画像信号を得る読取手段と、この読取手段により得ら
れた画像信号に基づいて、画像信号の代表値Ｈ₁ および
試料に照射された電子線量Ｎ₁ 、値ｋ₁ ＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁
を求め、値ｋ₁ に基づいて、電子線量Ｎ₂ の電子線を照
射したときの画像信号の代表値をＨ₂ としたときに値Ｈ
₂ ／√Ｎ₂ が予め定められた所定値ｋ₂ 以上となるよう
に電子線量Ｎ₂を算出する電子線量算出手段と、この電
子線量算出手段により算出された電子線量Ｎ₂ の電子線
を再度前記試料に照射するように記録手段を制御する制
御手段とからなることを特徴とするものである。

【００１３】

【作用および発明の効果】本発明による電子顕微鏡像記
録読取方法および装置は、まず試料を破壊しない十分に
少ない所定量の電子線により試料を表す画像信号を得、
この画像信号に基づいて画像信号の代表値Ｈ₁ および試
料に照射された電子線量Ｎ₁ を求め、値ｋ₁ ＝Ｈ₁ ／√
Ｎ₁ すなわち信号対ノイズ比を求め、電子線量と信号対
ノイズ比の二乗の値との関係が線形に変化することを利
用して、信号対ノイズ比が予め定められた値ｋ₂ 以上と
なるような電子線量Ｎ₂ を求め、この電子線量Ｎ₂ の電
子線を試料に再度照射して、この試料を表す画像信号を
得るようにしたものである。

【００１４】すなわち、電子線量と信号対ノイズ比の二
乗の値とが線形に変化することは以下のように証明され
る。まず、画像信号の代表値Ｈと試料に照射された電子
線量Ｎとの関係は、Ｈ＝ａ・Ｎと表すことができる。こ
こで、ａは試料、撮影条件等により異なる定数である。
また、信号対ノイズ比をｋ＝Ｈ／√Ｎとすると、 ｋ² ＝（Ｈ／√Ｎ）² ＝（ａ・Ｎ／√Ｎ）² ＝ａ² ・Ｎ となり、信号対ノイズ比の二乗は、電子線量Ｎとａ² を
比例定数として線形に変化する。したがって、まず所定
量の電子線を試料に照射して画像信号の代表値Ｈ₁ およ
び試料に照射された電子線量Ｎ₁ を求めるとともに値ｋ
₁ ＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁を求め、

【００１５】

【数１】

【００１６】と電子線量Ｎ₁ とから比例定数ａ² を求め
る。そして、ｋ² ＝ａ² ・Ｎの関係式から、予め定めら
れた値ｋ₂ をこの関係式に代入して電子線量Ｎ₂ が認め
られる。すなわち、電子線量Ｎ₂ は、

【００１７】

【数２】

【００１８】で表される。

【００１９】したがって、値ｋ₂ を得られる電子顕微鏡
像を劣化させることのない最低電子線量を得られる値に
設定しておくことにより、試料の組識や構造を十分観察
できる良好な画像が得られる電子線量を、撮影者の勘に
頼ることなく定量的に決定することができる。

【００２０】また、ｋ₂ を大きめの値に設定しておくこ
とにより、鮮鋭度の高い電子顕微鏡像が得られ、値ｋ₂
を小さめの値に設定しておくことにより、なめらかな電
子顕微鏡像を得ることができる。

【００２１】

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例について
説明する。

【００２２】図１は本発明の実施例による電子顕微鏡像
記録読取装置の概略を表す図である。図１に示すように
本発明の実施例による電子顕微鏡像記録読取装置１は、
通常の電子顕微鏡の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電
子顕微鏡像の記録時は電子線像の結像面と同一の真空系
に属するように配置された蓄積性蛍光体シート１０、こ
のシート１０を真空状態に置いたままで励起光で走査す
る励起手段およびシート１０から発せられる輝尽発光光
を光電的に検出する検出手段からなる記録読取部１ｂを
備えてなるものである。この鏡体部１ａおよび記録読取
部１ｂの１部（図中ハッチングで示した枠の内部）は、
電子顕微鏡の稼動中、周知の手段によって真空状態に保
持される。

【００２３】鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射
出する電子銃３と電子線２を試料面に絞り込む磁気レン
ズ、静電レンズ等からなる少なくとも１個の集束レンズ
４と試料台５と、この集束レンズ４と同様の対物レンズ
６と投影レンズ７とを有してなる。試料台５上に載置さ
れた試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６によ
り屈折され、試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この
拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像
投影される（図中の８ｂ）。なお、ここで電子銃３より
発せられる電子線の量は、試料を破壊しないように十分
低くされている。

【００２４】一方、記録読取部１ｂは、円筒形の駆動ロ
ーラ１０１と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわ
たしたエンドレスベルト状の蓄積性蛍光体シート１０、
Ｈｅ−Ｎｅレーザ管等の励起光源１１と励起光源１１か
ら放出される励起光ビーム１１ａをシート１０の幅方向
に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向器１２か
らなる励起手段および励起光によってシート１０から発
せられる輝尽発光光を集光する集光体１４の射出端面に
設けられ、輝尽発光光を光電変換して電子顕微鏡像を表
す画像信号に変換するフォトマルチプライヤ１５からな
る検出手段を有している。エンドレスベルト状の蓄積性
蛍光体シート１０は可撓性に富むエンドレスベルト状の
支持体の表面に蓄積性蛍光体層を積層して形成されるも
のである。このシート１０は駆動ローラ１０１と従動ロ
ーラ１０２の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せず）
によって回転される駆動ローラ１０１により矢印Ａ方向
に回転可能である。

【００２５】本実施例では、エンドレスベルト状の蓄積
性蛍光体シート１０、これを移動させる駆動ローラ１０
１、従動ローラ１０２、集光体１４および光電変換器１
５を真空系内に配置してあるが、集光体１４をその端部
が器壁を貫いて真空系外に出るように配置すれば、光電
変換器１５を真空系外に設置することができる。

【００２６】鏡体部１ａと記録読取部１ｂの間に設けら
れているシャッター（図示せず）を開くと、記録箇所
（すなわち結像面９）に位置する蓄積性蛍光体シート１
０の部分に試料の拡大散乱像８ｂに対応する電子線エネ
ルギーが蓄積される。次いでシート１０のこの部分は駆
動ローラの回転により読取箇所へ移動される。本実施例
では外部に配置されたレーザ光源等の励起光源１１とガ
ルバノメータミラー等の光偏向器１２によりエンドレス
ベルト状の蓄積性蛍光体シート１０の幅方向を走査する
励起光ビーム１１ａを鉛ガラス等の透光性の壁部材１９
ａを通してこのシート１０に入射させる一方、このシー
ト１０を駆動ローラ１０１によって幅方向とは直角の方
向（矢印Ａ方向）へ移動させることにより、このシート
１０の画像記録部分を走査する。この励起光によって蓄
積性蛍光体シート１０から発生する輝尽発光光は集光体
１４の入射端面（シート１０に向けられた端面）から集
光体１４内に入射し、この中を全反射によって案内され
ながら射出端面に接続されたフォトマル１５で受光さ
れ、輝尽発光光量が光電的に読み取られる。

【００２７】フォトマルチプライヤ１５において輝尽発
光光を光電変換することにより得られた電子顕微鏡像を
表す画像信号Ｓ₁ は、電子線量算出手段４０に入力され
る。電子線量算出手段４０においては以下の処理がなさ
れる。まず、入力された画像信号Ｓ₁ に基づいて試料８
に照射された電子線量Ｎ₁ と画像信号Ｓ₁ の代表値Ｈ₁
が求められる。これは、例えば試料８が図２に示すよう
な細胞膜８Ａを有する細胞であった場合、図２中のＩ−
Ｉ線における信号値のプロファイルは図３に示すものと
なる。この図３に示すように線量の最大値が試料８に照
射された電子線量Ｎ₁ からプロファイルの極小点までの
値を画像信号Ｓ₁ の代表値Ｈ₁ として用いるものとす
る。

【００２８】このようにして電子線量Ｎ₁ と画像信号の
代表値Ｈ₁ が求められると、信号対ノイズ比を求めるた
めに、

【００２９】

【数３】

【００３０】なる演算を行い値ｋ₁ を求める。次いで値
ｋ₁ に基づいて、試料８に照射すべき電子線量の最適な
量を求める。すなわち、電子線による損傷を受け易い試
料を電子顕微鏡で観察する場合、電子線量を減らすほど
試料の損傷の度合いは小さくなるが、その反面像の劣化
が大きくなり、観察したい組識や構造が得られる画像上
に現れないことがある。したがって、得られる電子顕微
鏡像が観察に適するようにするための最低電子線量を求
める必要がある。本発明による電子顕微鏡像記録読取装
置における電子線量算出手段４０は、この最低電子線量
を求めるものである。

【００３１】まず、図４に示すように横軸に電子線量Ｎ
を、縦軸に信号対ノイズ比の二乗すなわち値ｋ² をと
り、電子線量Ｎ₁ および

【００３２】

【数４】

【００３３】となる点Ｐ₁ をプロットする。ここで、電
子線量Ｎに対する信号対ノイズ比ｋの二乗の値は線形に
変化することが分かっているため、原点０を通り、点Ｐ
₁ を通る直線をひくと、これがこの試料８における電子
線量Ｎと信号対ノイズ比ｋの二乗の関係を表すグラフと
なる。すなわち、代表値Ｈと電子線量Ｎとの関係はＨ＝
ａ・Ｎ（ａは試料、撮影条件によって異なる定数）とな
るため、

【００３４】

【数５】

【００３５】となる。よって、電子線量Ｎと信号対ノイ
ズ比ｋの二乗との関係は線形となるのである。

【００３６】次いで、値ｋ₂ により

【００３７】

【数６】

【００３８】となる電子線量Ｎ₂ を求める。すなわち、
図４に示すグラフにおいて

【００３９】

【数７】

【００４０】となる点Ｐ₂ を求めればその点Ｐ₂ におけ
る電子線量の値が求めるべき電子線量Ｎ₂ となる。ここ
で、値ｋ₂ は得られる電子顕微鏡像を劣化させることの
ない最低電子線量Ｎ₂ を求めるために予め定められた値
であり、値ｋ₂ の大小により得られる電子顕微鏡像のコ
ントラストが決定される。

【００４１】このようにして電子線量Ｎ₂ が求められる
と、この電子線量Ｎ₂ の情報が制御手段４１に入力さ
れ、制御手段４１は電子線量Ｎ₂ の電子線を発するよう
に電子銃３を制御する。これにより、電子銃３からは電
子線量Ｎ₂ の電子線が発せられ、上述した画像信号Ｓ₁
を得る場合と同様に蓄積性蛍光体シート１０に試料８を
表す電子顕微鏡像が蓄積記録され、この蓄積性蛍光体シ
ート１０を励起光により走査して輝尽発光光を発せし
め、この輝尽発光光を光電変換することにより試料８の
電子顕微鏡像を表す画像信号Ｓ₂ を得る。

【００４２】画像信号Ｓ₂ は画像処理手段４２に入力さ
れ、必要な画像処理が施された後、再生手段４３におい
て可視像として再生される。この再生手段４３は、ＣＲ
Ｔ等のディスプレイでもよいし、感光フィルムに光走査
記録を行う記録装置でもよいし、あるいはそのために一
旦磁気テープ等の記憶媒体１８に記録するものでもよ
い。

【００４３】読取りが終了した後エンドレスベルト状の
蓄積性蛍光体シート１０の画像記録部分は消去ゾーン２
０に送られる。この消去ゾーン２０では、真空系外に設
けられた蛍光灯等の消去用光源２１から放出される消去
光が透光性の壁部材１９ｂを通して前記シート１０に照
射される。この消去用光源２１は蓄積性蛍光体シート１
０に、該蛍光体の励起波長領域に含まれる光を照射する
ことにより、この蓄積性蛍光体シート１０の蛍光体層に
蓄積されている残像や、センサの原料中に含まれている
放射性同位元素によるノイズを放出させるものであり、
例えば特開昭５６−１１３９２号に示されているような
タングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、
あるいはレーザ光源等が任意に選択使用され得る。

【００４４】上述した実施例においては、画像信号の代
表値として図３に示すようなプロファイルの最小値と最
大値との差の値を用いているが、これに限定されるもの
ではなく、画像信号全体の最小値と最大値との差値、あ
るいは画像信号のうち試料を表す信号の平均値と最大値
との差値等いかなる値を用いてもよいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による電子顕微鏡像記録読取装
置を表す図

【図２】試料である細胞を表す図

【図３】図２のI −I 線における画像信号のプロフール
を表す図

【図４】電子線量Ｎと値ｋ² との関係を表すグラフ

【符号の説明】

１ 電子顕微鏡 ２ 電子線 ３ 電子銃 ９ 電子顕微鏡の結像面 １０ 蓄積性蛍光体シート １１ 励起光源 １１ａ 励起光ビーム １２ 光偏向器 １４ 集光体 １５ フォトマルプライヤ ４０ 電子線量算出手段 ４１ 制御手段 ４２ 画像処理手段 ４３ 再生手段 Ｓ₁ ，Ｓ₂ 画像信号 Ｎ 電子線量

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線エネルギを蓄積する蓄積性蛍光体
   シートに、試料を透過した所定量の電子線を照射するこ
   とにより前記試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録
   し、 次いで、前記蓄積性蛍光体シートに光を照射して、該シ
   ートに蓄積記録されている前記電子線のエネルギを光と
   して放出させ、該放出された放出光を光電的に読み取っ
   て前記電子顕微鏡像を表す画像信号を得、 該画像信号に基づいて、該画像信号の代表値Ｈ₁ および
   前記試料に照射された電子線量Ｎ₁ を求め、 値ｋ₁ ＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁ を求め、 該値ｋ₁ に基づいて、電子線量Ｎ₂ の電子線を照射した
   ときの画像信号の代表値をＨ₂ としたときに値Ｈ₂ ／√
   Ｎ₂ が予め定められた所定値ｋ₂ 以上となるような電子
   線量Ｎ₂ を求め、 該電子線量Ｎ₂ の電子線を再度前記試料に照射して該試
   料の電子顕微鏡像を蓄積性蛍光体シートに蓄積記録し、 次いで、該蓄積性蛍光体シートに光を照射して、該シー
   トに蓄積記録されている前記電子線量Ｎ₂ の電子線のエ
   ネルギを光として放出させ、該放出された放出光を光電
   的に読み取って前記電子顕微鏡像を表す画像信号を得る
   ことを特徴とする電子顕微鏡像記録読取方法。
2. 【請求項２】 電子線エネルギを蓄積する蓄積性蛍光体
   シートに、試料を透過した所定量の電子線を照射するこ
   とにより前記試料の電子顕微鏡像を真空状態で蓄積記録
   する記録手段と、 該記録手段により電子顕微鏡像が蓄積記録された前記蓄
   積性蛍光体シートに光を照射して、該シートに蓄積記録
   されている前記電子線のエネルギを光として放出させ、
   該放出された放出光を光電的に読み取って前記電子顕微
   鏡像を表す画像信号を得る読取手段と、 該読取手段により得られた画像信号に基づいて、該画像
   信号の代表値Ｈ₁ および前記試料に照射された電子線量
   Ｎ₁ 、値ｋ₁ ＝Ｈ₁ ／√Ｎ₁ を求め、該値ｋ₁に基づい
   て、電子線量Ｎ₂ の電子線を照射したときの画像信号の
   代表値をＨ₂ としたときに値Ｈ₂ ／√Ｎ₂ が予め定めら
   れた所定値ｋ₂ 以上となるように電子線量Ｎ₂ を算出す
   る電子線量算出手段と、 該電子線量算出手段により算出された電子線量Ｎ₂ の電
   子線を再度前記試料に照射するように前記記録手段を制
   御する制御手段とからなることを特徴とする電子顕微鏡
   像記録読取装置。