JPH08338907A

JPH08338907A - カラ−フィルタの製造法

Info

Publication number: JPH08338907A
Application number: JP17021095A
Authority: JP
Inventors: Tomonobu Sumino; 友信角野
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1995-06-13
Filing date: 1995-06-13
Publication date: 1996-12-24

Abstract

(57)【要約】【目的】ウエットな現像処理に代わって、乾式で、か
つ簡便な方法で現像の操作を行うことにより、また感光
性材料の選択の幅を広くし、物性の優れた顔料を着色剤
として使用することができ、パタ−ンニング適性を有
し、エッジのシャ−プな高精度、高品質等に優れたカラ
−フィルタを提供することである。【構成】カラ−フィルタパタ−ンを形成する基板の上
に着色感光性材料層を設け、次に該着色感光性材料層を
パタ−ン露光、剥離、硬化等の工程を繰り返すことによ
って、複数色からなる着色パタ−ンを基板上に形成する
ことを特徴とするカラ−フィルタの製造法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置、
その他のカラ−表示装置等に使用されるカラーフィルタ
およびその製造法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置は、例えば、ガラス
等の透明基板上にブラックマトリックス、カラーフィル
タ、透明電極をこの順に形成したカラーフィルタ基板の
透明電極上に配向膜を形成した基板と、ＴＦＴ等のスイ
ッチング素子と画素透明電極を配置した基板上に配向膜
を形成して成る基板を、それぞれの配向膜面を対向さ
せ、その間にスペーサーを介して貼り合わせたセル中に
液晶を封入したものを２枚の偏光板にて挟んだ構造から
なるものである。而して、上記のカラーフィルタは、透
明基板上に、赤、緑、青等の着色画像をモザイク状また
はスロット状ましくはストライプ状等に配置した構造で
あり、必要に応じてブラックマトリックスや、ブラック
マトリックス層やカラーフィルタ層を覆う透明保護層を
有し、この上層に、ＩＴＯ等の透明導電層を形成した構
造となるものである。また、自動車の速度計や回転計等
においては、黄色、シアン色、マゼンタ色、黒色等の多
色画像が基板上に設けられた構造となるものである。従
来、このような基板上に多色画像を形成するには、種々
の方法が提案されている。例えば、カラー液晶表示装置
用のカラーフィルタの製造方法について述べると、支持
体としてはガラス基板等の透明基板を用い、（ａ）染色
法、（ｂ）印刷法、（ｃ）電着法、（ｄ）特開昭６０−
１２９７０７号公報等に記載されているように、着色し
た感光性樹脂の塗布、露光、現像の繰り返しによる着色
感材法、（ｅ）特開昭６１−９９１０２号公報等に記載
されているように、着色したドライフィルム状感光性材
料を用い、感光性着色層を基板上にラミネート、露光、
現像を繰り返すドライフィルム法等が挙げられる。上記
の（ｄ）の着色感材法について更に詳しく説明すると、
図１は、着色感材法の各工程における層構成を示す断面
図であり、同図に示すように、ガラス基板１００の上に
着色感光性材料層１０１を形成し、次に、各矢印Ｘ、
Ｙ、Ｚで示すように、遮光膜１０２を有するフォトマス
ク１０３を介して紫外線１０４で上記の着色感光性材料
層１０１をパタ−ン露光し、しかる後非露光部分の着色
感光性材料層１０１を溶解する現像液にてウエット現像
して、一色目の着色パタ−ン１０５を形成し、而してこ
れを繰り返すことによって、例えば、赤色Ｒ、青色Ｂ、
緑色Ｇの複数色からなる着色パタ−ン１０６を形成し
て、カラ−フィルタを製造することができるものであ
る。上記の（ｄ）の着色感材法は、物性の優れた顔料を
着色剤として用いることができ、また精度、品質が満足
でき、製造工程も比較的簡便なことから、現在、主流と
なるに至っているものである。上記の（ｄ）の着色感材
法の改良法として、上記の（ｅ）のドライフィルム法か
提案されており、この方法は、着色感光性樹脂液の塗布
の代わりに、予め、フィルム上に塗布、乾燥しておいた
着色感光性材料層を基板上に転写する方式であり、材料
の利用効率、製造工程の速度、感光液排液処理の不要等
の長所か挙げられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、基本的には、
上記の（ｄ）の着色感材法、（ｅ）のドライフィルム法
等は、いずれも着色感光性材料層の形成、露光、現像液
による現像を繰り返す方式であり、また、現像時の着色
残渣や、着色した現像排液の処理等の問題の他に、現像
液によるウエット処理自体が、薬液を多量に用いるこ
と、また細かくは現像、リンス、乾燥の３工程が少なく
とも必要であること、現像と一言でいうには複雑な処理
である等の問題点を有しているものである。また、これ
らの方法で用いられる感光性材料は、製造工程で現像用
薬剤として有機溶剤を多用することを避けるため、水溶
性もしくはアルカリ水溶液可溶性の材料が用いられる場
合か多いが、一方でき上がった着色パターンにはアルカ
リに対する強い耐性か要求され、材料設計上の矛盾点と
なる問題点もある。そこで本発明は、上記のようなウエ
ットな現像処理に代わって、乾式で、なおかつ簡便な方
法で現像の操作を行うことにより、感光性材料の選択の
幅を広くし、また上記の（ｄ）の着色感材法の利点であ
る、物性の優れた顔料を着色剤として用いることがで
き、また精度、品質等を満足できる点をそのままにし
て、より簡便な製造法を提供するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく鋭意研究した結果、カラ−フィル
タ層を形成するための基板上に少なくとも所定の色に着
色された着色感光性材料を塗布、乾燥して着色感光性材
料層を形成し、次に該基板上の着色感光性材料層にパタ
ーン露光を施し、しかる後該パタ−ン露光した着色感光
性材料層の表面に剥離フィルムを密着し、次いで該剥離
フィルムを引き剥がして、基板より未露光部分の着色感
光性材料層を剥離し、他方、露光部分の着色感光性材料
層を基板上に残置し、次に該基板上に残置した着色感光
性材料層を硬化させて着色パターンを形成することから
なる工程を、複数回繰り返して、複数色からなる着色パ
ターンを基板上に形成することによって、ウエットな現
像処理に代えて乾式で、かつ簡便な現像操作により、更
に感光性材料の選択の幅を広くし、また物性の優れた顔
料を着色剤として用いることができ、品質等を満足でき
るカラ−フィルタを製造し得ることを見出して本発明を
完成したものである。

【０００５】すなわち、本発明は、基板の上に少なくと
も所定の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着
色感光性材料層をを形成し、次に該基板上の着色感光性
材料層にパターン露光を施し、次いで該パタ−ン露光し
た着色感光性材料層の表面に剥離フィルムを密着させ、
しかる後該剥離フィルムを引き剥がすことによって、未
露光部分の着色感光性材料層を基板より剥離し、他方、
露光部分の着色感光性材料層を該基板に残置し、次に該
基板上に残置した着色感光性材料層を硬化させて着色パ
ターンを形成することからなる工程を繰り返して、複数
色からなる着色パターンを基板上に形成することを特徴
とするカラーフィルタの製造法である。

【０００６】

【作用】本発明は、基板上に、まず、少なくとも所定の
色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着色感光性
材料層を形成し、次に該着色感光性材料層をパターン露
光、剥離、硬化等の工程を繰り返して複数色からなる着
色パターンを基板上に形成することができるものであ
り、湿式による現像工程が不要となり、工程が簡略化さ
れ、乾式の状態で操作することにより、カラ−フィルタ
を製造するものである。

【０００７】

【本発明の詳細な説明】上記の本発明について以下に更
に詳しく説明する。まず、本発明にかかるカラ−フィル
タの製造法について説明する。図２ないし図４は、本発
明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工程における層
構成を示す断面図である。図２に示すように、まず、基
板１を用意してその表面を洗浄後、該基板１の上に少な
くとも所定の色に着色されている感光性材料を塗布、乾
燥して着色感光性材料層２を形成する。次に、該基板１
の上に形成された着色感光性材料層２の面に、矢印Ａで
示すように、遮光膜３を有するフォトマスク４を介して
紫外線５で、所定のパタ−ンをパタ−ン露光する。次い
で、矢印Ｂで示すように、上記でパタ−ン露光した着色
感光性材料層２の面に、剥離フィルム６を重ね合わせて
加圧ロ−ル７、７間を通して、上記の基板１と剥離フィ
ルム６とを加圧して、その両者を密接着させる。しかる
後、矢印Ｃで示すように、上記で基板１と剥離フィルム
６とを密接着させた後、剥離フィルム６を未露光部分の
着色感光性材料層８と共に基板１より剥離し、他方、上
記の露光部分の着色感光性材料層９を基板１の上に残置
する。すなわち、露光した部分の着色感光性材料層９
は、基板１に接着され、他方、未露光部分の着色感光性
材料層８は、基板１に接着されることなく剥離フィルム
６と共に剥離される。次いで、矢印Ｄで示すように、上
記で基板１の上に残置した露光部分の着色感光性材料層
９を加熱、あるいは露光等によって該着色感光性材料層
９を構成している樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板
１の上に第１色目の着色パタ−ン１０を形成する。な
お、本発明においては、上記の加圧ロ−ル７、７で加圧
して密接着させるが、必要な場合には、加圧ロ−ル７、
７を加熱して加熱加圧して密接着してもよい。

【０００８】次に、本発明においては、図３に示すよう
に、上記で第１色目の着色パタ−ン１０を形成した基板
１の上に、上記と同様にして、上記で使用した着色感光
性材料とは別の色に着色されている感光性材料を塗布、
乾燥して着色感光性材料層２′を形成する。次に、該基
板１の上に形成された着色感光性材料層２′の面に、矢
印Ｅで示すように、遮光膜３を有するフォトマスク４を
介して紫外線５で、所定のパタ−ンをパタ−ン露光す
る。次いで、矢印Ｆで示すように、上記でパタ−ン露光
した着色感光性材料層２′の面に、剥離フィルム６を重
ね合わせて加圧ロ−ル７、７間を通して、上記の基板１
と剥離フィルム６とを加圧して、その両者を密接着させ
る。しかる後、矢印Ｇで示すように、上記で基板１と剥
離フィルム６とを密接着させた後、該剥離フィルム６を
未露光部分の着色感光性材料層８′と共に基板１より剥
離し、他方、上記の露光部分の着色感光性材料層９′を
基板１の上に残置する。すなわち、露光した部分の着色
感光性材料層９′は、基板１に接着され、他方、未露光
部分の着色感光性材料層８′は、基板１に接着されるこ
となく剥離フィルム６と共に剥離される。次いで、矢印
Ｈで示すように、上記で基板１の上に残置した露光部分
の着色感光性材料層９′を加熱、あるいは露光等によっ
て該着色感光性材料層９′を構成している樹脂等のビヒ
クルを硬化させて、基板１の上で、かつ第１色目の着色
パタ−ン１０に隣接する位置に第２色目の着色パタ−ン
１０′を形成する。

【０００９】次に、本発明においては、図４に示すよう
に、上記で第１色目の着色パタ−ン１０および第２色目
の着色パタ−ン１０′を形成した基板１の上に、上記と
同様にして、上記の各々で使用した着色感光性材料とは
別の色に着色されている感光性材料を塗布、乾燥して着
色感光性材料層２″を形成する。次に、該基板１の上に
形成された着色感光性材料層２″の面に、矢印Ｉで示す
ように、遮光膜３を有するフォトマスク４を介して紫外
線５で、所定のパタ−ンをパタ−ン露光する。次いで、
矢印Ｊで示すように、上記でパタ−ン露光した着色感光
性材料層２″の面に、剥離フィルム６を重ね合わせて加
圧ロ−ル７、７間を通して、上記の基板１と剥離フィル
ム６とを加圧して、その両者を密接着させる。しかる
後、矢印Ｋで示すように、上記で基板１と剥離フィルム
６とを密接着させた後、該剥離フィルム６を未露光部分
の着色感光性材料層８″と共に基板１より剥離し、他
方、上記の露光部分の着色感光性材料層９″を基板１の
上に残置する。すなわち、露光した部分の着色感光性材
料層９″は、基板１に接着され、他方、未露光部分の着
色感光性材料層８″は、基板１に接着されることなく剥
離フィルム６と共に剥離される。次いで、矢印Ｌで示す
ように、上記で基板１の上に残置した露光部分の着色感
光性材料層９″を加熱、あるいは露光等によって該着色
感光性材料層９″を構成している樹脂等のビヒクルを硬
化させて、基板１の上で、かつ第１色目の着色パタ−ン
１０および第２色目の着色パタ−ン１０′に隣接する位
置に第３色目の着色パタ−ン１０″を形成する。而し
て、本発明においては、上記のように着色パタ−ンを形
成する工程を繰り返すことによって、複数色からなる着
色パタ−ンを基板上に形成してカラ−フィルタを製造す
ることができるものである。

【００１０】図５は、本発明にかかるカラ−フィルタの
層構成を示す断面図である。本発明にかかるカラ−フィ
ルタは、図５に示すように、上記で形成した着色パタ−
ン１０、１０′、１０″のそれぞれを赤色、青色、緑色
とすれば、基板１の上に赤色の着色パタ−ンＲ、青色の
着色パタ−ンＢ、緑色の着色パタ−ンＧの三色が隣接し
た平滑状の着色パタ−ン１１を設けた構成からなるもの
である。

【００１１】次に、上記の本発明において使用する材料
について詳細に説明する。まず、本発明において、カラ
−フィルタを形成する基板としては、公知のもの、例え
ば、ソ−ダライムガラス基板、無アルカリガラス基板、
ホウケイ酸ガラス基板、石英ガラス基板、シリコン基板
等を使用することができる。而して、その使用に際して
は、その表面を洗浄して、ゴミ、ホコリ等を除去するこ
とが好ましい。また、表面に微細な傷等があるものは、
その使用を避けることが望ましい。

【００１２】次に、本発明において、着色感光性材料層
を構成する感光性材料としては、アクリル系樹脂を主体
とした感光性材料を使用することができ、例えば、単官
能、多官能の（メタ）アクリル酸エステルモノマーと
（メタ）アクリル酸エステルや（メタ）アクリル酸との
共重合物に光重合開始剤等を組み合わせてなる（メタ）
アクリル系樹脂をビヒクルの主成分とする組成物に代表
される公知の光重合性組成物を使用することができ、こ
のものは、大半は上記の性質を有するが、公知材料の一
部は、熱可塑性バインダーの添加、相溶性の可塑剤の添
加により更に改質することが出来る。

【００１３】前記の単官能、多官能（メタ）アクリル酸
エステルモノマーとしては、（メタ）アクリル酸メチ
ル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブ
チル、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ト
リメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメ
チロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テロラメ
チロールメタントリ（メタ）アクリレート、テロメチロ
ールメタンテロラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビ
スフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリ
レート、β−ヒドロキシルエチル（メタ）アクリル酸の
アルキルエスル、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ネートと２価アルコールと２価アルコルの（メタ）アク
リル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタンジ
アクリレート化合物などである。（メタ）アクリル酸エ
ステルや（メタ）アクリル酸との共重合物の例として
は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの共重合体や
（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリ
ル酸との共重合体の他に、（メタ）アクリル酸アルキル
エステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうる
ビニルモノマーとの共重合体が挙げられる。（メタ）ア
クリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル
酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリ
ル酸ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル
等か挙げられる。また（メタ）アクリル酸アルキルエス
テルと（メタ）アクリル酸と共重合し得るビニルモノマ
ーとしては、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）ア
クリル酸テロラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸
ジメチルエチル、（メタ）アクリル酸ジエチル、（メ
タ）アクリル酸グリシジル、２．２．２−トリプルオロ
エチル（メタ）アクリレート、２．２．３．３−テトラ
フルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトル
エン、塩化ビニリデン、塩化ビニル、酢酸ビニル、その
他等か挙げられる。さらにコポリエステル、例えばテレ
フタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエステ
ル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合体、セル
ロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、
メチルセルロース、エチルセルロース等も用いることが
できる。

【００１４】前記重合開始剤としては、例えばベンゾフ
ェノン、ミヒラーケトン、Ｎ．Ｎ′−テトラメチルー
４．４′−ジアミノペンゾフェノン、４−メトキシ−
４′−ジメチルアミノペンゾフェノン、４．４′−ジエ
チルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のペンゾインエル類、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、２−
（Ｏ−クロロフェニル）−４．５−ジフェニルイミダゾ
ール２量体、２−（Ｏ−クロロフェニル）−４．５−ジ
（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール２量体、２−
（Ｏ−フルオロフェニル）−４．５−ジフェニルイミダ
ゾール２量体、２−（Ｏ−メトキシフエニル）−４．５
−ジフェニルイミダゾール２量体等の２．４．５−トリ
アリールイミダゾール２量体の他、２−ベンジル−２−
ジメチルアミノ−１−（４−モルフオリノフェニル）−
ブタノンや、２−トリクロロメチル−５−スチリル−
１．３−４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル
−５−（Ｐ− シアノスチリル）−１．３．４−オキサ
ジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（Ｐ−メトキ
シスチリル）−１．３．４−オキサジアゾール等のハロ
メチルオキサジアゾール系化合物、２．４−ビス（トリ
クロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル−Ｓ−トリ
アジン、２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１
−Ｐ−ジメチルアミノフェニル−１．３−ブタジエニ
ル）−Ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−ア
ミノ−６−Ｐ−メトキシスチリル−Ｓ−トリアジン、２
−（ナフト−１−イル）−４．６−ピストリクロロメチ
ル−Ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１
−イル）−４．６−ビス−トリクロロメチル−Ｓ−トリ
アジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−
４．６−ビス−トリクロロメチル−Ｓ−トリアジン等の
ハロメチル−Ｓ−トリアジン系化合物が挙げられる。

【００１５】感光性樹脂には、更に、顔料や染料を着色
剤として添加する。顔料を用いる場合は、その粒子径は
０．４μｍ以下とすることが望ましい。好ましい染料お
よび顔料の例としては、以下に挙げられる。ビクトリア
・ピュアブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミ
ン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エロ−ＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１２）、パーマネント・
エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パー
マネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターパームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）、ファステル・ピンクＢスブラ（Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・レッド８１）、モナストラル・ファスト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボン等をあげることができる。さらに、カ
ラーフィルタを形成するのに適当な顔料としては、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レ
ッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４９、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・
レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・ブルー１５：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１
５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・ブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブ
ルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６４等を挙げる
ことが出来る。また特開平５−１１９２１３号公報に記
載の反応性染料をバインダーポリマーを反応させた系や
特開平６−１０７６６３号公報に記載の含フッ素フクロ
シアニン化合物は、消偏等の光学特性の優れた系として
挙げられる。

【００１６】本発明においては、上記のような感光性樹
脂と着色剤と必要に応じて界面活性剤を添加して、更に
はその他の添加剤を任意に添加して感光性組成物を調製
し、而して、該組成物を基板の上に、例えば、スピンナ
−コ−ト、ロ−ルコ−ト、グラビアコ−ト、エアナイフ
コ−ト、ディップコ−ト、その他のコ−ティング法でコ
−ティングして、着色感光性材料層を厚さ０．５ないし
３．０μｍ程度に形成する。

【００１７】また、本発明において、露光する方法とし
ては、例えば、一般的には、超高圧水銀ランプを光源と
し、レンズ系で平行光源とした投影露光装置を使用する
ことができるが、これに限らず、紫外線を含む光源を用
いることができ、プロキシミティ露光やコンタクト露光
も適用することができる。また、その露光条件として
は、感光性材料、含まれる着色剤材料等にもよるが、
約、１００ｍＪ／ｃｍ²ないし１０００ｍＪ／ｃｍ²の
光照射条件で行うことができる。具体的には、パタ−ン
形状が乱れない範囲でオ−バ−露光が望ましく、パタ−
ンが残るための最低露光量である５０ｍＪ／ｃｍ²ない
し２００ｍＪ／ｃｍ²の２ないし３倍程度の光照射を行
うことが好ましい。これによって、カラ−フィルタ層に
十分な強度を付与することができ、更に基板への密着性
を高めることができるものである。

【００１８】次に、本発明で使用する剥離フィルムとし
ては、フレキシブルであり、加圧下で著しい変形、収
縮、伸び等を生じないことか必要である。このような剥
離フィルムとしては、例えば、ポリウレタン系樹脂、天
然ゴム系樹脂、ブチルゴム系樹脂、エチレン−酢酸ビニ
ル共重合体、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹
脂、その他の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。剥離フィルムの厚さとしては、約０．５〜
５０μｍが好ましく、また、基板の表面の凹凸への追従
性を考慮すると、１ないし３０μｍ位が好ましい。

【００１９】また、本発明においては、基板上の着色感
光性材料層、または剥離フィルムには、必要ならば、そ
の表面に、予め、粘着剤をコ−ティングして粘着剤層を
形成しておくこともできる。かかる粘着剤としては、上
記の樹脂を公知の樹脂のフィルム上に塗布して粘着剤層
として使用することができる。なお、このような粘着剤
層は、着色感光性材料層を露光後、未露光部分の着色感
光性材料層を剥離フィルムで容易に基板から剥離できる
程度の接着力である必要がある。

【００２０】また、上記の本発明において、基板と剥離
フィルムとを加圧ロ−ル間を通して加圧する条件として
は、使用する材料等によって異なるが、約、０．３Ｋｇ
／ｃｍ²ないし１５Ｋｇ／ｃｍ²位の加圧でその両者を
密椄着させることができる。本発明においては、必要な
場合、１００℃位を限度に加圧と同時に加熱することも
できる。

【００２１】

【実施例】次に、本発明について具体例を挙げて更に詳
しく説明する。実施例１透明ガラス基板上に、スピンコ−タ−を用いて室温下で
下記処方の赤色の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾燥
膜厚か２μｍの着色感光性材料層を形成した。次に上記
の着色感光性材料層面に、所定のパタ−ンを有するるフ
ォトマスクを用いて所定のパタ−ンを露光した。しかる
後、上記でパタ−ン露光した着色感光性材料層の面に、
厚さ３μｍのポリ塩化ビニリデンフィルムを重ね合わ
せ、更に加圧ロ−ルを使用して加圧（３Ｋｇ／ｃｍ²）
しながらその両者を密着した。続いて、上記のポリ塩化
ビニリデンフィルムを引き剥がすと同時に、露光されて
いない部分の赤色感光性材料層をガラス基板より剥離し
た。他方、露光部分の赤色感光性材料層を基板に残置し
た。この後、基板の上に残置した赤色感光性材料層を２
００℃にて１時間加熱し、熱硬化させて、赤色カラーフ
ィルタパターンを形成した。（着色感光性材料）ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７）６０重量部ペンタエリスリトールテトラアクリレート４３重量部２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン２．５重量部イルカジンレッドＢＰＴ２０重量部メチルセロソルブアセテート５６０重量部メチルエチルケトン２８０重量部

【００２２】次に、上記で赤色カラーフィルタパターン
を形成した透明ガラス基板上に、スピンコ−タ−を用い
て室温下で下記処方の緑色の着色感光性材料を塗布、乾
燥し、乾燥膜厚か２μｍの着色感光性材料層を形成し
た。次に上記の緑色の着色感光性材料層面に、所定のパ
タ−ンを有するフォトマスクを用いて所定のパタ−ンを
露光した。しかる後、上記でパタ−ン露光した緑色の着
色感光性材料層の面に、厚さ５μｍのポリ塩化ビニリデ
ンフィルムを重ね合わせ、更に加圧ロ−ルを使用して加
圧（１０Ｋｇ／ｃｍ²）しながらその両者を密接着し
た。続いて、上記のポリ塩化ビニリデンフィルムを引き
剥がすと同時に、露光されていない部分の緑色感光性材
料層をガラス基板より剥離した。他方、露光部分の緑色
感光性材料層をガラス基板に残置した。この後、ガラス
基板の上に残置した緑色感光性材料層を２００℃にて１
時間加熱し、熱硬化させて、上記の赤色カラーフィルタ
パターンに隣接して緑色カラーフィルタパターンを形成
した。（着色感光性材料）ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７）６０重量部ペンタエリスリトールテトラアクリレート４３重量部２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン２．５重量部銅フタロシアニン（緑）２０重量部メチルセロゾルブアセテート５６０重量部メチルエチルケトン２８０重量部

【００２３】次に、上記で赤色カラーフィルタパターン
と緑色カラ−フィルタパタ−ンを形成した透明ガラス基
板上に、スピンコ−タ−を用いて室温下で下記処方の青
色の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾燥膜厚か２μｍ
の着色感光性材料層を形成した。次に上記の青色の着色
感光性材料層面に、所定のパタ−ンを有するるフォトマ
スクを用いて所定のパタ−ンを露光した。しかる後、上
記でパタ−ン露光した青色の着色感光性材料層の面に、
厚さ５μｍのポリ塩化ビニリデンフィルムを重ね合わ
せ、更に加圧ロ−ルを使用して加圧（１０Ｋｇ／ｃ
ｍ²）しながらその両者を密接着した。続いて、上記の
ポリ塩化ビニリデンフィルムを引き剥がすと同時に、露
光されていない部分の青色感光性材料層をガラス基板よ
り剥離した。他方、露光部分の青色感光性材料層をガラ
ス基板に残置した。この後、ガラス基板の上に残置した
青色感光性材料層を２００℃にて１時間加熱し、熱硬化
させて、上記の赤色カラーフィルタパターンおよび緑色
カラ−フィルタパタ−ンに隣接して青色カラーフィルタ
パターンを形成した。（着色感光性材料）ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７）６０重量部ペンタエリスリトールテトラアクリレート４３重量部２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン２．５重量部フタロシアニンブルー（青）２０重量部メチルセロゾルブアセテート５６０重量部メチルエチルケトン２８０重量部以上のように作製した赤、緑、青の３色を有するカラー
フィルタは、画素の欠落やムラもなく、また、良好な精
度を有していた。更に、ウェットな現像処理に代わって
乾式による簡便な方法で現像を行うことにより、より簡
便な製造工程でカラ−フィルタを製造することができ
た。

【００２４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、カラ−フィルタを形成する基板上に、まず、所定の
色に着色された感光性材料を塗布して着色感光性材料層
を形成市、次いで着色感光性材料層面に所定のカラ−フ
ィルタパタ−ンをパタ−ン露光し、次に該露光パタ−ン
面に剥離フィルムを密接着し、しかる後該剥離フィルム
を剥離すると同時に未露光部分の着色感光性材料層を基
板より剥離し、他方、露光部分の着色感光性材料層を基
板上に残置し、該基板上に残置した着色感光性材料層を
硬化させて着色パターンを形成することからなる工程を
繰り返して、複数色からなる着色パターンを基板上に形
成することによって、カラ−フィルタを製造するもので
ある。従って、本発明では、ウエットな現像処理に代わ
って、乾式で、なおかつ簡便な方法で現像の操作を行う
ことにより、感光性材料の選択の幅を広くし、また物性
の優れた顔料を着色剤として用いることができ、また精
度、品質等を満足できる、より簡便な製造法にかかるも
のである。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の（ｄ）の着色感材法の各工程における層
構成を示す断面図である。

【図２】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。

【図３】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。

【図４】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。

【図５】本発明にかかるカラ−フィルタの層構成を示す
断面図である。

【符号の説明】

１基板２着色感光性材料層６剥離フィルム１０着色パタ−ン１０′ 着色パタ−ン１０″ 着色パタ−ン１１複数色からなる着色パタ−ン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の上に少なくとも所定の色に着色さ
れた感光性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層をを
形成し、次に該基板上の着色感光性材料層にパターン露
光を施し、次いで該パタ−ン露光した着色感光性材料層
の表面に剥離フィルムを密着させ、しかる後該剥離フィ
ルムを引き剥がすことによって、未露光部分の着色感光
性材料層を基板より剥離し、他方、露光部分の着色感光
性材料層を該基板に残置し、次に該基板上に残置した着
色感光性材料層を硬化させて着色パターンを形成するこ
とからなる工程を繰り返して、複数色からなる着色パタ
ーンを基板上に形成することを特徴とするカラーフィル
タの製造法。
【請求項２】基板上の着色感光性材料層の上に、予
め、粘着剤を塗布、乾燥してなることを特徴とする上記
の請求項１に記載するカラーフィルタの製造法。
【請求項３】剥離フィルムの上に、予め、粘着剤を塗
布、乾燥してなることを特徴とする上記の請求項１また
は２に記載するカラーフィルタの製造法。