JPH05198117A

JPH05198117A - 磁気ヘッド装置の製造方法

Info

Publication number: JPH05198117A
Application number: JP669892A
Authority: JP
Inventors: Yasuharu Koike; 康晴小池
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-01-17
Filing date: 1992-01-17
Publication date: 1993-08-06

Abstract

(57)【要約】【目的】浮上型ヘッドスライダーの浮上面を、長手方
向には凸型の曲面形状とし、幅方向には外側に凸型の曲
面形状となるように研磨して磁気ヘッド装置を製造する
ことによって、ＣＳＳにおける耐久性を向上し、ヘッド
と記録媒体との貼り付きを抑制して、磁気ヘッド装置の
信頼性の向上をはかる。【構成】磁気ヘッド５が設けられるスライダー１の記
録媒体と対向する側に、記録媒体との相対的走行方向に
延長して設けられる浮上面３の研磨工程において、この
浮上面３に隣接して補強部１０を設けて、浮上面３及び
補強部１０を軟質な研磨定盤で研磨加工した後、補強部
１０を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体等の記録
媒体上に、一定の浮上量をもって磁気ヘッドを対向させ
て記録再生を行う磁気ヘッド装置の製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク等のハードディスクドライ
ブ装置では、記録媒体が停止状態のときは磁気ヘッドが
記録媒体に接触しており、記録媒体の回転とともに巻き
込まれた空気の流れによりほぼ一定の浮上量をもって浮
上するようになされ、記録再生終了後には、徐々に浮上
量が減少してヘッドが記録媒体に接触した状態で停止す
るようになされるいわゆるＣＳＳ（Contact Start & St
op）方式が一般に採られている。

【０００３】そして、この磁気ヘッドの浮上及び着地
（以下ＣＳＳと記す）を繰り返したときのヘッドと記録
媒体との間の摩擦力の増加がヘッドと記録媒体相互の耐
久性、即ち磁気ヘッド装置の耐久性の目安とされてい
る。

【０００４】このような装置の寿命を延ばすためには、
このＣＳＳ耐久性の向上が必要となり、磁気ヘッドとし
ては、これを組み込むスライダーの浮上面いわゆるＡＢ
Ｓ（Air Bearing Surface)面を僅かに凸型の曲面形状
（以下凸形状という）とすることが、ＣＳＳ耐久性向上
のために有効とされている。

【０００５】また、ヘッドが着地即ち記録媒体に接触し
た状態で記録媒体に貼り付きを起こすいわゆるスティク
ションも、装置の寿命及び信頼性に影響を与えるが、こ
の貼り付きを抑制するためにも、上述した浮上面の表面
を凸形状とすることが有効となる。

【０００６】このような磁気ヘッド装置の浮上型ヘッド
スライダーの略線的拡大斜視図を図１２に示す。図１２
において、１はチタン酸カルシウム等より成るスライダ
ーで、記録媒体（図示せず）との相対的走行方向、即ち
図１２においてＹ軸で示す方向に延長して記録媒体との
対向面に溝２が形成され、その両側のレール状の面が浮
上面３とされる。以下、この浮上面３と溝２を横切る方
向即ち図１２においてＸ軸で示す方向を幅方向、Ｙ軸で
示す方向を長手方向という。

【０００７】このようなスライダー１の浮上面３の表面
形状は、上述したように装置の耐久性の面から、記録媒
体に向かって凸形状となることが望ましい。以下図を参
照して説明する。図１３Ａ〜Ｃに浮上面の長手方向の断
面形状の各例を示し、図１４Ａ〜Ｃに浮上面の幅方向の
断面形状の各例を示す。

【０００８】先ず長手方向の形状は、上述したように図
１３Ａに示すように凸形状であることが望ましく、図１
３Ｂに示すフラットな形状及び図１３Ｃに示す凹形状と
なる場合は、耐久性及び信頼性が問題となる。図１３Ａ
の状態をポジティブ・クラウン、図１３Ｃの状態をネガ
ティブ・クラウンと呼び、ポジティブ・クラウンの状態
となるときに、上述したＣＳＳにおける摩擦力の低下を
はかることができ、耐久性の向上をはかることができる
とされている。

【０００９】また幅方向の形状は、図１４Ａに示すよう
に両側の浮上面が外側を向いている状態が望ましく、図
１４Ｂに示すように両側の浮上面がフラットな形状とな
る場合や図２３Ｃに示すように両側の浮上面が内側に従
って向かい合っている状態においては、やはり耐久性等
の点において問題がある。図１４Ａの状態をポジティブ
・キャンバー、図１４Ｃの状態をネガティブ・キャンバ
ーと呼ぶ。図１４Ａに示すように、両浮上面が外側に向
かって凸形状となるポジティブ・キャンバーの状態とな
るときに耐久性の向上をはかることができる。

【００１０】通常の浮上面の通常の最終研磨工程におい
ては、鉛や錫等より成る軟質金属定盤とダイヤモンド等
の微細砥粒を用いる方法が採られており、図１５に幅方
向の略線的拡大断面図を示すように、浮上面３の形状は
ほぼ平面となっている。

【００１１】一方、錫や鉛に樹脂等を混入して成る軟質
定盤を用いて研磨する方法による場合は、加工物の周辺
部が選択的に多く加工されていわゆるだれが生じ、曲面
状の表面形状が得られることが知られている。

【００１２】しかしながら、この軟質な研磨定盤を用い
た方法によってスライダーの浮上面を研磨する場合は、
長手方向の凸形状即ちポジティブ・クラウンの形状は得
られるものの、幅方向に関しては、図１６Ａにその一例
の略線的拡大斜視図を示すように、各浮上面３がそれぞ
れ凸形状となったり、或いは図１６Ｂに示すように、両
浮上面３が内側に向かって凸となるいわゆるネガティブ
・キャンバーの状態となって、耐久性の向上をはかり難
く、また貼り付きを抑制して信頼性を向上することが難
しい。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、磁気ヘッド
装置の浮上型ヘッドスライダーの浮上面の形状を、長手
方向には凸形状のいわゆるポジティブ・クラウンの状態
とし、幅方向には両側の浮上面が互いに外側を向くいわ
ゆるポジティブ・キャンバーの状態となるように研磨し
て製造することによって、ＣＳＳにおけるヘッドと記録
媒体相互の耐久性を向上し、またヘッドと記録媒体との
貼り付きをも抑制して、磁気ヘッド装置の耐久性及び信
頼性の向上をはかる。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明磁気ヘッド装置の
製造方法は、その一例の一製造工程図を図１に示すよう
に、磁気ヘッド５が設けられるスライダー１の記録媒体
と対向する側に、記録媒体との相対的走行方向に延長し
て設けられる浮上面３の研磨工程において、この浮上面
３に隣接して補強部１０を設けて、浮上面３及び補強部
１０を軟質な研磨定盤で研磨加工した後、補強部１０を
除去する。

【００１５】また本発明の他の一による磁気ヘッド装置
の製造方法においては、スライダー１に磁気ヘッド５を
設けた後、上述したように浮上面３及び補強部１０を軟
質な研磨定盤で研磨加工する。

【００１６】

【作用】本発明磁気ヘッド装置の製造方法においては、
スライダー１の浮上面３に隣接して補強部１０を設け
て、この浮上面３と補強部１０とを軟質な研磨定盤で研
磨加工することにより、確実に浮上面３の表面状態を、
上述したポジティブ・クラウンで且つポジティブ・キャ
ンバーの状態とすることができた。

【００１７】即ち本発明においては、軟質定盤を用いて
研磨することによって、浮上面３の長手方向の両端部に
だれを生じさせ、その表面形状を凸形状とすることがで
きると共に、特に浮上面３に隣接して補強部１０を設け
ることによって、補強部１０と浮上面３との間、即ち各
浮上面３の内側部分にだれを生じることなく、外側部分
のみにだれを生じさせて研磨を施すことができる。

【００１８】つまり、本発明によれば各浮上面３の幅方
向の断面形状は、図２Ａに示すように、補強部１０を含
んで全面的に僅かな凸形状となって、この後補強部１０
を除去することにより、図２Ｂに示すように、浮上面３
を確実に外側に向かって凸形状とすることができること
となる。

【００１９】即ち本発明製造方法によれば、図３に示す
ように、矢印Ｙで示す長手方向には僅かに凸形状となる
ポジティブ・クラウンの状態とすることができると共
に、確実に矢印Ｘで示す幅方向においては、外側に向か
って凸形状となるポジティブ・キャンバーの状態とする
ことができる。

【００２０】また本発明の他の一による場合は、図１に
示すように、磁気ヘッド５をスライダー１に設けた後、
上述の研磨加工を行うことによって、同様に長手方向に
はポジティブ・クラウンで、幅方向にはポジティブ・キ
ャンバーの表面状態の浮上面３を得ることができる。

【００２１】従って、ＣＳＳにおける耐久性の向上をは
かることができ、更に磁気ヘッドと記録媒体との貼り付
きを抑制して磁気ヘッド装置の信頼性の向上をはかるこ
とができる。

【００２２】

【実施例】以下本発明磁気ヘッド装置の製造方法の各例
を詳細に説明する。各例共に、図１に示すように、スラ
イダー１に磁気ヘッド５を組み込んで成るいわゆるコン
ポジット型の磁気ヘッド装置に適用した場合を示す。

【００２３】この場合、スライダー１はチタン酸カリウ
ム、アルチック等の例えばチタン酸カリウムより成り、
その表面には、記録媒体（図示せず）との相対的走行方
向即ち長手方向に延長する例えば２本のレール１３Ａ及
び１３Ｂが設けられてその上面が浮上面３とされ、これ
に隣接して、即ちこの場合これらレール１３Ａ及び１３
Ｂに挟まれて補強部１０が設けられる。２はこれらレー
ル１３Ａ及び１３Ｂと、補強部１０との間の長手方向に
延長する溝で、レール１３Ａ及び１３Ｂの両外側にも同
様の溝４が設けられる。

【００２４】そしてスライダー１の一方のレール１３Ａ
の一端の側面に磁気ヘッド５が、その磁気ギャップｇが
浮上面３に臨むように設けられて成る。１６はこのヘッ
ド５を固定する融着ガラスを示す。また、７は磁気ヘッ
ド５の巻線作業用の溝を示す。

【００２５】このようなスライダー１の加工工程を図４
及び図５の各工程図を参照して説明する。図４及び図５
において、図１に対応する部分には同一符号を付して重
複説明を省略する。先ず図４に示すように、スライダー
１の一方のレール１３Ａの上面には、その幅方向の断面
がＶ字状とされた溝１４が、長手方向に連通して設けら
れて成り、またその長手方向の一端には、溝１４側から
スライダー１の裏面に貫通して磁気ヘッド用溝８が穿設
されて、ここに磁気ヘッド５が組み込まれるようになさ
れている。１５は磁気ヘッド５の融着用の例えば筒状の
ガラスを示す。

【００２６】また図４において２１は磁気ヘッド５の磁
気コア部、２２は巻線溝、２３はトラック幅規制溝を示
す。

【００２７】図５にこの磁気ヘッド５を図４において矢
印ａで示すようにスライダー１に組み込んで、また矢印
ｂで示すようにガラス１５を断面Ｖ字状の溝１４内に載
置した状態を示す。

【００２８】そしてこの後、例えば融着炉においてガラ
ス融着を行って磁気ヘッド５の磁気ギャップｇ近傍をス
ライダー１に固定して、各レール１３Ａ及び１３Ｂ、更
に補強部１０の上面を研削して、図１に示すように、レ
ール１３Ａの上面に磁気ギャップｇが臨むように所定寸
法まで加工を施して、レール１３Ａ及び１３Ｂ、補強部
１０の上面をほぼ同一平面とする。

【００２９】そしてこの後、浮上面３及び補強部１０の
上面とを軟質の例えば錫や鉛に樹脂等を混入して成る軟
質定盤を用いて研磨を施して、浮上面３を研磨加工し、
研磨工程後に補強部１０を研削等により除去する。

【００３０】このように補強部１０を設けて研磨を施す
ことにより、浮上面３の長手方向には、その両端に僅か
なだれを生じさせてポジティブ・クラウンの状態とする
ことができ、また幅方向においても、浮上面３の内側部
にはだれを生じさせずに、外側部のみにだれを生じさせ
てポジティブ・キャンバーの状態とすることができる。

【００３１】次に、補強部１０をスライダー１の部材と
は別体に設ける場合について図６〜図１０を参照して説
明する。図６〜図１０において、図１及び図４に対応す
る部分には同一符号を付して重複説明を省略する。

【００３２】この例においては、図６に示すように、レ
ール１３Ａ及び１３Ｂの間に補強部を設けることなく、
通常のスライダー１を用いて、これに磁気ヘッド５を組
み込むようになす。矢印ｃで示すように、磁気ヘッド用
溝８に磁気ヘッド５を組み込み、矢印ｄで示すように一
方のレール１３Ａ上の溝１４に融着用のガラス１５を載
置する。この状態を図７に示す。

【００３３】そして例えば融着炉においてガラス融着を
行って、磁気ヘッド５をスライダー１に固定する。その
後、図８に示すように、各レール１３Ａ及び１３Ｂの間
の溝２に、スライダー１と同一材料か或いはスライダー
１と同程度の硬度を有する材料より成る補強部１０を矢
印ｅで示すように持ち来す。

【００３４】補強部１０を樹脂接着剤等により接着固定
した状態を図９に示す。この補強部１０の厚さ即ち溝２
からの高さＨ_cは、最終的に得る浮上面の溝２からの高
さに比し大として、後述する研磨工程において浮上面の
みが軟質定盤により研磨されることを回避するようにな
す。

【００３５】そして前述の図１の例と同様に、各レール
１３Ａ及び１３Ｂ、更に補強部１０の上面を研削して、
図１に示すように、レール１３Ａの上面に磁気ギャップ
ｇが臨むように、所定寸法まで加工を施して、図１０に
示すように、レール１３Ａ及び１３Ｂと補強部１０との
上面をほぼ同一平面とする。

【００３６】そしてこの後、浮上面３及び補強部１０の
上面とを軟質の例えば錫や鉛に樹脂等を混入して成る軟
質定盤を用いて研磨を行って、浮上面３を研磨加工す
る。そして研磨工程後に、補強部１０を研削等により除
去する。

【００３７】上述したように補強部１０を設けて研磨を
施すことにより、浮上面３の長手方向には、その両端に
僅かなだれを生じさせてポジティブ・クラウンの状態と
することができ、また幅方向においても、浮上面３の内
側部にはだれを生じさせずに、外側部のみにだれを生じ
させてポジティブ・キャンバーの状態とすることができ
る。

【００３８】このように本発明製造方法においては、浮
上面３をポジティブ・クラウンで且つポジティブ・キャ
ンバーの状態とすることができることから、ＣＳＳにお
ける耐久性の向上をはかることができ、更に磁気ヘッド
と記録媒体との貼り付きを抑制して、信頼性の向上をは
かることができる。

【００３９】尚、本発明製造方法においては、その補強
部１０の形状としては、上述の各実施例において説明し
た形状に限ることなく、その他例えば図１１Ａに示すよ
うに、スライダー１の各レール１３Ａ及び１３Ｂの間の
溝２内に、枠状に浮上面３の高さと同程度の高さの補強
部１０を設けたり、また図１１Ｂに示すように、レール
１３Ａ及び１３Ｂと平行に延長するレール状の補強部１
０を、溝２内に例えば２本設ける構成としたり、図１１
Ｃに示すように、卓状と枠状の補強部１０を組み合わせ
て、例えば卓状の２つの補強部を溝２内の長手方向先端
部と後端部に配しその間に枠状の補強部を設ける構成と
する等、種々の形状構成とすることができる。

【００４０】また、上述の実施例においてはスライダー
１に磁気ヘッドを組み込んだ後、浮上面３を研磨する場
合に本発明を適用した例について説明したが、本発明
は、磁気ヘッド５を組み込む前に浮上面３を形成する場
合にも適用することができる。

【００４１】また更に、本発明磁気ヘッド装置の製造方
法は、上述したようにコンポジット型の磁気ヘッド装置
に限ることなく、その他例えばスライダー１と一体に磁
気ヘッドの磁気コア部を形成するいわゆるモノリシック
型の磁気ヘッド装置や、薄膜パターンによる磁気ヘッド
をスライダー上に被着形成して成る薄膜ヘッド型の磁気
ヘッド装置等の種々の磁気ヘッド装置に適用することが
でき、またそのスライダーの形状構成としても、例えば
浮上面を構成するレールが３本設けられる場合等、種々
の形状構成のスライダーを有する磁気ヘッド装置の製造
方法に適用することができる。

【００４２】

【発明の効果】上述したように、本発明磁気ヘッド装置
の製造方法によれば、スライダー１の浮上面３の表面形
状を、長手方向にはポジティブ・クラウンの状態とし、
且つ確実に幅方向においてはポジティブ・キャンバーの
状態とすることができて、これによりＣＳＳにおける耐
久性の向上をはかることができ、更に磁気ヘッドと記録
媒体との貼り付きを抑制して磁気ヘッド装置の信頼性の
向上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の一例の一製
造工程図である。

【図２】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の説明図であ
る。

【図３】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の説明図であ
る。

【図４】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の一例の一製
造工程図である。

【図５】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の一例の一製
造工程図である。

【図６】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の他の例の一
製造工程図である。

【図７】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の他の例の一
製造工程図である。

【図８】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の他の例の一
製造工程図である。

【図９】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の他の例の一
製造工程図である。

【図１０】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の他の例の
一製造工程図である。

【図１１】本発明磁気ヘッド装置の製造方法の各例の説
明図である。

【図１２】磁気ヘッド装置のスライダーの一例の略線的
拡大斜視図である。

【図１３】浮上面の長手方向断面形状の説明図である。

【図１４】浮上面の幅方向の断面形状の説明図である。

【図１５】従来のスライダーの一例の略線的拡大断面図
である。

【図１６】従来のスライダーの各例の略線的拡大断面図
である。

【符号の説明】

１スライダー２溝３浮上面４溝５磁気ヘッド１０補強部１３Ａレール１３Ｂレール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッドが設けられるスライダーの記
録媒体と対向する側に、上記記録媒体との相対的走行方
向に延長して設けられる浮上面の研磨工程において、上記浮上面に隣接して補強部を設けて、上記浮上面及び
上記補強部を軟質な研磨定盤で研磨加工した後、上記補
強部を除去することを特徴とする磁気ヘッド装置の製造
方法。
【請求項２】上記スライダーに磁気ヘッドを設けた
後、上記浮上面及び上記補強部を軟質な研磨定盤で研磨
加工することを特徴とする上記請求項１に記載の磁気ヘ
ッド装置の製造方法。