JPH08327363A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- JPH08327363A JPH08327363A JP7131351A JP13135195A JPH08327363A JP H08327363 A JPH08327363 A JP H08327363A JP 7131351 A JP7131351 A JP 7131351A JP 13135195 A JP13135195 A JP 13135195A JP H08327363 A JPH08327363 A JP H08327363A
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- angular velocity
- signal
- mechanical coupling
- velocity sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は角速度センサに関するもので、故障
を検知できるようにすることを目的とする。 【構成】 そしてこの目的を達成するために本発明は、
角速度の検知板13,14と、この検知板13,14か
ら角速度出力を取出す出力端子24とを備え、前記検知
板13,14から得られる角速度出力以外の機械結合信
号を検知してモニター信号とするものである。
を検知できるようにすることを目的とする。 【構成】 そしてこの目的を達成するために本発明は、
角速度の検知板13,14と、この検知板13,14か
ら角速度出力を取出す出力端子24とを備え、前記検知
板13,14から得られる角速度出力以外の機械結合信
号を検知してモニター信号とするものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は角速度センサに関するも
のである。
のである。
【0002】
【従来の技術】例えば音叉形の角速度センサは、音叉形
の駆動部の両駆動板の先端に、それとは直交する方向に
検知板を設け、前記駆動板を常時音叉駆動させた状態で
角速度が加わると、それに呼応して互いに逆方向に振動
する前記検知板からの出力で角速度を検出するものであ
った。
の駆動部の両駆動板の先端に、それとは直交する方向に
検知板を設け、前記駆動板を常時音叉駆動させた状態で
角速度が加わると、それに呼応して互いに逆方向に振動
する前記検知板からの出力で角速度を検出するものであ
った。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記従来例において問
題となるのは、センサ起動後、特性が安定動作に達して
利用が可能かどうかを検知する機能、あるいはまた角速
度センサの取付体、例えば車が衝突する等して大きな衝
撃が加わる結果としてその一部が損傷し、正常な検知動
作ができなくなってしまっているのを検知すべき機能を
備えていないことであった。そこで本発明は角速度セン
サにおいて、その一部が損傷して正常な検知動作ができ
なくなっている状態を検出することができるようにし、
かつセンサの起動後、出力が安定するタイミングを検出
できる為、従来よりも素早い使用を可能にする事を目的
とするものである。
題となるのは、センサ起動後、特性が安定動作に達して
利用が可能かどうかを検知する機能、あるいはまた角速
度センサの取付体、例えば車が衝突する等して大きな衝
撃が加わる結果としてその一部が損傷し、正常な検知動
作ができなくなってしまっているのを検知すべき機能を
備えていないことであった。そこで本発明は角速度セン
サにおいて、その一部が損傷して正常な検知動作ができ
なくなっている状態を検出することができるようにし、
かつセンサの起動後、出力が安定するタイミングを検出
できる為、従来よりも素早い使用を可能にする事を目的
とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
る為に本発明は、振動部とこの振動部を駆動振動させる
為の駆動手段と角速度を検出する検出手段からなる検知
体と、この検知体から角速度出力を取り出す出力端子と
を備え、前記検知体から得られる角速度出力以外の機械
結合信号を検知してモニター信号とするものである。
る為に本発明は、振動部とこの振動部を駆動振動させる
為の駆動手段と角速度を検出する検出手段からなる検知
体と、この検知体から角速度出力を取り出す出力端子と
を備え、前記検知体から得られる角速度出力以外の機械
結合信号を検知してモニター信号とするものである。
【0005】
【作用】以上の構成とすれば、構成上必ず検知体から得
られる機械結合信号をモニター信号とすることにより、
この角速度信号が正常な検知動作ができる状態にあるの
か否かを検知することができるようになり、しかも機械
結合信号は必ず発生するものであるので、この機械結合
信号を発生させるための手段を別個に設ける必要がな
く、その分構成がきわめてシンプルで、モニターに対す
る信頼性の高いものとすることができるばかりでなく、
センサ起動後、特性が安定するタイミングを知ることが
でき、起動後、より早くセンサ出力を利用できるように
なる。
られる機械結合信号をモニター信号とすることにより、
この角速度信号が正常な検知動作ができる状態にあるの
か否かを検知することができるようになり、しかも機械
結合信号は必ず発生するものであるので、この機械結合
信号を発生させるための手段を別個に設ける必要がな
く、その分構成がきわめてシンプルで、モニターに対す
る信頼性の高いものとすることができるばかりでなく、
センサ起動後、特性が安定するタイミングを知ることが
でき、起動後、より早くセンサ出力を利用できるように
なる。
【0006】
【実施例】図1において1は樹脂製よりなる一端が開口
したケースで、このケース1の開口部に樹脂製の蓋2が
装着されることにより密封空間が形成されている。
したケースで、このケース1の開口部に樹脂製の蓋2が
装着されることにより密封空間が形成されている。
【0007】この密封空間の内部には、回路基板3と、
金属製のウェイト板4が収納されている。すなわち、ケ
ース1の内部四隅には支持ピン5が植設されており、こ
の支持ピン5によりウェイト板4と回路基板3が弾性的
に支持、固定されている。ウェイト板4にはこの弾性支
持のために、四隅にゴム製のダンパー6が装着されてお
り、またこのダンパー6と回路基板3の間には樹脂製の
支持脚7が設けられ、支持ピン5は下方よりダンパー
6、支持脚7、回路基板3を貫通後、その先端が回路基
板3側に押し潰されており、これにより回路基板3、ウ
ェイト板4は弾性的に支持、固定されている。また、ウ
ェイト板4の回路基板3側には図2に示す如く、金属製
の支持ピン8が垂直方向に圧入、固定されており、この
支持ピン8の上部には水平方向に金属製の支持ピン9の
一端が圧入、固定されている。この支持ピン9の径は支
持ピン8の径の約5分の1と細く、しかも材質はピアノ
線などの様にバネ性を持つ金属材料で形成されており、
その他端に金属製の基板10がはんだにより固定されて
いる。
金属製のウェイト板4が収納されている。すなわち、ケ
ース1の内部四隅には支持ピン5が植設されており、こ
の支持ピン5によりウェイト板4と回路基板3が弾性的
に支持、固定されている。ウェイト板4にはこの弾性支
持のために、四隅にゴム製のダンパー6が装着されてお
り、またこのダンパー6と回路基板3の間には樹脂製の
支持脚7が設けられ、支持ピン5は下方よりダンパー
6、支持脚7、回路基板3を貫通後、その先端が回路基
板3側に押し潰されており、これにより回路基板3、ウ
ェイト板4は弾性的に支持、固定されている。また、ウ
ェイト板4の回路基板3側には図2に示す如く、金属製
の支持ピン8が垂直方向に圧入、固定されており、この
支持ピン8の上部には水平方向に金属製の支持ピン9の
一端が圧入、固定されている。この支持ピン9の径は支
持ピン8の径の約5分の1と細く、しかも材質はピアノ
線などの様にバネ性を持つ金属材料で形成されており、
その他端に金属製の基板10がはんだにより固定されて
いる。
【0008】この基板10の支持ピン8,9を挟む両側
には金属製の駆動板11,12の一端が固定され、さら
にそれらの表面には板状の圧電素子11a,12aが固
定され、これにより音叉形の駆動部が形成されている。
また、駆動板11,12の他端は図2に示す如く、圧電
素子11a,12a部とは直交する方向に折り曲げら
れ、その後延長形成された検知板13,14に板状の圧
電素子13a,14aが固定され、これにより検知部が
構成されている。
には金属製の駆動板11,12の一端が固定され、さら
にそれらの表面には板状の圧電素子11a,12aが固
定され、これにより音叉形の駆動部が形成されている。
また、駆動板11,12の他端は図2に示す如く、圧電
素子11a,12a部とは直交する方向に折り曲げら
れ、その後延長形成された検知板13,14に板状の圧
電素子13a,14aが固定され、これにより検知部が
構成されている。
【0009】図3は制御回路を示し、駆動板11の圧電
素子11aにはドライバ15から約1VP-P、1.5kH
zの交流信号が印加される。これにより、駆動板11,
12には支持ピン9に対して内外方向に音叉振動を始め
る。駆動板12の圧電素子12aは音叉振動により、印
加信号に比例した電圧が誘起され、それはカレントアン
プ16、バンドパスフィルタ17を通過し、図4のA点
信号となる。これは次に全波整流器18、AGC回路1
9を介してドライバ15にフィードバックされ、駆動信
号のAGC制御が行われている。検知部においては、圧
電素子13a,14aが角速度を検知すると、圧電素子
13a,14aは共に+Qの角速度信号を出力し、その
様子は図4のB,Cに角速度信号として示されており、
これは図3のD点において合成され、図4のDの様な角
速度信号となる。この角速度信号は次にチャージアンプ
20、バンドパスフィルタ21、同期検波22、ローパ
スフィルタ23を介して出力端子24から出力される。
その間のE点、F点、G点の信号波形は図4のE,F,
Gに角速度信号として示されている。
素子11aにはドライバ15から約1VP-P、1.5kH
zの交流信号が印加される。これにより、駆動板11,
12には支持ピン9に対して内外方向に音叉振動を始め
る。駆動板12の圧電素子12aは音叉振動により、印
加信号に比例した電圧が誘起され、それはカレントアン
プ16、バンドパスフィルタ17を通過し、図4のA点
信号となる。これは次に全波整流器18、AGC回路1
9を介してドライバ15にフィードバックされ、駆動信
号のAGC制御が行われている。検知部においては、圧
電素子13a,14aが角速度を検知すると、圧電素子
13a,14aは共に+Qの角速度信号を出力し、その
様子は図4のB,Cに角速度信号として示されており、
これは図3のD点において合成され、図4のDの様な角
速度信号となる。この角速度信号は次にチャージアンプ
20、バンドパスフィルタ21、同期検波22、ローパ
スフィルタ23を介して出力端子24から出力される。
その間のE点、F点、G点の信号波形は図4のE,F,
Gに角速度信号として示されている。
【0010】さて、本実施例においては、駆動板11,
12に対して検知板13,14を直交する方向に設けな
ければならないが、真にこれを直交方向とすることは実
質的に困難で、しかも圧電素子13a,14aの大きさ
やその取り付け方も全く同じものとする事ができないの
で、その結果として圧電素子13a,14aからは常時
図4のB,Cに示す機械結合信号が発生してしまう。こ
の場合圧電素子13a,14a側は検知板13,14の
同一面に貼りつけており、検知板13,14の重心が若
干圧電素子13a,14a貼付側にずれるため、駆動板
11,12が音叉振動する場合に、例えば外方に広がる
場合、圧電素子13a,14a側にたわんで広がること
になる。従ってこれらの圧電素子13a,14aに発生
する機械結合信号は図4のB,Cの如く逆相の状態とな
るので、図3のD点においてはその機械結合信号が合成
された場合には、機械結合信号は小さくなる。この機械
結合信号はチャージアンプ20、増幅器25で増幅した
後、整流器26で整流され、その後平滑器27で平滑
後、判定器28でレベル判定が行われ、モニター信号端
子29からその判定結果が出力される。図3のH,I,
J各点の出力は図4にそれぞれ示している。即ち、平滑
器27の出力Iがa,b間にある時には、モニター信号
端子29の出力は図4のJに示す如くローレベルとな
る。これに対して例えば図3に示す検知板14が破損も
しくはそのリード線などが断線した場合には図4のCに
示す如く、角速度信号も機械結合信号もゼロレベルとな
ってしまう。この結果D点においては圧電素子13aか
らだけの機械結合信号が発生することとなり、今までよ
りもはるかに大きな機械結合信号レベルとなってしま
う。従ってこの時には平滑器27の出力は図4のIに示
す如く、a点より大きくなり、この結果判定器28から
は、図4のJに示す如くハイレベルの出力が発生する事
となる。また検知板13,14両方が損傷したり、両方
のリード線が断線した場合などには平滑器27の出力は
図4のIのb点よりも小さく、この時にも判定器28の
出力はハイレベルの出力を出すことになる。そしてこの
様なハイレベルの出力が出た場合には、この角速度セン
サが故障したとして使用機器へ情報伝達をする。
12に対して検知板13,14を直交する方向に設けな
ければならないが、真にこれを直交方向とすることは実
質的に困難で、しかも圧電素子13a,14aの大きさ
やその取り付け方も全く同じものとする事ができないの
で、その結果として圧電素子13a,14aからは常時
図4のB,Cに示す機械結合信号が発生してしまう。こ
の場合圧電素子13a,14a側は検知板13,14の
同一面に貼りつけており、検知板13,14の重心が若
干圧電素子13a,14a貼付側にずれるため、駆動板
11,12が音叉振動する場合に、例えば外方に広がる
場合、圧電素子13a,14a側にたわんで広がること
になる。従ってこれらの圧電素子13a,14aに発生
する機械結合信号は図4のB,Cの如く逆相の状態とな
るので、図3のD点においてはその機械結合信号が合成
された場合には、機械結合信号は小さくなる。この機械
結合信号はチャージアンプ20、増幅器25で増幅した
後、整流器26で整流され、その後平滑器27で平滑
後、判定器28でレベル判定が行われ、モニター信号端
子29からその判定結果が出力される。図3のH,I,
J各点の出力は図4にそれぞれ示している。即ち、平滑
器27の出力Iがa,b間にある時には、モニター信号
端子29の出力は図4のJに示す如くローレベルとな
る。これに対して例えば図3に示す検知板14が破損も
しくはそのリード線などが断線した場合には図4のCに
示す如く、角速度信号も機械結合信号もゼロレベルとな
ってしまう。この結果D点においては圧電素子13aか
らだけの機械結合信号が発生することとなり、今までよ
りもはるかに大きな機械結合信号レベルとなってしま
う。従ってこの時には平滑器27の出力は図4のIに示
す如く、a点より大きくなり、この結果判定器28から
は、図4のJに示す如くハイレベルの出力が発生する事
となる。また検知板13,14両方が損傷したり、両方
のリード線が断線した場合などには平滑器27の出力は
図4のIのb点よりも小さく、この時にも判定器28の
出力はハイレベルの出力を出すことになる。そしてこの
様なハイレベルの出力が出た場合には、この角速度セン
サが故障したとして使用機器へ情報伝達をする。
【0011】図5は他の実施例を示し、この実施例にお
いては増幅器25と、平滑器27の間に同期検波器30
を介在させ、駆動信号のフィードバック回路のフィード
バック信号、つまり図5のA点より位相器31を介した
信号により、同期検波を行うものである。すなわち増幅
器25に流入する機械結合信号中には、角速度信号も混
入しているので、この角速度信号をキャンセルし、機械
結合信号レベルを正確な値に近づけるものである。その
為に上述の如く、図5のA点に流れる図6のAの信号を
位相器31で90度位相を遅らせ、この90度位相遅れ
のある信号で、増幅器25からの出力を同期検波すれ
ば、図6のIに示す如く角速度信号がキャンセルされ、
機械結合信号レベルを正確な値に近づける事ができるの
である。
いては増幅器25と、平滑器27の間に同期検波器30
を介在させ、駆動信号のフィードバック回路のフィード
バック信号、つまり図5のA点より位相器31を介した
信号により、同期検波を行うものである。すなわち増幅
器25に流入する機械結合信号中には、角速度信号も混
入しているので、この角速度信号をキャンセルし、機械
結合信号レベルを正確な値に近づけるものである。その
為に上述の如く、図5のA点に流れる図6のAの信号を
位相器31で90度位相を遅らせ、この90度位相遅れ
のある信号で、増幅器25からの出力を同期検波すれ
ば、図6のIに示す如く角速度信号がキャンセルされ、
機械結合信号レベルを正確な値に近づける事ができるの
である。
【0012】図7は他の実施例を示し、この実施例にお
いては初期設定として、圧電素子13a,14aから得
られる機械結合信号を図7のD点で加算した場合、0と
なる様にしたものである。すなわち、図3、図5に示す
ものは、この加算が0以外の状態になっていたのに対
し、この実施例においては検知板13あるいは14をト
リミングすることにより、圧電素子13a,14aから
生じる機械結合信号を加算したものを0に初期設定する
ものである。図8のDはそれを示しており、例えば検知
板14が損傷したり、リード線が外れたりするまでは機
械結合信号は発生していない。しかし、この故障以後は
圧電素子14aからの機械結合信号が発生しなくなるの
で、図8のDの如く機械結合信号が現出することにな
る。この結果、図8のJに示す如く、判定器28の出力
はハイレベルとなり、これが論理和回路32を介してモ
ニター信号端子29から図8のLに示す如く角速度セン
サが故障したことを知らせる信号が出力されることにな
る。また、本実施例においては論理和回路32に判定器
33を介して駆動信号のフィードバック信号、つまり全
波整流器18の出力を供給する様にしている。これは、
本実施例において、駆動板11,12が駆動されていな
い時にもモニター信号端子29から故障を報知できる様
にするためのものである。その為に本実施例では、駆動
信号を判定器33を介して論理和回路32へ供給するこ
とにしたものであり、判定器33はこのフィードバック
信号が0の時にハイレベルを出力し、これが論理和回路
32を介してモニター信号端子29から出力され故障を
報知することができるのである。図9は他の実施例を示
し、この実施例においても圧電素子13a,14aから
得られる機械結合信号を加算した場合0となる様に検知
板13あるいは14をトリミングして初期設定してい
る。そして圧電素子13aからの信号はチャージアンプ
20aで増幅し、また圧電素子14aの信号はチャージ
アンプ20bで増幅し、それらを加算器34で加算した
ものが、その後の処理により出力端子24から角速度出
力として取出される。また、減算器35にてチャージア
ンプ20aの出力からチャージアンプ20bの出力を減
算したものが、その後の処理により、モニター信号端子
29からモニター信号として出力される様になってい
る。なお各部の波形は図10に示している。なお上記実
施例においては、いくつかの例を示したが、増幅器2
5、整流器26、平滑器27は省いても良い。また音叉
形の角速度センサを用いて説明したが、三角柱タイプ、
円柱タイプ、音片タイプ、円筒タイプ、の角速度センサ
においても機械結合信号が必ず発生するので、この機械
結合信号を用いて故障検出をすることができる。
いては初期設定として、圧電素子13a,14aから得
られる機械結合信号を図7のD点で加算した場合、0と
なる様にしたものである。すなわち、図3、図5に示す
ものは、この加算が0以外の状態になっていたのに対
し、この実施例においては検知板13あるいは14をト
リミングすることにより、圧電素子13a,14aから
生じる機械結合信号を加算したものを0に初期設定する
ものである。図8のDはそれを示しており、例えば検知
板14が損傷したり、リード線が外れたりするまでは機
械結合信号は発生していない。しかし、この故障以後は
圧電素子14aからの機械結合信号が発生しなくなるの
で、図8のDの如く機械結合信号が現出することにな
る。この結果、図8のJに示す如く、判定器28の出力
はハイレベルとなり、これが論理和回路32を介してモ
ニター信号端子29から図8のLに示す如く角速度セン
サが故障したことを知らせる信号が出力されることにな
る。また、本実施例においては論理和回路32に判定器
33を介して駆動信号のフィードバック信号、つまり全
波整流器18の出力を供給する様にしている。これは、
本実施例において、駆動板11,12が駆動されていな
い時にもモニター信号端子29から故障を報知できる様
にするためのものである。その為に本実施例では、駆動
信号を判定器33を介して論理和回路32へ供給するこ
とにしたものであり、判定器33はこのフィードバック
信号が0の時にハイレベルを出力し、これが論理和回路
32を介してモニター信号端子29から出力され故障を
報知することができるのである。図9は他の実施例を示
し、この実施例においても圧電素子13a,14aから
得られる機械結合信号を加算した場合0となる様に検知
板13あるいは14をトリミングして初期設定してい
る。そして圧電素子13aからの信号はチャージアンプ
20aで増幅し、また圧電素子14aの信号はチャージ
アンプ20bで増幅し、それらを加算器34で加算した
ものが、その後の処理により出力端子24から角速度出
力として取出される。また、減算器35にてチャージア
ンプ20aの出力からチャージアンプ20bの出力を減
算したものが、その後の処理により、モニター信号端子
29からモニター信号として出力される様になってい
る。なお各部の波形は図10に示している。なお上記実
施例においては、いくつかの例を示したが、増幅器2
5、整流器26、平滑器27は省いても良い。また音叉
形の角速度センサを用いて説明したが、三角柱タイプ、
円柱タイプ、音片タイプ、円筒タイプ、の角速度センサ
においても機械結合信号が必ず発生するので、この機械
結合信号を用いて故障検出をすることができる。
【0013】
【発明の効果】以上の様に本発明は振動部とこの振動部
を駆動振動させる為の駆動手段と角速度を検出する検出
手段からなる検知体と、この検知体から角速度出力を取
り出す出力端子とを備え、前記検知体から得られる角速
度出力以外の機械結合信号を検知してモニター信号とす
るものである。そして以上の構成とすれば、構成上必ず
検知体から得られる機械結合信号をモニター信号とする
ことにより、この角速度信号が正常な検知動作ができる
状態にあるのか否かを検知することができるようにな
り、しかも機械結合信号は必ず発生するものであるの
で、この機械結合信号を発生させるための手段を別個に
設ける必要がなく、その分構成が極めてシンプルで、モ
ニターに対する信頼性の高いものとすることができる。
を駆動振動させる為の駆動手段と角速度を検出する検出
手段からなる検知体と、この検知体から角速度出力を取
り出す出力端子とを備え、前記検知体から得られる角速
度出力以外の機械結合信号を検知してモニター信号とす
るものである。そして以上の構成とすれば、構成上必ず
検知体から得られる機械結合信号をモニター信号とする
ことにより、この角速度信号が正常な検知動作ができる
状態にあるのか否かを検知することができるようにな
り、しかも機械結合信号は必ず発生するものであるの
で、この機械結合信号を発生させるための手段を別個に
設ける必要がなく、その分構成が極めてシンプルで、モ
ニターに対する信頼性の高いものとすることができる。
【図1】本発明の一実施例の分解斜視図
【図2】図1の要部の拡大斜視図
【図3】図1の制御回路図
【図4】図3の波形図
【図5】本発明の他の実施例の制御回路図
【図6】図5の波形図
【図7】本発明の更に他の実施例の制御回路図
【図8】図7の波形図
【図9】本発明の更に他の実施例の制御回路図
【図10】図9の波形図
11 駆動板 11a 圧電素子 12 駆動板 12a 圧電素子 13 検知板 13a 圧電素子 14 検知板 14a 圧電素子 24 出力端子 29 モニター信号端子
Claims (12)
- 【請求項1】 振動部とこの振動部を駆動振動させる為
の駆動手段と角速度を検出する検出手段からなる検知体
と、この検知体から角速度出力を取り出す出力端子とを
備え、前記検知体から得られる角速度出力以外の機械結
合信号を検知してモニター信号とする角速度センサ。 - 【請求項2】 検知体は、音叉形の駆動部と、この駆動
部を構成する両方の駆動板の先端に、それとは直交する
方向に設けられた検知板とにより構成した請求項1に記
載の角速度センサ。 - 【請求項3】 振動部が圧電性を有する材料によってな
る請求項1記載の角速度センサ。 - 【請求項4】 検知板から、この検知板と駆動板との機
械結合に起因する機械結合信号を検知してモニター信号
とする請求項2または3に記載の角速度センサ。 - 【請求項5】 出力端子から得られる信号から機械結合
信号成分を検知してモニター信号とする請求項4に記載
の角速度センサ。 - 【請求項6】 機械結合信号のレベル低下を検出してモ
ニター信号とする請求項1または4または5に記載の角
速度センサ。 - 【請求項7】 2つの検知体から得られる機械結合信号
をチャージアンプで増幅、整流、平滑後、判定回路に供
給する構成とした請求項4または5に記載の角速度セン
サ。 - 【請求項8】 2つの検知体から得られる機械結合信号
の和を0以外の所定値に初期設定する構成とした請求項
6または7に記載の角速度センサ。 - 【請求項9】 2つの検知板から得られる機械結合信号
の和を0に初期設定する構成とした請求項7に記載の角
速度センサ。 - 【請求項10】 駆動部の判定回路出力とモニター信号
出力を論理和回路に供給する構成とした請求項9に記載
の角速度センサ。 - 【請求項11】 2つの検知板から得られる機械結合信
号の和を0以外の所定値に初期設定するとともに、これ
らの検知板から得られた機械結合信号をチャージアンプ
で増幅し、このチャージアンプで増幅された機械結合信
号を駆動信号のフィードバック回路に流れるフィードバ
ック信号を90度位相器で位相変換した信号により同期
検波し平滑後、判定回路に供給する構成とした請求項4
または5または6に記載の角速度センサ。 - 【請求項12】 2つの検知板から得られる機械結合信
号の和を0に初期設定するとともに、2つの検知板から
得られる機械結合信号をそれぞれ別のチャージアンプで
増幅し、これら別のチャージアンプの出力を引き算した
信号を整流、平滑後、判定回路に供給する構成にした請
求項4に記載の角速度センサ。
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