JPS59166433A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS59166433A JPS59166433A JP4095883A JP4095883A JPS59166433A JP S59166433 A JPS59166433 A JP S59166433A JP 4095883 A JP4095883 A JP 4095883A JP 4095883 A JP4095883 A JP 4095883A JP S59166433 A JPS59166433 A JP S59166433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- stage
- linear motor
- circumferential hole
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
この発明は、リニアモータをｖＩＰｌ］源とする×Ｙス
デージの改良に関する。
デージの改良に関する。
（従来技術とその問題点）
周知のように、半導体製造装置、精密測定機や精密加工
機等で（Ｊ精密位置決め用にリニアエータを駆ｆｆ１ｊ
＋ ８とするＸＹステージが用いられている。
機等で（Ｊ精密位置決め用にリニアエータを駆ｆｆ１ｊ
＋ ８とするＸＹステージが用いられている。
従来、この種の×Ｙステージとしては、例えば第１図に
示すようなものが知られている。第１図において、この
ＸＹステージは、ベース１の各辺に沿って対向配設され
る一対のＸ軸すニアモータ２ＸおよびＹ軸すニアモータ
２Ｙと、上記リニアモータ２Ｘ、：２１／をそれぞれ連
結する２本の連結部材３Ｘ、３Ｙと、この２木の連結部
材３Ｘ、３Ｙの交点に配設されるステージ５とを備える
。
示すようなものが知られている。第１図において、この
ＸＹステージは、ベース１の各辺に沿って対向配設され
る一対のＸ軸すニアモータ２ＸおよびＹ軸すニアモータ
２Ｙと、上記リニアモータ２Ｘ、：２１／をそれぞれ連
結する２本の連結部材３Ｘ、３Ｙと、この２木の連結部
材３Ｘ、３Ｙの交点に配設されるステージ５とを備える
。
第２図に示すように、上記リニアモータ２Ｘ。
２Ｙは、両端が支持され対向面に永久磁石２４がＦｉｉ
！設された一対のレール２２．２３と、一方のレール２
３に所定の間隙ａをもって巻回装着されるコイルを含む
スライダ２１で構成されるこのスライダ２１は、コイル
に供給される駆動電流の大小および正逆によって、レー
ル２３に沿った直線走行が自在に制御される。
！設された一対のレール２２．２３と、一方のレール２
３に所定の間隙ａをもって巻回装着されるコイルを含む
スライダ２１で構成されるこのスライダ２１は、コイル
に供給される駆動電流の大小および正逆によって、レー
ル２３に沿った直線走行が自在に制御される。
上記連結部材３Ｘ、３Ｙは、両端部がネジ７でちってス
ライダ２１に締結されるとともに、転動輪８が設けられ
ている。この転動輪８はベース口上に上記レール２２に
沿って配設されたガイド部材９を滑動するとともに、上
記間隙ａを一定に保つようにこのガイド部材９に支持さ
れている。
ライダ２１に締結されるとともに、転動輪８が設けられ
ている。この転動輪８はベース口上に上記レール２２に
沿って配設されたガイド部材９を滑動するとともに、上
記間隙ａを一定に保つようにこのガイド部材９に支持さ
れている。
上記ステージ５は、ベース１上を滑ｔｍする４個の転動
輪６を有し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動自在になさ
れている。
輪６を有し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動自在になさ
れている。
しかし、このような従来のＸＹステージでは次のような
問題があった。
問題があった。
まず、スライダとレール間の間隙は連結部材の連結端部
を支持する転動輪でもって機械的に得るＪ：うにしであ
るために、転動輪の位置決めを高精度に行なう必要があ
り、製作が面倒である。また、この種リニアモータでは
スライダに含まれるコイル部が駆動電流で発熱し、これ
が高速動作の上限を規制していることは周知の通りであ
るが、上述したにうに連結部材を支持りる転動輪の転が
り摩擦がスライダの負荷どして１ｌｔｌねる結果、これ
がリニアモータの高速動作の上限を更に低下させている
。従って、」：記発熱の問題Ｉ）口ろスライダに１よ一
定の大きさが必要であり、これを小型化してステージの
有効移動範囲を広げることが困難である。
を支持する転動輪でもって機械的に得るＪ：うにしであ
るために、転動輪の位置決めを高精度に行なう必要があ
り、製作が面倒である。また、この種リニアモータでは
スライダに含まれるコイル部が駆動電流で発熱し、これ
が高速動作の上限を規制していることは周知の通りであ
るが、上述したにうに連結部材を支持りる転動輪の転が
り摩擦がスライダの負荷どして１ｌｔｌねる結果、これ
がリニアモータの高速動作の上限を更に低下させている
。従って、」：記発熱の問題Ｉ）口ろスライダに１よ一
定の大きさが必要であり、これを小型化してステージの
有効移動範囲を広げることが困難である。
また、同様な理由から、ＸＹステージを大型化すること
はリニアモータの駆動電流を増大させることに繋がり、
これちまた困到である。
はリニアモータの駆動電流を増大させることに繋がり、
これちまた困到である。
（発明の目的）
この発明は、リニアモータの負荷を軽減させ、かつ小型
化を図ることにより、ステージの移動範囲を広げるとと
もに、高速化を図ることができるＸＹステージを提供す
ることにある。
化を図ることにより、ステージの移動範囲を広げるとと
もに、高速化を図ることができるＸＹステージを提供す
ることにある。
（発明の構成と効果）
この発明は、−上記目的を達成するために、スライダに
、このスライダ内部に空気を周回さ１士る周回孔と、こ
の周回孔に圧送された空気をスライダとレールの間隙に
噴出１ノ静圧空気軸受構造を形成する噴出孔とを設け、
連結部材はスライダに支持されるようにしたことを特徴
とする。
、このスライダ内部に空気を周回さ１士る周回孔と、こ
の周回孔に圧送された空気をスライダとレールの間隙に
噴出１ノ静圧空気軸受構造を形成する噴出孔とを設け、
連結部材はスライダに支持されるようにしたことを特徴
とする。
この構成によれば、スライダは周回孔に圧送された空気
でもって冷却されるから、小型化が図れるとともに、駆
動電流の増大を図ることができる。
でもって冷却されるから、小型化が図れるとともに、駆
動電流の増大を図ることができる。
また、スライダは、静圧空気軸受構造でもってレールに
支持されるようにしたので、連結部材はスライダにのみ
支持させることができる。従って、従来必要とされてい
た転動輪やガイド部材が不要となり、リニアモータの負
荷が軽減されるのに加えて、製作が容易になるとともに
ＸＹステージの軽量化が図れる。また、リニアモータの
小型化が可能であるのでステージの有効移動範囲を広げ
ることができる。更に、上述したようにリニアモータの
駆動電流の増大が可能となるから、高速化が図れるとと
もにＸＹステージの大型化を図ることができる。
支持されるようにしたので、連結部材はスライダにのみ
支持させることができる。従って、従来必要とされてい
た転動輪やガイド部材が不要となり、リニアモータの負
荷が軽減されるのに加えて、製作が容易になるとともに
ＸＹステージの軽量化が図れる。また、リニアモータの
小型化が可能であるのでステージの有効移動範囲を広げ
ることができる。更に、上述したようにリニアモータの
駆動電流の増大が可能となるから、高速化が図れるとと
もにＸＹステージの大型化を図ることができる。
（実施例の説明）
第３図はこの発明の一実施例に係るＸＹステージを示す
。なお、従来と同一部分には同一符号を５− 付しその説明を省略する。
。なお、従来と同一部分には同一符号を５− 付しその説明を省略する。
この発明に係るＸＹステージは、リニアモータ２Ｘ、２
Ｙのスライダ３１に、内部を周回する周回孔３２と、こ
の周回孔３２と−に記間隙ａを連通する孔３３とを有し
、チコーブ３１１Ｉから圧縮空気が周回孔３２に圧送さ
れるようになっている。
Ｙのスライダ３１に、内部を周回する周回孔３２と、こ
の周回孔３２と−に記間隙ａを連通する孔３３とを有し
、チコーブ３１１Ｉから圧縮空気が周回孔３２に圧送さ
れるようになっている。
以上の構成において、チューブ３４から圧送された圧縮
空気は周回孔３２を流通周回するとともに、孔３２から
間隙ａに噴出される。従って、間隙ａに噴出された圧縮
空気の空気膜が静圧空気軸受構造を形成する。そして、
周回孔３２を流通周回する空気がスライダ３１を冷却す
る。
空気は周回孔３２を流通周回するとともに、孔３２から
間隙ａに噴出される。従って、間隙ａに噴出された圧縮
空気の空気膜が静圧空気軸受構造を形成する。そして、
周回孔３２を流通周回する空気がスライダ３１を冷却す
る。
なお、間隙ａは機械的に１ｑでいた従来のものよりも極
めて狭く、かつ高精度（１０〜２０μｍ）であることは
言うまでもない。
めて狭く、かつ高精度（１０〜２０μｍ）であることは
言うまでもない。
第１図は従来のＸＹステージを示す平面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ矢視断面概略図、第３図はこの発明に係る
Ｘ ’ｌ／ステージを示す概略平面図、第４図は第３図
のＢ−１３矢視断面概略図である。 ６− １・・・・・・・・・・・・・・・ベース２Ｘ・・・・
・・・・・・・・Ｘ軸すニアモータ２Ｙ・・・・・・・
・・・・・Ｙ軸すニアモータ３Ｘ、３Ｙ・・・連結部材 ５・・・・・・・・・・・・用ステージ２２．２３・・
・レール ２／ｌ・・・・・・・・・・・・永久磁石３１・・・・
・・・・・・・・スライダ３２・・・・・・・・・・・
・周回孔 ３３・・・・・・・・・・・・噴出孔 ３４・・・・・・・・・・・・チューブａ・・・・・・
・・・・・・・・・間隙特許出願人 立石電機株式会社 ７− 第１図 第２因
１図のＡ−Ａ矢視断面概略図、第３図はこの発明に係る
Ｘ ’ｌ／ステージを示す概略平面図、第４図は第３図
のＢ−１３矢視断面概略図である。 ６− １・・・・・・・・・・・・・・・ベース２Ｘ・・・・
・・・・・・・・Ｘ軸すニアモータ２Ｙ・・・・・・・
・・・・・Ｙ軸すニアモータ３Ｘ、３Ｙ・・・連結部材 ５・・・・・・・・・・・・用ステージ２２．２３・・
・レール ２／ｌ・・・・・・・・・・・・永久磁石３１・・・・
・・・・・・・・スライダ３２・・・・・・・・・・・
・周回孔 ３３・・・・・・・・・・・・噴出孔 ３４・・・・・・・・・・・・チューブａ・・・・・・
・・・・・・・・・間隙特許出願人 立石電機株式会社 ７− 第１図 第２因
Claims (1)
- （１）両端が支持され対向面に磁石が配設される一対の
レール、この一対のリールの一方に所定間隙をもって巻
回装着されるコイルを含み該レールに沿い走行自在なス
ライダで構成され、ベース上に対向配置される一対の×
軸すニアモータおよびＹ軸すニアモータと、上記一対の
Ｘ軸すニアモータおよび’＋Ｊｌｌリニアモータの上記
スライダをそれｆれ連結する２本の連結部材と、上記２
本の連結部材の交点に設けられるステージとを備えるＸ
Ｙステージにおいて、上記スライダには、該スライダ内
部に空気を、周回させる周回孔と、この周回孔に圧送さ
れた空気を上記間隙に噴出し静圧空気軸受構造を形成す
る噴出孔とが設けられ、上記連結部材は上記スライダに
支持されていることを特徴とするＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4095883A JPS59166433A (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4095883A JPS59166433A (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166433A true JPS59166433A (ja) | 1984-09-19 |
Family
ID=12594991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4095883A Pending JPS59166433A (ja) | 1983-03-12 | 1983-03-12 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59166433A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112216A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Hitachi Ltd | 非接触駆動形平面移動台 |
| JPS61239307A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
| CN107283174A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 浙江科技学院 | 一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置 |
-
1983
- 1983-03-12 JP JP4095883A patent/JPS59166433A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112216A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Hitachi Ltd | 非接触駆動形平面移動台 |
| JPS61239307A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
| CN107283174A (zh) * | 2016-04-12 | 2017-10-24 | 浙江科技学院 | 一种基于气浮导轨的二自由度直线式快刀伺服装置 |
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