JPH0639733A

JPH0639733A - 平面研磨装置

Info

Publication number: JPH0639733A
Application number: JP25844392A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Mihashi; 堅一三橋; Yasuoki Sasaki; 泰興佐々木
Original assignee: Kanebo Ltd
Current assignee: Kanebo Ltd
Priority date: 1992-09-28
Filing date: 1992-09-28
Publication date: 1994-02-15
Anticipated expiration: 2011-03-29
Also published as: JPH0834737B2

Abstract

(57)【要約】【目的】砥石の交換が容易で、かつ確実な装着が可能
であり、それによって稼動率を大幅に向上させうる平面
研磨装置を提供する。【構成】ラッピング定盤２に固形砥石４を装着した構
造のラッピング円盤１を備えてなる平面研磨装置におい
て、上記定盤２面をその中心部分を横切る線によって区
画した複数個の区域とそれぞれ実質的に等しい平面形状
を有する取付板分割片３に固形砥石４を配設するととも
に、この取付板分割片３を前記ラッピング定盤２上に着
脱自在に装着した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被研磨体を、固形砥
石表面に当接し、固形砥石の作用により、研削または研
磨を行うラッピング研磨機等の平面研磨装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ラッピング研磨機に固形砥石を装
着する場合には、円周方向に回動する金属製定盤表面に
接着剤，ホットメルト等を塗布し、固形砥石を接着する
方法が一般的であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、大型のラッピング定盤を研磨装置から取り外すこと
なく、その表面に砥石を接着する作業にかなりの困難を
伴うため、接着力が弱かったり、一部接着されない部分
が生じたりして完全な接着ができず、研磨作業中に剥
離，脱落したりするトラブルが生じていた。また、破損
した砥石を交換したりする等の作業も極めて困難であっ
た。特に、研磨機の型式が、２枚のラッピング円盤の砥
面を対面させて組み合わせた両面ラッピング研磨機であ
る場合、この傾向が著しかった。

【０００４】さらに、研磨作業によって砥石が全て使い
つくされ、新しい砥石を装着する場合は、ラッピング定
盤の表面に残留した砥石片，接着剤等を完全に剥離除去
し、表面を均一に浄化してから装着する必要があるが、
大型の定盤の全面にこの作業を施すためには、装置を分
解して定盤を取り外してから行うという極めて大がかり
な作業になり、多くの労力と時間とを費やして行わなけ
ればならず、稼動率の大幅な低下と運転経費の増大とい
う事態を招いていた。

【０００５】本発明者らは、従来のラッピング研磨機の
有する上述の問題点を解決するために、鋭意研究を行
い、この発明を完成するに至ったものであり、その目的
とするところは、砥石の交換が容易で、かつ確実な装着
が可能であり、それによって稼動率を大幅に向上させう
る平面研磨装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の平面研磨装置は、円形盤状または環形
盤状のラッピング定盤に固形砥石を装着した構造のラッ
ピング円盤を備えてなる平面研磨装置において、上記定
盤面をその中心部分または内円を横切る線によって区画
した複数個の区域とそれぞれ実質的に等しい平面形状を
有する取付板分割片に固形砥石を配設するとともに、こ
の取付板分割片を前記ラッピング定盤上に着脱自在に装
着したという構成をとる。

【０００７】つぎに、この発明を実施例にもとづいて詳
しく説明する。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示している。図
において、１はラッピング円盤で、中心穴付きラッピン
グ定盤２に、取付板分割片３を介して略扇形の固形砥石
４を複数個螺着することにより構成されている。３ａは
固形砥石４の間に放射状に形成された隙間で、研磨粉や
脱落砥粉を外部に排出する。この場合において、取付板
分割片３は、それぞれ、上記ラッピング定盤２を、その
中心を横切る複数の仮想線分によって区画して形成され
る複数個の区域（全て等面積）の平面形状（略扇形）と
等しい平面形状に構成されていて互換性を有しており、
それぞれに図２に示すように２個のねじ穴５が形成され
ている。この取付板分割片３の上には、その分割片３と
同形の略扇形の固形砥石４が、ねじ穴４ａを取付板分割
片３のねじ穴５に合わせて積重され、その状態で図３に
示すように、ねじ６をねじ穴４ａに挿入してラッピング
定盤２に螺着される。このようなラッピング円盤１を備
えた平面研磨装置は、ラッピング円盤１および工作物
（図示せず）を相対的に回動させながら湿式法に基づい
て工作物表面の研磨を行う。

【０００９】この装置においては、１個のラッピング円
盤１に対して２組の取付板分割片３を用意し、常に１組
を予備としておく。そして、研磨装置が稼動中に、予備
の取付板分割片３の表面を清浄化したうえで、固形砥石
４を取り付けて、準備を整える。稼動中のラッピング円
盤１の砥石４が使いつくされた場合、または砥石の種
類，番手を交換する必要が生じた場合等は、ラッピング
円盤１より固形砥石４を取付板分割片３ごと取り外し、
予備の組と交換する。このようにすることにより、容易
迅速に運転を再開することができるようになる。

【００１０】なお、取付板分割片３の材質は特に限定さ
れていが、軽量性，強度およびコスト面等から考えて、
アルミニウム合金等の軽金属，プラスチック板およびガ
ラス繊維補強プラスチック板等の軽量構造材料が好適で
ある。さらに、ラッピング円盤１の表面に取り付けられ
る取付板分割片３の数は、ラッピング円盤１の大きさに
より適宜変えることが望ましい。例えば外径１０００mm
以上の大型円盤においては１６〜２４分割し、それ以下
の小型円盤では２〜１６分割といった比較的少ない分割
で充分である。

【００１１】図４はこの発明の他の実施例の構成図であ
る。図において、７はラッピング定盤、８は取付板分割
片、９は円柱状砥石、１０はラッピング円盤である。す
なわち、この平面研磨装置のラッピング円盤１０は、図
５に示すように、略扇形の取付板分割片８に、柱状の円
柱状砥石９を、その頂部研磨面を同一平面上に位置さ
せ、かつ相互に所定間隔を保って植設し、図６に示すよ
うに、略扇形取付板分割片８に設けられたねじ１１にね
じ１２を挿入してラッピング定盤７に螺着することによ
り構成されている。

【００１２】この平面研磨装置は、上記のように、外周
面の接触抵抗の小さい円柱状砥石９を、間隔をあけて配
設することによりラッピング円盤１０を構成しているた
め、研磨粉や脱落砥粒が、生成すると同時に円柱状砥石
９の間を通って速やかにラッピング円盤１０外に排出さ
れる。そのため円柱状砥石９の目づまりが効果的に防止
され、ドレッシングを要することなく、初期の研磨精度
および研磨能率が長時間保持されるようになる。

【００１３】図７はこの発明のさらに他の実施例に用い
る金属製ラッピング定盤の平面図である。図において、
ラッピング定盤１３は円形盤状または中央内円部分が透
孔に形成されている環形盤状になっている。この定盤１
３はその中心Ｊまたは内円Ｋを横切る仮想線分ａ〜ｄに
よって複数個の区域Ａ〜Ｈに区画されている。この場
合、上記仮想線分ａ〜ｄは直線であり、区域Ａ〜Ｈを全
て同一形状，等面積の略扇形に区画することが最も好ま
しい。上記定盤１３の各区域には、それぞれねじ穴２１
が穿設されている。上記定盤１３の定盤面の区画された
区域には、図８に示すように、それぞれの区域と実質的
に等しい平面形状を有する取付板分割片１３ａが装着さ
れる。ここにいう「実質的に等しい」とは、例えば略扇
形の区域に対して台形の取付板分割片を装着したり、隣
接する取付板分割片の間に若干の間隙を設ける必要があ
る場合等における僅少の誤差と許容されることを意味す
るものである。この取付板分割片１３ａは、前記定盤面
の略扇形区域に対応するもので、前記ねじ穴２１と合致
するねじ穴１４を有している。取付板分割片１３ａの表
面には、図９に示すように、２個の固形砥石１５，１５
ａが接着固定されている。これら固形砥石１５，１５ａ
は、２個１組で取付板分割片１３ａの略扇形と等しい平
面形状をなしている。１５ｂは上記２個の固形砥石１
５，１５ａの間に形成された隙間で、研磨粉や脱落砥粒
を回転による遠心力によって外部に排出する作用をす
る。１６は前記ねじ穴１４に合致するようにそれぞれの
固形砥石１５，１５ａに穿設されたねじ挿通孔１６であ
る。

【００１４】固形砥石１５，１５ａを接着担持した取付
板分割片１３ａは、図１０に示すように、定盤１３に穿
孔されている。ボルト孔２１にボルト１７をねじ込み螺
着される。このようにして、定盤１３全面に固形砥石１
５，１５ａが装着されてなるラッピング円盤１８を図１
１に示す。ラッピング円盤１８を備えた平面研磨装置
は、前記実施例の平面研磨装置と同様の作用効果を奏す
る。

【００１５】

【発明の効果】この発明に係る平面研磨装置によれば、
砥石のラッピング円盤への砥石の取り付けあるいは交換
作業が極めて容易迅速となり、作業者の負担を著しく軽
減しうると同時に装置の稼動率を大幅に向上させること
が可能となる。すなわち、従来、ラッピング定盤に砥石
を接着するためには、少なくとも１日は稼動を休止し剥
離，接着作業をしなければならないところ、この発明の
装置では、取付板分割片を別に１組準備しておき、これ
に予め砥石を接着しておくことにより、砥石交換に要す
る時間を著しく短縮しうるのである。さらに種類，番手
を変えた砥石を必要に応じて準備しておけば、随時交換
も可能であり、１台の研磨装置を多目的に使用すること
も可能となる。また、何等かの事由により砥石の一つが
破損したり異常品質のものが混入した場合もその部分の
み容易に交換が可能になり、経済的である。また、砥石
の接着作業が比較的軽量小型であって取り扱い容易な取
付板分割片について行われるため、綿密丹念な作業が可
能となり、接着ミス，接着不良による事故が殆どなくな
り、稼動率の向上，労働力の節減と相俟って、運転経費
を著しく低減することができる等の顕著な効果が得られ
るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に用いるラッピング円盤の
斜視図である。

【図２】その構成部品の説明図である。

【図３】その構成部品の説明図である。

【図４】この発明の他の実施例に用いるラッピング円盤
の斜視図である。

【図５】その構成部品の説明図である。

【図６】その構成部品の説明図である。

【図７】この発明のさらに他の実施例に用いるラッピン
グ円盤の組立説明図である。

【図８】この発明のさらに他の実施例に用いるラッピン
グ円盤の組立説明図である。

【図９】この発明のさらに他の実施例に用いるラッピン
グ円盤の組立説明図である。

【図１０】この発明のさらに他の実施例に用いるラッピ
ング円盤の組立説明図である。

【図１１】そのラッピング円盤の斜視図である。

【符号の説明】１ラッピング円盤２ラッピング定盤３取付板分割片４固形砥石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円形盤状または環形盤状のラッピング定
盤に固形砥石を装着した構造のラッピング円盤を備えて
なる平面研磨装置において、上記定盤面をその中心部分
または内円を横切る線によって区画した複数個の区域を
それぞれ実質的に等しい平面形状を有する取付板分割片
に固形砥石を配設するとともに、この取付板分割片を前
記ラッピング定盤上に着脱自在に装着したことを特徴と
する平面研磨装置。
【請求項２】中心部分または内円を横切る線が直線で
あって、定盤面が等面積の略扇形区域に区画されている
特許請求の範囲第１項記載の平面研磨装置。
【請求項３】取付板分割片が、アルミニウム合金，プ
ラスチックスまたはガラス繊維補強プラスチックスから
なる軽量構造材料で構成されている請求項１または請求
項２記載の平面研磨装置。