JPH08315344A - 浮上型ヘッドスライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 特異形状のラップ盤を使用せずに、所望の曲
率半径のクラウン及びキャンバーが容易に且つ低コスト
で加工されるようにすること。 【構成】 表面１１に形成された長手方向に延びる複数
のレール１２，１３と、上記レールの間に形成されるグ
ルーブ１４と、上記各レールの空気流入端側に設けられ
たテーパ部１２ａ，１３ａと、上記レールのうち、一つ
のレールの空気流出端側の端面に設けられた磁気ヘッド
とを備え、裏面の最大高さＲｍａｘが０．０３μｍ乃至
５μｍで、長手方向に関して、裏面平均粗さ／グルーブ
面平均粗さが、０．７以下であると共に、横方向に関し
て、裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さが、５．０以下
であり、平坦に形成された裏面が、研磨加工されること
により、クラウン及びキャンバーが形成されるように、
浮上型ヘッドスライダ１０を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ディスクや
光磁気ディスク等に対して記録再生するための磁気ヘッ
ドを搭載した浮上型ヘッドスライダに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、コンピュータ等に内蔵されまたは
接続されるハードディスクドライブ装置は、例えば図２
４に示すように構成されている。図２４において、ハー
ドディスクドライブ装置１は、アルミニウム合金等によ
り形成された筐体２の平面部に、スピンドルモータ（図
示せず）が配設されていると共に、このスピンドルモー
タによって角速度一定で回転駆動される両面磁気ディス
ク３が備えられている。

【０００３】さらに、この筐体２には、アーム４が、垂
直軸４ａの周りに揺動可能に取り付けられている。この
アーム４の一端には、ボイスコイル５が取り付けられ、
またこのアーム４の他端には、スライダ６が取り付けら
れている。

【０００４】上記ボイスコイル５を挟持するように、筐
体２上には、マグネット７ａ，７ｂが取り付けられてい
る。かくして、上記ボイスコイル５及びマグネット７
ａ，７ｂにより、ボイスコイルモータ７が構成されてい
る。

【０００５】上記ボイスコイル５に外部から電流が供給
されると、アーム４は、マグネット７ａ，７ｂの磁界
と、このボイスコイル５に流れる電流とによって生ずる
力に基づいて、垂直軸４ａの周りに回動される。これに
より、アーム４の他端に取り付けられたスライダ６は、
図２５にて矢印Ｘで示すように、磁気ディスク３の実質
的に半径方向に移動される。従って、このスライダ６に
備えられた磁気ヘッド８（図２６参照）は、磁気ディス
ク３に対してシーク動作することになる。かくして、磁
気ディスク３の所定のトラックに対して、情報の記録・
再生が行なわれ得る。

【０００６】ここで、上記スライダ６は、図２６に示す
ように、構成されている。即ち、スライダ６は、その一
主面である下面の両側にエアベアリングサーフェイスと
して作用するレール６ａ，６ｂが形成されていると共
に、このレール６ａ，６ｂの空気流入端側にはテーパ部
６ｃ，６ｄが備えられている。これにより、図２５に示
すように、スライダ６が、回転する磁気ディスク３の表
面に接近されたとき、磁気ディスク３の回転に伴って、
このスライダ６のレール６ａ，６ｂと磁気ディスク３の
表面との間に流入する空気流により、スライダ６が浮揚
力を受ける。

【０００７】この浮揚力によって、スライダ６及びこの
スライダ６に取り付けられた磁気ヘッド８は、図２７に
示すように、磁気ディスク３の表面から微小間隔（浮上
量）ｄをもって浮上走行するようになっている。かくし
て、磁気ヘッド８が直接に磁気ディスク３の表面に接触
することによるこの磁気ディスク３の摩耗損傷が、防止
されるようになっている。尚、この浮上量ｄは、一般に
は、０．１μｍ程度である。

【０００８】このように構成された浮上型ヘッドスライ
ダ６によれば、図２７に示すように、磁気ディスク３の
表面に多少の凹凸が在る場合であっても、同一トラック
におけるスライダ６，磁気ヘッド８の磁気ディスク３の
表面からの浮上量ｄがほぼ一定に保持されることにな
る。

【０００９】ところで、上記ハードディスクドライブ装
置１においては、起動時には、浮上型ヘッドスライダ６
は、磁気ディスク３の最内周に接触した状態で、スピン
ドルモータが立ち上がる。このため、起動時には、ヘッ
ドスライダ６は、先づ磁気ディスク３の表面を擦りなが
ら移動した後、磁気ディスク３の表面から浮上すること
になる。停止時にも、同様にして、ヘッドスライダ６
は、磁気ディスク３の最内周に接触することになる。従
って、ヘッドスライダ６が円滑に磁気ディスク３の表面
に浮上し得るように、磁気ディスク３の表面は、鏡面仕
上げされている。

【００１０】このようなハードディスクドライブ装置１
は、ＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔｏｐ）
方式とよばれているが、起動時及び停止時に、ヘッドス
ライダ６が磁気ディスク３の表面に接触することから、
例えば長時間に亘って、ハードディスクドライブ装置１
が使用されない場合には、鏡面状態の磁気ディスク３の
表面に対して、ヘッドスライダ６が長時間に亘って密着
した状態で放置されることになる。従って、ヘッドスラ
イダ６のエアベアリングサーフェイスとして作用するレ
ール６ａ，６ｂの表面が、磁気ディスク３の表面に吸着
されてしまうことがある。

【００１１】従って、レール６ａ，６ｂの表面が磁気デ
ィスク３の表面に吸着されたまま、ハードディスクドラ
イブ装置が起動されると、上記吸着によって、磁気ディ
スク３の表面が傷つくことにより、磁気ディスク３に記
録された磁気記録情報が破壊されてしまうと共に、浮上
型ヘッドスライダ６も破壊されることがあるという問題
があった。

【００１２】このため、浮上型ヘッドスライダ６は、図
２８に示すように、そのレール６ａ，６ｂが形成される
面全体が、長手方向，即ちレールの延びる方向及び横方
向，レールと略直交する方向に関して凸状に曲率を有す
るように形成される。即ち、ヘッドスライダ６は、長手
方向に関して、図２９に示すように、凸状のクラウンＡ
を有するように、また横方向に関して、図３０に示すよ
うに、凸状のキャンバーＢを有するように、形成され
る。

【００１３】これにより、レール６ａ，６ｂが、長手方
向に凸状の曲率を有するクラウンＡを備えており、また
横方向に凸状の曲率を有するキャンバーＢを備えている
ことにより、起動時及び停止時の磁気ディスク３の表面
に対する接触面積が低減される。かくして、浮上型ヘッ
ドスライダ６は、長期間に亘って放置された場合であっ
ても、磁気ディスク３の表面への吸着が防止されること
になる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成の浮上型ヘッドスライダ６においては、レール６
ａ，６ｂ側の面全体の加工は、例えばラップ盤を使用し
て行なわれる。このラップ盤は、上記クラウン及びキャ
ンバーに対応する曲率半径を有するように作製されてお
り、これにより上述したクラウン及びキャンバーを備え
たヘッドスライダ６が形成される。

【００１５】しかしながら、このようなラップ盤は、数
回の使用でも、摩耗によって曲率半径が変わってしま
う。このため、多数のラップ盤を用意する必要があり、
コストが高くなってしまうという問題があった。

【００１６】また、このようなクラウン及びキャンバー
に対応する曲率半径を有するラップ盤は、作製が比較的
困難であることから、高価であると共に、異なるクラウ
ン及びキャンバーを備えた複数種類のヘッドスライダを
形成する場合には、その種類毎に当該クラウン及びキャ
ンバーに対応するラップ盤を作製する必要があり、さら
にコストが高くなってしまうという問題があった。

【００１７】本発明は、以上の点に鑑み、特異形状のラ
ップ盤を使用せずに、所望の曲率半径のクラウン及びキ
ャンバーが容易に且つ低コストで加工されるようにし
た、浮上型ヘッドスライダを提供することを目的として
いる。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、記録媒体に対向する表面に形成された複数のレー
ルと、このレールの間に形成されるグルーブと、前記各
レールの空気流入端側に設けられたテーパ部と、前記レ
ールのうち、一つのレールの空気流出端側の端面に設け
られた磁気ヘッドと、を備え、且つ、裏面の最大高さＲ
ｍａｘが０．０３μｍ乃至５μｍで、レールの延びる方
向に関して、裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さが、
０．７以下であり、前記レールと略直交する方向に関し
て、裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さが、５．０以下
であり、平坦に形成された裏面が、研磨加工されること
により、前記表面が、レールの延びる方向に凸状の曲率
を有するクラウンと、レールと略直交する方向に凸状の
曲率を有するキャンバーとが形成されている浮上型ヘッ
ドスライダにより、達成される。

【００１９】本発明による浮上型ヘッドスライダは、好
ましくは、上記クラウンが、最大高さ１乃至１００ｎｍ
である。

【００２０】本発明による浮上型ヘッドスライダは、好
ましくは、上記クラウンが、レールの延びる方向に関す
る裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を選定するこ
とにより、所望の最大高さに形成される。

【００２１】本発明による浮上型ヘッドスライダは、好
ましくは、上記キャンバーが、最大高さ１乃至３０ｎｍ
である。

【００２２】本発明による浮上型ヘッドスライダは、好
ましくは、上記キャンバーが、レールと略直交する方向
に関する裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を選定
することにより、所望の最大高さに形成される。

【００２３】

【作用】上記構成によれば、エアベアリングサーフェイ
スとして作用するレールの表面と記録媒体の表面との間
を流れる空気流によって、浮揚力が発生する。従って、
上記浮揚力により、浮上型ヘッドスライダは、記録媒体
の表面から浮上される。

【００２４】この場合、浮上型ヘッドスライダの表面
は、凸状のクラウン及びキャンバーを備えているが、こ
のクラウン及びキャンバーは、先づ裏面がフラット定盤
等によって平坦に形成された後、この裏面が全面に亘っ
て研磨される。その際、上記裏面が、レールの延びる方
向に関して、裏面平均粗さとグルーブ面平均粗さとの比
が、０．７以下であることにより、研磨加工によって、
凸状のクラウンが形成されることになる。また、上記空
気潤滑面が、レールと略直交する方向に関して、裏面平
均粗さとグルーブ面平均粗さとの比が、５．０以下であ
ることにより、研磨加工によって、凸状のキャンバーが
形成されることになる。

【００２５】上記クラウンが、レールの延びる方向に関
する裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を選定する
ことにより、所望の最大高さに形成される場合には、上
記平均粗さの比が適宜に選定されると、研磨加工によっ
て、任意の形状のクラウンが形成される。

【００２６】上記キャンバーが、レールと略直交する方
向に関する裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を選
定することにより、所望の最大高さに形成される場合に
は、上記平均粗さの比が適宜に選定されると、研磨加工
によって、任意の形状のキャンバーが形成される。

【００２７】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図１乃至図
２３を参照しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べ
る実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的
に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。

【００２８】図１は、本発明による浮上型ヘッドスライ
ダの一実施例を示している。図１において、浮上型ヘッ
ドスライダ１０は、全体が扁平な直方体として形成され
ており、その表面１１に、二つのレール１２，１３と、
このレール１２，１３の間に位置するグルーブ部１４と
を備えている。

【００２９】上記レール１２，１３は、上記表面１１の
両側に配設されており、その表面が所謂エアベアリング
サーフェースとして作用することにより、このレール１
２，１３の表面と磁気ディスクとの間を流れる空気流の
動圧によって、ヘッドスライダ１０の浮揚力を発生す
る。

【００３０】さらに、各レール１２，１３は、それぞれ
その空気流入側の図において先端側に向かって徐々に下
降するテーパ部１２ａ，１３ａが形成されている。この
テーパ部１２ａ，１３ａは、レール１２，１３のエアベ
アリングサーフェースとして作用する表面に対して、所
定角度を有するように、成形されている。

【００３１】また、グルーブ部１４は、図示の場合、表
面１１の長手方向にそって、空気流入端から空気流出端
まで延びるように、形成されている。ここで、浮上型ヘ
ッドスライダ１０は、その表面１１全体が、レール１
２，１３の延びる方向，即ち図において長手方向及びレ
ール１２，１３と略直交する方向，即ち横方向に関して
凸状に曲率を有するように、即ちレールの延びる方向に
関して凸状のクラウンを有するように、且つレールと略
直交する方向に関して凸状のキャンバーを有するよう
に、形成されている。

【００３２】以上の構成は、図２８に示した従来の浮上
型ヘッドスライダ６と同様の構成であるが、本発明実施
例による浮上型ヘッドスライダ１０においては、表面１
１のクラウン及びキャンバーは、以下のようにして形成
されるようになっている。

【００３３】即ち、浮上型ヘッドスライダ１０は、先づ
図２及び図３に示すように、通常のフラット定盤によっ
て、全体が平坦に形成される。ここで、浮上型ヘッドス
ライダ１０の裏面は、長手方向に関する裏面平均粗さ／
グルーブ面平均粗さと、横方向に関する裏面平均粗さ／
グルーブ面平均粗さが、所定値以下に選定されている。
これにより、図２及び図３に示すように平坦に形成され
た表面は、裏面の研磨加工によって、長手方向の凸状の
曲率を備えたクラウンＡ及び横方向の凸状の曲率を備え
たキャンバーＢを有するように、成形される。

【００３４】ここで、上記研磨加工によるクラウン及び
キャンバーの成形は、以下の原理に基づくものである。
即ち、図６に示すように、平坦に形成されたヘッドスラ
イダ用ブロック２０は、例えば長さ２５，４ｍｍ，幅
２．５ｍｍ，厚さ０．６ｍｍであって、その表面２１及
び裏面２２が、それぞれ例えば１／４μのダイヤラップ
加工されている。そして、この裏面２２が、例えば１μ
ダイヤラップ，Ｖ研＃１５００研剤，Ｖ研＃３２０研剤
によって研磨加工されると、裏面２２は、図７に示すよ
うに、形状変化を生ずる。

【００３５】尚、図７のグラフにて、Ｒａは中心線平均
粗さ，ＲＭＳは自乗平均粗さ，Ｒｔは粗さの最大高さ，
Ｒｍａｘは断面の最大高さ，Ｒｚは１０点平均粗さを示
している。この形状変化は、表面２１の１／４μラップ
面に対して、粗さが大きくなる程、変形量が大きくな
る、即ち表面２１の１／４μラップ面が凹状になるよう
に、発生する。

【００３６】上記原理を応用することにより、浮上型ヘ
ッドスライダ１０の空気潤滑面１１が凸状に形成され
る。即ち、図８に示すように、平坦に形成されたヘッド
スライダ用ブロック３０は、例えば長さ２５，４ｍｍ，
幅２．５ｍｍ，厚さ０．６ｍｍであって、複数個のヘッ
ドスライダ１０が一列に並んで一体に形成されている。
そして、このブロック３０の表面３１には、各ヘッドス
ライダ１０の領域にて、それぞれ図９に示すように、レ
ール１２，１３が形成されると共に、グルーブ部１４が
形成される。この場合、浮上型ヘッドスライダ１０の適
正な浮上量ｄが得られるように、上記レール１２，１３
の幅が選定される。

【００３７】ここで、上記レール１２，１３の表面は、
１／４μダイヤラップ面として形成されると共に、グル
ーブ部１４の表面と裏面３２は、レール１２，１３の表
面と加工方法を変えることにより、面粗さが変更され
る。尚、図８及び図９において、矢印Ｘは、浮上型ヘッ
ドスライダ１０のレール１２，１３が延びる方向，即ち
クラウンの方向を示し、また矢印Ｙは、浮上型ヘッドス
ライダ１０のレール１２，１３が延びる方向と略直交す
る方向，即ちキャンバーの方向を示している。

【００３８】従って、上記ブロック３０は、その裏面３
２が、１μｍダイヤラップ加工，Ｖ研＃１５００研剤，
Ｖ研＃３２０研剤により加工され、且つグルーブ１４
が、メタル＃６００により加工された場合、加工面の粗
さ及び加工後のレール面のクラウンの形状は、図１０に
示すように変化することになる。また、グルーブ１４
が、レジン１０／１５により加工された場合、加工面の
粗さ及び加工後のレール面のクラウンの形状は、図１１
に示すように変化することになる。

【００３９】これに対して、上記ブロック３０の裏面３
２が、１μｍダイヤラップ加工，Ｖ研＃１５００研剤，
Ｖ研＃３２０研剤により加工され、且つグルーブ１４
が、メタル＃６００により加工された場合、加工面の粗
さ及び加工後のレール面のキャンバーの形状は、図１２
に示すように変化することになる。また、グルーブ１４
が、レジン１０／１５により加工された場合、加工面の
粗さ及び加工後のレール面のキャンバーの形状は、図１
３に示すように変化することになる。

【００４０】かくして、浮上型ヘッドスライダ１０は、
ブロック３０の状態で、フラット定盤等によって、レー
ル１２，１３の表面が平坦に形成された後、裏面３２の
面粗さが長手方向及び横方向に関してそれぞれ変更され
ることにより、上記レール１２，１３の表面の研磨によ
る形状変化量が変化する。そして、この形状変化量は、
グルーブ部１４の面粗さによっても変化することにな
る。

【００４１】ところで、面粗さは、その測定方法に応じ
て、中心線平均粗さＲａ，自乗平均粗さＲＭＳ，粗さの
最大高さＲｔ，断面の最大高さＲｍａｘ，１０点平均粗
さＲｚ等の測定パラメータがあり、特に中心線平均粗さ
Ｒａ及び自乗平均粗さＲＭＳと、粗さの最大高さＲｔ，
断面の最大高さＲｍａｘ，１０点平均粗さＲｚとでは、
１桁程度の差がある。このため、裏面３２の平均粗さを

【００４２】

【数１】 とし、またグルーブ面平均粗さを

【数２】 として、粗さを

【数３】

【００４３】とすると、グルーブ部１４の加工がレジン
１０／１５により行なわれた場合の粗さとレール１２，
１３の表面のキャンバーの形状変化量との関係は、図１
４に示すようになり、粗さとレール１２，１３の表面の
クラウンの形状変化量との関係は、図１６に示すように
なる。この場合、中心線平均粗さＲａ及び自乗平均粗さ
ＲＭＳが、粗さの最大高さＲｔ，断面の最大高さＲｍａ
ｘ，１０点平均粗さＲｚとほぼ同等の値になる。

【００４４】ここで、中心線平均粗さＲａ，自乗平均粗
さＲＭＳ，粗さの最大高さＲｔ，断面の最大高さＲｍａ
ｘ，１０点平均粗さＲｚのすべてを合わせて、回帰する
と、キャンバー及びクラウンは、それぞれ図１５及び図
１７に示すように、面粗さと形状変化量が、一次関数と
して表わされる。

【００４５】かくして、クラウンに関して、形状変化量
ｘ１と面粗さｙ１との関係は、

【数４】 となり、またキャンバーに関して、形状変化量ｘ２と面
粗さｙ２との関係は、

【数５】 となる。

【００４６】同様にして、グルーブ部１４の加工がメタ
ル＃６００により行なわれた場合には、粗さとレール１
２，１３の表面のキャンバーの形状変化量との関係は、
図１８に示すようになり、粗さとレール１２，１３の表
面のクラウンの形状変化量との関係は、図２１に示すよ
うになる。そして、メタル加工による粗さの変化に関す
る補正係数即ち

【数６】 を掛けることにより、面粗さとキャンバー及びクラウン
の形状変化量との関係は、それぞれ図１９及び図２２に
示すように、補正される。

【００４７】ここで、中心線平均粗さＲａ，自乗平均粗
さＲＭＳ，粗さの最大高さＲｔ，断面の最大高さＲｍａ
ｘ，１０点平均粗さＲｚのすべてを合わせて、回帰する
と、キャンバー及びクラウンは、それぞれ図２０及び図
２３に示すように、面粗さと形状変化量が、一次関数と
して表わされる。

【００４８】かくして、クラウンに関して、形状変化量
ｘ３と面粗さｙ３との関係は、

【数７】 となり、またキャンバーに関して、形状変化量ｘ２と面
粗さｙ２との関係は、

【数８】 となる。

【００４９】このようにして、上述した実験例に基づい
て、レジン１０／１５によるグルーブ加工面平均粗さを
Ｋとし、粗さを

【数９】 とする。尚、中心線平均粗さＲａ＝０．０１８μｍ，自
乗平均粗さＲＭＳ＝０．０２３μｍ，粗さの最大高さＲ
ｔ＝０．１１９μｍ，断面の最大高さＲｍａｘ＝０．１
５５μｍ，１０点平均粗さＲｚ＝０．１７７μｍであ
る。

【００５０】このとき、クラウンに関して、形状変化量
ｘ５と面粗さｙ５との関係は、近似的に

【数１０】 で与えられ、またキャンバーに関して、形状変化量ｘ６
と面粗さｙ６との関係は、近似的に

【数１１】 で与えられる。これにより、クラウン及びキャンバーに
関して、正の形状変化量を得るためには、粗さｙ５は、
０．７μｍ以下となり、また粗さｙ６は、５．０μｍ以
下とある。

【００５１】かくして、面粗さｙ５及びｙ６を適宜に選
定することにより、所望のクラウン及びキャンバーに関
する形状変化量が得られるので、平坦に形成されたブロ
ック３０の裏面３２の研磨加工によって、任意の形状の
クラウン及びキャンバーが加工されることになる。

【００５２】この場合、従来のようにクラウン及びキャ
ンバーを形成するために、このクラウン及びキャンバー
の形状に対応した形状に形成されたラップ盤を用意する
必要がないので、フラット定盤によって平坦加工が行な
われた後に、研磨加工が行なわれることにより、所望の
形状のクラウン及びキャンバーが形成されるので、部品
コスト及び加工コストが低減されることになる。また、
クラウン及びキャンバーの形状が異なる種類の浮上型ヘ
ッドスライダ毎に、ラップ盤を用意する必要もなく、任
意の形状のクラウン及びキャンバーが形成されるので、
より一層コストが低減されることになる。

【００５３】尚、上記実施例においては、浮上型ヘッド
スライダ１０は、二つのレール１２，１３を備えるよう
に形成されているが、これに限らず、レールに関して、
その長さ，幅や配置は、実際に搭載されるハードディス
クドライブ装置に対応して、最適化されるべきものであ
る。従って、上述した実施例に示された形状，配置等に
限定されるべきではない。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、特
異形状のラップ盤を使用せずに、所望の曲率半径のクラ
ウン及びキャンバーを容易に且つ低コストで加工するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による浮上型ヘッドスライダの実施例を
示す概略斜視図である。

【図２】図１の浮上型ヘッドスライダの研磨前の状態を
示す長手方向断面図である。

【図３】図１の浮上型ヘッドスライダの研磨前の状態を
示す横方向断面図である。

【図４】図１の浮上型ヘッドスライダの研磨後の状態を
示す長手方向断面図である。

【図５】図１の浮上型ヘッドスライダの研磨後の状態を
示す横方向断面図である。

【図６】本発明の原理を示す研磨加工前のブロックの概
略斜視図である。

【図７】図６のブロックの種々の研磨加工による面粗さ
と形状変化量との関係を示すグラフである。

【図８】図１の浮上型ヘッドスライダの製造途中におけ
るブロックの概略斜視図である。

【図９】図８のブロックにおける各浮上型ヘッドスライ
ダを示す概略斜視図である。

【図１０】図８のブロックのグルーブ部がメタル＃６０
０により加工された場合の研磨加工による裏面の面粗さ
とクラウンの形状変化量との関係を示すグラフである。

【図１１】図８のブロックのグルーブ部がレジン１０／
１５により加工された場合の研磨加工による裏面の面粗
さとクラウンの形状変化量との関係を示すグラフであ
る。

【図１２】図８のブロックのグルーブ部がメタル＃６０
０により加工された場合の研磨加工による裏面の面粗さ
とキャンバーの形状変化量との関係を示すグラフであ
る。

【図１３】図８のブロックのグルーブ部がレジン１０／
１５メタル＃６００により加工された場合の研磨加工に
よる裏面の面粗さとキャンバーの形状変化量との関係を
示すグラフである。

【図１４】図８のブロックのグルーブがレジンにより加
工された場合の粗さとキャンバーの形状変化量との関係
を示すグラフである。

【図１５】図１４の粗さとキャンバーの形状変化量との
関係を回帰したグラフである。

【図１６】図８のブロックのグルーブがレジンにより加
工された場合の粗さとクラウンの形状変化量との関係を
示すグラフである。

【図１７】図１６の粗さとクラウンの形状変化量との関
係を回帰したグラフである。

【図１８】図８のブロックのグルーブがメタルにより加
工された場合の粗さとキャンバーの形状変化量との関係
を示すグラフである。

【図１９】図１８のグルーブ面粗さを補正したグラフで
ある。

【図２０】図１９の粗さとキャンバーの形状変化量との
関係を回帰したグラフである。

【図２１】図８のブロックのグルーブがメタルにより加
工された場合の粗さとクラウンの形状変化量との関係を
示すグラフである。

【図２２】図２１のグルーブ面粗さを補正したグラフで
ある。

【図２３】図２２の粗さとクラウンの形状変化量との関
係を回帰したグラフである。

【図２４】従来のハードディスクドライブ装置の一例の
構成を示す斜視図である。

【図２５】図２４のハードディスクドライブ装置におけ
る磁気ディスクとアームとの関係を示す概略斜視図であ
る。

【図２６】図２４のハードディスクドライブ装置におけ
る浮上型ヘッドスライダを示す概略斜視図である。

【図２７】図２６の浮上型ヘッドスライダの浮上状態を
示す概略図である。

【図２８】図２６の浮上型ヘッドスライダのより詳細な
斜視図である。

【図２９】図２８の浮上型ヘッドスライダの長手方向断
面図である。

【図３０】図２６の浮上型ヘッドスライダの横方向断面
図である。

【符号の説明】

１０ 浮上型ヘッドスライダ １１ 表面 １２，１３ レール １２ａ，１３ａ テーパ部 １４ グルーブ ２０ ブロック ２１ 表面 ２２ 裏面 ３０ 浮上型ヘッドスライダ製造用ブロック ３１ 表面 ３２ 裏面

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【手続補正書】

【提出日】平成７年７月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３４】 ここで、上記研磨加工によるクラウン及
びキャンバーの成形は、以下の原理に基づくものであ
る。即ち、図６に示すように、平坦に形成されたヘッド
スライダ用ブロック２０は、例えば長さ２５．４ｍｍ，
幅２．５ｍｍ，厚さ０．６ｍｍであって、その表面２１
及び裏面２２が、それぞれ例えば１／４μのダイヤラッ
プ加工されている。そして、この裏面２２が、例えば１
μダイヤラップ，Ｖ研＃１５００研削，Ｖ研＃３２０研
削によって研磨加工されると、裏面２２は、図７に示す
ように、形状変化を生ずる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】 従って、上記ブロック３０は、その裏
面３２が、１μｍダイヤラップ加工，Ｖ研＃１５００研
削，Ｖ研＃３２０研削により加工され、且つグループ１
４が、メタル＃６００により加工された場合、加工面の
粗さ及び加工後のレール面のクラウンの形状は、図１０
に示すように変化することになる。また、グループ１４
が、レジン１０／１５により加工された場合、加工面の
粗さ及び加工後のレール面のクラウンの形状は、図１１
に示すように変化することになる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３９】 これに対して、上記ブロック３０の裏
面３２が、１μｍダイヤラップ加工，Ｖ研＃１５００研
削，Ｖ研＃３２０研削により加工され、且つグループ１
４が、メタル＃６００により加工された場合、加工面の
粗さ及び加工後のレール面のキャンバーの形状は、図１
２に示すように変化することになる。また、グループ１
４が、レジン１０／１５により加工された場合、加工面
の粗さ及び加工後のレール面のキャンバーの形状は、図
１３に示すように変化することになる。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体に対向する表面に形成された複
   数のレールと、 このレールの間に形成されるグルーブと、 前記各レールの空気流入端側に設けられたテーパ部と、 前記レールのうち、一つのレールの空気流出端側の端面
   に設けられた磁気ヘッドとを備え、 且つ、裏面の最大高さＲｍａｘが０．０３μｍ乃至５μ
   ｍで、レールの延びる方向に関して、裏面平均粗さ／グ
   ルーブ面平均粗さが、０．７以下であり、 前記レールと略直交する方向に関して、裏面平均粗さ／
   グルーブ面平均粗さが、５．０以下であり、 平坦に形成された裏面が、研磨加工されることにより、
   前記表面が、レールの延びる方向に凸状の曲率を有する
   クラウンと、レールと略直交する方向に凸状の曲率を有
   するキャンバーとが形成されていることを特徴とする浮
   上型ヘッドスライダ。
2. 【請求項２】 前記クラウンが、最大高さ１乃至１００
   ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘ
   ッドスライダ。
3. 【請求項３】 前記クラウンが、前記レールの延びる方
   向に関する裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を選
   定することにより、所望の最大高さに形成されることを
   特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。
4. 【請求項４】 前記キャンバーが、最大高さ１乃至３０
   ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘ
   ッドスライダ。
5. 【請求項５】 前記キャンバーが、レールと略直交する
   方向に関する裏面平均粗さ／グルーブ面平均粗さの比を
   選定することにより、所望の最大高さに形成されること
   を特徴とする請求項１に記載の浮上型ヘッドスライダ。