JPH08323740A - ワークからスライスを切断するためのワイヤ鋸及び方法 - Google Patents

ワークからスライスを切断するためのワイヤ鋸及び方法

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JPH08323740A JP8132093A JP13209396A JPH08323740A JP H08323740 A JPH08323740 A JP H08323740A JP 8132093 A JP8132093 A JP 8132093A JP 13209396 A JP13209396 A JP 13209396A JP H08323740 A JPH08323740 A JP H08323740A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤ鋸の高さを減少させて一層コンパクト
な構造にする一方で、鋸ヘッドをより高い位置に配設し
て収集タンク系の空間を大きくとる。 【解決手段】 ワイヤ鋸は、鋸ヘッドの横にワークの送
りガイドを配置し、保持アームをワイヤフレームに平行
に旋回可能とした構成としている。また、保持アームが
ワイヤフレームに平行に旋回可能であり、且つ、送り機
構がワイヤフレームを有する鋸ヘッドをワークの方向に
案内する送りガイドを備えた構成となっている。ワーク
を交換において、ワークを支持する保持アームにより、
ワイヤフレーム上方の鋸引き位置から解放位置までワー
クを搬送した後、解放位置で保持アームから解放し、次
いで新しいワークを保持アームにより取り上げ位置から
取り上げ、保持アームによりワイヤフレーム上方の鋸引
き位置まで搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、ワークからスライ
スを切断するためのワイヤ鋸に関し、特に棒状又はブロ
ック状の半導体材料から半導体スライスを切断するため
のワイヤ鋸に関する。本発明は、また、その実施にワイ
ヤ鋸が特に適した鋸引き方法にも関する。
【０００２】
【従来の技術】上述した型のワイヤ鋸は、少なくとも一
個が駆動される複数のワイヤガイドローラを含んでその
周りに互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形
成する多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドを備え、鋸
引き補助媒体を供給しつつ、送り機構によりワークを上
方からワイヤフレームの一つの方に案内している。
【０００３】ワイヤ部は、鋸ヘッドの周囲に巻き付けて
供給リールから巻き上げリールに巻装される、単一のエ
ンドレスワイヤの一部であってもよい。
【０００４】米国特許第４６５５１９１号公報は、これ
とは僅かに異なるワイヤ鋸、即ち、多数のエンドレスワ
イヤを設けてこれらのワイヤの各々にワイヤフレームの
各ワイヤ部を割り当てたワイヤ鋸を開示している。欧州
特許出願公開第５２２５４２号公報もまた、多数のエン
ドレスのワイヤループを鋸ヘッドの周りに走行させたワ
イヤ鋸を開示している。
【０００５】従来技術のワイヤ鋸の概略を図１に示す。
図はワイヤ鋸の側面図を示す。送り機構１は、ワーク１
０を取り付けるワークホルダ１６と、鋸引きの間、鋸引
き補助媒体を供給しながらワークを上方からワイヤヘッ
ド５のワイヤフレーム１１の方へ直線移動で案内する送
りガイド３と、を備えている。鋸引き補助媒体は、一般
に、液体内で分散する硬質材料の研磨粒子から成る。鋸
引き補助媒体は、鋸ヘッドの下方でトラフ３０内に集め
られ、流路７を通って収集タンク８に搬送される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図示した機械部品の構
成は、種々の観点から好ましくない。即ち、ワイヤフレ
ーム上方に送りガイドが配置されているので、ワイヤ鋸
の全高に悪影響を及ぼす。ワイヤ鋸は非常に大型になる
ので、その寸法の故に輸送及び設置に際して問題が生じ
る。従って装置が一層大きくならないように、鋸ヘッド
の下側の空間を節約しなければならない。その結果、ト
ラフ、流路及び収集タンクの間の高さの差が殆どなくな
り、硬質材料の粒子がトラフや流路内に沈澱して鋸引き
補助媒体の流動を妨げる。
【０００７】ワイヤフレームの上方に送り機構を配置し
た構成は、また、ワイヤフレームへの接近及びワークへ
の接近を妨げる。かくして、ワイヤ部又はワイヤガイド
ローラの交換が必要な場合、或いはワークを着脱する場
合、ワイヤ鋸が作動状態にない休止時間を長く要するこ
とになる。本発明の目的は、上述した欠点を有さないワ
イヤ鋸を提供すること、並びに、より効果的にワークを
機械加工し得る鋸引き方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の主題は、ワーク
からスライスを切断するためのワイヤ鋸であって、複数
のワイヤガイドローラを含んでその周りに互いに平行に
位置して平坦なワイヤフレームを形成する多数のワイヤ
部を走行させる鋸ヘッドを備え、鋸引き補助媒体を供給
しつつ、ワークを支持する保持アームを有する送り機構
により、ワークを上方からワイヤフレームの一つの方に
案内し、送り機構を鋸ヘッドの横に配置し、保持アーム
をワイヤフレームの一つに平行に旋回可能としたことを
特徴とする、ワイヤ鋸である。
【０００９】送りガイドを鋸ヘッドの横方向に隣接して
配置したため、ワイヤフレームの上方には、実質的に保
持アームとワーク用の空間のみが必要とされる。かくし
て、ワイヤ鋸は、全高の観点から一層コンパクトな構造
を有し、鋸ヘッドをより高い位置に配設することができ
る。鋸ヘッドの下方には、設けられた収集タンク内に使
用済みの鋸引き補助媒体を安全に流入させ得るように、
流路の傾斜を大きくし得るだけの空間が残されている。
保持アームが旋回するため、ワークの交換が容易とな
り、鋸ヘッドのワイヤフレームには、例えばワイヤの交
換等の保守作業を行うために自由に接近可能となる。
【００１０】ワイヤ鋸の機械フレーム、送り機構の支持
部、及びワイヤガイドローラは、重く機械的に堅固な部
品として設計されており、それらの温度は、好ましくは
冷媒により調節される。鋸引き作業中の熱膨張は、特に
半導体スライスの製造時に、ワークから切断されたスラ
イスの形状が温度変動の影響を受けるのを防ぐため、迅
速に消失させる必要がある。これに関して、この問題を
詳細に説明してワイヤ部用の追従装置を提案している、
１９９５年３月２３日に独国特許庁に出願された独国特
許出願第１９５１０６２５．３号を参照されたい。本発
明の別の実施形態では、この追従装置を備えたワイヤ鋸
が提供されている。
【００１１】本発明の実施形態では、送り機構を、鋸ヘ
ッドの横に且つずらして配置している。この結果、全方
向から鋸ヘッドに接近可能となり、例えばワイヤガイド
ローラの検査又は交換に際して送り機構の存在が邪魔す
ることはない、という別の利点が得られる。
【００１２】本発明の更に別の形態において、ワイヤ鋸
は、第一の鋸ヘッドが未だスライスの切断に使用されて
いる間に既に鋸引きの準備を完了した、少なくとも一個
の別の鋸ヘッドを備えている。技術的理由から望ましい
鋸ヘッドの交換に際しては、準備された鋸ヘッドを直ち
に別のワークの加工に用いることができ、その間に第一
の鋸ヘッドを補修して以後の使用に備えることができ
る。かくして、鋸ヘッドの補修に費やされるワイヤ鋸の
休止時間は、大幅に減少する。
【００１３】最後に本発明の更に別の形態は高度の自動
化を達成するように、全機械的動作、特に送り装置及び
鋸ヘッドの動作を誘導し調整する制御装置を備えてい
る。
【００１４】本発明の主題は、また、複数のワイヤガイ
ドローラを含んでその周りに互いに平行に位置して平坦
なワイヤフレームを形成する多数のワイヤ部を走行させ
る鋸ヘッドと、鋸引き補助媒体を供給しつつワイヤフレ
ームの一つのワイヤ部にワークを通過せしめる送り機構
とを有するワイヤ鋸を用いて、ワークからスライスを切
断する方法であって、ワークを交換するために、ワーク
を支持する保持アームにより、ワイヤフレーム上方の鋸
引き位置から解放位置までワークを搬送した後、解放位
置で保持アームから解放し、次いで新しいワークを保持
アームにより取り上げ位置から取り上げてワイヤフレー
ム上方の鋸引き位置まで搬送することを特徴とする方法
である。
【００１５】この鋸引き方法は、ワークの交換を簡単に
し、公知のワイヤ鋸及び特に本発明に係るワイヤ鋸のい
ずれで実施してもよい。このことは、また、鋸ヘッドと
第二の鋸ヘッドとを交互に使用してスライスを切断し、
一方の鋸ヘッドの使用中に、使用していない他方の鋸ヘ
ッドの使用準備をした、本発明の主題である別の方法に
もあてはまる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明をよ
り詳細に説明する。同一参照符号は、装置の同様の特徴
を示すが、本発明の理解に必要な特徴のみを図示してい
る。また、各図に概略を示したワイヤ鋸は本発明の好適
な実施形態に過ぎない。
【００１７】図２に係るワイヤ鋸は、四個のワイヤガイ
ドローラ９を有する鋸ヘッド５と、送りガイド３及び保
持アーム２を有する送り機構１と、を備えている。鋸ヘ
ッド５は、また、断面で見たとき、例えば、三角形の各
角部に位置するように配設された三個のワイヤガイドロ
ーラだけを有してもよい。しかしながら、鋸ヘッドは、
また、二個のみ或いは四個以上のワイヤガイドローラを
有してもよい。
【００１８】送り機構１は、図２に示した状態或いは各
ワイヤガイドローラの前端部を９０度回転させた状態の
鋸ヘッド５の四つの側面の一つに対向して、鋸ヘッド５
の横に位置している。いずれの場合でも、ワイヤガイド
ローラとワークの長手方向軸線は、ワークがワイヤフレ
ームを通過するとスライスに切断されるように、互いに
平行に位置している。
【００１９】ワーク１０を取り付ける保持アーム２の端
部は、鋸ヘッドの鋸引き工具として機能するワイヤフレ
ーム１１の上方の領域内に突出している。送りガイド３
は、直線ガイドとして構成され、駆動装置１２と軸受１
３内に取り付けられたスピンドル１４とにより軸方向に
昇降可能である。この動作中、送りガイド３上に取り付
けられた保持アーム２は、同時に昇降する。
【００２０】ベロー１５は、鋸引き補助媒体による汚染
から、送りガイドを保護する。ワーク１０は、保持アー
ム２に取り外し可能に固定されるワークホルダ１６に、
例えば接着剤で接合するなどして接続される。この固定
は、好ましくは、挟持装置（図示せず）により行われ
る。ワイヤ鋸の保持アーム２は、ワイヤフレーム１１に
平行に旋回させることができる。この回転動作の回転軸
線は、ワイヤフレームの面に垂直に延びる。
【００２１】図２は、また、１８０度回転後の保持アー
ム２の位置を示す。保持アームは、送りガイドに回転可
能に取り付けてもよい。別の解決手段は、例えば、回転
面上に取り付けることにより、送り機構全体を回転可能
とすることである。保持アームの回転動作は、駆動装置
（図示せず）により行われる。更に、一定の位置例えば
ワークがワイヤフレーム上方に在る鋸引き位置に保持ア
ームを係止可能とする挟持装置が、設けられている。該
挟持装置は同様に図では省略されている。
【００２２】送りガイド３が下降すると、ワーク１０
は、ワイヤフレーム１１に対して押圧される。鋸引き補
助媒体が同時に供給され、ワイヤ部は、ワークに貫入し
てワークを多数の横並びのスライスに分割する。各スラ
イスは、ワイヤ部がワークを出てワークホルダ１６の隣
接部に貫入すると、ワークから完全に切断される。
【００２３】ワイヤ鋸の別の実施形態は、ワーク１０と
同時にワイヤフレーム１１ａ上で第二のワーク１０ａを
鋸引きし得るように、第二の送り機構１ａと保持アーム
２ａとを備えている。或いは、第二の送り機構を設ける
ことなく、第二のワークを支持して下降中にワイヤフレ
ーム１１ａの方向へ案内し得るように保持アーム２を設
計することにより、これを達成してもよい。
【００２４】図３に係る実施形態において、送り機構１
は、鋸ヘッド５の横に配設され、該鋸ヘッドと整列して
いる。図４は、角度を成した構成の保持アーム２を示
し、送り機構１は、鋸ヘッド５の横に配設され、該鋸ヘ
ッドと整列した位置からずれている。この構成は、鋸ヘ
ッドに全ての側から容易に接近可能で、例えばワイヤガ
イドローラの交換を一層容易とする等、既に述べた利点
を有する。図５に係る実施形態においては、好ましくは
ワイヤガイドローラの軸線に平行又は垂直な直線ガイド
２１に沿って例えばレール上で送り機構１が鋸ヘッドに
対して移動可能であるので、鋸ヘッドの隣には更に空間
が形成される。また、送り機構は、挟持装置（図示せ
ず）を用いて新しい位置に適宜固定してもよい。
【００２５】図６は、ワイヤ鋸の別の実施形態を示す。
これまで説明してきた実施形態と異なり、本実施形態で
は、ワーク１０は、鋸ヘッド５のワイヤフレーム１１の
方向に円形経路に沿って案内される。送り機構１の保持
アーム２は、ピボット２０を中心に反対側の方向に延
び、この延長部と共働して揺り腕１７を形成している。
揺り腕は、駆動装置１８を用いて及び駆動スピンドル１
９を介して、ピボット２０を中心に揺動可能である。ワ
ークホルダ１６に固定されたワーク１０は、この揺動に
より上昇するか或いはワイヤフレーム１１に対して押圧
される。この実施形態では、ワークは、ワイヤフレーム
の面と平行に、ワイヤフレームの上方の位置から旋回す
ることもできる。図６に示したように、これは、回転可
能な基部上に送り機構を配設することにより行ってもよ
い。しかしながら、送り機構の残りの部分とは独立に旋
回可能なように、ピボット軸受上に保持アームを支持す
ることも可能である。更に、図５に係る実施形態で示し
たように、送り機構を鋸ヘッドに対して移動可能なよう
に構成してもよい。
【００２６】本発明の別の実施形態として、図７には、
２個の鋸ヘッドを備えたワイヤ送り機構が示されてい
る。図は、ワイヤ鋸の機能原理を理解するために必要な
特徴のみを示した概略図である。この図は、また、本発
明に係る鋸引き方法の説明図でもある。各鋸ヘッド５、
６は、鋸引き位置及び準備位置として交互に利用される
空間内に位置決めされる。二つの鋸ヘッドの間には、直
線ガイド２１を介して一方の鋸ヘッドから反対側の鋸ヘ
ッドまで移動可能な送り機構１が、配設されている。一
方の鋸ヘッド５が作動している間、他方の鋸ヘッド６は
次の使用に備える。
【００２７】本発明によれば、ワーク交換は、保持アー
ム２がワイヤフレーム上方の鋸引き位置から解放位置に
旋回し、該解放位置から取り上げ位置に、更に鋸引き位
置へと旋回して戻ることにより行われる。この場合、既
に鋸引きされたワークを解放位置に載置し、次に鋸引き
すべきワークを取り上げ位置で取り上げる。一個の鋸引
きヘッドを有するワイヤ鋸の場合、保持アームが新しい
ワークを取り上げた後に旋回する鋸引き位置は、当然、
この鋸ヘッドの鋸引き工具として利用されるワイヤフレ
ーム上方の位置である。
【００２８】二個の鋸ヘッドを有するワイヤの場合、こ
れは、ワーク交換後に鋸ヘッドの交換が予定されている
かどうかに応じて、鋸ヘッドの一方のワイヤフレーム上
方の位置となる。ワークと鋸ヘッドを共に交換する際に
は、送り機構１を、保持アーム２と共に、鋸引き位置Ｉ
から二個の鋸ヘッドの中央にある位置ＩＩまで移動させ
る。
【００２９】次に、保持アーム２を解放位置ＩＩＩまで
旋回させ、ワークホルダの挟持を解放すると共に、ワー
クを例えば洗浄液で満たした容器内に載置する。更に、
保持アームを解放位置から取り上げ位置ＩＶまで旋回さ
せ、好ましくは自動供給装置により供給される鋸引きす
べきワーク１０ａを取り上げる。次に、保持アームを更
に位置Ｖまで旋回させ、そこから送り機構の移動により
他方の鋸ヘッドのワイヤフレーム上方の鋸引き位置まで
到達させる。
【００３０】必要に応じて、保持アームの旋回移動に、
垂直方向の移動を加えてもよい。各鋸ヘッド５、６は、
鋸引き補助媒体の別個の供給を受けることが望ましく、
また、使用済みの鋸引き補助媒体用の収集タンクを別個
に備えることが望ましい。
【００３１】しかしながら、ワークの交換は、図８に示
したように行ってもよい。この方法は、本発明に係るワ
イヤ鋸及び従来の構成のワイヤ鋸のいずれにも適用可能
である。本方法を実施するために、送り機構１の横方向
に隣接してマニピュレータ４１が設けられている。マニ
ピュレータ４１は、好ましくは昇降可能な旋回保持アー
ム２ｂを有する。ワークを交換するために、保持アーム
２ｂは、保持アーム２からワーク１０を取り去り、それ
をワークフレーム上方の鋸引き位置から、ワークを保持
アームから解放して載置する解放位置ＩＩＩまで搬送す
る。新しいワーク１０ａは、取り上げ位置ＩＶで保持ア
ーム２ｂにより取り上げられ、そこから鋸引き位置まで
運ばれてワイヤ鋸の保持アーム２に渡される。
【００３２】図９は二個のヘッド５及び６を備えたワイ
ヤ鋸の別の実施形態を示す。一方の鋸ヘッド５は送り機
構１と共にワーク１０を機械加工するための鋸引き位置
２２で使用されているが、他方の鋸引きヘッド６は準備
位置２４で使用の準備をしている。供給リールから供給
されて巻取りリールに巻き取られる有限のワイヤは作動
中の鋸ヘッドの周りを走行する。
【００３３】鋸ヘッドの準備には、例えば、新しい鋸ワ
イヤ３４を所定の位置に配置することや、ワイヤガイド
ローラ９又はそれらの軸受２５の交換等の保守作業や、
鋸引き補助媒体用の排出ノズル２６の洗浄及び調節等が
含まれる。二個の鋸ヘッド５及び６は、固定マウント２
７に対して移動可能な基部フレーム２８上に取り付けら
れている。各鋸ヘッドに対しては、別個のモータ２９が
利用可能であり、該モータ２９は、ワークを機械加工す
るために或いは新しい鋸ワイヤを所定の位置に配置する
ために、対応するワイヤガイドローラを駆動することが
できる。
【００３４】各鋸ヘッドは、また、好ましくは、鋸引き
補助媒体を収集する別個のトラフ３０を有する。鋸ヘッ
ドから流出した鋸引き補助媒体は、流路７を介して収集
タンク８に送られる。トラフ３０の下側には、冷却液が
循環する中空の空間３１が設けられている。基部フレー
ム２８の温度調節は、鋸引き作業中に加熱される鋸引き
補助媒体により引き起こされる熱膨張を相殺するように
行われる。準備位置２３及び２４の側部カバー３２及び
３３は、鋸ヘッドに容易に接近可能なように、取り外し
可能に構成されている。
【００３５】新しい鋸ワイヤを所定の位置に配置するた
めに必要な供給ワイヤは、ワイヤリール３５上に巻装さ
れている。ワイヤリール３５は、駆動装置３６に連結さ
れている。該駆動装置３６は、各ワイヤガイドローラの
回転速度の関数として回転し、ワイヤをワイヤガイドロ
ーラ上に配設するために予め張力をかけて制御された状
態でワイヤを供給する。
【００３６】鋸ヘッドを交換するためには、鋸引き動作
を暫時中断する。必要に応じて、送り機構を鋸ヘッドか
ら僅かな距離だけ移動させる。次に、交換すべき鋸ヘッ
ドの鋸ワイヤを供給リール上に巻装し或いは切断して鋸
ヘッドから完全に除去し、二個の鋸ヘッドと共に基部フ
レーム２８を移動させて、一方の鋸ヘッド５を鋸引き位
置２２から自由準備位置２３まで移動させると同時に他
方の準備のできた鋸ヘッド６を鋸引き位置２２に移動さ
せる。この工程では、好ましくはシールリップと整合し
た重なり縁部３７により、鋸引き位置とそれに隣接した
準備位置とを閉鎖している。
【００３７】基部フレーム２８は、モータ駆動のスピン
ドル装置３８を用いて、直線ガイドに沿って移動させる
ことが好ましい。しかしながら、原則的には、基部フレ
ームとして回転板を設け、鋸ヘッドの交換を回転板の回
転により行ってもよい。また、解放可能な挟持装置３９
により、鋸引き動作中に鋸ヘッドが移動できないように
している。準備のできた鋸ヘッドが鋸引き位置内に位置
決めされると、鋸引き動作中作動するように設けられた
巻出スピンドル上にワイヤリール３５を取り付けること
ができ、設けられた巻取リールにはワイヤの所定の配置
から発する自由ワイヤ端部を固定することができる。
【００３８】本発明の好適な別の実施形態では、図９に
例示的に示したワイヤ鋸は、動作の全シーケンスを調整
して鋸引き方法の高度の自動化を達成する制御装置４０
ａ，４０ｂに連結されている。かくして、送り機構、送
りガイド、保持アーム、鋸ヘッドの各動作、ワイヤガイ
ドローラの駆動及び必要に応じてマニピュレータの駆動
が自動的に誘導されるならば、特に有利である。送り機
構、保持アーム、ワークホルダ及び基部フレーム用の好
ましくは機械式、油圧式又は空気圧式の挟持装置が、制
御装置により同様に自動的に作動し且つ解放されること
が好ましい。
【００３９】本発明は、また、ワイヤフレーム１１を有
する鋸ヘッドをワーク１０の方へ案内する送り機構１を
備えた、図１０に係るワイヤ鋸を包含する。本実施形態
では、鋸ヘッドの下側の空間は、鋸引き補助媒体の収集
タンクへの廃棄用のトラフ３０及び流路７を設けるため
のみならず、送り機構１を収容するためにも使用され
る。送りガイド３は、直線ガイドとして構成され、駆動
装置１２及び軸受１３内に取り付けられたスピンドル１
４により、軸方向に昇降可能である。この場合、鋸ヘッ
ド５及びワイヤガイドローラ９用の駆動モータ２９もま
た、矢印方向に移動する。更に、送りガイド３が鋸引き
補助媒体により汚染されるのを防ぐために、ベロー１５
で保護している。
【００４０】ワイヤ鋸は、好ましくは、ワイヤ鋸部分の
好ましくない熱膨張を防止するために鋸引き動作中冷却
媒体を循環させる、複数の冷却通路３１を有する。ワー
ク１０を支持する保持アーム２は、台座４２上に回転可
能に且つ好ましくは昇降可能に取り付けられ、ワイヤフ
レーム１１に平行に旋回することができる。
【００４１】台座は、鋸ヘッドの横方向に隣接して配設
され、必要に応じてワイヤガイドローラの前端部に対向
して配設され、また、必要に応じて、例えば図５の送り
機構１と同じ方向に移動可能に配設される。特別な実施
形態では、台座４２は、送り機構として、例えば図２に
係る直線ガイドを有する送り機構１として、或いは図６
に係る揺り腕を有する送り機構として構成される。
【００４２】本発明の特徴となる構成を以下にまとめ
る。 （１） ワークからスライスを切断するためのワイヤ鋸
であって、複数のワイヤガイドローラを含んでその周り
に互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形成す
る多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッド、を備え、鋸引
き補助媒体を供給しつつ、ワークを支持する保持アーム
を有する送り機構により、前記ワークを上方から前記ワ
イヤフレームの一つの方に案内し、前記送り機構を前記
鋸ヘッドの横に配置し、前記保持アームを前記ワイヤフ
レームの一つに平行に旋回可能とした、ことを特徴とす
るワイヤ鋸。 （２） 前記保持アームが第二のワイヤフレームの方に
案内される第二のワークを支持したことを特徴とする上
記（１）に記載のワイヤ鋸。 （３） 前記鋸ヘッドの横に第二の送り機構を設け、前
記第二の送り機構の保持アームが第二のワークを支持し
て第二のワイヤフレームに平行に旋回可能としたことを
特徴とする上記（１）に記載のワイヤ鋸。 （４） 前記送り機構が直線ガイドとして構成された送
りガイドを備えたことを特徴とする上記（１）に記載の
ワイヤ鋸。 （５） 前記ワークを円形の経路に沿って前記ワイヤフ
レームの方に案内する揺り腕として前記保持アームを構
成したことを特徴とする上記（１）に記載のワイヤ鋸。 （６） 前記送り機構を前記鋸ヘッドの横に且つずらし
て配置したことを特徴とする上記（１）から（５）のい
ずれか一項に記載のワイヤ鋸。 （７） 前記送り機構を前記鋸ヘッドに対して移動可能
としたことを特徴とする上記（１）から（６）のいずれ
か一項に記載のワイヤ鋸。 （８） 前記鋸ヘッドを前記送り機構に対して移動可能
としたことを特徴とする上記（１）から（７）のいずれ
か一項に記載のワイヤ鋸。 （９） 他方の鋸ヘッドと交互に使用してスライスを切
断するための第二の鋸ヘッドを備えた、ことを特徴とす
る上記（８）に記載の鋸ヘッド。 （１０） 全ての動作シーケンスを自動的に制御する制
御装置を設けたことを特徴とする上記（１）から（９）
のいずれか一項に記載のワイヤ鋸。 （１１） ワークからスライスを切断するためのワーク
鋸であって、複数のワイヤガイドローラを含んでその周
りに互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形成
する多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、ワークを
支持する保持アームと、鋸引き補助媒体を供給しつつワ
イヤフレームの一つのワイヤ部にワークを通過せしめる
送り機構と、を備え、前記保持アームを前記ワイヤフレ
ームに平行に旋回可能とし、前記送り機構が、前記ワイ
ヤフレームを有する前記鋸ヘッドを前記ワークの方に案
内する送りガイドを備えた、ことを特徴とするワイヤ
鋸。 （１２） 前記保持アームが、前記鋸ヘッドの横に配置
された第二の送り機構の一部である、ことを特徴とする
上記（１１）に記載のワイヤ鋸。 （１３） 複数のワイヤガイドローラを含んでその周り
に互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形成す
る多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、鋸引き補助
媒体を供給しつつワイヤフレームの一つのワイヤ部にワ
ークを通過せしめる送り機構とを有するワイヤ鋸を用い
て、ワークからスライスを切断する方法であって、ワー
クを交換するために、ワークを支持する保持アームによ
り、ワイヤフレーム上方の鋸引き位置から解放位置まで
ワークを搬送した後、解放位置で前記保持アームから解
放し、次いで新しいワークを前記保持アームにより取り
上げ位置から取り上げてワイヤフレーム上方の鋸引き位
置まで搬送する、ことを特徴とする方法。 （１４） 前記保持アームから解放されたワークが液体
を充填した容器内に載置されることを特徴とする上記
（１３）に記載の方法。 （１５） 前記保持アームが前記送り機構の一部であ
り、前記送り機構を前記鋸ヘッドの横に配置したことを
特徴とする上記（１３）又は（１４）に記載の方法。 （１６） 前記保持アームが前記鋸ヘッドの横に配置さ
れたマニピュレータの一部であることを特徴とする上記
（１３）又は（１４）に記載の方法。 （１７） 複数のワイヤガイドローラを含んでその周り
に互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形成す
る多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、鋸引き補助
媒体を供給しつつワイヤフレームの一つのワイヤ部にワ
ークを通過せしめる送り機構とを有するワイヤ鋸を用い
て、ワークからスライスを切断する方法であって、スラ
イスを切断するために前記鋸ヘッド及び第二の鋸ヘッド
を交互に使用し、一方の鋸ヘッドの使用中に、使用して
いない方の鋸ヘッドの使用の準備をする、ことを特徴と
する方法。 （１８） 動作の全シーケンスを自動的に制御したこと
を特徴とする上記（１３）から（１４）のいずれか一項
に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術のワイヤ鋸の概略側面図。
【図２】ワイヤ鋸の側面図。
【図３】鋸ヘッドの横に配設される送り機構の二通りの
構成のうちの一方を示した、図２に係るワイヤ鋸の平面
図。
【図４】鋸ヘッドの横に配設される送り機構の二通りの
構成のうちの他方を示した、図２に係るワイヤ鋸の平面
図。
【図５】移動可能な送り機構を有する、図２に係るワイ
ヤ鋸を示した図。
【図６】揺り腕として構成された保持アームを有する、
ワイヤ鋸の側面図。
【図７】二個の鋸ヘッドを有するワイヤ鋸の平面図。
【図８】ワイヤ鋸、及びワークの交換を簡単にするため
のマニピュレータの平面図。
【図９】同様に第二の鋸ヘッドを備えたワイヤ鋸の側面
図。
【図１０】鋸ヘッドを移動する送り機構を有するワイヤ
鋸の側面図。
【符号の説明】
１ 送り機構 ２ 保持アーム ３ 送りガイド ５ 鋸ヘッド ９ ワイヤガイドローラ １０ ワーク １１ ワイヤフレーム １６ ワークホルダ
フロントページの続き (72)発明者 カルル・エッグルフーバー ドイツ連邦共和国 ヘベルツフェルデン、 ウンターストック １

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワークからスライスを切断するためのワ
    イヤ鋸であって、 複数のワイヤガイドローラを含んでその周りに互いに平
    行に位置して平坦なワイヤフレームを形成する多数のワ
    イヤ部を走行させる鋸ヘッド、を備え、 鋸引き補助媒体を供給しつつ、ワークを支持する保持ア
    ームを有する送り機構により、前記ワークを上方から前
    記ワイヤフレームの一つの方に案内し、 前記送り機構を前記鋸ヘッドの横に配置し、前記保持ア
    ームを前記ワイヤフレームの一つに平行に旋回可能とし
    た、 ことを特徴とするワイヤ鋸。
  2. 【請求項２】 ワークからスライスを切断するためのワ
    ーク鋸であって、複数のワイヤガイドローラを含んでそ
    の周りに互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを
    形成する多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、 ワークを支持する保持アームと、 鋸引き補助媒体を供給しつつワイヤフレームの一つのワ
    イヤ部にワークを通過せしめる送り機構と、 を備え、 前記保持アームを前記ワイヤフレームに平行に旋回可能
    とし、 前記送り機構が、前記ワイヤフレームを有する前記鋸ヘ
    ッドを前記ワークの方に案内する送りガイドを備えた、 ことを特徴とするワイヤ鋸。
  3. 【請求項３】 複数のワイヤガイドローラを含んでその
    周りに互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形
    成する多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、鋸引き
    補助媒体を供給しつつワイヤフレームの一つのワイヤ部
    にワークを通過せしめる送り機構とを有するワイヤ鋸を
    用いて、ワークからスライスを切断する方法であって、 ワークを交換するために、ワークを支持する保持アーム
    により、ワイヤフレーム上方の鋸引き位置から解放位置
    までワークを搬送した後、解放位置で前記保持アームか
    ら解放し、次いで新しいワークを前記保持アームにより
    取り上げ位置から取り上げてワイヤフレーム上方の鋸引
    き位置まで搬送する、 ことを特徴とする方法。
  4. 【請求項４】 複数のワイヤガイドローラを含んでその
    周りに互いに平行に位置して平坦なワイヤフレームを形
    成する多数のワイヤ部を走行させる鋸ヘッドと、鋸引き
    補助媒体を供給しつつワイヤフレームの一つのワイヤ部
    にワークを通過せしめる送り機構とを有するワイヤ鋸を
    用いて、ワークからスライスを切断する方法であって、 スライスを切断するために前記鋸ヘッド及び第二の鋸ヘ
    ッドを交互に使用し、一方の鋸ヘッドの使用中に、使用
    していない方の鋸ヘッドの使用の準備をする、 ことを特徴とする方法。
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