JPH08320217A - 二次元傾きセンサ - Google Patents
二次元傾きセンサInfo
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- JPH08320217A JPH08320217A JP12827995A JP12827995A JPH08320217A JP H08320217 A JPH08320217 A JP H08320217A JP 12827995 A JP12827995 A JP 12827995A JP 12827995 A JP12827995 A JP 12827995A JP H08320217 A JPH08320217 A JP H08320217A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスク等の反射鏡面を有した被検出物体
の二次元の傾きを検出する二次元傾きセンサにおいて、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各々の傾き角を正確に検出でき
るようにする。 【構成】 センサ本体内に発光光源１とこの光源１から
出て被検出物体で反射した光を受光する受光素子２を配
置する。また、受光素子２を光源１を通る直線（Ｙ軸）
に対して対称に四つの受光部２ａ〜２ｄに分割するとと
もに、各受光部２ａ〜２ｄの全体にわたって、Ｙ軸のセ
ンサ原点（Ｏ）から外側に向かって大きさが小から大と
なるような受光穴７ａを有した遮光層７を設ける。そし
て、各受光部２ａ〜２ｄの出力から被検出物体の二次元
方向の傾き角をそれぞれ演算により検出する。
の二次元の傾きを検出する二次元傾きセンサにおいて、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の各々の傾き角を正確に検出でき
るようにする。 【構成】 センサ本体内に発光光源１とこの光源１から
出て被検出物体で反射した光を受光する受光素子２を配
置する。また、受光素子２を光源１を通る直線（Ｙ軸）
に対して対称に四つの受光部２ａ〜２ｄに分割するとと
もに、各受光部２ａ〜２ｄの全体にわたって、Ｙ軸のセ
ンサ原点（Ｏ）から外側に向かって大きさが小から大と
なるような受光穴７ａを有した遮光層７を設ける。そし
て、各受光部２ａ〜２ｄの出力から被検出物体の二次元
方向の傾き角をそれぞれ演算により検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に反射鏡面を有した
光ディスク等の被検出物体の二次元の傾きを検出する光
学式反射型の二次元傾きセンサに関するものである。
光ディスク等の被検出物体の二次元の傾きを検出する光
学式反射型の二次元傾きセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は光ディスク等の二次元の傾きを検
出する一般的な二次元傾きセンサ（二次元スキューセン
サ）の概略構成を示す斜視図である。この傾きセンサ
は、光学式反射型のセンサであり、ＬＥＤ（発光ダイオ
ード）等の発光光源１と四つの受光部２ａ〜２ｄに分割
された４分割受光素子２が本体３内に収納されている。
そして、４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄは、光
源１を通る直線（Ｙ−Ｙ´軸）に対して対称に配置され
ている。また、本体３の上部にはレンズ部４が設けら
れ、本体３の下部にはリード端子５が接続されている。
出する一般的な二次元傾きセンサ（二次元スキューセン
サ）の概略構成を示す斜視図である。この傾きセンサ
は、光学式反射型のセンサであり、ＬＥＤ（発光ダイオ
ード）等の発光光源１と四つの受光部２ａ〜２ｄに分割
された４分割受光素子２が本体３内に収納されている。
そして、４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄは、光
源１を通る直線（Ｙ−Ｙ´軸）に対して対称に配置され
ている。また、本体３の上部にはレンズ部４が設けら
れ、本体３の下部にはリード端子５が接続されている。
【０００３】図８は上記発光光源１と受光素子２の位置
関係を示す図で（ａ）は等価回路、（ｂ）はＺ軸方向か
ら見た配置位置を示している。また、同図中の６はレン
ズ部４の上方の反射鏡面を有したＣＤ（コンパクトディ
スク）等の被検出物体を示している。
関係を示す図で（ａ）は等価回路、（ｂ）はＺ軸方向か
ら見た配置位置を示している。また、同図中の６はレン
ズ部４の上方の反射鏡面を有したＣＤ（コンパクトディ
スク）等の被検出物体を示している。
【０００４】上記構成の傾きセンサは、レンズ部４のＺ
軸の上方に配置された物体６の二次元の傾きを検出でき
るようになっている。すなわち、光源１から出た光がレ
ンズ部４を通り、物体６の鏡面で反射して再びレンズ部
４を通って４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄに入
射する。そして、この各受光部２ａ〜２ｄの出力から上
記物体６のＸ−Ｘ´軸及びＹ−Ｙ´軸に対する傾き角を
検出することができる。
軸の上方に配置された物体６の二次元の傾きを検出でき
るようになっている。すなわち、光源１から出た光がレ
ンズ部４を通り、物体６の鏡面で反射して再びレンズ部
４を通って４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄに入
射する。そして、この各受光部２ａ〜２ｄの出力から上
記物体６のＸ−Ｘ´軸及びＹ−Ｙ´軸に対する傾き角を
検出することができる。
【０００５】例えば、図９の（ａ）に示すように物体６
がＹ−Ｙ´軸に平行な軸を中心にΔθｙだけ傾けた場
合、４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの各出力を
それぞれａ，ｂ，ｃ，ｄとすると、（ａ＋ｃ）−（ｂ＋
ｄ）の演算を行うことによってその傾き角を検出するこ
とができ、したがって図９の（ｂ）に示すように（ａ＋
ｃ）−（ｂ＋ｄ）の検出信号から物体６のＸ−Ｘ´軸に
対する傾き角θｙを検出することができる。
がＹ−Ｙ´軸に平行な軸を中心にΔθｙだけ傾けた場
合、４分割受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの各出力を
それぞれａ，ｂ，ｃ，ｄとすると、（ａ＋ｃ）−（ｂ＋
ｄ）の演算を行うことによってその傾き角を検出するこ
とができ、したがって図９の（ｂ）に示すように（ａ＋
ｃ）−（ｂ＋ｄ）の検出信号から物体６のＸ−Ｘ´軸に
対する傾き角θｙを検出することができる。
【０００６】また、図１０の（ａ）に示すように物体６
がＸ−Ｘ´軸に平行な軸を中心にΔθｘだけ傾けた場合
は、同図の（ｂ）に示すように（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）
の演算を行うことによって上記と同様傾き角θｘを検出
することができる。
がＸ−Ｘ´軸に平行な軸を中心にΔθｘだけ傾けた場合
は、同図の（ｂ）に示すように（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）
の演算を行うことによって上記と同様傾き角θｘを検出
することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の二次元傾きセンサにあっては、受光素子２
の各受光部２ａ〜２ｄがＸ−Ｘ´軸に対して対称ではな
いため、被検出物体６の傾き角を正確に検出することが
できないという問題点があった。
ような従来の二次元傾きセンサにあっては、受光素子２
の各受光部２ａ〜２ｄがＸ−Ｘ´軸に対して対称ではな
いため、被検出物体６の傾き角を正確に検出することが
できないという問題点があった。
【０００８】すなわち、被検出物体６がＹ−Ｙ´軸に平
行な軸を中心に傾いた場合、（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）の
差出力は傾き角θｙによって変化し、−方向と＋方向で
出力の絶対値は対称となる。しかし、被検出物体６がＸ
−Ｘ´軸に平行な軸を中心に傾いた場合は、（ａ＋ｂ）
−（ｃ＋ｄ）の出力は傾き角θｘによって変化するが、
−方向と＋方向で出力の絶対値は対称とはならない。
行な軸を中心に傾いた場合、（ａ＋ｃ）−（ｂ＋ｄ）の
差出力は傾き角θｙによって変化し、−方向と＋方向で
出力の絶対値は対称となる。しかし、被検出物体６がＸ
−Ｘ´軸に平行な軸を中心に傾いた場合は、（ａ＋ｂ）
−（ｃ＋ｄ）の出力は傾き角θｘによって変化するが、
−方向と＋方向で出力の絶対値は対称とはならない。
【０００９】そして、上記被検出物体６が傾くにつれて
該被検出物体６で反射した光が再びレンズ部４に入射で
きなくなることと、被検出物体６が傾くことによって生
じる偏心の収差のため、受光素子２上の像が歪み、これ
が検出出力に影響を及ぼす。
該被検出物体６で反射した光が再びレンズ部４に入射で
きなくなることと、被検出物体６が傾くことによって生
じる偏心の収差のため、受光素子２上の像が歪み、これ
が検出出力に影響を及ぼす。
【００１０】上記の被検出物体６がＹ−Ｙ´軸に平行な
軸を中心に傾いた場合、検出出力が−方向と＋方向で対
称になるのは、本体３内の光源１及び４分割受光素子２
がＹ−Ｙ´軸に対称であるためで、上述の歪みの影響が
−方向と＋方向で同様に起こるためである。
軸を中心に傾いた場合、検出出力が−方向と＋方向で対
称になるのは、本体３内の光源１及び４分割受光素子２
がＹ−Ｙ´軸に対称であるためで、上述の歪みの影響が
−方向と＋方向で同様に起こるためである。
【００１１】また被検出物体６がＸ−Ｘ´軸に平行な軸
を中心に傾いた場合は、本体３内の光源１及び４分割受
光素子２がＸ−Ｘ´軸に対して対称でないため、被検出
物体６が−方向に傾いた場合と＋方向に傾いた場合とで
上記の歪みの影響が異なる。特に、被検出物体６が＋方
向に傾くにしたがって該被検出物体６で反射した光がレ
ンズ部４に入射できなくなり、出力ａ，ｂ，ｃ，ｄは小
さくなる。
を中心に傾いた場合は、本体３内の光源１及び４分割受
光素子２がＸ−Ｘ´軸に対して対称でないため、被検出
物体６が−方向に傾いた場合と＋方向に傾いた場合とで
上記の歪みの影響が異なる。特に、被検出物体６が＋方
向に傾くにしたがって該被検出物体６で反射した光がレ
ンズ部４に入射できなくなり、出力ａ，ｂ，ｃ，ｄは小
さくなる。
【００１２】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、受光素子の二次元の各±方向の出力に
良好な対称性を持たせることができ、被検出物体の二次
元方向の傾き角を正確に検出することが可能な二次元傾
きセンサを提供することを目的としている。
なされたもので、受光素子の二次元の各±方向の出力に
良好な対称性を持たせることができ、被検出物体の二次
元方向の傾き角を正確に検出することが可能な二次元傾
きセンサを提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る二次元傾き
センサは、被検出物体の二次元の傾きを検出する傾きセ
ンサにおいて、発光光源と、この光源から出て前記被測
定物体で反射した光を受光する受光素子を備え、該受光
素子は、前記光源を通る直線に対して対称に分割された
複数の受光部を有し、かつ前記直線の光源側より連続的
に光の透過度が増す密度勾配を持った遮光層が各受光部
の全体にわたって設けられ、前記受光素子の各受光部の
出力から被測定物体の傾きを検出するように構成したも
のである。
センサは、被検出物体の二次元の傾きを検出する傾きセ
ンサにおいて、発光光源と、この光源から出て前記被測
定物体で反射した光を受光する受光素子を備え、該受光
素子は、前記光源を通る直線に対して対称に分割された
複数の受光部を有し、かつ前記直線の光源側より連続的
に光の透過度が増す密度勾配を持った遮光層が各受光部
の全体にわたって設けられ、前記受光素子の各受光部の
出力から被測定物体の傾きを検出するように構成したも
のである。
【００１４】また上記構成の二次元傾きセンサにおい
て、受光素子の遮光層は、光源側より大きさが小から大
となる受光穴を有したもの、あるいは光源側より大きさ
が大から小となる遮光部を有したもの、あるいは光源側
より間隔が小から大となる線状の遮光部を有したもの、
あるいは光源側より幅が大から小となる逆三角形状の遮
光部を有したもので形成したものである。
て、受光素子の遮光層は、光源側より大きさが小から大
となる受光穴を有したもの、あるいは光源側より大きさ
が大から小となる遮光部を有したもの、あるいは光源側
より間隔が小から大となる線状の遮光部を有したもの、
あるいは光源側より幅が大から小となる逆三角形状の遮
光部を有したもので形成したものである。
【００１５】
【作用】本発明によれば、受光素子が光源を通る直線に
対して対称に複数の受光部に分割され、かつ各受光部の
全体に光源側より連続的に光の透過度が増す遮光層が設
けられているので、被検出物体の二次元方向の各傾きに
対して受光素子の検出出力は±方向で対称となる。
対して対称に複数の受光部に分割され、かつ各受光部の
全体に光源側より連続的に光の透過度が増す遮光層が設
けられているので、被検出物体の二次元方向の各傾きに
対して受光素子の検出出力は±方向で対称となる。
【００１６】
【実施例】図１は本発明の第１実施例による光学式反射
型の二次元傾きセンサの要部を示す平面図であり、図７
と同一符号は同一構成要素を示している。
型の二次元傾きセンサの要部を示す平面図であり、図７
と同一符号は同一構成要素を示している。
【００１７】図１において、１はＬＥＤ等の発光素子か
らなる発光光源、２はこの光源１から出て光ディスク等
の被検出物体の反射鏡面（図示せず）で反射した光を受
光する４分割受光素子で、光源１を通る直線（Ｙ−Ｙ´
軸）に対して対称に分割された複数（ここでは四つ）の
受光部２ａ〜２ｄを有している。
らなる発光光源、２はこの光源１から出て光ディスク等
の被検出物体の反射鏡面（図示せず）で反射した光を受
光する４分割受光素子で、光源１を通る直線（Ｙ−Ｙ´
軸）に対して対称に分割された複数（ここでは四つ）の
受光部２ａ〜２ｄを有している。
【００１８】また、７は上記光源１を通る直線の光源側
より連続的に光の透過度が増す密度勾配を持った遮光層
で、受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの全体にわたって
設けられている。本実施例では、この遮光層７は図示の
ように、光源側より大きさが小から大となる円形の受光
穴７ａを有したものとなっている。図中の各受光部２ａ
〜２ｄの中の円形斜線部分は出力端子部であり、また周
囲の斜線部分は遮光部を示している。
より連続的に光の透過度が増す密度勾配を持った遮光層
で、受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの全体にわたって
設けられている。本実施例では、この遮光層７は図示の
ように、光源側より大きさが小から大となる円形の受光
穴７ａを有したものとなっている。図中の各受光部２ａ
〜２ｄの中の円形斜線部分は出力端子部であり、また周
囲の斜線部分は遮光部を示している。
【００１９】なお、その他の構成は図７と同様であり、
光源１及び遮光層７を持った受光素子２は本体３内に収
納され、その上部にレンズ部４が設けられ、その上方に
被検出物体が位置するようになっている。また、リード
端子６の各受光部２ａ〜２ｄの出力から被検出物体の傾
きが検出されるように構成されている。
光源１及び遮光層７を持った受光素子２は本体３内に収
納され、その上部にレンズ部４が設けられ、その上方に
被検出物体が位置するようになっている。また、リード
端子６の各受光部２ａ〜２ｄの出力から被検出物体の傾
きが検出されるように構成されている。
【００２０】上記のように構成された二次元傾きセンサ
においては、上方の被検出物体がＹ−Ｙ´軸に平行な軸
を中心に傾いた場合、その傾き角θｙによって変化する
受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの差出力（ａ＋ｃ）−
（ｂ＋ｄ）は−方向と＋方向で出力の絶対値が対称とな
り、したがって正確な傾き角θｙを検出することができ
る。
においては、上方の被検出物体がＹ−Ｙ´軸に平行な軸
を中心に傾いた場合、その傾き角θｙによって変化する
受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄの差出力（ａ＋ｃ）−
（ｂ＋ｄ）は−方向と＋方向で出力の絶対値が対称とな
り、したがって正確な傾き角θｙを検出することができ
る。
【００２１】また、被検出物体がＸ−Ｘ´軸に平行な軸
を中心に傾いた場合、従来構成では差出力（ａ＋ｂ）−
（ｃ＋ｄ）が−方向と＋方向で絶対値が対称とならない
が、本実施例ではその特性から逆算して感度勾配を付け
た遮光層７を設けているので、検出出力が−方向と＋方
向で対称となるように補正される。
を中心に傾いた場合、従来構成では差出力（ａ＋ｂ）−
（ｃ＋ｄ）が−方向と＋方向で絶対値が対称とならない
が、本実施例ではその特性から逆算して感度勾配を付け
た遮光層７を設けているので、検出出力が−方向と＋方
向で対称となるように補正される。
【００２２】すなわち、４分割受光素子２の四つの受光
部２ａ〜２ｄ上に、Ｙ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原点
（Ｏ）方向より外周方向に向かって密から粗となるよう
な連続的な密度勾配を持たせた遮光層７を設け、Ｙ−Ｙ
´軸に沿って連続的な感度勾配を持たせている。このた
め、図２に示すようにＸ−Ｘ´軸に対する傾き特性、つ
まり差出力（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）も−方向と＋方向で
対称になり、傾き角θｘを正確に検出することができ
る。
部２ａ〜２ｄ上に、Ｙ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原点
（Ｏ）方向より外周方向に向かって密から粗となるよう
な連続的な密度勾配を持たせた遮光層７を設け、Ｙ−Ｙ
´軸に沿って連続的な感度勾配を持たせている。このた
め、図２に示すようにＸ−Ｘ´軸に対する傾き特性、つ
まり差出力（ａ＋ｂ）−（ｃ＋ｄ）も−方向と＋方向で
対称になり、傾き角θｘを正確に検出することができ
る。
【００２３】図３は本発明の第２実施例を示す平面図で
あり、図１と同一符号は同一構成要素を示している。本
実施例は、受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄ上に、Ｙ−
Ｙ´軸に沿ってセンサ原点（Ｏ）方向より外周方向に大
きさが大から小となる円形の遮光部７ｂを有した遮光層
７を設けたものである。
あり、図１と同一符号は同一構成要素を示している。本
実施例は、受光素子２の各受光部２ａ〜２ｄ上に、Ｙ−
Ｙ´軸に沿ってセンサ原点（Ｏ）方向より外周方向に大
きさが大から小となる円形の遮光部７ｂを有した遮光層
７を設けたものである。
【００２４】このような構成としても、上述の実施例と
同様Ｘ−Ｘ´軸に対する傾き特性が補正される。したが
って、受光素子２の二次元の各±方向の出力に良好な対
称性を持たせることができ、被検出物体の二次元方向の
傾き角θｘ，θｙを正確に検出することができる。
同様Ｘ−Ｘ´軸に対する傾き特性が補正される。したが
って、受光素子２の二次元の各±方向の出力に良好な対
称性を持たせることができ、被検出物体の二次元方向の
傾き角θｘ，θｙを正確に検出することができる。
【００２５】また、図４及び図５は本発明の第３実施例
及び第４実施例を示す平面図である。図４に示す実施例
は、Ｙ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原点（Ｏ）方向より外周
方向に向かって互いの間隔が小から大となるような線状
の遮光部７ｃを有した４分割受光素子２を設けた例、図
５に示す実施例は、同じくＹ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原
点（Ｏ）方向より幅が大から小となる逆三角形状の遮光
部７ｄを有した４分割受光素子２を設けた例である。
及び第４実施例を示す平面図である。図４に示す実施例
は、Ｙ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原点（Ｏ）方向より外周
方向に向かって互いの間隔が小から大となるような線状
の遮光部７ｃを有した４分割受光素子２を設けた例、図
５に示す実施例は、同じくＹ−Ｙ´軸に沿ってセンサ原
点（Ｏ）方向より幅が大から小となる逆三角形状の遮光
部７ｄを有した４分割受光素子２を設けた例である。
【００２６】このような構成であっても、上述の各実施
例と同等の作用効果を得ることができ、受光素子２に感
度勾配を持たせることによるＸ方向及びＹ方向の良好な
±方向の対称性を得ることができ、正確な傾き角を検出
することができる。
例と同等の作用効果を得ることができ、受光素子２に感
度勾配を持たせることによるＸ方向及びＹ方向の良好な
±方向の対称性を得ることができ、正確な傾き角を検出
することができる。
【００２７】ここで、上記４分割受光素子２の構造は、
図１及び図３〜図５に示すものに限らず、例えば図６の
（ａ）に示すように各受光部２Ａ〜２Ｄが三角形となる
ように分割されたものであっても良い。この場合、図６
の（ｂ）に示すように各受光部２Ａ〜２Ｄの出力をＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄとすると、θｙ方向の差出力は（Ａ−Ｂ）、
θｘ方向の差出力は（Ｃ−Ｄ）となる。
図１及び図３〜図５に示すものに限らず、例えば図６の
（ａ）に示すように各受光部２Ａ〜２Ｄが三角形となる
ように分割されたものであっても良い。この場合、図６
の（ｂ）に示すように各受光部２Ａ〜２Ｄの出力をＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄとすると、θｙ方向の差出力は（Ａ−Ｂ）、
θｘ方向の差出力は（Ｃ−Ｄ）となる。
【００２８】また、遮光層７の構造も図１及び図３〜図
５に示すものに限ることはなく、例えば図１の受光穴７
ａや図３の遮光部７ｂの形状は四角形やその他の形状で
あっても良い。
５に示すものに限ることはなく、例えば図１の受光穴７
ａや図３の遮光部７ｂの形状は四角形やその他の形状で
あっても良い。
【００２９】なお、図１及び図３〜図５では遮光層７の
構造をわかり易くするために受光穴７ａ及び遮光部７
ｂ，７ｃ，７ｄの形状を受光素子２の大きさに比べて相
対的に大きく描いてあるが、実際にはこの受光穴７ａ及
び遮光部７ｂ，７ｃ，７ｄはかなり細かな形状となるも
のである。
構造をわかり易くするために受光穴７ａ及び遮光部７
ｂ，７ｃ，７ｄの形状を受光素子２の大きさに比べて相
対的に大きく描いてあるが、実際にはこの受光穴７ａ及
び遮光部７ｂ，７ｃ，７ｄはかなり細かな形状となるも
のである。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被検出
物体からの反射光を受光する受光素子を、光源を通る直
線に対して対称に複数の受光部に分割し、かつ各受光部
の全体にわたって光源側より連続的に光の透過度が増す
遮光層を設けたため、受光素子の二次元の各±方向の出
力に良好な対称性を持たせることができ、被検出物体の
二次元方向の傾き角を正確に検出することができるとい
う効果がある。
物体からの反射光を受光する受光素子を、光源を通る直
線に対して対称に複数の受光部に分割し、かつ各受光部
の全体にわたって光源側より連続的に光の透過度が増す
遮光層を設けたため、受光素子の二次元の各±方向の出
力に良好な対称性を持たせることができ、被検出物体の
二次元方向の傾き角を正確に検出することができるとい
う効果がある。
【図１】 本発明の第１実施例の要部を示す平面図
【図２】 第１実施例における検出信号を示す特性図
【図３】 本発明の第２実施例の要部を示す平面図
【図４】 本発明の第３実施例の要部を示す平面図
【図５】 本発明の第４実施例の要部を示す平面図
【図６】 ４分割受光素子の他の構造例を示す説明図
【図７】 光学式反射型の傾きセンサの概略構成を示す
斜視図
斜視図
【図８】 発光光源と受光素子の位置関係を示す説明図
【図９】 従来の傾き角検出の様子を示す説明図
【図１０】 従来の傾き角検出の様子を示す説明図
１ 発光光源 ２ ４分割受光素子 ２ａ 受光部 ２ｂ 受光部 ２ｃ 受光部 ２ｄ 受光部 ３ 本体 ４ レンズ部 ６ 被検出物体 ７ 遮光層 ７ａ 受光穴 ７ｂ 遮光部 ７ｃ 遮光部 ７ｄ 遮光部
Claims (5)
- 【請求項１】 被検出物体の二次元の傾きを検出する傾
きセンサにおいて、発光光源と、この光源から出て前記
被測定物体で反射した光を受光する受光素子を備え、該
受光素子は、前記光源を通る直線に対して対称に分割さ
れた複数の受光部を有し、かつ前記直線の光源側より連
続的に光の透過度が増す密度勾配を持った遮光層が各受
光部の全体にわたって設けられ、前記受光素子の各受光
部の出力から被測定物体の傾きを検出することを特徴と
する二次元傾きセンサ。 - 【請求項２】 遮光層は、光源側より大きさが小から大
となる受光穴を有したものであることを特徴とする請求
項１記載の二次元傾きセンサ。 - 【請求項３】 遮光層は、光源側より大きさが大から小
となる遮光部を有したものであることを特徴とする請求
項１記載の二次元傾きセンサ。 - 【請求項４】 遮光層は、光源側より間隔が小から大と
なる線状の遮光部を有したものであることを特徴とする
請求項１記載の二次元傾きセンサ。 - 【請求項５】 遮光層は、光源側より幅が大から小とな
る逆三角形状の遮光部を有したものであることを特徴と
する請求項１記載の二次元傾きセンサ。
Priority Applications (1)
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| JP12827995A JP3378953B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 二次元傾きセンサ |
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| JPH08320217A true JPH08320217A (ja) | 1996-12-03 |
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Family Applications (1)
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| JP12827995A Expired - Fee Related JP3378953B2 (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 二次元傾きセンサ |
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| JP (1) | JP3378953B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001095043A1 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Hideyuki Yoshikawa | Remote control traveling device |
| US7577076B2 (en) | 2003-03-14 | 2009-08-18 | Ricoh Company, Ltd. | Tilt sensor using diffraction grating |
| CN105928456A (zh) * | 2016-04-18 | 2016-09-07 | 深圳市欢创科技有限公司 | 一种光学检测装置、系统及方法 |
| CN107941207A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-04-20 | 北京京东方光电科技有限公司 | 陀螺仪、电子装置及检测角速度的方法 |
-
1995
- 1995-05-26 JP JP12827995A patent/JP3378953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001095043A1 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Hideyuki Yoshikawa | Remote control traveling device |
| US7577076B2 (en) | 2003-03-14 | 2009-08-18 | Ricoh Company, Ltd. | Tilt sensor using diffraction grating |
| CN105928456A (zh) * | 2016-04-18 | 2016-09-07 | 深圳市欢创科技有限公司 | 一种光学检测装置、系统及方法 |
| CN107941207A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-04-20 | 北京京东方光电科技有限公司 | 陀螺仪、电子装置及检测角速度的方法 |
| WO2019114329A1 (zh) * | 2017-12-13 | 2019-06-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 陀螺仪、电子装置及检测角速度的方法 |
| US11307034B2 (en) | 2017-12-13 | 2022-04-19 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Gyroscope, electronic device and method of detecting angular velocity |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3378953B2 (ja) | 2003-02-17 |
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