JPH08327546A - 紫外線螢光分析法を用いたガス分析計 - Google Patents
紫外線螢光分析法を用いたガス分析計Info
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- JPH08327546A JPH08327546A JP7154004A JP15400495A JPH08327546A JP H08327546 A JPH08327546 A JP H08327546A JP 7154004 A JP7154004 A JP 7154004A JP 15400495 A JP15400495 A JP 15400495A JP H08327546 A JPH08327546 A JP H08327546A
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バックグランド（迷光）によるドリフト、温
度影響等による指示誤差を低減できる紫外線螢光分析法
を用いたガス分析計を提供すること。 【構成】 流体変調方式を用いるガス分析計であって、
紫外線照射光源３と、この紫外線照射光源３より発せら
れる紫外線をセル内に集光する集光レンズ２と、この集
光レンズ２の光軸Ａに直交する位置に設けられ、紫外線
の照射によりサンプルガスＳから発する紫外線螢光を検
出する螢光検出器６と、これら紫外線照射光源３、集光
レンズ２および螢光検出器６を保持する保持部材１とを
備え、更に、前記セルが、前記保持部材１における紫外
線の集光位置Ｆに、位置調節可能で、かつ、着脱自在に
配置された箱状の微少セル５であるとともに、この微少
セル５に導入されたサンプルガスＳから発する前記紫外
線螢光を前記螢光検出器６に集光する集光レンズ８を前
記保持部材１に設けてある。
度影響等による指示誤差を低減できる紫外線螢光分析法
を用いたガス分析計を提供すること。 【構成】 流体変調方式を用いるガス分析計であって、
紫外線照射光源３と、この紫外線照射光源３より発せら
れる紫外線をセル内に集光する集光レンズ２と、この集
光レンズ２の光軸Ａに直交する位置に設けられ、紫外線
の照射によりサンプルガスＳから発する紫外線螢光を検
出する螢光検出器６と、これら紫外線照射光源３、集光
レンズ２および螢光検出器６を保持する保持部材１とを
備え、更に、前記セルが、前記保持部材１における紫外
線の集光位置Ｆに、位置調節可能で、かつ、着脱自在に
配置された箱状の微少セル５であるとともに、この微少
セル５に導入されたサンプルガスＳから発する前記紫外
線螢光を前記螢光検出器６に集光する集光レンズ８を前
記保持部材１に設けてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、紫外線螢光分析法
（以下、紫外螢光法という）を用いて、例えば大気中の
ＳＯ2 （硫黄酸化物）の濃度を測定するガス分析計に関
するものである。
（以下、紫外螢光法という）を用いて、例えば大気中の
ＳＯ2 （硫黄酸化物）の濃度を測定するガス分析計に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＳＯ2 を分析する方法の一つに紫外螢光
法がある。この紫外螢光法は、サンプルガスに紫外線を
照射すると、サンプルガス中に含まれるＳＯ2 が紫外線
螢光を発し、この紫外線螢光の強さを測定することによ
り、ＳＯ2 濃度を測定するようにしたものである。
法がある。この紫外螢光法は、サンプルガスに紫外線を
照射すると、サンプルガス中に含まれるＳＯ2 が紫外線
螢光を発し、この紫外線螢光の強さを測定することによ
り、ＳＯ2 濃度を測定するようにしたものである。
【０００３】この紫外螢光法を用いた紫外線螢光分析計
が図４に示されている。図４において、セル４０内に導
入されたサンプルガスＳに紫外線照射光源４１より発せ
られる２１５ｎｍ付近の波長の紫外線を照射すると、集
光レンズ４２の焦点位置付近からサンプルガスＳ中に含
まれるＳＯ2 分子が紫外線螢光を発し、この紫外線螢光
の光量を、集光レンズ４１の光軸に直交する位置に設け
た螢光検出器（例えばフォトマルチプライヤー）（以
下、ＰＭＴという）４３で検出し、その検出光量を基に
してサンプルガスＳ中のＳＯ2 濃度が測定される。な
お、図４において、４４，４５は、それぞれ励起波長選
択用フィルタ、螢光選択用フィルタであり、４６は紫外
線螢光用の集光レンズである。
が図４に示されている。図４において、セル４０内に導
入されたサンプルガスＳに紫外線照射光源４１より発せ
られる２１５ｎｍ付近の波長の紫外線を照射すると、集
光レンズ４２の焦点位置付近からサンプルガスＳ中に含
まれるＳＯ2 分子が紫外線螢光を発し、この紫外線螢光
の光量を、集光レンズ４１の光軸に直交する位置に設け
た螢光検出器（例えばフォトマルチプライヤー）（以
下、ＰＭＴという）４３で検出し、その検出光量を基に
してサンプルガスＳ中のＳＯ2 濃度が測定される。な
お、図４において、４４，４５は、それぞれ励起波長選
択用フィルタ、螢光選択用フィルタであり、４６は紫外
線螢光用の集光レンズである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、螢光検出器４
３の感度にバックグランド（迷光）によるドリフトが生
じたり、温度変動、光源４１の劣化等による指示誤差が
大きかった。
３の感度にバックグランド（迷光）によるドリフトが生
じたり、温度変動、光源４１の劣化等による指示誤差が
大きかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記問題
に鑑みてなしたもので、その目的は、バックグランド
（迷光）によるドリフト、温度影響等による指示誤差を
低減できる紫外線螢光分析法を用いたガス分析計を提供
することにある。
に鑑みてなしたもので、その目的は、バックグランド
（迷光）によるドリフト、温度影響等による指示誤差を
低減できる紫外線螢光分析法を用いたガス分析計を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、セル内にサンプルガスとリファレンス
ガスを一定周期で交互に導入する流体変調方式を用い、
紫外線の照射によりサンプルガスから発生される紫外線
螢光を螢光検出器で検出するガス分析計であって、紫外
線照射光源と、この紫外線照射光源より発せられる紫外
線をセル内に集光する集光レンズと、この集光レンズの
光軸に直交する位置に設けられ、紫外線の照射によりサ
ンプルガスから発する紫外線螢光を検出する螢光検出器
と、これら紫外線照射光源、集光レンズおよび螢光検出
器を保持する保持部材とを備え、更に、前記セルが、前
記保持部材における紫外線の集光位置に、位置調節可能
で、かつ、着脱自在に配置された箱状の微少セルである
とともに、この微少セルに導入されたサンプルガスから
発する前記紫外線螢光を前記螢光検出器に集光する集光
レンズを前記保持部材に設けてある。
に、この発明は、セル内にサンプルガスとリファレンス
ガスを一定周期で交互に導入する流体変調方式を用い、
紫外線の照射によりサンプルガスから発生される紫外線
螢光を螢光検出器で検出するガス分析計であって、紫外
線照射光源と、この紫外線照射光源より発せられる紫外
線をセル内に集光する集光レンズと、この集光レンズの
光軸に直交する位置に設けられ、紫外線の照射によりサ
ンプルガスから発する紫外線螢光を検出する螢光検出器
と、これら紫外線照射光源、集光レンズおよび螢光検出
器を保持する保持部材とを備え、更に、前記セルが、前
記保持部材における紫外線の集光位置に、位置調節可能
で、かつ、着脱自在に配置された箱状の微少セルである
とともに、この微少セルに導入されたサンプルガスから
発する前記紫外線螢光を前記螢光検出器に集光する集光
レンズを前記保持部材に設けてある。
【０００７】
【作用】セル内にサンプルガスとリファレンスガスを一
定周期で交互に導入することによって、螢光検出器から
の出力を交流化できる。すなわち、サンプルガスとリフ
ァレンスガスとに基づく物理量の差だけを交流信号とし
て取り出すため、バックグランド（迷光）によるドリフ
トのない、非常に安定した信号を得ることができるとと
もに、温度影響等による指示誤差も低減できる。
定周期で交互に導入することによって、螢光検出器から
の出力を交流化できる。すなわち、サンプルガスとリフ
ァレンスガスとに基づく物理量の差だけを交流信号とし
て取り出すため、バックグランド（迷光）によるドリフ
トのない、非常に安定した信号を得ることができるとと
もに、温度影響等による指示誤差も低減できる。
【０００８】そして、セル内へのガスの導入にあたり、
上記の流体変調方式を採用する場合は、ガスの大量消費
を抑えるために、流体変調方式を採用しない場合に比し
てセル容量を小さく必要がある。そのため、この発明で
は、セルとして、サンプルガス導入量の少ない微少セル
を採用することで、この微少セル内から発する紫外線螢
光の光量は減少するけれども、紫外線照射光源より発せ
られる紫外線を微少セル内に集光する集光レンズと、サ
ンプルガスから発する紫外線螢光を螢光検出器に集光す
る集光レンズを保持部材に設けたことにより、微少セル
を用いながらも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検
出器に集めることができる。
上記の流体変調方式を採用する場合は、ガスの大量消費
を抑えるために、流体変調方式を採用しない場合に比し
てセル容量を小さく必要がある。そのため、この発明で
は、セルとして、サンプルガス導入量の少ない微少セル
を採用することで、この微少セル内から発する紫外線螢
光の光量は減少するけれども、紫外線照射光源より発せ
られる紫外線を微少セル内に集光する集光レンズと、サ
ンプルガスから発する紫外線螢光を螢光検出器に集光す
る集光レンズを保持部材に設けたことにより、微少セル
を用いながらも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検
出器に集めることができる。
【０００９】また、微少セルは、例えば石英ガラス等の
紫外線並びに紫外線螢光透過材料で箱状に加工されるか
ら、加工目標の寸法に対して公差（寸法誤差）が生じる
けれども、微少セルを保持部材に対して位置調節可能に
配置できるので、前記公差の大きな微少セルでも容易に
位置決めできる。
紫外線並びに紫外線螢光透過材料で箱状に加工されるか
ら、加工目標の寸法に対して公差（寸法誤差）が生じる
けれども、微少セルを保持部材に対して位置調節可能に
配置できるので、前記公差の大きな微少セルでも容易に
位置決めできる。
【００１０】さらに、流体変調を行うにしても、セル容
量の大きなセルを用いる場合に比して、この発明の前記
微少セルを用いる場合の方が、少量のガスでも変調が可
能となり、また、サンプルガスとリファレンスガスの切
換効率を良くできる。
量の大きなセルを用いる場合に比して、この発明の前記
微少セルを用いる場合の方が、少量のガスでも変調が可
能となり、また、サンプルガスとリファレンスガスの切
換効率を良くできる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。なお、それによってこの発明は限定を受けるも
のではない。
明する。なお、それによってこの発明は限定を受けるも
のではない。
【００１２】図１、図２において、１は、四角の箱状
で、その長手方向が集光レンズ２の光軸Ａに沿って設定
されており、電着塗装の手段で内面が黒色に塗装された
アルミニウム製の保持部材であって、この保持部材１に
は、紫外線の照射方向（Ｂで示す矢印の方向）に沿っ
て、紫外線照射光源３、集光レンズ２、励起波長選択用
フィルタ４および後述する微少セル５が順次光学的に配
置されているとともに、集光レンズ２の光軸Ａに直交す
る位置に設けられた螢光検出器（例えばＰＭＴ）６も保
持部材１に配置されている。７，８は、それぞれ、螢光
検出器６および微少セル５間で保持部材１に配置されて
いる螢光選択用フィルタおよび微少セル５に導入された
サンプルガスＳから発する紫外線螢光用の集光レンズで
ある。
で、その長手方向が集光レンズ２の光軸Ａに沿って設定
されており、電着塗装の手段で内面が黒色に塗装された
アルミニウム製の保持部材であって、この保持部材１に
は、紫外線の照射方向（Ｂで示す矢印の方向）に沿っ
て、紫外線照射光源３、集光レンズ２、励起波長選択用
フィルタ４および後述する微少セル５が順次光学的に配
置されているとともに、集光レンズ２の光軸Ａに直交す
る位置に設けられた螢光検出器（例えばＰＭＴ）６も保
持部材１に配置されている。７，８は、それぞれ、螢光
検出器６および微少セル５間で保持部材１に配置されて
いる螢光選択用フィルタおよび微少セル５に導入された
サンプルガスＳから発する紫外線螢光用の集光レンズで
ある。
【００１３】更に、微少セル５は、石英ガラス等の紫外
線並びに紫外線螢光透過材料で四角の箱状に加工されて
いる。そして、保持部材１における紫外線の集光位置Ｆ
に取付けられる取付部材９に微少セル５が挿脱できる構
成になっている。
線並びに紫外線螢光透過材料で四角の箱状に加工されて
いる。そして、保持部材１における紫外線の集光位置Ｆ
に取付けられる取付部材９に微少セル５が挿脱できる構
成になっている。
【００１４】すなわち、図３に示されるように、微少セ
ル５は、一端に形成された螢光室１０と、螢光室１０に
配管接続部１１を介して連通するガス導入用配管１２お
よびガス導出用配管１３と、他端に形成された鍔状の配
管取付用蓋体１４とからなる一方、取付部材９は、微少
セル５の螢光室１０および配管接続部１１が挿入可能な
大きさの挿入通路１５を有する枠部分９ａと、この枠体
９ａの一端に形成された鍔状の枠体９ｂとから構成され
ている。そして、この取付部材９は、保持部材１の一側
面１ａで集光レンズ２の光軸Ａに沿って形成された切欠
き（図示せず）の上下に設けられる一対のホルダー１
６，１６により、光軸Ａの方向と上下方向とに位置調節
できる構成になっている。
ル５は、一端に形成された螢光室１０と、螢光室１０に
配管接続部１１を介して連通するガス導入用配管１２お
よびガス導出用配管１３と、他端に形成された鍔状の配
管取付用蓋体１４とからなる一方、取付部材９は、微少
セル５の螢光室１０および配管接続部１１が挿入可能な
大きさの挿入通路１５を有する枠部分９ａと、この枠体
９ａの一端に形成された鍔状の枠体９ｂとから構成され
ている。そして、この取付部材９は、保持部材１の一側
面１ａで集光レンズ２の光軸Ａに沿って形成された切欠
き（図示せず）の上下に設けられる一対のホルダー１
６，１６により、光軸Ａの方向と上下方向とに位置調節
できる構成になっている。
【００１５】例えば、前記切欠きの周りの側面１ａにビ
ス１７により固定されたホルダー１６，１６のレール１
６ａ，１６ａに沿って、取付部材９をレール１６ａ，１
６ａの微少な長さの範囲内において光軸Ａの方向に移動
できるとともに、ホルダー１６，１６に、上下に長く形
成された長孔１６ｂにより、取付部材９を長孔１６ｂの
上下の長さの範囲内において上下方向に移動できる。
ス１７により固定されたホルダー１６，１６のレール１
６ａ，１６ａに沿って、取付部材９をレール１６ａ，１
６ａの微少な長さの範囲内において光軸Ａの方向に移動
できるとともに、ホルダー１６，１６に、上下に長く形
成された長孔１６ｂにより、取付部材９を長孔１６ｂの
上下の長さの範囲内において上下方向に移動できる。
【００１６】そのため、微少セル５を螢光室１０から取
付部材９の挿入通路１５に挿入し、さらに、配管取付用
蓋体１４が取付部材９の枠体９ｂに面当接するまで微少
セル５を挿入するだけで、微少セル５の光軸Ａの方向と
上下方向の位置調節が可能である。そして、微少セル５
を上記のように面当接するまで挿入した場合には、微少
セル５の螢光室１０が集光レンズ２の光軸Ａ上で、か
つ、紫外線の集光位置Ｆに位置するように予め螢光室１
０および配管接続部１１の長さを設定してあるけれど
も、この実施例では、微少セル加工時の公差による挿入
方向の微少な位置ずれも、微少セル５の挿入長さを微妙
に調節するだけで位置調節が可能である。
付部材９の挿入通路１５に挿入し、さらに、配管取付用
蓋体１４が取付部材９の枠体９ｂに面当接するまで微少
セル５を挿入するだけで、微少セル５の光軸Ａの方向と
上下方向の位置調節が可能である。そして、微少セル５
を上記のように面当接するまで挿入した場合には、微少
セル５の螢光室１０が集光レンズ２の光軸Ａ上で、か
つ、紫外線の集光位置Ｆに位置するように予め螢光室１
０および配管接続部１１の長さを設定してあるけれど
も、この実施例では、微少セル加工時の公差による挿入
方向の微少な位置ずれも、微少セル５の挿入長さを微妙
に調節するだけで位置調節が可能である。
【００１７】また、この実施例では、流路切換手段１８
から微少セル５内にサンプルガスＳとリファレンスガス
（例えばゼロガス）Ｒを一定周期かつ一定量交互に導入
している。
から微少セル５内にサンプルガスＳとリファレンスガス
（例えばゼロガス）Ｒを一定周期かつ一定量交互に導入
している。
【００１８】このように本実施例では、微少セル５内へ
のガスの導入にあたり、流体変調方式を採用しているか
ら、サンプルガスＳとリファレンスガスＲちに基づく信
号の差をＳＯ2 信号として処理することにより、バック
グランド（迷光）のドリフトや、温度変動、光源３の劣
化等による指示誤差を低減できる。
のガスの導入にあたり、流体変調方式を採用しているか
ら、サンプルガスＳとリファレンスガスＲちに基づく信
号の差をＳＯ2 信号として処理することにより、バック
グランド（迷光）のドリフトや、温度変動、光源３の劣
化等による指示誤差を低減できる。
【００１９】また、微少セル５を用いているので、少量
のガスでも変調が可能となり、また、サンプルガスＳと
リファレンスガスＲの切換効率を良くできる。
のガスでも変調が可能となり、また、サンプルガスＳと
リファレンスガスＲの切換効率を良くできる。
【００２０】さらに、本実施例では、微少セル５を用い
ながらも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検出器６
に集めることができるように、紫外線照射光源３より発
せられる紫外線を微少セル５内に集光する集光レンズ２
と、サンプルガスＳから発する紫外線螢光を螢光検出器
６に集光する集光レンズ７を保持部材１に設けるという
配慮がなされている。
ながらも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検出器６
に集めることができるように、紫外線照射光源３より発
せられる紫外線を微少セル５内に集光する集光レンズ２
と、サンプルガスＳから発する紫外線螢光を螢光検出器
６に集光する集光レンズ７を保持部材１に設けるという
配慮がなされている。
【００２１】しかも、保持部材１に、微少セル５の挿入
可能な取付部材９を設けたので、微少セル５の光軸Ａの
方向と上下方向の位置調節ならびに微少セル５の挿入方
向の位置調節を容易に行うことができ、それにより、紫
外線照射光源３より発せられる紫外線を微少セル５内に
常に集光できて紫外線螢光の強さを高感度に測定でき
る。
可能な取付部材９を設けたので、微少セル５の光軸Ａの
方向と上下方向の位置調節ならびに微少セル５の挿入方
向の位置調節を容易に行うことができ、それにより、紫
外線照射光源３より発せられる紫外線を微少セル５内に
常に集光できて紫外線螢光の強さを高感度に測定でき
る。
【００２２】なお、本実施例では、微少セルとして、ガ
ス導入用配管およびガス導出用配管がどちらも同じ側
（蓋体側）に配置してあるものを示したが、ガス導入用
配管およびガス導出用配管をそれぞれ螢光室を介して反
対側に配置してもよい。この場合、微少セルが挿入され
る位置調節用の取付部材を、同様の構成で保持部材の両
側面に設け、かつ、微少セルの蓋体も一対設ける必要が
あるとともに、微少セルの保持部材への着脱時や３方向
の位置調節時には微少セルの一方の蓋体を取り外す必要
がある。
ス導入用配管およびガス導出用配管がどちらも同じ側
（蓋体側）に配置してあるものを示したが、ガス導入用
配管およびガス導出用配管をそれぞれ螢光室を介して反
対側に配置してもよい。この場合、微少セルが挿入され
る位置調節用の取付部材を、同様の構成で保持部材の両
側面に設け、かつ、微少セルの蓋体も一対設ける必要が
あるとともに、微少セルの保持部材への着脱時や３方向
の位置調節時には微少セルの一方の蓋体を取り外す必要
がある。
【００２３】また、本実施例では、四角の箱状の保持部
材を示したが、筒状の保持部材でもよく、形状は任意で
あるとともに、微少セルの形状も四角に限らず箱状であ
れば任意である。
材を示したが、筒状の保持部材でもよく、形状は任意で
あるとともに、微少セルの形状も四角に限らず箱状であ
れば任意である。
【００２４】
【発明の効果】以上のようにこの発明では、サンプルガ
スとリファレンスガスを一定周期で交互に導入する流体
変調方式を採用したので、バックグランド（迷光）によ
るドリフトのない、非常に安定した信号を得ることがで
きるとともに、温度影響等による指示誤差も低減でき
る。
スとリファレンスガスを一定周期で交互に導入する流体
変調方式を採用したので、バックグランド（迷光）によ
るドリフトのない、非常に安定した信号を得ることがで
きるとともに、温度影響等による指示誤差も低減でき
る。
【００２５】また、紫外線照射光源より発せられる紫外
線を微少セル内に集光する集光レンズと、サンプルガス
から発する紫外線螢光を螢光検出器に集光する集光レン
ズを保持部材に設けたことにより、微少セルを用いなが
らも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検出器に集め
ることができる。
線を微少セル内に集光する集光レンズと、サンプルガス
から発する紫外線螢光を螢光検出器に集光する集光レン
ズを保持部材に設けたことにより、微少セルを用いなが
らも紫外線螢光をできるだけ効率良く螢光検出器に集め
ることができる。
【００２６】更に、微少セルは、加工目標の寸法に対し
て公差（寸法誤差）が生じるけれども、微少セルを保持
部材に対して位置調節可能に配置できるので、前記公差
の大きな微少セルでも容易に位置決めでき、よって紫外
線照射光源より発せられる紫外線を微少セル内に常に集
光できて紫外線螢光の強さを高感度に測定できる。
て公差（寸法誤差）が生じるけれども、微少セルを保持
部材に対して位置調節可能に配置できるので、前記公差
の大きな微少セルでも容易に位置決めでき、よって紫外
線照射光源より発せられる紫外線を微少セル内に常に集
光できて紫外線螢光の強さを高感度に測定できる。
【図１】この発明の一実施例を示す全体構成説明図であ
る。
る。
【図２】上記実施例を示す概略構成説明図である。
【図３】上記実施例を示す要部構成説明図である。
【図４】従来例を示す全体構成説明図である。
１…保持部材、２，８…集光レンズ、３…紫外線照射光
源、５…箱状の微少セル、６…螢光検出器、９…取付部
材、１０…螢光室、１２…ガス導入用配管、１３…ガス
導出用配管、１６…取付部材のホルダー、１６ａ…レー
ル、１６ｂ…長孔、Ｓ…サンプルガス、Ｒ…リファレン
スガス。
源、５…箱状の微少セル、６…螢光検出器、９…取付部
材、１０…螢光室、１２…ガス導入用配管、１３…ガス
導出用配管、１６…取付部材のホルダー、１６ａ…レー
ル、１６ｂ…長孔、Ｓ…サンプルガス、Ｒ…リファレン
スガス。
Claims (1)
- 【請求項１】 セル内にサンプルガスとリファレンスガ
スを一定周期で交互に導入する流体変調方式を用い、紫
外線の照射によりサンプルガスから発生される紫外線螢
光を螢光検出器で検出するガス分析計であって、紫外線
照射光源と、この紫外線照射光源より発せられる紫外線
をセル内に集光する集光レンズと、この集光レンズの光
軸に直交する位置に設けられ、紫外線の照射によりサン
プルガスから発する紫外線螢光を検出する螢光検出器
と、これら紫外線照射光源、集光レンズおよび螢光検出
器を保持する保持部材とを備え、更に、前記セルが、前
記保持部材における紫外線の集光位置に、位置調節可能
で、かつ、着脱自在に配置された箱状の微少セルである
とともに、この微少セルに導入されたサンプルガスから
発する前記紫外線螢光を前記螢光検出器に集光する集光
レンズを前記保持部材に設けてあることを特徴とする紫
外線螢光分析法を用いたガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15400495A JP3301049B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 紫外線螢光分析法を用いたガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15400495A JP3301049B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 紫外線螢光分析法を用いたガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327546A true JPH08327546A (ja) | 1996-12-13 |
| JP3301049B2 JP3301049B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=15574815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15400495A Expired - Fee Related JP3301049B2 (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 紫外線螢光分析法を用いたガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301049B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004037409A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Toagosei Co Ltd | 光吸収スペクトル分析用セル、及びそれを用いるシラノール基濃度の測定方法 |
| CN105388137A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-09 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 一种用于气态汞检测的荧光池组件 |
| JP2017527822A (ja) * | 2014-06-27 | 2017-09-21 | パルス ヘルス エルエルシー | 蛍光検出アセンブリ |
Citations (5)
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| JPS5196485U (ja) * | 1975-01-30 | 1976-08-03 | ||
| JPS62259043A (ja) * | 1986-02-20 | 1987-11-11 | アウトマテイツク・アパラ−テ・マシ−ネンバウ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ・ハフツング | 移動工程流れでの材料の分光測光的化学分析のための方法、分光測光装置および試料セル |
| JPS63222242A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-16 | Horiba Ltd | 紫外線螢光分析計 |
| JPH0571757U (ja) * | 1991-03-04 | 1993-09-28 | 日本石英硝子株式会社 | 超微量試料分光光度測定用集光セルおよびそのホルダー |
-
1995
- 1995-05-29 JP JP15400495A patent/JP3301049B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3301049B2 (ja) | 2002-07-15 |
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