JPH0834737B2 - 平面研磨装置 - Google Patents
平面研磨装置Info
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- JPH0834737B2 JPH0834737B2 JP4258443A JP25844392A JPH0834737B2 JP H0834737 B2 JPH0834737 B2 JP H0834737B2 JP 4258443 A JP4258443 A JP 4258443A JP 25844392 A JP25844392 A JP 25844392A JP H0834737 B2 JPH0834737 B2 JP H0834737B2
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被研磨体を、固形砥
石表面に当接し、固形砥石の作用により、研削または研
磨を行うラッピング研磨機等の平面研磨装置に関するも
のである。
石表面に当接し、固形砥石の作用により、研削または研
磨を行うラッピング研磨機等の平面研磨装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ラッピング研磨機に固形砥石を装
着する場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤，ホットメルト等を塗布し、固形砥石を接着する
方法が一般的であった。
着する場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤，ホットメルト等を塗布し、固形砥石を接着する
方法が一般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、大型のラッピング定盤を研磨装置から取り外すこと
なく、その表面に砥石を接着する作業にかなりの困難を
伴うため、接着力が弱かったり、一部接着されない部分
が生じたりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離，脱落したりするトラブルが生じていた。また、破損
した砥石を交換したりする等の作業も極めて困難であっ
た。特に、研磨機の型式が、２枚のラッピング円盤の砥
面を対面させて組み合わせた両面ラッピング研磨機であ
る場合、この傾向が著しかった。
は、大型のラッピング定盤を研磨装置から取り外すこと
なく、その表面に砥石を接着する作業にかなりの困難を
伴うため、接着力が弱かったり、一部接着されない部分
が生じたりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離，脱落したりするトラブルが生じていた。また、破損
した砥石を交換したりする等の作業も極めて困難であっ
た。特に、研磨機の型式が、２枚のラッピング円盤の砥
面を対面させて組み合わせた両面ラッピング研磨機であ
る場合、この傾向が著しかった。
【０００４】さらに、研磨作業によって砥石が全て使い
つくされ、新しい砥石を装着する場合は、ラッピング定
盤の表面に残留した砥石片，接着剤等を完全に剥離除去
し、表面を均一に浄化してから装着する必要があるが、
大型の定盤の全面にこの作業を施すためには、装置を分
解して定盤を取り外してから行うという極めて大がかり
な作業になり、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増大とい
う事態を招いていた。
つくされ、新しい砥石を装着する場合は、ラッピング定
盤の表面に残留した砥石片，接着剤等を完全に剥離除去
し、表面を均一に浄化してから装着する必要があるが、
大型の定盤の全面にこの作業を施すためには、装置を分
解して定盤を取り外してから行うという極めて大がかり
な作業になり、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増大とい
う事態を招いていた。
【０００５】本発明者らは、従来のラッピング研磨機の
有する上述の問題点を解決するために、鋭意研究を行
い、この発明を完成するに至ったものであり、その目的
とするところは、砥石の交換が容易で、かつ確実な装着
が可能であり、それによって稼動率を大幅に向上させう
る平面研磨装置を提供することにある。
有する上述の問題点を解決するために、鋭意研究を行
い、この発明を完成するに至ったものであり、その目的
とするところは、砥石の交換が容易で、かつ確実な装着
が可能であり、それによって稼動率を大幅に向上させう
る平面研磨装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の平面研磨装置は、円形盤状または環形
盤状のラッピング定盤に固形砥石を装着した構造のラッ
ピング円盤を備えてなる平面研磨装置において、上記定
盤面をその中心部分または内円を横切る線によって区画
した複数個の区域とそれぞれ実質的に等しい平面形状を
有する取付板分割片に固形砥石を配設し、固形砥石の砥
石面に半径方向の一側縁から半径方向の他側縁に向かっ
て、回転方向の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の
端部が回転中心より遠くなるように斜めに延びる斜溝を
形成し、この取付板分割片を前記ラッピング定盤上に着
脱自在に装着したという構成をとる。
めに、この発明の平面研磨装置は、円形盤状または環形
盤状のラッピング定盤に固形砥石を装着した構造のラッ
ピング円盤を備えてなる平面研磨装置において、上記定
盤面をその中心部分または内円を横切る線によって区画
した複数個の区域とそれぞれ実質的に等しい平面形状を
有する取付板分割片に固形砥石を配設し、固形砥石の砥
石面に半径方向の一側縁から半径方向の他側縁に向かっ
て、回転方向の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の
端部が回転中心より遠くなるように斜めに延びる斜溝を
形成し、この取付板分割片を前記ラッピング定盤上に着
脱自在に装着したという構成をとる。
【０００７】つぎに、この発明を実施例にもとづいて詳
しく説明する。
しく説明する。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示している。図
において、１はラッピング円盤で、中心穴付きラッピン
グ定盤２に、取付板分割片３を介して略扇形の固形砥石
４を複数個螺着することにより構成されている。３ａは
固形砥石４の間に放射状に形成された隙間で、研磨粉や
脱落砥粉を外部に排出する。この場合において、取付板
分割片３は、それぞれ、上記ラッピング定盤２を、その
中心を横切る複数の仮想線分によって区画して形成され
る複数個の区域（全て等面積）の平面形状（略扇形）と
等しい平面形状に構成されていて互換性を有しており、
それぞれに２個のねじ穴（隠れて見えない）が形成され
ている。この取付板分割片３の上には、その分割片３と
同形の略扇形の固形砥石４が、ねじ穴４ａを取付板分割
片３のねじ穴に合わせて積重され、その状態で、ねじ
（隠れて見えない）をねじ穴４ａに挿入してラッピング
定盤２に、取付板分割片３ごと螺着される。この固形砥
石４は、図１に示すように、その砥石面に、半径方向の
一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の前
方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心よ
り遠くなるように斜めに延びる斜溝１５ｂを有してい
る。このようなラッピング円盤１を備えた平面研磨装置
は、ラッピング円盤１および工作物（図示せず）を相対
的に回動させながら湿式法に基づいて工作物表面の研磨
を行う。
において、１はラッピング円盤で、中心穴付きラッピン
グ定盤２に、取付板分割片３を介して略扇形の固形砥石
４を複数個螺着することにより構成されている。３ａは
固形砥石４の間に放射状に形成された隙間で、研磨粉や
脱落砥粉を外部に排出する。この場合において、取付板
分割片３は、それぞれ、上記ラッピング定盤２を、その
中心を横切る複数の仮想線分によって区画して形成され
る複数個の区域（全て等面積）の平面形状（略扇形）と
等しい平面形状に構成されていて互換性を有しており、
それぞれに２個のねじ穴（隠れて見えない）が形成され
ている。この取付板分割片３の上には、その分割片３と
同形の略扇形の固形砥石４が、ねじ穴４ａを取付板分割
片３のねじ穴に合わせて積重され、その状態で、ねじ
（隠れて見えない）をねじ穴４ａに挿入してラッピング
定盤２に、取付板分割片３ごと螺着される。この固形砥
石４は、図１に示すように、その砥石面に、半径方向の
一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の前
方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心よ
り遠くなるように斜めに延びる斜溝１５ｂを有してい
る。このようなラッピング円盤１を備えた平面研磨装置
は、ラッピング円盤１および工作物（図示せず）を相対
的に回動させながら湿式法に基づいて工作物表面の研磨
を行う。
【０００９】この装置においては、１個のラッピング円
盤１に対して２組の取付板分割片３を用意し、常に１組
を予備としておく。そして、研磨装置が稼動中に、予備
の取付板分割片３の表面を清浄化したうえで、固形砥石
４を取り付けて、準備を整える。稼動中のラッピング円
盤１の砥石４が使いつくされた場合、または砥石の種
類，番手を交換する必要が生じた場合等は、ラッピング
円盤１より固形砥石４を取付板分割片３ごと取り外し、
予備の組と交換する。このようにすることにより、容易
迅速に運転を再開することができるようになる。
盤１に対して２組の取付板分割片３を用意し、常に１組
を予備としておく。そして、研磨装置が稼動中に、予備
の取付板分割片３の表面を清浄化したうえで、固形砥石
４を取り付けて、準備を整える。稼動中のラッピング円
盤１の砥石４が使いつくされた場合、または砥石の種
類，番手を交換する必要が生じた場合等は、ラッピング
円盤１より固形砥石４を取付板分割片３ごと取り外し、
予備の組と交換する。このようにすることにより、容易
迅速に運転を再開することができるようになる。
【００１０】なお、取付板分割片３の材質は特に限定さ
れていたが、軽量性，強度およびコスト面等から考え
て、アルミニウム合金等の軽金属，プラスチック板およ
びガラス繊維補強プラスチック板等の軽量構造材料が好
適である。さらに、ラッピング定盤２の表面に取り付け
られる取付板分割片３の数は、ラッピング円盤１の大き
さにより適宜変えることが望ましい。例えば外径１００
０ｍｍ以上の大型円盤においては１６〜２４分割し、そ
れ以下の小型円盤では２〜１６分割といった比較的少な
い分割で充分である。
れていたが、軽量性，強度およびコスト面等から考え
て、アルミニウム合金等の軽金属，プラスチック板およ
びガラス繊維補強プラスチック板等の軽量構造材料が好
適である。さらに、ラッピング定盤２の表面に取り付け
られる取付板分割片３の数は、ラッピング円盤１の大き
さにより適宜変えることが望ましい。例えば外径１００
０ｍｍ以上の大型円盤においては１６〜２４分割し、そ
れ以下の小型円盤では２〜１６分割といった比較的少な
い分割で充分である。
【００１１】図２は、上記ラッピング定盤２を詳しく説
明するための平面図である。図において、ラッピング定
盤２は、円形盤状または中央内円部分が透孔に形成され
ている環形盤状になっている。この定盤２はその中心Ｊ
または内円Ｋを横切る仮想線分ａ〜ｄによって複数個の
区域Ａ〜Ｈに区画されている。この場合、上記仮想線分
ａ〜ｄは直線であり、区域Ａ〜Ｈを全て同一形状，等面
積の略扇形に区画することが最も好ましい。上記定盤２
の各区域には、それぞれねじ穴５が穿設されている。上
記定盤２の定盤面の区画された区域には、図１に示すよ
うに、それぞれの区域と実質的に等しい平面形状を有す
る取付板分割片３が装着される。ここにいう「実質的に
等しい」とは、例えば略扇形の区域に対して台形の取付
板分割片を装着したり、隣接する取付板分割片の間に若
干の間隙を設ける必要がある場合等における僅少の誤差
が許容されることを意味するものである。この取付板分
割片３は、前記定盤面の略扇形区域に対応するもので、
前記ねじ穴５と合致するねじ穴を有している。取付板分
割片３の表面には、図３，４に示すように、固形砥石４
を接着固定することも行われる。図において、４ａは、
固形砥石４を取付板分割片３ごとラッピング定盤に取り
付けるためのねじ穴、１５ｂは、固形砥石４に形成され
た斜溝で、研磨粉や脱落砥粒を回転による遠心力によっ
て外部に排出する作用をする。
明するための平面図である。図において、ラッピング定
盤２は、円形盤状または中央内円部分が透孔に形成され
ている環形盤状になっている。この定盤２はその中心Ｊ
または内円Ｋを横切る仮想線分ａ〜ｄによって複数個の
区域Ａ〜Ｈに区画されている。この場合、上記仮想線分
ａ〜ｄは直線であり、区域Ａ〜Ｈを全て同一形状，等面
積の略扇形に区画することが最も好ましい。上記定盤２
の各区域には、それぞれねじ穴５が穿設されている。上
記定盤２の定盤面の区画された区域には、図１に示すよ
うに、それぞれの区域と実質的に等しい平面形状を有す
る取付板分割片３が装着される。ここにいう「実質的に
等しい」とは、例えば略扇形の区域に対して台形の取付
板分割片を装着したり、隣接する取付板分割片の間に若
干の間隙を設ける必要がある場合等における僅少の誤差
が許容されることを意味するものである。この取付板分
割片３は、前記定盤面の略扇形区域に対応するもので、
前記ねじ穴５と合致するねじ穴を有している。取付板分
割片３の表面には、図３，４に示すように、固形砥石４
を接着固定することも行われる。図において、４ａは、
固形砥石４を取付板分割片３ごとラッピング定盤に取り
付けるためのねじ穴、１５ｂは、固形砥石４に形成され
た斜溝で、研磨粉や脱落砥粒を回転による遠心力によっ
て外部に排出する作用をする。
【００１２】
【発明の効果】この発明に係る平面研磨装置によれば、
ラッピング円盤への砥石の取り付けあるいは交換作業が
極めて容易迅速となり、作業者の負担を著しく軽減しう
ると同時に装置の稼動率を大幅に向上させることが可能
となる。すなわち、従来、ラッピング定盤に砥石を接着
するためには、少なくとも１日は稼動を休止し剥離，接
着作業をしなければならないところ、この発明の装置で
は、取付板分割片を別に１組準備しておき、これに予め
砥石を接着しておくことにより、砥石交換に要する時間
を著しく短縮しうる。さらに種類，番手を変えた砥石を
必要に応じて準備しておけば、随時交換も可能であり、
１台の研磨装置を多目的に使用することも可能となる。
また、何等かの事由により砥石の一つが破損したり異常
品質のものが混入した場合もその部分のみ容易に交換が
可能になり、経済的である。また、砥石の接着作業が比
較的軽量小型であって取り扱い容易な取付板分割片につ
いて行われるため、綿密丹念な作業が可能となり、接着
ミス，接着不良による事故が殆どなくなり、稼動率の向
上，労働力の節減と相俟って、運転経費を著しく低減す
ることができる等の顕著な効果が得られるものである。
そのうえ、この発明では、固定砥石の砥石面に、半径方
向の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向
の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が、回転
中心より遠くなるように斜溝を形成している。そのた
め、砥石面で生じた研磨屑等は斜溝に入り、ラッピング
円盤回転時の遠心力により、回転方向の前方の溝の端部
から回転方向後方の溝の端部に向かって勢いよく移動
し、外部へ排出される。したがって、研磨屑等の目詰ま
りが生じず、その結果、砥石寿命を長くすることができ
るようになる。
ラッピング円盤への砥石の取り付けあるいは交換作業が
極めて容易迅速となり、作業者の負担を著しく軽減しう
ると同時に装置の稼動率を大幅に向上させることが可能
となる。すなわち、従来、ラッピング定盤に砥石を接着
するためには、少なくとも１日は稼動を休止し剥離，接
着作業をしなければならないところ、この発明の装置で
は、取付板分割片を別に１組準備しておき、これに予め
砥石を接着しておくことにより、砥石交換に要する時間
を著しく短縮しうる。さらに種類，番手を変えた砥石を
必要に応じて準備しておけば、随時交換も可能であり、
１台の研磨装置を多目的に使用することも可能となる。
また、何等かの事由により砥石の一つが破損したり異常
品質のものが混入した場合もその部分のみ容易に交換が
可能になり、経済的である。また、砥石の接着作業が比
較的軽量小型であって取り扱い容易な取付板分割片につ
いて行われるため、綿密丹念な作業が可能となり、接着
ミス，接着不良による事故が殆どなくなり、稼動率の向
上，労働力の節減と相俟って、運転経費を著しく低減す
ることができる等の顕著な効果が得られるものである。
そのうえ、この発明では、固定砥石の砥石面に、半径方
向の一側縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向
の前方の溝の端部より回転方向後方の溝の端部が、回転
中心より遠くなるように斜溝を形成している。そのた
め、砥石面で生じた研磨屑等は斜溝に入り、ラッピング
円盤回転時の遠心力により、回転方向の前方の溝の端部
から回転方向後方の溝の端部に向かって勢いよく移動
し、外部へ排出される。したがって、研磨屑等の目詰ま
りが生じず、その結果、砥石寿命を長くすることができ
るようになる。
【図１】この発明のラッピング円盤の斜視図である。
【図２】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
【図３】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
【図４】この発明の実施例に用いるラッピング円盤の組
立説明図である。
立説明図である。
１ ラッピング円盤 ２ ラッピング定盤 ３ 取付板分割片 ４ 固形砥石
Claims (3)
- 【請求項１】円形盤状または環形盤状のラッピング定盤
に固形砥石を装着した構造のラッピング円盤を備えてな
る平面研磨装置において、上記定盤面をその中心部分ま
たは内円を横切る線によって区画した複数個の区域とそ
れぞれ実質的に等しい平面形状を有する取付板分割片に
固形砥石を配設し、固形砥石の砥石面に半径方向の一側
縁から半径方向の他側縁に向かって、回転方向の前方の
溝の端部より回転方向後方の溝の端部が回転中心より遠
くなるように斜めに延びる斜溝を形成し、この取付板分
割片を前記ラッピング定盤上に着脱自在に装着したこと
を特徴とする平面研磨装置。 - 【請求項２】中心部分または内円を横切る線が直線であ
って、定盤面が等面積の略扇形区域に区画されている特
許請求の範囲第１項記載の平面研磨装置。 - 【請求項３】取付板分割片が、アルミニウム合金，プラ
スチックスまたはガラス繊維補強プラスチックスからな
る軽量構造材料で構成されている請求項１または請求項
２記載の平面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4258443A JPH0834737B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4258443A JPH0834737B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 平面研磨装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60039464A Division JPS60217062A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 平面研磨装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8343771A Division JP2837661B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 平面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0639733A JPH0639733A (ja) | 1994-02-15 |
| JPH0834737B2 true JPH0834737B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=17320280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4258443A Expired - Lifetime JPH0834737B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 平面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0834737B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009025533A2 (en) * | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Kolon Industries, Inc | Polishing pad, polishing pad tile and method of manufacturing the polishing pad |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5596035A (en) * | 1979-01-17 | 1980-07-21 | Kao Corp | Cultivating of *shiitake* *mashroom* |
| JPS59232768A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Kanebo Ltd | 平面研磨装置 |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP4258443A patent/JPH0834737B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0639733A (ja) | 1994-02-15 |
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