JPH083512B2 - Ｉｃ検査システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、IC（集積回路）の検査を行い、その検査
結果に応じて良品のICと不良品のICとの選別を行うため
のIC検査システムに関する。

［従来の技術］ このようなIC検査システムの一例として、記憶内容を
消去可能なプログラマブルROM（EPROM,EEPROMなど）を
多数個同時に検査できるものがある。

このIC検査システムにあっては、複数のICソケットを
有するソケットボードが多数枚装着され、また、各ソケ
ットボードの各ICソケットに対応させてランプなどの表
示器が設けられている。装着された各ソケットボードの
ICソケットに挿着されたICが検査され、その検査の結果
は対応の表示器によって表示される。例えば、不良のIC
が挿着されたICソケットに対応した表示器だけが点灯す
る。

作業者は、その表示に基づいてICの良否を識別し、例
えば不良品のICだけをICソケットから抜き取って収納容
器へ収納した後、良品のICだけが挿着されたソケットボ
ードを取り外し、次に検査すべきICの挿着されたソケッ
トボードを改めて装着して検査を開始する。

［解決しようとする問題点］ このように、ソケットボードを装着した状態で、不良
品のICと良品のICとの選別を行う必要があり、この選別
作業の間は検査動作を中断せざるをえない。

しかるに、最近のように検査動作が高速化されると、
検査動作の時間に比較して選別のためのICの挿抜作業の
時間が長くなる。その結果、従来のIC検査システムは、
その稼働率が著しく低下するという問題があった。

逆に、選別作業を連続的に行うことができず、検査動
作によって選別作業が中断される。また、検査だけを先
行して行って、検査済みのソケットボードを集積してお
き、その後都合のよい時に、手間のかかる選別作業を集
中的に行うというように、検査と選別とを切り離して行
うことができない。このように、従来のIC検査システム
は、検査・選別全体の能率も悪いという問題があった。

［発明の目的］ したがって、この発明の目的は、ICの検査と選別とを
並行して実行したり、切り離して実行できるようにし
て、システムの稼働率および検査・選別全体の能率の向
上を図ったIC検査システムを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するために、この発明によればIC検査
システムは、ICソケットを有するソケットボードをそれ
ぞれ着脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果
の情報を記憶するための記憶装置を有し、 前記検査装置は、それに装着されたソケットボードに
固有の識別情報を検出する手段と、そのソケットボード
のICソケットに挿着されているICの検査を行う手段と、
その検査の結果の情報を前記識別情報によって決まる前
記記憶装置のアドレスに記憶させる手段とを有し、 前記選別装置は、それに装着されたソケットボードに
固有の識別情報を検出する手段と、その識別情報によっ
て決まる前記記憶装置のアドレスから検査結果の情報を
読み出す手段と、その読み出された検査結果の情報を表
示する手段とを有する構成とされる。

［作用］ 検査装置に装着されたソケットボード上のICソケット
に挿着されたICの検査結果の情報は、そのソケットボー
ドに固有の、記憶装置のアドレスに記憶される。そのソ
ケットボードを検査装置から取り外しても、そのソケッ
トボードを再び検査装置に装着して検査を行わない限
り、その検査結果の情報は記憶装置に保存される。

そして、ソケットボードを選別装置に装着すると、記
憶装置に記憶されている、そのICソケットに挿着されて
いるICの検査結果の情報が記憶装置から読み出されて表
示される。

したがって、検査を終えたソケットボードを検査装置
から取り外し、直ちに別のソケットボードを検査装置に
装着して検査を始めることができる。

また、その検査動作と並行して、または、検査動作を
全く関係なく、検査済みのICが挿着されたソケットボー
ドを選別装置に装着し、その検査結果の情報に従って不
良品のICと良品のICとの選別を行うことができる。

このように、選別作業により検査動作が中断されるこ
とがなくなり、ソケットボードの着脱時を除いて検査動
作を連続的に実行させることができるため、この発明に
よるIC検査システムはその稼働率が従来のシステムより
も大幅に向上する。

また、検査と選別とを切り離して行うことができるた
め、例えば検査と並行して選別作業を連続的に行った
り、検査だけを先行して行って検査済みのソケットボー
ドを集積しておき、その後都合のよい時に、手間のかか
る選別作業を集中的に行うというような作業方法を採用
でき、検査・選別全体の能率を従来よりも向上できる。

［実施例］ 以下、図面を参照し、この発明の一実施例について説
明する。

第１図は、この発明によるIC検査システムの一実施例
の概念的システム構成図である。この図に示されるよう
に、このIC検査システム10は、概念的には検査装置12、
記憶装置14および選別装置16からなり、それぞれが電気
的に接続されている。

なお物理的には、これら各装置はそれぞれ独立のユニ
ットとして作られても、あるいは二つまたは全部が一つ
のユニットに集約されてもよい。さらに、これら各装置
を制御するための上位装置が設けられてもよい。

検査装置12は、その前面部にソケットボード18を20個
（これは一例である）着脱可能に装着できる。その着脱
機構は従来のEPROM検査装置のものと同様でよいので、
その説明および図示を省略する。同様に、選別装置16
も、その前面部にソケットボード18を１個（複数でもよ
い）着脱可能に装着できる。

第２図は、ソケットボード18の一例を示す概略平面図
である。図示のように、ソケットボード18は基板20の表
側に５個のICソケット22が配列して設けられている。

また、基板20には、そのソケットボード18に固有の識
別情報（識別番号）を表す２進コードの、光学的に検出
可能なマーク24が付されている。このマーク24は具体的
には、例えば基板20の裏面に光学的パターンとして直接
的に印刷したり、同等のパターンを印刷したシールまた
はフエルトペンなどによって記入したシールを貼り付け
たり、反射率の良いシールを２進コードに対応して選択
的に貼り付けたり、表裏に貫通した孔を２進コードに対
応して選択的に形成するなどによって実現される。

このような識別情報のマーク24を光学的に検出するた
めの光センサが、検査装置12および選別装置16の前面部
に配設されているが、第１図には示されていない（第３
図参照）。

また、選別装置16の前面部には、そこに装着されるソ
ケットボード18上の各ICソケット22に位置を対応させ
て、ランプ、発光ダイオードなどの表示器26（この例で
は５個）が配設されている。

第３図は、前記の検査装置12,記憶装置14および選別
装置16の要部の機能的構成を簡略化して示す機能的ブロ
ック図である。

この図において、まず検査装置12について説明する。
30は一つのソケットボード18に対応するソケットボード
対応部であり、これは合計20個ある。いずれのソケット
ボード対応部30も同様の構成であって、ICソケット22と
接続するための５個のソケット32と、識別情報のマーク
24を検出するための前記光センサ34（この例ては４個）
とからなっている。

各ソケットボード対応部30の各ソケット32は検査部36
に接続され、また各光センサ34はセンサ回路38に接続さ
れている。

40は検査結果の情報の記憶アドレス情報を保持すため
のレジスタであり、その記憶アドレス情報はセンサ回路
38から入力される。

42は制御部である。この制御部42によって、前記の検
査部36、センサ回路38およびレジスタ40が制御される。
また、記憶装置14に対する検査結果情報の書込み要求
が、この制御部42より出される。41は検査装置12に設け
られたスタートスイッチであり（第１図には示されてい
ない）、これを押下することによってスタート信号を制
御部42に与えることができる。

次に選別装置16について説明する。44はソケットボー
ド18の識別情報のマーク24を検出するための前記光セン
サであって、この例では５個ある。各光センナ44はセン
サ回路46に接続されている。

48はセンサ回路46から出力される検査結果情報の読み
出しアドレス情報を保持するためのレジスタである。50
は妥当な記憶アドレス情報がセンサ回路46から出力され
たときに、読み出し要求を記憶装置14に対して送る読み
出し要求回路である。

52は記憶装置14から出力された検査結果の情報に従っ
て表示器26を駆動する表示回路である。

記憶装置14について説明する。54は情報を記憶するた
めのメモリ回路である。56はメモリ回路54に対する書込
み情報を保持するためのレジスタであり、この場合は書
込み情報は検査装置12から送られる検査結果の情報であ
る。58はメモリ回路54にデータを読み書きするためのア
ドレス情報を保持するためのレジスタであり、そのアド
レス情報はマルチプレクサ60を介してレジスタ40または
48から入力される。62はメモリ回路54から読み出された
情報を保持するためのレジスタである。46は検査装置12
および選別回路16からの要求に応じてマルチプレクサ60
およびメモリ回路54を制御する制御回路である。

次に、このIC検査システム10における検査動作および
選別動作について説明する。

まず検査動作について説明する。ICを挿着したソケッ
トボード18を検査装置12の前面部に装着してスタートス
イッチ41を押下すると、制御部42は検査動作を開始させ
る。

１番目のソケットボード対応部30が制御部42によって
選択され、対応するソケットボード18のICソケット22に
挿着されているICが検査部36によって検査される。ま
た、その選択されたソケットボード対応部30の光センサ
34の出力信号（つまり対応したソケットボード18の識別
情報の検出信号）がセンサ回路38によって選択され、そ
の識別情報そのもの（または、適当な２進数を加算した
もの）がアドレス情報としてセンサ回路38より出力され
る。

１番目のソケットボード対応部30に対応したソケット
ボード18に挿着されたICの検査が終わると、そのソケッ
トボード18に挿着された５個のICの良否を示す５ビット
の検査結果情報が検査部36より出力される。制御部42か
らレジスタ40にロード信号が送られて、センサ回路38か
ら出力されているアドレス情報がレジスタ40にセットさ
れる。次に制御部42から記憶装置14に対する書込み要求
信号が出される。

この書込み要求信号に対応して、記憶装置14の制御回
路64は検査結果の情報をレジスタ56にセットさせ、また
マルチプレクサ60を検査装置12側に切り換えて、レジス
タ40に保持されているアドレス情報をレジスタ58にセッ
トさせる。そして制御回路64はメモリ回路54を書込みモ
ードで動作させ、１番目のソケットボード18に挿着され
ているICの検査結果の情報を、そのソケットボード18に
固有のアドレスに記憶させる。

なお、制御回路64は、検査装置12および選別装置16の
両方から同時に要求を受けた場合、検査装置12からの要
求を優先して受け付ける。

このようにして、１番目のソケットボード18に関連し
た検査結果情報の書込みを終わると、制御部42は２番目
のソケットボード対応部30を選択し、同様の制御を行
い、対応する２番目のソケットボード18に挿着されたIC
の検査結果の情報を記憶装置14に記憶させる。

以下同様にして、最後のソケットボード対応回路30に
対応したソケットボード18に関する動作を終わると、検
査部42は検査動作を停止させ、その完了を検査装置12に
設けられている表示器など（図示されていない）によっ
て作業者に知らせる。

作業者は、その終了表示を確認すれば、ICの選別作業
を行うことなく、直ちに装着されているソケットボード
18を取り外し、新たに検査すべきICを挿着したソケット
ボード18を検査装置12に装着し、その検査を開始させる
ことができる。このように、検査動作が中断されるのは
ソケットボードの交換時間だけとなるため、このIC検査
システム10の稼働率は従来システムよりも大幅に向上す
る。

このような検査動作と並行して、または切り離して、
ICの選別を行うことができる。この選別動作について説
明する。

検査済みのソケットボード18を選別装置16の前面部に
装着すると、その識別情報のマーク24が光センサ44によ
って検出され、その識別情報に対応した検出信号がセン
サ回路46に入力される。その結果、そん識別情報そのも
の（または適当な２進数を加算したもの）がアドレス情
報としてセンサ回路46から出力される。そのアドレス情
報が妥当な情報であれば、読み出し要求回路50からレジ
スタ48に対するロード信号が送出され、そのアドレス情
報がレジスタ48にセットされる。その直後に、記憶装置
14に対する読み出し要求信号が読み出し要求回路50から
送出される。

この読み出し要求に応答して、記憶装置14の制御回路
64はマルチプレクサ60をレジスタ48側に切り換えてレジ
スタ58にロード信号を送ることにより、レジスタ48に保
持されているアドレス情報をレジスタ58にセットさせ
る。次に制御回路64はメモリ回路54を読み出しモードで
動作させ、レジスタ62に対してロード信号を与えて読み
出し情報をレジスタ62にセットさせる。

このようにして、選別装置16に装着されているソケッ
トボード18に対応した検査結果の情報が記憶装置14から
読み出され、その情報に応じて表示回路52により表示器
26が駆動される。例えば、不良品のICに対応する表示器
26だけが発光させられる。

作業者は、その表示から不良品と良品とICを識別でき
るから、不良品と良品とを区別してICソケット22から抜
き、容器などに分別して収容することができる。

このような選別作業は検査動作と並行して、検査動作
によって中断されることなく、連続的に行うことができ
る。

また、ソケットボード18に挿着されたICの検査結果の
情報は、そのソケットボード18に固有のアドレスに記憶
されるため、その検査結果情報は同じソケットボード18
が検査装置12に装着されるまで保存される。したがっ
て、検査済みのソケットボード18をICを装着したまま集
積しておき、検査と関係なく、都合のよい時に、そのソ
ケットボード18を選別装置16に装着して良品と不良品の
ICの選別作業を行うことができる。

以上、一実施例について説明したが、この発明はそれ
だけに限定されるものではない。

例えば、選別装置を複数台設けたり、あるいは同時に
複数枚のソケットボードを選別装置に同時に装着し、そ
れぞれの検査結果情報を表示できるようにしてもよい。
そのようにすれば、複数の作業者によって同時に選別作
業を行うことができ、選別作業の能率を一層改善でき
る。なお、そのような変形は当業者であれば以上の説明
から容易に実現できるであろうから、その具体例は提示
しない。

また、ソケットボードに設けられるICソケットの個数
や識別情報の表示方法、識別情報の検出手段、検査結果
情報の表示手段なども適宜変更してよい。

これ以外にも、この発明は、その要旨を逸脱しない範
囲内で種々変形して実施し得るものである。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、IC検査シス
テムはICソケットを有するソケットボードをそれぞれ着
脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果の情報
を記憶するための記憶装置を有し、前記検査装置は、そ
れに装着されたソケットボードに固有の識別情報を検出
する手段と、そのソケットボードのICソケットに挿着さ
れているICの検査を行う手段と、その検査の結果の情報
を前記識別情報によって決まる前記記憶装置のアドレス
に記憶させる手段とを有し、前記選別装置は、それに装
着されたソケットボードに固有の識別情報を検出する手
段と、その識別情報によって決まる前記記憶装置のアド
レスから検査の結果の情報を読み出す手段と、その読み
出された検査結果の情報を表示する手段とを有する構成
とされるから、選別作業により検査動作が中断されるこ
とがなく、また検査と選別とを切り離して行うことがで
きるようになる。

したがって、この発明によれば、システム稼働率およ
び検査・選別全体の能率の高いIC検査システムを実現で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるIC検査システムの一実施例を
示す概念的システム構成図、第２図はソケットボードの
一例を示す概略平面図、第３図は検査装置、記憶装置お
よび選別装置の要部の機能的構成を簡略化して示す機能
的ブロック図である。 12…検査装置、14…記憶装置、16…選別装置、18…ソケ
ットボード、22…ICソケット、24…識別情報のマーク、
26…表示器、34…光センサ、36…検査部、38…センサ回
路、42…制御部、44…光センサ、46…センサ回路、50…
読み出し要求回路、52…表示回路。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ICソケットを有するソケットボードをそれ
   ぞれ着脱可能な検査装置および選別装置と、検査の結果
   の情報を記憶するための記憶装置を有し、 前記検査装置は、それに装着されたソケットボードに固
   有の識別情報を検出する手段と、そのソケットボードの
   ICソケットに挿着されているICの検査を行う手段と、そ
   の検査の結果の情報を前記識別情報によって決まる前記
   記憶装置のアドレスに記憶させる手段とを有し、 前記選別装置は、それに装着されたソケットボードに固
   有の識別情報を検出する手段と、その識別情報によって
   決まる前記記憶装置のアドレスから検査結果の情報を読
   み出すための手段と、その読み出された検査結果の情報
   を表示する手段とを有することを特徴とするIC検査シス
   テム。
2. 【請求項２】検査装置は複数のソケットボードを装着可
   能であり、装着された各ソケットボードのICソケットに
   挿着されているICの検査の結果の情報は、その各ソケッ
   トボードに固有の識別情報によって決まる記憶装置のア
   ドレスにそれぞれ記憶されるようにしてなる特許請求の
   範囲第１項記載のIC検査システム。
3. 【請求項３】ソケットボードに固有の識別情報は光学的
   に検出可能に、そのソケットボードに表示され、その識
   別情報は識別情報検出のための手段によって光学的に読
   み取られるようにしてなる特許請求の範囲第１項または
   第２項に記載のIC検査システム。