JPH0282440A - 電子顕微鏡像記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子顕微鏡において試料を透過した電子線を
蓄積性蛍光体シートに照射することにより、この試料の
電子顕微鏡像を該シートに記録する電子顕微鏡像記録装
置に関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像をＩＬ＋る電子顕微
鏡が周知となっている。この電子顕微鏡像を観察するた
め従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルムを
配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメージ
インテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影す
るようにしていたが、本出願人は、電子顕微鏡像を高感
度、高画質で記録再生可能で、しかも各種処理が容易と
なるように、顕微鏡像を担持する電気信号が直接前られ
る、新しい電子顕微鏡像記録再生方法を提案した（特開
昭６１−５１７３８号、特開昭Ｇ１−９３５３９号等）
。この電子顕微鏡像記録再生方法は基本的に、電子線エ
ネルギーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電
子線を真空状態で蓄積記録し、次いで該２次元センサに
光照射あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを
光として放出させ、この放出光を光電的に検出して画像
信号を得、この画像信号を用いて試料の透過電子線像を
再生するものである。

上記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときその
エネルギーの少なくとも一部を一時的に蓄積し、後に外
部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少なく
とも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出する
能力を持つ材料からなるものである。この２次元センサ
として具体的には、例えば特開昭５５−１２４２９号、
同５５−１１．６３４０号、同５５−１８３４７２号、
同５６−１１３９５号、同５Ｂ−１０４６４５号公報等
に示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられう
る。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を照
射するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体中
に蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を照
射すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍光
（輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を蓄
積性蛍光体と言う。蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄積
性蛍光体からなるシート状の記録体のことであり、一般
に支持体とこの支持体上に積層された蓄積性蛍光体層と
からなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体を適当な結合
剤中に分散させて形成したものであるが、この蓄積性蛍
光体層が自己支持性である場合、それ自体で蓄積性蛍光
体シートとなりうる。なお、この蓄積性蛍光体シートを
形成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特開昭６１−
９３５３９号に詳しく記載されている。

上記電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性蛍光
体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録す
るようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録するこ
とが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光量
を低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。ま
たこの方法においては電子顕微鏡像に階調処理、周波数
強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、
また前述したような回折パターンの処理や、３次元像の
再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号を
コンピュータに入力することにより、従来に比べ極めて
簡単かつ迅速に行なえるようになる。

上述の蓄積性蛍光体シートを利用する電子顕微鏡像情報
の記録再生システムにおいては、電子顕微鏡像情報の読
取り時に十分な強度の励起光を照射すれば、蓄積電子線
エネルギーは全て放出されるはずである。しかし実際に
読取り時に照射する励起光の強度はそれほど高くはなく
、したがって蓄積性蛍光体シートを繰り返し使用すると
きは、読取り時に前回記録の電子顕微鏡像情報がノイズ
となって現われるという問題がある。このような残存電
子線エネルギーは、例えば特開昭６１−１３８４４３号
に示されるように、電子顕微鏡像情報読取り後の蓄積性
蛍光体シートに光を照射することによって放出させるこ
とができる。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上記電子顕微鏡像情報読取り後の蓄積性蛍光
体シートに極めて多量の光を照射しても、残存電子線エ
ネルギーがシート再使用可能なレベルまで放出され得な
いことがある、ということか本発明者等の研究により判
明した。

そこで本発明は、上記不具合の発生を防止して、蓄積性
蛍光体シートを必ず再使用可能とする電子顕微鏡像記録
装置を提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段及び作用）本発明は、前記
電子顕微鏡像を蓄積性蛍光体シートに記録する場合には
極めて多量の電子線が該シートに照射されることがあり
、その場合に上述の不具合が発生する、という知見に基
づいて得られたものであり、 本発明の第１の７ｄ子顕微鏡像記録装置は、前述したよ
うに電子顕微鏡において試料を透過した電子線を蓄積性
蛍光体シートに照射することにより、この試料の電子顕
微鏡像を該シートに記録する電子顕微鏡像記録装置にお
いて、 蓄積性蛍光体シートと試料との間に配されて電子線を遮
断するシャッターと、 試料を透過した電子線の電流密度を測定する電流密度測
定手段と、 設定された上記シャッターの開時間と、上記電流密度測
定手段が測定した電流密度とに基づいて、シャッターが
開かれたとき蓄積性蛍光体シートに照射されることにな
る電子線露出量を演算する演算手段と、 この演算手段が演算した電子線露出量が、予め設定され
た限界値を超えたときに警報を発する警報手段とが設け
られたことを特徴とするものである。

また本発明の第２の電子顕微鏡像記録装置は、上記第１
の装置における警報手段に代えて、上記演算手段が演算
した電子線露出量が、予め設定された限界値を超えたと
きに、上記シャッターの開作動を妨げる手段が設けられ
たことを特徴とするものである。

また本発明の第３の電子顕微鏡像記録装置は、上記第１
の装置における警報手段に代えて、上記演算手段が演算
した電子線露出量が、予め設定された限界値を超えたと
きに上記シャッターの開時間を、電子線露出ユが前記限
界値となる値に自動的に設定し直す手段が設けられたこ
とを特徴とするものである。

上記の限界値は、蓄積性蛍光体シートの残存電子線エネ
ルギーがシート１１ｆ使用−可能な程度まで良好に放出
されうるようになる電子線露出量の上限値としておけば
よい。このような限界値は、実験あるいは経験に基づい
て適切に定めることが可能であり、例えば下記の蛍光体
からなる蓄積性蛍光体シートを用いる装置にあっては、
ｌＸ１Ｏ°７Ｃ／ｃｍ２、より望ましくはｌＸｌ０−９
Ｃ／ｃｍ２程度の値とすればよい。

く蓄積性蛍光体の例〉 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されているＭ”
ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ ［ただしＭＩｌはＢａ、Ｃａ５Ｓ　ｒ％Ｍｇ５Ｚｎ。

およびＣｄのうちの少なくとも一種、ＡはＢｅｄ。

Ｍ　ｇ　Ｏｓ　Ｃａ　Ｏｓ　Ｓ　ｒ　ＯＳＢ　ａ　Ｏ１
Ｚ　ｎ　Ｏ％Ａ９Ｊｚ　０３　、ＹＺ　Ｏ３、Ｌａ２　
ｏ３、Ｉｎｚ　０３、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、
ＧｅＯ２，５ｎ０２　、Ｎｂ２０５　、Ｔａ２０５およ
びＴｈｏｚのうちの少なくとも一種、ＬｎはＥｕ、Ｔｂ
５Ｃｅ。

Ｔ　ｍ　ＳＤ　ｙ　ＳＰ　ｒ　ＳＨｏ　ｓ　Ｎ　ｄ　ｓ
　Ｙ　ｂ　ＳＥ　ｒ　ｓＳｍ、およびＧｄのうちの少な
くとも一種、ＸはＢ、、Ｂｒ、および■のうちの少なく
とも一種であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５×１０”５≦
χ≦０．５、およびＱ＜ｙ≦０．２である］の組成式で
表わされる蛍光体。

特開昭６０−１０１１７３号公報に記載されているＭ’
　　ＦＸ−ａＭ’　　Ｘ’　　　二　ｘＥｕ’［ただし
ＭｌはＢａ５ＳｒおよびＣａからなる群より選ばれる少
なくとも一種のアルカリ土類金属であり、Ｍ’はＲｂお
よびＣｓからなる群より選ばれる少なくとも一種のアル
カリ金属であり、ＸはＢ、、ＢｒおよびＩからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Ｘｏ　は
Ｆ、　ＣＱＪ。

ＢｒおよびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり、そしてａおよびＸはそれぞれ０＜ａ≦
４．０，０＜ｘ≦０．２であるコの組成式で表わされる
蛍光体。

特開昭８０−１３９７８１号公報に記載されているＢａ
ＦＸｅａＮａＸ’　　：ｘＥｕ”、ｙＭ’［ただしＸお
よびＸｏはいずれもＣｉ、ＢｒおよびＩからなる群より
選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり、Ｍｌはに、
ＲｂおよびＣｓからなる１７１より選ばれる少なくとも
一種のアルカリ金属であり、そしてａＳｘおよびｙはそ
れぞれ０＜ａ≦２．０．０＜ｘ≦０．２および５　Ｘ　
１０−４　≦Ｙ　：ｉｉ；　１０−２である］の組成式
で表わされる蛍光体。

特開昭６０−１６１４７８号公報に記載されている（Ｂ
ａｌ−＊　、Ｃａ、）ＦＸ　：　ｘＥｕ”［ただしＸは
＋４、ＢｒおよびＩからなる群より選ばれる少なくとも
一種のハロゲンであり、そしてａおよびＸはそれぞれ１
ｏ°５≦ａ≦２ＸｌＯ−２、および０＜ｘ≦０．２であ
る〕の組成式で表わされる蛍光体。

特開昭８１−２１１８１号公報に記載されている（Ｂａ
、４．Ｍ’　　ａ）ＦＸ−ｂＮａＸ’ｃ　　ｌ５ｉｌ　
　・ｄ　　（Ａ９Ｊ）　：ｘＥｕ２＋［ただしＭ３はＣ
ａおよびＳｒからなる群より選ばれる少なくとも一種の
アルカリ土類金属であり、ＸおよびＸｏはいずれもＣ９
Ｊ、ＢｒおよびＩからなる群より選ばれる少なくとも一
種のハロゲンであり、（Ｓｉｔ　および＋Ａ　９Ｊ１　
は＋ｉぞれＳｉ成分およびＡ９Ｊ成分てあり、モしてａ
、ｂおよびＸはそれぞれ０≦ａ≦５ＸｌＯ−２，０＜ｂ
≦２．０および０＜ｘ≦０．２の範囲の数値であり、Ｃ
およびｄは５×１０°５≦ｃ＋ｄ≦０．５であって、が
ッｏ＜ｃ／　（ｃ＋ｄ）＜１．０の範囲の数値である］
の組成式で表わされる蛍光体。

上記本発明の第１の装置にあっては、警報が発せられた
時、また第２の装置にあっては、シャッター開操作をし
てもシャッターが開がないときに、電子顕微鏡操作者は
設定露出量が高過ぎるということを知ることができるか
ら、例えばシャッター開時間をより短く設定し直すこと
により、蓄積性蛍光体シート再使用の上で適切な露出量
に設定し直して電子顕微鏡像の記録を行なうことができ
る。

一方上記本発明の第３の装置を使用する場合は、電子線
露出量が高過ぎる値に設定されていても、この露出量は
、蓄積性蛍光体シート再使用の上で適切で、かつ設定し
た値に最も近い値に変更された上で電子顕微鏡像の記録
がなされる。この場合は、電子顕微鏡操作者が設定した
値とは異なる露出量で電子顕微鏡像記録がなされたこと
を操作者に知らせるために、上記第１の装置における警
報装置を併設するのが望ましい。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は、本発明の電子顕微鏡像記録装置を備えた電子
顕微鏡像記録再生システムを示すものである。電子顕微
鏡１の鏡体部１ａは、−様の速度の電子線２を射出する
電子銃３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、
静電レンズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と
、試料台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６
と、投影レンズ７とを有してなる。試料台５上に載置さ
れた試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６によ
り屈折され、該試料８の拡大透過像８ａを形成する。こ
の拡大透過像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結
像投影される（図中の８ｂ）。

上記鏡体部１ａの下方には、本発明の第１実施例による
電子顕微鏡像記録装置が配置されている。

この装置は電子顕微鏡像読取機能も備えて、電子顕微鏡
像記録読取装置１０として形成されており、鏡体部１ａ
内の前記結像面９に固定された２次元センサとしての蓄
積性蛍光体シート１１と、励起光源１２および光走査系
１３からなる励起手段と、前記鏡体部１ａの周壁に設け
られた透光窓１４を介して蓄積性蛍光体シート１１に対
向するように配されたフォトマルチプライヤ−（光電子
増倍管）１５と、消去光ｒ１Ｍ１Ｂとを有している。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体レ
ーザ等からなり、光走査系１３は第］および第２の光偏
向器１３ａ、１３ｂと、固定ミラー１３ｃとからなる。

第１および第２の光偏向器１３ａ、１３ｂとしてはそれ
ぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、ホログ
ラムスキャナ、ＡＯＤ等の公知の光偏向器が使用されう
る。励起光源１２から射出された励起光ビーム１２ａは
第１の光偏向器＋３ａにより偏向されるとともに、第２
の光偏向器１３ｂにより上記偏向の方向と直角な方向（
図の矢印Ａ方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等が嵌め
込まれた透光窓２１を透過して鏡体部ｌａ内に入射し、
固定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性蛍光体シ
ート１１上に入射する。このようにして蓄積性蛍光体シ
ルト１１は、励起光ビームＩ２ａによりＸ−７両方向に
走査される。なお図示はしないか、励起光源１２から発
せられた励起光ビーム１２ａは、蓄積性蛍光体シート１
１が発する輝尽発光光（後に詳述する）の波長６１１域
をカットするフィルターを通過させ、ビームエキスパン
ダーによりビーム径を調整した後、光偏向器１３ａ、　
１３ｂて偏向され、次いでｆθレンズを通過させて均一
なビーム径として蓄積性蛍光体シート１１に入射される
のか好ましい。

前記消去光源１６は蓄積性蛍光体シート１１の励起波長
領域に含まれる光を発生するものである。そして上記第
２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃとの間において
励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と、該光路から
外れた位置とをとりうるミラ１７か配設されている。消
去光源１６か発する消去光１Ｅｉａはレンズ１８によっ
て集光され、上記ミラー１７が励起光ビーム１２ａの光
路中に入る位置に設定されていれば、該ミラー１７およ
び固定ミラー１３ｃにおいて反射して、蓄積性蛍光体シ
ート１１を全面的に照射する。また対物レンズ７と蓄積
性蛍光体シト１１との間において鏡体部１ａには、電子
線２を遮断しうるシャッター１９が設けられ、蓄積性蛍
光体シート１１とフォトマルチプライヤ−１５との間に
は光ンヤッター２２が設けられている。そして前記透光
窓１４には、蓄積性蛍光体シー）１１が発する輝尽発光
光のみを透過させ、励起光ビーム１２ａを取り除く光学
フィルターを備えたガラス２０が嵌着されている。また
鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡におけるのと同様
に、蓄積性蛍光体シート１１が配置されている部分も含
めて、電子顕微鏡稼動中は真空ポンプ等の公知の手段に
より真空状態に維持される。

また上記シャッター１９の上方には、該シャッター１９
と連動して、電子線２の照射を受ける位置とそこから退
出した位置とをとりうる露出計３０が設けられている。

この露出量３０の出力は露出量演算部３１に入力される
。またこの露出量演算部３１には、シャッター条件設定
部３２と、シャッター１９の駆動およびその開時間（シ
ャッター速度）を制御するシャッターコントローラ３３
と、例えばＣＲＴおよびキーボード等からなるデータ表
示部３４とが接続されている。

以下、上記構成の電子顕微鏡像記録読取装置１０による
電子顕微鏡像の記録、読取りについて詳しく説明する。

試料台５に試料８を載置し、電子銃３、集束レンズ４、
対物レンズ６および投影レンズ７を駆動させ、そして前
述のシャッター１９を開くと（第１図図示の状態）、結
像面９に固定された蓄積性蛍光体シートＩＩに、試料８
の拡大透過像８ｂを担持する電子線２のエネルギーが蓄
積される。この電子線露出の際に、光シヤツター２２は
閉じられているのが好ましい。なお、シャッター１９の
制御については後に詳述する。次いでシャッタ１９が閉
じられ光シヤツター２２は開かれ、続いて前述のように
励起光源１２から削出され、Ｘ−Ｙ両方向に偏向された
励起光ビーム１２ａがシート１１上に入射せしめられる
。このように偏向された励起光ビーム１２ａにより蓄積
性蛍光体シート１１は２次元的に走査され、該シート１
１は上記電子線エネルギーのレベルに応じた強度の輝尽
発光光を放出する。この輝尽発光光はシート１１の裏側
から、上記励起光ビーム１２ａを取り除く光学フィルタ
ーを備えたガラス２０を介してフォトマルチプライヤ−
１５によって受光され、輝尽発光光量が光電的に読み取
られる。

上記輝尽発光光の光量を担持するフォトマルチプライヤ
−１５の出力は、増幅器２３によって適正レベルの電気
信号（読取画像信号）Ｓに増幅される。

次いでこの読取画像信号ＳはＡ／Ｄ変換器２４において
、ディジタル画像信号Ｓｄに変換され、信号処理回路２
５において例えば階調処理、周波数強調処理等の信号処
理を受けて、光走査記録装置、ＣＲＴ等の画像再生装置
６０に送られる。この画像再生装置６０においては、画
像信号Ｓｄが担う画像、すなわち蓄積性蛍光体シートｌ
■に記録された電子顕微鏡像が再生される。

なお信号処理回路２５から出力された画像信号は、以上
説明のように直ちに画像再生装置６０に送って電子顕微
鏡像再生に供してもよいし、あるいは後に画像再生する
ために、−旦磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体２
８に記憶させておいてもよい。

上述のようにして輝尽発光光の読取り、すなわち電子顕
微鏡像の読取りが終了した後、光シヤツター２２が閉じ
られ、ミラー１７は励起光ビーム１２ａの光路中に入る
位置に立てられ、そしてこのミラー１７の動作と連動し
て消去光源１６が点灯される。

それによりシー　ト１１の表面には、該消去光源１６が
発する消去光１．６ａが照射される。蓄積性蛍光体シＨ
１に前記のように励起光ビーム１２ａが照射されても、
該シート１１に蓄積されていた電子線エネルギーがすべ
て放出される訳ではなく、残像が残る場合がある。しか
し上記のようにして蓄積性蛍光体シートｌｌに消去光ｌ
ｅａを照射すれば、上記残像が消去され、蓄積性蛍光体
シート１１が再使用可能となる。またこの消去光照射に
より、シート１１の蛍光体中に不純物としてて含まれて
いる２２６Ｒａなどの放射性元素によるノイズ成分も放
出される。

上記消去光源１６としては、例えば特開昭５６−Ｉ　Ｈ
９２号に示されているようなタングステンランプ、ハロ
ゲンランプ、赤外線ランプ、キセノンフラッシュランプ
あるいはレーザ光源等が任意に選択使用され得る。また
読取り用の励起光ｒＡ１２を消去用に兼用してもよい。

次に、前述したシャッター１９の制御について詳しく説
明する。蓄積性蛍光体シート１１への電子顕微鏡像記録
に先立って、シャッター１９は電子線２を遮断する位置
に設定され、それに連動して露出計３０も電子線２の照
射を受ける位置に設定される。

このときの露出計３０の出力、すなわち電子線２の電流
密度を示す信号Ｓ１は露出量演算部３１に入力される。

また電子顕微鏡操作者がシャッター条件設定部３２にお
いて設定したシャッター開時間（シャッター速度）を示
す信号Ｓ２も、上記露出量演算部３１に人力される。こ
の信号Ｓ２は露出量演算部３１を経てシャッターコント
ローラ３３に人力され、次いてこのシャッターコントロ
ーラ３３に例えば手動操作によりシャッター開作動指令
信号Ｓ３が人力されれば、シャッターコントローラ３３
は信号Ｓ２が示すシャッター速度でシャッター１９を駆
動させる。

しかし露出量演算部３！は、信号Ｓ２が示すシャッター
開時間が不適切である場合は、警報指令信号Ｓ４をデー
タ表示部３４に送り、このデータ表示部３４において音
響、表示等からなる警報を発生させる。すなわち露出量
演算部３１は、露出計３０から入力された信号Ｓ１が示
す電流密度をｘ（Ａ／ｃシ）、シャッター条件設定部３
２から入力された信号Ｓ２が示すシャッター開時間をｙ
（秒）としたとき、ｘ”ｙの値を演算し、この演算値と
、予め設定された限界値Ｑとを比較して、もし Ｘ・ｙ＞Ｑ であれば信号Ｓ４を出力して上記の警報を発生させる。

したがって電子顕微鏡操作者は、この警報が発せられた
ときはそのままシャッター開作動指令信号Ｓ３を人力す
ることはしないで、シャッター条件設定部３２において
シャッター開時間をより短く設定し直し、その条件下で
は警報が生じないことを確認した上でシャッター１９を
開作動させることができる。を記の限界値Ｑは前述した
ように、それを超える電子線露出量で電子顕微鏡像記録
がなされると前記消去が良好に行なわれ得なくなるとい
う値であり、この限界値Ｑは実験あるいは経験に基づい
て適切に定めることができる。この限界値Ｑの具体的な
例は、先に述べた通りである。

次に第２図を参照して、本発明の第２実施例について説
明する。なおこの第２図において、第１図に示したもの
と同じ要素については第１図中と同じ番号を付してあり
、それらについての説明は特にノ要の無い限り省略する
（以下、同様）。この第２図の電子顕微鏡像記録読取装
置４０における露出制御部４１は、第１図の装置の露出
量演算部３１と同じ演算を行ない、もし Ｘ６ｙ＞Ｑ であれば警報指令信号Ｓ４をデータ表示部３４に送ると
もに、シャッターロック信号Ｓ５をシャッターコン！・
ローラ３３に送る。シャッターコントローラ３３はこの
シャッターロック信号Ｓ５を受けると、たとえシャッタ
ー開作動指令信号Ｓ３が入力されても、シャッター１９
を駆動させない。それによりこの場合も電子顕微鏡操作
者は、シャッター開時ＩＩＩ　ｙの設定が不適切である
ことを知ることができる。

一方露出制御部４１は、 ｘ’ｙ≦Ｑ である場合は、シャッターロック信号Ｓ５は出力せず、
人力された信号Ｓ２をそのままシャッターコントローラ
３３に送り、該信号Ｓ２が示すシャッター速度で電子顕
微鏡像を記録させる。なおこの第２図の装置においては
、特に警報は発生させないようにしても構わない。

次に第３図を参照して、本発明の第３実施例について説
明する。この第３図の電子顕微鏡像記録読取装置５０に
おける露出量演算部５１も、第１図の装置の露出量演算
部３１と同じ演算を行ない、もしＸ壷ｙ＞Ｑ であればｘ−ｙ−Ｑとなるシャッター開時間ｙを算出し
、その開時間を示す信号Ｓ６をシャッターコントローラ
３３に送る。したがってこの場合、シャッターコントロ
ーラ３３にシャッター開作動指令信号Ｓ３が入力されれ
ば、シャッター１９はシャッター条件設定部３２で設定
された開時間ではなく、上記露出量演算部５１が求めた
開時間で開作動し、そのときの電子線露出量は限界値Ｑ
となる。またこの場合露出量演算部５１は警報指令信号
Ｓ４を出力し、前述の警報を発生させる。

一方露出量演算部５１は、 ｘ”ｙ≦Ｑ である場合は、入力された信号Ｓ２をそのままシャッタ
ーコントローラ３３に送り、該信号Ｓ２が示すシャッタ
ー開時間の下に電子顕微鏡像を記録させる。

この第３実施例の装置においては、電子顕微鏡操作者が
シャッター条件設定部３２で設定したものではないシャ
ッター条件で電子顕微鏡像記録がなされることがあるか
ら、上述の警報は必ず出させるようにするのが好ましい
。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の電子顕微鏡像記録装置
においては、電子顕微鏡像の記録に際して、その像の読
取り後に蓄積性蛍光体シートに残存する電子線エネルギ
ーの消去処理が不可能になるほどに高い電子線露出量が
与えられることが確実に防止される。したがって本装置
で使用された蓄積性蛍光体シートは、上記残存電子線エ
ネルギーの放出が必ず満足に行なわれるようになるので
、本装置によれば、電子顕微鏡像記録再生システムの信
頼性を高める効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１．２および３図はそれぞれ、本発明の第１．２およ
び３実施例による電子顕微鏡像記録装置を備えた電子顕
微鏡像記録再生システムを示す概略正面図である。 １・・・電子顕微鏡　　　　２・・・電子線８・・・試
料　　　　　　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０．４
０．５０・・・電子顕微鏡像記録読取装置１１・・・蓄
積性蛍光体シート　１２・・・励起光源１２ａ・・・励
起光ビーム　　Ｉ３・・・光走査系１３ａ、１３ｂ・・
・光偏向器 ［５・・・フォトマルチプライヤ−１６・・・消去光源
１６ａ・・・消去光　　　　　１９・・・シャッター２
３・・・増幅器　　　　　　２４・・・Ａ／Ｄ変換器２
５・・・信号処理回路　　　３０・・・露出計３１．５
１・・・露出量演算部 ３２・シャッター条件設定部 ３３・・・シャッターコントローラ ３４・・・データ表示部　　　４１・・・露出制御部筒 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子顕微鏡において試料を透過した電子線を蓄積
   性蛍光体シートに照射することにより、この試料の電子
   顕微鏡像を該シートに記録する電子顕微鏡像記録装置に
   おいて、 前記蓄積性蛍光体シートと試料との間に配されて電子線
   を遮断するシャッターと、 前記試料を透過した電子線の電流密度を測定する電流密
   度測定手段と、 設定された前記シャッターの開時間と、前記電流密度測
   定手段が測定した電流密度とに基づいて、前記シャッタ
   ーが開かれたとき蓄積性蛍光体シートに照射されること
   になる電子線露出量を演算する演算手段と、 この演算手段が演算した電子線露出量が、予め設定され
   た限界値を超えたときに警報を発する警報手段とを備え
   たことを特徴とする電子顕微鏡像記録装置。
2. （２）電子顕微鏡において試料を透過した電子線を蓄積
   性蛍光体シートに照射することにより、この試料の電子
   顕微鏡像を該シートに記録する電子顕微鏡像記録装置に
   おいて、 前記蓄積性蛍光体シートと試料との間に配されて電子線
   を遮断するシャッターと、 前記試料を透過した電子線の電流密度を測定する電流密
   度測定手段と、 設定された前記シャッターの開時間と、前記電流密度測
   定手段が測定した電流密度とに基づいて、前記シャッタ
   ーが開かれたとき蓄積性蛍光体シートに照射されること
   になる電子線露出量を演算する演算手段と、 この演算手段が演算した電子線露出量が、予め設定され
   た限界値を超えたときに、前記シャッターの開作動を妨
   げる手段とが設けられたことを特徴とする電子顕微鏡像
   記録装置。（３）電子顕微鏡において試料を透過した電
   子線を蓄積性蛍光体シートに照射することにより、この
   試料の電子顕微鏡像を該シートに記録する電子顕微鏡像
   記録装置において、 前記蓄積性蛍光体シートと試料との間に配されて電子線
   を遮断するシャッターと、 前記試料を透過した電子線の電流密度を測定する電流密
   度測定手段と、 設定された前記シャッターの開時間と、前記電流密度測
   定手段が測定した電流密度とに基づいて、前記シャッタ
   ーが開かれたとき蓄積性蛍光体シートに照射されること
   になる電子線露出量を演算する演算手段と、 この演算手段が演算した電子線露出量が、予め設定され
   た限界値を超えたときに前記シャッターの開時間を、電
   子線露出量が前記限界値となる値に自動的に設定し直す
   手段とが設けられたことを特徴とする電子顕微鏡像記録
   装置。