JPH0832605B2 - 高強度SiC焼結体の製造方法 - Google Patents

高強度SiC焼結体の製造方法

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JPH0832605B2 JP62139105A JP13910587A JPH0832605B2 JP H0832605 B2 JPH0832605 B2 JP H0832605B2 JP 62139105 A JP62139105 A JP 62139105A JP 13910587 A JP13910587 A JP 13910587A JP H0832605 B2 JPH0832605 B2 JP H0832605B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、高強度SiC焼結体の製造方法に関する。
〔従来の技術〕 従来、高強度を有するSiC焼結体は、粗粉(粒径85μ
m程度)と微粉(粒径5μm程度)のSiC粉末を混合
し、これにバインダーを添加して造粒し、造粒粉を用い
て成形した成形体を焼成した後、Siを含浸して製造され
ている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記製造方法による高強度SiC焼結体
は、空隙による強度低下、特に1000℃以上で使用される
場合には、空隙を起点としてクラックが成長し、材料自
体の破壊につながり、製品ライフに大きな影響を与えて
いる。
かかる空隙の発生は、造粒粉が角張った形状や所定の
大きさ以上の場合、成形体の組織中に空隙が生じ、この
空隙が成形体の焼成後のSi含浸によっても残るためと思
われる。
そこで、本発明は、空隙の非常に少ない、高強度の且
つ信頼性の高いものを得ることができる高強度SiC焼結
体の製造方法を提供しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
前記問題点を解決するため、本発明は、粒径10〜250
μm、長軸径/短軸径1.0〜1.2のSiC造粒粉を用いて成
形体を成形し、成形体の焼結後にSi含浸を施す方法であ
る。
〔作用〕
上記手段によれば、成形体成形時のSiC造粒粉の充填
性が良くなり、粒界に生ずる空隙が小さくなる。又、焼
結後のSi含浸においてSiが空隙に容易に含浸される。
SiC造粒粉の粒径が10μm未満若しくは250μmを越え
ると成形体成形時のSiC造粒粉の充填性が悪くなる。
又、長軸径/短軸径が1.2を越えると同様に成形体成形
時のSiC造粒粉の充填性が悪くなる。
しかして、SiC造粒粉の出発原料は、粒径50μm以下
であることが望ましく、又、Si含浸時の含浸量は、35重
量%以上であることが望ましい。
〔実施例〕
実施例−1 SiC粉末(GC#3000)100部、フェノール樹脂10部、ア
セトン150部をポットミル中で20時間混合した後、これ
を噴霧乾燥造粒機(スプレードライヤー)により80℃の
熱風で造粒粉を形成した。このSiC造粒粉の平均粒径
は、65μmで、粒度分布は、15〜220μmに渡ってい
た。
次いで、SiC造粒粉を金型(80×80×10)中に充填
し、98MPaの圧力で成形して圧粉体を得た。この圧粉体
を温調器付きの乾燥器中で硬化した後、不活性ガス雰囲
気中において1950℃で、15分間焼成して圧粉体の焼結を
行ない、しかる後石英ガラス容器中にこの焼結体とSi粉
末とを入れSiを圧粉体中に含浸してSi含浸SiC焼結体を
得た。
上記Si含浸SiC焼結体よりテストピースを切り出して
曲げ強さ、嵩比重等を測定した結果第1表に示すように
なった。第1表には、通常の粒度配合(84μm+8μ
m)のSiC粉末を出発原料とし、混合→捏和→乾燥後、
造粒粉の粒度を300〜400μm程度に揃えて成形、焼成及
びSi含浸を行った従来品のデータも併せて示した。
第1表より本発明品は、曲げ強さで従来品に比し約40
%向上し、又、信頼性を表わすワイブル係数も従来品の
8.0から16.5と大幅に向上したことがわかる。更に、本
発明品の嵩比重は、従来品の3.0〜3.1に比し2.7〜2.9と
小さくなり、製品の軽量化につながることがわかる。
なお、本発明品は、Si含浸量が35〜45%、平均線膨張
係数が3.8×10-6−1(50〜1000℃)となり、従来品
のSi含浸量(10〜20重量%)、平均線膨張係数(4.5×1
0-6−1(50〜1000℃))よりそれぞれ向上してい
る。
実施例−2 SiC粉末(GC#4000)100部、フェノール樹脂10部、カ
ーボンブラック10部、アセトン200部を実施例−1のよ
うにして混合、造粒、成形、焼成並びにSi含浸し、Si含
浸SiC焼結体を得た。
この実施例−2のSi含浸SiC焼結体の特性は、嵩比重
が約2.8〜2.9、曲げ強さが400〜450MPaと実施例−1に
比して向上し、ワイブル係数が16.0とほぼ同様の値を示
した。
実施例−3 粒径85μmのSiC粉末(GC#180)100部、フェノール
樹脂15部、アセトン200部を実施例−1のようにして混
合、造粒(粒度800μm)、成形、焼成並びにSi含浸
し、Si含浸SiC焼結体を得た。
実施例−3のSi含浸SiC焼結体の特性は、嵩比重が約
2.90となり実施例−1とほぼ同様の値を示したが、曲げ
強さが180MPaと従来品以下になると共に、ワイブル係数
が8.5と従来品と同程度となった。
実施例−4 粒径5μmのSiC粉末(GC#3000)100部、フェノール
樹脂10部、アセトン150部を混合後、約350μmの大きさ
に造粒し、この造粒粉を金型成形して圧粉体を得た。し
かる後、圧粉体に焼成並びにSi含浸を施し、Si含浸SiC
焼結体を得た。
実施例−4のSi含浸SiC焼結体の特性は、嵩比重が3.
0、曲げ強さが220MPa、ワイブル係数が7.5となり、従来
品と同程度となった。
したがって、上記各実施例から、出発原料であるSiC
粉末は、粒径50μm以下で、しかも単一粒度であること
が望ましいことがわかる。SiC粉末原料の粒径が50μm
を越えると、造粒粉の長軸径/短軸径が1.2を越え、成
形時の充填性が低下し、粒界に大きな空隙を有するよう
になる。
又、SiC造粒粉は、粒径が10〜250μm、長軸径/短軸
径が1.0〜1.2であることが望ましく、粒径が10μm未満
若しくは250μmを越え、かつ長軸径/短軸径が1.2を越
えると成形体成形時の充填性が悪くなり、粒界に大きな
空隙を有するようになる。
更に、Si含浸量は、35重量%以上であることが望まし
く、このようにすることによりSi含浸SiC焼結体の嵩比
重を小さくすることができ、その重量を軽くすることが
でき、35重量%未満であると嵩比重が大きくなる。
なお、上記各実施例においては、成形体の成形を金型
を用いる圧縮成形による場合について述べたが、これに
限らずCIP成形、スリップキャスト成形、押出し成形、
射出成形等によって行うようにしてもよい。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、成形体成形時のSiC造
粒粉の充填性が良くなり、粒界に生ずる空隙が小さくな
り、かつ空隙にSiが容易に含浸されるので、SiC焼結体
の曲げ強さを従来より約40%向上することができ、かつ
ワイブル係数も大幅に向上することができる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】粒径10〜250μm、長軸径/短軸径1.0〜1.
    2のSiC造粒粉を用いて成形体を成形し、成形体の焼結後
    にSi含浸を施すことを特徴とする高強度SiC焼結体の製
    造方法。
  2. 【請求項2】前記SiC造粒粉の出発原料は、粒径50μm
    以下である特許請求の範囲第1項記載の高強度SiC焼結
    体の製造方法。
  3. 【請求項3】前記Siの含浸量は、35重量%以上である特
    許請求の範囲第1項又は第2項記載の高強度SiC焼結体
    の製造方法。
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