JPH083469B2 - 検査用照明器具 - Google Patents
検査用照明器具Info
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- JPH083469B2 JPH083469B2 JP61280379A JP28037986A JPH083469B2 JP H083469 B2 JPH083469 B2 JP H083469B2 JP 61280379 A JP61280379 A JP 61280379A JP 28037986 A JP28037986 A JP 28037986A JP H083469 B2 JPH083469 B2 JP H083469B2
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- Japan
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 56
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
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- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、製品の欠陥検査を目視や受光センサを用
いて行うための検査用照明器具に関するものである。
いて行うための検査用照明器具に関するものである。
一般に、欠陥検査における検査項目は、表面傷、汚
れ、しみなどのように多種多様であり、各々の欠陥に対
して発見しやすい照明方式が存在する。
れ、しみなどのように多種多様であり、各々の欠陥に対
して発見しやすい照明方式が存在する。
たとえば、第３図に示すように被検査物30の表面傷31
に対しては、光線（矢印で示す）を斜め方向から照射
し、この光線が表面傷31の部分で乱反射するのを利用し
て、受光センサ32で見れば、表面傷31の部分だけが光っ
て見えるようにする。また、第４図に示すように被検査
物30の汚れ33（またはしみ）に対しては、拡散照明器具
34を用いて、被検査物30の表面を均一に照明することに
より、汚れ33やしみの判別が容易になる。
に対しては、光線（矢印で示す）を斜め方向から照射
し、この光線が表面傷31の部分で乱反射するのを利用し
て、受光センサ32で見れば、表面傷31の部分だけが光っ
て見えるようにする。また、第４図に示すように被検査
物30の汚れ33（またはしみ）に対しては、拡散照明器具
34を用いて、被検査物30の表面を均一に照明することに
より、汚れ33やしみの判別が容易になる。
したがって、製品の表面傷を検査する場合と、汚れや
しみを検査する場合とでは、それぞれ異なる照明方式を
採用する必要があった。
しみを検査する場合とでは、それぞれ異なる照明方式を
採用する必要があった。
しかしながら、人による目視検査の場合、製造ライン
の構成と検査位置との関係上、２種類以上の照明器具を
同一検査場所に設置できないことが多かった。このた
め、１台の照明器具で検査員が自分の視線を変えたり、
被検査物の向きを変えたりして、複数の照明器具を設置
したと同じ効果を得ていたが、非常に非能率であった。
また、検査ステーションを別々にして検査する場合は、
製造コストが高くなるという問題があった。
の構成と検査位置との関係上、２種類以上の照明器具を
同一検査場所に設置できないことが多かった。このた
め、１台の照明器具で検査員が自分の視線を変えたり、
被検査物の向きを変えたりして、複数の照明器具を設置
したと同じ効果を得ていたが、非常に非能率であった。
また、検査ステーションを別々にして検査する場合は、
製造コストが高くなるという問題があった。
一方、受光センサによる自動検査の場合も同様な問題
があり、複数の照明器具と、場合によっては複数の受光
センサとが必要となり、設備が大型化してコストが高く
なり、また複数の照明器具を必要とするためにその調整
やメンテナンスに人手と時間がかかり、製造コストが高
くなるという問題があった。
があり、複数の照明器具と、場合によっては複数の受光
センサとが必要となり、設備が大型化してコストが高く
なり、また複数の照明器具を必要とするためにその調整
やメンテナンスに人手と時間がかかり、製造コストが高
くなるという問題があった。
この発明の目的は、被検査物の各種欠陥を同時に検査
できる検査用照明器具を提供することである。
できる検査用照明器具を提供することである。
第１の発明の検査用照明器具は、照射光線が拡がりを
有する光源部と、この光源部から照射された光線を所定
の向きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学
素子で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変
えて被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の
光学素子または第２の光学素子から照明された光線のう
ち一部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を
照射する第３の光学素子とを備え、前記第３の光学素子
が前記被検査物を挾む一対の偏光パネルであることを特
徴とするものである。
有する光源部と、この光源部から照射された光線を所定
の向きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学
素子で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変
えて被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の
光学素子または第２の光学素子から照明された光線のう
ち一部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を
照射する第３の光学素子とを備え、前記第３の光学素子
が前記被検査物を挾む一対の偏光パネルであることを特
徴とするものである。
第２の発明の検査用照明器具は、照射光線が拡がりを
有する光源部と、この光源部から照射された光線を所定
の向きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学
素子で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変
えて被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の
光学素子または第２の光学素子から照射された光線のう
ち一部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を
照射する第３の光学素子とを備え、前記第３の光学素子
がカラーフィルタであることを特徴とするものである。
有する光源部と、この光源部から照射された光線を所定
の向きに変更させる第１の光学素子と、この第１の光学
素子で向きを変更した光線のうち一部の光線の方向を変
えて被検査物を照射する第２の光学素子と、前記第１の
光学素子または第２の光学素子から照射された光線のう
ち一部または全部の光線の性質を変えて前記被検査物を
照射する第３の光学素子とを備え、前記第３の光学素子
がカラーフィルタであることを特徴とするものである。
このように、この発明によれば、複数の光学素子を用
いて光源部の光線の性質および方向を変えて被検査物に
同時に照射するので、各種の欠陥を１つの光源部だけで
容易に検出することが可能となる。また、被検査物が変
わっても、光学素子の一部または全部を交換することに
より、コストを上げずに簡単に対応することができる。
いて光源部の光線の性質および方向を変えて被検査物に
同時に照射するので、各種の欠陥を１つの光源部だけで
容易に検出することが可能となる。また、被検査物が変
わっても、光学素子の一部または全部を交換することに
より、コストを上げずに簡単に対応することができる。
また、使用する光源部が１つだけでよいため、自動検
査装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対し
て受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上
のあった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラ
ンスを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。ま
た、検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光
学系全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。ま
た、光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり
低コスト化が可能となる。
査装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対し
て受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上
のあった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラ
ンスを調整する手間がいらず、操作が簡単になる。ま
た、検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光
学系全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。ま
た、光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくなり
低コスト化が可能となる。
とくに、第１の発明は第３の光学素子として偏光パネ
ルを用いているため、被検査物の内部歪みを検査するこ
とができる。
ルを用いているため、被検査物の内部歪みを検査するこ
とができる。
また第２の発明は第３の光学素子としてカラーフィル
タを用いているため、被検査物の色むらや色合わせなど
の検査をすることができる。
タを用いているため、被検査物の色むらや色合わせなど
の検査をすることができる。
実施例 この発明の第１の実施例を第１図に基づいて説明す
る。すなわち、この検査用照明器具は、ガラスなどの透
光性材料の表面の傷や欠け、さらに内部歪みなどの検査
に適用されるものであって、第１図に示すように、光源
部15の光線照射面側に第１の光学素子16（凹レンズ）を
配置し、この第１の光学素子16を通過した光線のうち外
向きに方向を変えた光強度の強い光線を第２の光学素子
17（プリズム）で屈折透過させて内向きの光線に変え、
斜め上方から透光性の被検査物18を照射して被検査物18
の表面に傷、欠け等があるか否かを第１の受光センサ19
で検出する。
る。すなわち、この検査用照明器具は、ガラスなどの透
光性材料の表面の傷や欠け、さらに内部歪みなどの検査
に適用されるものであって、第１図に示すように、光源
部15の光線照射面側に第１の光学素子16（凹レンズ）を
配置し、この第１の光学素子16を通過した光線のうち外
向きに方向を変えた光強度の強い光線を第２の光学素子
17（プリズム）で屈折透過させて内向きの光線に変え、
斜め上方から透光性の被検査物18を照射して被検査物18
の表面に傷、欠け等があるか否かを第１の受光センサ19
で検出する。
一方、第１の光学素子16の下方には被検査物18を挟ん
で一対の偏光パネル20a,20bからなる第３の光学素子が
配置され、第１の光学素子16を通過した光線の一部を一
方の偏光パネル20aから透光性の被検査物18を経て他方
の偏光パネル20bを通過させ、これを第２の受光センサ2
1で受けて、被検査物18の内部歪を検出するのである。
で一対の偏光パネル20a,20bからなる第３の光学素子が
配置され、第１の光学素子16を通過した光線の一部を一
方の偏光パネル20aから透光性の被検査物18を経て他方
の偏光パネル20bを通過させ、これを第２の受光センサ2
1で受けて、被検査物18の内部歪を検出するのである。
光源部15としては、ミニハロゲンランプ、キセノンラ
ンプ、螢光ランプ等が使用される。
ンプ、螢光ランプ等が使用される。
この発明の第２の実施例を第２図に基づいて説明す
る。すなわち、この検査用照明器具は、塗装などによる
色付けの被検査物の表面の傷、欠け、さらに色むらなど
の検査に適用するものであって、第２図に示すように、
光源部22の上方を覆った第１の光学素子（反射ミラー）
で光線の拡がりを制御し、外向きの光線を第２の光学素
子24（反射ミラー）で反射して被検査物26に斜め上方か
ら光源を照射し、第１の受光センサ28で被検査物26の表
面の傷や欠けの有無を検査する。
る。すなわち、この検査用照明器具は、塗装などによる
色付けの被検査物の表面の傷、欠け、さらに色むらなど
の検査に適用するものであって、第２図に示すように、
光源部22の上方を覆った第１の光学素子（反射ミラー）
で光線の拡がりを制御し、外向きの光線を第２の光学素
子24（反射ミラー）で反射して被検査物26に斜め上方か
ら光源を照射し、第１の受光センサ28で被検査物26の表
面の傷や欠けの有無を検査する。
一方、下向きの光線は第３の光学素子25（カラーフィ
ルタ）およびハーフミラー27を順次通過して被検査物26
の表面に照射され、その反射光をハーフミラー27で再び
反射させて第２の受光センサ29で受け、被検査物26の表
面の色むらや色合わせなどの検査を行う。
ルタ）およびハーフミラー27を順次通過して被検査物26
の表面に照射され、その反射光をハーフミラー27で再び
反射させて第２の受光センサ29で受け、被検査物26の表
面の色むらや色合わせなどの検査を行う。
なお、この発明における光学素子は第１〜第３の光学
素子のみに限定されるものではなく、必要に応じてさら
に多くの光学素子を使用して多種類の欠陥検査を行いう
るようにしてもよい。また光源部および第１〜第３の光
学素子は前記実施例に限定されず、他のものを使用可能
である。また、被検査物がリング状であれば、光源部や
第１および第２の光学素子をリング状にして被検査物の
全周方向から光線を照射するようにしてもよい。
素子のみに限定されるものではなく、必要に応じてさら
に多くの光学素子を使用して多種類の欠陥検査を行いう
るようにしてもよい。また光源部および第１〜第３の光
学素子は前記実施例に限定されず、他のものを使用可能
である。また、被検査物がリング状であれば、光源部や
第１および第２の光学素子をリング状にして被検査物の
全周方向から光線を照射するようにしてもよい。
この発明によれば、複数の光学素子を用いて光源部の
光線の光質および方向を変えて被検査物に同時に照射す
るので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容易に検出す
ることが可能となる。また、被検査物が変わっても、光
学素子の一部または全部を交換することにより、コスト
を上げずに簡単に対応することができるという効果があ
る。
光線の光質および方向を変えて被検査物に同時に照射す
るので、各種の欠陥を１つの光源部だけで容易に検出す
ることが可能となる。また、被検査物が変わっても、光
学素子の一部または全部を交換することにより、コスト
を上げずに簡単に対応することができるという効果があ
る。
また、使用する光源部が１つだけでよいため、自動検
査装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対し
て受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上
のあった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラ
ンスを調整する手間がいらず、操作に簡単になる。ま
た、検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光
学系全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。ま
た、光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくな
り、低コスト化が可能になる。
査装置を使用する場合には、光源光束の経時変化に対し
て受光センサの感度調整だけでよく、光源部が２つ以上
のあった従来の検査装置のように各光源部間の出力バラ
ンスを調整する手間がいらず、操作に簡単になる。ま
た、検査装置として製造ラインに組み込む場合にも、光
学系全体の位置や方向合わせ等の調整が容易である。ま
た、光源部のランプ交換等のメンテナンスが少なくな
り、低コスト化が可能になる。
とくに、第１の発明は第３の光学素子として偏光パネ
ルを用いているため、被検査物の内部歪みを検査するこ
とができるという効果がある。
ルを用いているため、被検査物の内部歪みを検査するこ
とができるという効果がある。
また第２の発明は第３の光学素子としてカラーフィル
タを用いているため、被検査物の色むらや色合わせなど
の検査をすることができる。
タを用いているため、被検査物の色むらや色合わせなど
の検査をすることができる。
第１図はこの発明の第１の実施例の説明図、第２図は第
２の実施例の説明図、第３図および第４図は従来の検査
用照明方式を示す説明図である。 15,22……光源部、16,23……第１の光学素子、17,24…
…第２の光学素子、25……第３の光学素子、18,26……
被検査物、20a、20b……偏光パネル（第３の光学素子）
２の実施例の説明図、第３図および第４図は従来の検査
用照明方式を示す説明図である。 15,22……光源部、16,23……第１の光学素子、17,24…
…第２の光学素子、25……第３の光学素子、18,26……
被検査物、20a、20b……偏光パネル（第３の光学素子）
Claims (2)
- 【請求項１】照射光線が拡がりを有する光源部と、この
光源部から照射された光線を所定の向きに変更させる第
１の光学素子と、この第１の光学素子で向きを変更した
光線のうち一部の光線の方向を変えて被検査物を照射す
る第２の光学素子と、前記第１の光学素子または第２の
光学素子から照射された光線のうち一部または全部の光
線の性質を変えて前記被検査物を照射する第３の光学素
子とを備え、前記第３の光学素子が前記被検査物を挾む
一対の偏光パネルであることを特徴とする検査用照明器
具。 - 【請求項２】照射光線が拡がりを有する光源部と、この
光源部から照射された光線を所定の向きに変更させる第
１の光学素子と、この第１の光学素子で向きを変更した
光線のうち一部の光線の方向を変えて被検査物を照射す
る第２の光学素子と、前記第１の光学素子または第２の
光学素子から照射された光線のうち一部または全部の光
線の性質を変えて前記被検査物を照射する第３の光学素
子とを備え、前記第３の光学素子がカラーフィルタであ
ることを特徴とする検査用照明器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280379A JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61280379A JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63133044A JPS63133044A (ja) | 1988-06-04 |
| JPH083469B2 true JPH083469B2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=17624197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61280379A Expired - Lifetime JPH083469B2 (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | 検査用照明器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083469B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4687248B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-05-25 | Ｎｏｋ株式会社 | 外観検査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0531560U (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-27 | 毅 近森 | 家畜用自動給餌装置 |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP61280379A patent/JPH083469B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63133044A (ja) | 1988-06-04 |
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