JPH0837100A - イオン加速装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 タンデム加速器から低エネルギーの大電流ビ
ームを取り出すこと。 【構成】 低エネルギーイオンを取り出す場合にも、タ
ンデム加速器４の低エネルギー側加速管７及び高エネル
ギー側加速管９には加速電圧源５から高電圧タ−ミナル
６を介して高い加速電圧を印加する。ストリッパカナー
ルを有する荷電変換部は荷電変換モードと非荷電変換モ
ードに変更可能であり、低エネルギーイオンの取り出し
時、ストリッパカナール８にはストリッパガスを供給し
ない。負イオン源１からの負イオンは質量分析電磁石
２、Ｑレンズ３を経て低エネルギー側加速管で収束、加
速され、荷電変換せずに高エネルギー側加速管に入り、
減速される。タンデム加速器でイオンに与えられるエネ
ルギーはゼロであり、加速器導入時の低エネルギー状態
でイオンビームを取り出すことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、２００ｋｅＶ以下の低
エネルギービームを高電流で得ることができる静電型タ
ンデム加速器を備えたイオン加速装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６は静電型タンデム加速器を用いた高
エネルギーイオン加速装置の一例の基本構成図である。
負イオン源１から引き出されたイオンビームを質量分析
電磁石２の磁場に通し、所望質量の負イオンを分離抽出
する。次いで、負イオンビームは低エネルギー側Ｑレン
ズ３を通り、タンデム加速器（本体）４に導入される。
同加速器本体は高圧絶縁ガスが充填された圧力タンクに
収容する形で構成されており、導入された負イオンビー
ムは、加速電圧源５から高電圧ターミナル６を介して正
の高加速電圧が印加されている低エネルギー側加速管７
で最初の加速が行われ、荷電変換用のストリッパガスが
導入されているストリッパカナール８を有する荷電変換
部で正イオンビームに変換される。正イオンビームは高
エネルギー側加速管９で接地電位に向かって再び加速さ
れる。そして、高エネルギー側Ｑレンズ１０を経てエネ
ルギー分析電磁石１１で所望の価数、エネルギーの正イ
オンが抽出され、試料１２、例えば半導体ウエハに注入
される。

【０００３】図７はストリッパカナール８を有する荷電
変換部の概略構成図であり、ストリッパカナール８は、
低エネルギー側加速管７と高エネルギー側加速管９とを
繋いでいるタ−ミナルダクト１３の内部に配置されてい
る。ストリッパカナール８の中央部に、ガスボンベ１４
からのストリッパガスをリークバルブ１５、ストリッパ
ガス供給路１６により供給している。ストリッパガスが
両加速管７，９内に入り込むのを抑えるために、ストリ
ッパカナール８と両加速管との間にイオンビームが通過
する円筒部を有するバッフル１７を設けると共に、スト
リッパカナール８の配置空間を真空排気するターボ分子
ポンプ１８をタ−ミナルダクト１３に接続し、同ポンプ
の排気路１９はストリッパガス供給路１６に接続し、排
気に含まれるストリッパガスを循環させ、再利用してい
る。

【０００４】かかるタンデム加速器による高エネルギー
イオン加速装置の設備をそのまま用いて低エネルギーの
イオンビームを得る試み、試料１２に低エネルギーイオ
ンを注入できるようにする、同加速装置の利用範囲の拡
張が試みられている。図８は、メガエレクトロンボルト
（ＭｅＶ）級のタンデム加速器についての、ビームエネ
ルギー対ビーム電流特性の一例を示す図であり、縦軸の
ビーム電流Ｉｂは、出射ビーム電流の入射ビーム電流に
対する％値である。ビームエネルギーが２００ｋｅＶの
場合、ビーム電流は２０％に低下してしまう。これは低
エネルギー域では、ストリッパカナールに導入されるビ
ームが減少し、負イオンから正イオンへの荷電変換効率
が低下することによる。

【０００５】かかるタンデム加速器を用いた高エネルギ
ーイオン加速装置の高エネルギー域におけるビーム軌道
についてのコンピュータ解析結果の一例を図９に示す。
図の中心線より右の軌道ａはビームの水平方向部分、左
の軌道ａ’はビームの垂直方向部分をそれぞれ示し、こ
の場合のイオン加速装置では、低エネルギー側Ｑレンズ
３の直前にスリットが設けられている。タンデム加速器
の加速管については、ビーム光学系の焦点距離をｆ
〔ｍ〕，加速電場をＥ〔Ｖ／ｍ〕，ビームの入射電圧を
Ｖi〔Ｖ〕とすると、レンズ作用の式、ｆ＝４Ｖi／Ｅを
前提として、高加速電圧時に高いビーム搬送効率が得ら
れるようにビーム光学系が構成されている。負イオン源
１から引き出され、タンデム加速器に入るビームのエネ
ルギーは５０ｋｅＶであり、高電圧タ−ミナル部６、低
エネルギー側及び高エネルギー側加速管７，９の加速電
圧は０．５ＭＶであり、加速器本体から得られる正イオ
ンビームはトータル１．０５ＭｅＶのエネルギーを有す
る。低エネルギー側加速管７は、その入口部にビームを
収束方向に向かわせる強いレンズ作用が生じ、加速管内
でもビームに収束作用が生ずる。そこで、低エネルギー
側加速管７には発散傾向のビームを導入し、ストリッパ
カナール８の中央部でビームが最も絞られるようにし、
荷電変換効率を上げている。

【０００６】低エネルギーイオンビームを得るために、
例えば加速電圧を零ボルトとし、負イオン源１からの５
０ｋｅＶのエネルギーを持つビームを加速器本体４に通
したときのコンピュータによる解析結果を軌道ｂ，ｂ’
で示す。低エネルギー加速管７にはレンズ作用がないか
ら、同加速管に導入されたビームは拡がり、ストリッパ
カナール８に入るビームは全体のビーム径の１／５、ビ
ーム量としては１／２５以下であり、実際にはタンデム
加速器本体のビーム搬送効率はせいぜい３％程度に留ま
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、２００ｋｅ
Ｖ以下の低エネルギービームを大電流で得ることができ
る、タンデム加速器を備えたイオン加速装置の提供を目
的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のイオン加速装置
は、加速電圧源に接続された高電圧タ−ミナルと、この
高電圧タ−ミナルを介してそれぞれ加速電圧が印加さ
れ、タンデムに配置された低エネルギー側加速管及び高
エネルギー側加速管と、前記高電圧タ−ミナル内に設け
られ、前記両加速管の間に位置し、荷電変換モードと非
荷電変換モードに変更可能の荷電変換部とを備え、前記
低エネルギー側加速管で加速されたイオンを荷電変換せ
ずに前記高エネルギー側加速管で減速させることができ
るように構成したことを主たる特徴とするものである。

【０００９】さらに、本発明のイオン加速装置は、加速
電圧源に接続された高電圧タ−ミナルと、この高電圧タ
−ミナルを介してそれぞれ加速電圧が印加され、タンデ
ムに配置された低エネルギー側加速管及び高エネルギー
側加速管と、前記高電圧タ−ミナル内で、前記両加速管
の間に配置された荷電変換用ストリッパカナールと、こ
のストリッパカナールへのストリッパガス供給路に第１
のバルブを介して接続されたストリッパガス供給源と、
前記ストリッパカナールの配置空間に接続され、排気路
が前記ストリッパガス供給路に連通している第１の真空
ポンプと、前記ストリッパガス供給路を開閉する第２の
バルブと、前記ストリッパガス供給路に接続され、排気
路が第３のバルブを介して前記高エネルギー側加速管内
に連通している第２の真空ポンプとを備え、前記低エネ
ルギー側加速管で加速されたイオンを荷電変換せずに前
記高エネルギー側加速管で減速させることができるよう
に構成したことを特徴とするものである。

【００１０】さらに、本発明のイオン加速装置は、加速
電圧源に接続された高電圧タ−ミナルと、この高電圧タ
−ミナルを介してそれぞれ加速電圧が印加され、タンデ
ムに配置された低エネルギー側加速管及び高エネルギー
側加速管と、前記高電圧タ−ミナル内で、前記両加速管
の間に配置され、イオンビーム通過路から離脱可能の荷
電変換用ストリッパカナールと、このストリッパカナー
ルへのストリッパガス供給路に第１のバルブを介して接
続されたストリッパガス供給源と、前記ストリッパガス
供給路を開閉する第２のバルブと、前記ストリッパカナ
ールの配置空間に接続され、排気路が前記ストリッパガ
ス供給路に連通していると共に第３のバルブを介して高
エネルギー側加速管内に連通している真空ポンプとを備
え、前記低エネルギー側加速管で加速されたイオンを荷
電変換せずに前記高エネルギー側加速管で減速させるこ
とができるように構成したことを特徴とするものであ
る。

【００１１】

【作用】低エネルギー側及び高エネルギー側の両加速管
には加速電圧が印加されており、荷電変換部をイオンの
荷電変換モードで動作させれば、両加速管は通常のタン
デム加速器として働く。荷電変換部を非変換モードで動
作させると、加速電圧印加によりレンズ作用を有する低
エネルギー側加速管に導入されたイオンは収束、加速さ
れ、そのまま高エネルギー側加速管に入り、減速され
る。低エネルギー側加速管に導入されたイオンはそのエ
ネルギーのままの低エネルギー状態で高エネルギー側加
速管から取り出される。タンデム加速器は全体としてア
インツェルレンズとして働く。

【００１２】低エネルギービームを取り出すとき、第１
のバルブ及び第２のバルブを閉じてストリッパガスの供
給を遮断し、第１の真空ポンプの運転を停止し、第２の
真空ポンプを動作させ、第３のバルブは開く。これによ
りイオンビームが通過するストリッパカナール内の真空
度が上がり、低エネルギー側加速管からのイオンをその
まま高エネルギー側加速管に送り込める。

【００１３】低エネルギービームを取り出すとき、スト
リッパカナールへのストリッパガスの供給を断ち、同カ
ナールをイオンビーム通過路から離脱させる。ストリッ
パカナール配置空間を真空ポンプで排気してイオンビー
ム通過路の真空度を上げる。

【００１４】

【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は実施例の基本構成図であり、図６と同一符
号は同等部分を示す。タンデム加速器を用いたイオン加
速装置で低エネルギー領域のイオンを得るとき、イオン
源のビーム引き出し電圧によってのみイオンの加速エネ
ルギーが得られるようにする。負イオン源１から引き出
されたイオンビームは質量分析電磁石２の磁場に入り、
所望質量の負イオンが分離抽出される。そして負イオン
ビームは、低エネルギー側Ｑレンズ３を通り、タンデム
加速器本体４に導入され、加速電圧源５から高電圧ター
ミナル６を介して正の加速電圧が印加されている低エネ
ルギー側加速管７で加速される。加速された負イオンビ
ームはストリッパカナール８を有する荷電変換部に導入
されるが、同カナールにはストリッパガスが供給されて
おらず、負イオンビームは荷電変換されずに高エネルギ
ー側加速管９に入る。同加速管には、通常のタンデム加
速動作時と同じ加速電圧、即ち荷電変換された正イオン
ビームを加速する場合と同じ極性の電圧が印加されてお
り、荷電変換されていない負イオンビームは同加速管で
減速されることになる。そして、高エネルギー側Ｑレン
ズ１０を経てエネルギー分析電磁石１１で所望の価数、
エネルギーの正イオンビームが抽出され、試料１２、例
えば半導体ウエハに注入される。

【００１５】本発明の基本原理はタンデム加速器をアイ
ンツェルレンズと考えることにある。イオンは低エネル
ギー側加速管７で収束されつつ加速され、そして高エネ
ルギー側加速管９で減速され、タンデム加速器でのイオ
ンに与えるトータル・エネルギーは零であり、低エネル
ギー加速管に導入されたイオンは、その導入時のエネル
ギー状態で試料１２に注入される。

【００１６】レンズ作用の式ｆ＝４Ｖi／Ｅから、低エ
ネルギー側加速管（ＬＥ）７、高エネルギー側加速管
（ＨＥ）９の各出入口でのレンズ作用の強さは次のよう
になる。ただし、Ｅ＝Ｖt／ｌ，Ｖt：タ−ミナル電圧，
ｌ：加速管長さ。両加速管を加速−加速の、通常のタン
デム加速器として使うとき、 低エネルギー側加速管の入口 ｆ（ＬＥ，ｉｎ） ＝４Ｖi／Ｅ， 同 の出口 ｆ（ＬＥ，ｏｕｔ）＝−４（Ｖi＋Ｖt）／Ｅ 高エネルギー側加速管の入口 ｆ（ＨＥ，ｉｎ） ＝４（Ｖi＋Ｖt）／Ｅ 同 の出口 ｆ（ＨＥ，ｏｕｔ）＝−４（Ｖi＋２Ｖt）／Ｅ であり、レンズ作用の強さについて、強、中、弱で大ま
かに、そして、模式的に示すと図２（ａ）のようにな
る。

【００１７】これに対し、本発明は、低エネルギー領域
では、タンデム配置の二つの加速管を加速−減速で使う
ものであり、各出入口でのレンズ作用の強さは、 低エネルギー側加速管の入口 ｆ（ＬＥ，ｉｎ） ＝４Ｖi／Ｅ， 同 の出口 ｆ（ＬＥ，ｏｕｔ）＝−４（Ｖi＋Ｖt）／Ｅ 高エネルギー側加速管の入口 ｆ（ＨＥ，ｉｎ） ＝−４（Ｖi＋Ｖt）／Ｅ 同 の出口 ｆ（ＨＥ，ｏｕｔ）＝４Ｖi／Ｅ であり、これらレンズ作用を模式的に示すと図３（ｂ）
のようになり、ビーム光学系は高電圧タ−ミナル部を中
心として対称になる。

【００１８】図３は、かかるタンデム加速器を荷電変換
させずに動作させた場合のコンピュータによるビーム軌
道解析結果の一例を示すものであり、中心線より右の軌
道ｃはビームの水平方向部分、左の軌道ｃ’は水平方向
部分を示している。低エネルギー側加速管７に入射する
ビームのエネルギー電圧Ｖi＝５０ｋｅＶ、高電圧タ−
ミナル電圧Ｖt＝０．５ＭＶのときの軌道図である。高
エネルギー側加速管９のビームエンベロープは低エネル
ギー側加速管７のエンベロープと対称であり、低エネル
ギー側加速管に導入されたイオンビームは高エネルギー
側加速管を通過することが判り、タンデム加速器から低
エネルギーの大電流ビームを得ることができる。

【００１９】タンデム加速器におけるストリッパカナー
ル８が配置されている荷電変換部は、最終的には低エネ
ルギー側及び高エネルギー側の加速管７，９の部分を介
して真空排気されるが、ストリッパガスを閉じ込めるよ
うに構成されているから、真空度は良くない。本発明で
は、タンデム加速器から、低エネルギーイオンを取り出
すときには、低エネルギー側加速管７で加速されたイオ
ンを荷電変換せずに高エネルギー側加速管９に送りこま
ねばならず、この点、荷電変換部したがってストリッパ
カナール８内の真空度を高くしなければならない。

【００２０】図４は、真空度を向上させることができる
かかる荷電変換部についての実施例の構成図である。ス
トリッパカナール８の中央部にガスボンベ１４からスト
リッパガスを第１のバルブ、リークバルブ１５、ストリ
ッパガス供給路１６を介して供給する。ストリッパカナ
ール８の配置空間を真空排気する第１の真空ポンプ、タ
ーボ分子ポンプ１８をタ−ミナルダクト１３に接続し、
同ポンプの排気路１９は残留ストリッパガスを循環させ
て再利用されるようにストリッパガス供給路１６に連通
接続されている。このガス供給路１６には供給路開閉用
の第２のバルブ２０と第２の真空ポンプ、カナール排気
用ターボ分子ポンプ２１が接続されており、同ポンプの
排気路２２は第３のバルブ２３を介して高エネルギー側
加速管９内に連通させている。

【００２１】タンデム加速器を高エネルギーイオンビー
ムが得られるように通常のタンデム加速動作させると
き、第１のバルブ、リークバルブ１５と第２のバルブ２
０を開いてガスボンベ１４からストリッパガスをストリ
ッパカナール８に供給し、第１の真空ポンプ、ターボ分
子ポンプ１８を運転し、第２の真空ポンプ、ターボ分子
ポンプ２１を運転停止状態とし、第３のバルブ２３を閉
じておく。低エネルギー加速管７からの加速された負イ
オンはストリッパカナール８内で正イオンに荷電変換さ
れ、高エネルギー側加速管９で加速される。

【００２２】低エネルギーイオンビームを得るとき、第
１のバルブ、リークバルブ１５及び第２のバルブ２０を
閉じてストリッパガスの供給を停止し、第１の真空ポン
プ１８の運転を停止し、第２の真空ポンプ、カナール排
気用ターボ分子ポンプ２１を動作させ、第３のバルブ２
３を開く。したがって、第２の真空ポンプによってスト
リッパカナール８内が真空排気され、低エネルギー側加
速管７で加速された負イオンを荷電変換せずに高エネル
ギー側加速管９内に導入し、同加速管で減速され、負イ
オンをタンデム加速器導入時のエネルギー状態で同加速
器から取り出すことができる。

【００２３】図５は荷電変換部についての他の実施例の
構成図である。タ−ミナルダクト１３内に配置された荷
電変換部のストリッパカナール８はビーム通過路から離
脱できるように構成される。ストリッパカナール８の中
央部に結合し、ストリッパガス供給路１６の一部を形成
しているガス供給管１６₁はタ−ミナルダクト１３に取
り付けられた円筒管２４に真空シール用のＯリング２５
を介在させて嵌挿されている。ストリッパカナール８に
操作軸２６が取り付けられており、同軸をタ−ミナルダ
クト１３に設けた摺動シール軸受２７で軸支させてタ−
ミナルダクトから延出させ、同ダクトの外部から操作す
ることにより、ストリッパカナールをビーム通過路と同
通過路から離脱した位置に移動できるようにする。円筒
管２４に結合し、ストリッパガス供給路１６の一部を形
成するガス供給管１６₂には第２のバルブ２０が設けら
れており、同供給管１６₂には第１のバルブ、リークバ
ルブ１５を介してバスボンベ１４からストリッパガスを
供給する。ターミナルダクト１３内を排気する真空ポン
プ、ターボ分子ポンプ１８の排気路１９は、ガス供給管
１６₂に連通し、さらに、第３のバルブ２３を経て高エ
ネルギー側加速管９内に連通している。なお、円筒管２
４と二つの操作軸２６はタ−ミナルダクト１３の同じ角
度位置に配置し、この配置角度と真空ポンプ１８のタ−
ミナルダクトにおける配置角度は異ならせている。

【００２４】タンデム加速器から高エネルギーイオンビ
ームを得るとき、ストリッパカナール８を図示位置に配
置し、第１のバルブ、リークバルブ１５と第２のバルブ
１９を開いてガスボンベ１４からストリッパガスをスト
リッパカナール８に供給し、真空ポンプ、ターボ分子ポ
ンプ１８を運転し、第３のバルブ２１は閉じておく。低
エネルギー加速管７からの加速された負イオンはストリ
ッパカナール８内で正イオンに荷電変換され、高エネル
ギー側加速管９で加速される。

【００２５】低エネルギーイオンビームを得るとき、ス
トリッパカナール８を矢印ａ方向に下げ、イオンビーム
の通過路から離脱した位置に移動させる。第１のバル
ブ、リークバルブ１５を閉じてストリッパガスの供給を
停止し、真空ポンプ１８を動作させ、第３のバルブ２１
を開く。したがって、ターボ分子ポンプ１８によってビ
ーム通過空間が真空排気され、低エネルギー側加速管７
で加速された負イオンを荷電変換せずに高エネルギー側
加速管９内に導入し、同加速管で減速させる。負イオン
はタンデム加速器本体導入時と変わらぬエネルギーを有
して同加速器から取り出す。

【００２６】上述の実施例ではタンデム加速器に負イオ
ン源１から負イオンを導入するものについて説明した
が、イオン源としてＰＩＧイオン源等の正イオン源を用
い、同イオン源からの正イオンを金属蒸気による荷電変
換セルを通して負イオンを得るようにしても良い。また
正イオン源からの正イオンを直接、タンデム加速器に導
入するようにしても良く、この場合、加速電圧源５の電
圧極性を反転し、高電圧タ−ミナル６を介して低エネル
ギー側加速管７及び高エネルギー側加速管９に負の高い
加速電圧を与える。

【００２７】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、荷電変換部を非変換モードで動作させることによ
り、タンデム加速器の通常の動作時と同様の加速電圧が
印加され、レンズ作用を有する低エネルギー側加速管に
導入されたイオンは収束、加速され、そのまま高エネル
ギー側加速管に入り、減速される。低エネルギー側加速
管に導入されたイオンは導入時のエネルギーのままの低
エネルギー状態で高エネルギー側加速管から取り出すこ
とができ、低エネルギー状態の大電流イオンビームをタ
ンデム加速器から取り出すことができる。

【００２８】タンデム加速器から低エネルギービームを
取り出すとき、ストリッパガスの供給が断たれた荷電変
換用ストリッパカナール内を真空排気することにより、
イオンビームが通過するストリッパカナール内の真空度
が上がり、低エネルギー側加速管からのイオンをそのま
ま高エネルギー側加速管に送り込むことができる。

【００２９】また、低エネルギービームを取り出すと
き、ストリッパガスの供給が断たれたストリッパカナー
ルをイオンビーム通過路から離脱させているから、同通
過路の真空度を１台の真空ポンプで上げることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例における低エネルギーイオンビーム取り
出し時の基本構成図である。

【図２】タンデム加速器における加速管のレンズ作用に
ついての模式説明図である。

【図３】タンデム加速器における低エネルギーイオンビ
ーム取り出し時のビーム軌道解析図である。

【図４】荷電変換部についての実施例の構成図である。

【図５】荷電変換部についての他の実施例の構成図であ
る。

【図６】タンデム加速器を用いたイオン加速装置の一例
の基本構成図である。

【図７】ストリッパカナールを有する荷電変換部の概略
構成図である。

【図８】タンデム加速器のビームエネルギー対ビーム電
流の一例を示す特性図である。

【図９】タンデム加速器のビーム軌道解析図である。

【符号の説明】 １ イオン源 ５ 加速電圧源 ６ 高電圧タ−ミナル ７ 低エネルギー側加速管 ８ ストリッパカナール ９ 高エネルギー側加速管 １３ タ−ミナルダクト １４ ストリッパガスボンベ １５ 第１のバルブ １６ ストリッパガス供給路 １８ 第１の真空ポンプ １９，２２ 真空ポンプの排気路 ２０ 第２のバルブ ２１ 第２の真空ポンプ ２３ 第３のバルブ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加速電圧源に接続された高電圧タ−ミナ
   ルと、この高電圧タ−ミナルを介してそれぞれ加速電圧
   が印加され、タンデムに配置された低エネルギー側加速
   管及び高エネルギー側加速管と、前記高電圧タ−ミナル
   内に設けられ、前記両加速管の間に位置し、荷電変換モ
   ードと非荷電変換モードに変更可能の荷電変換部とを備
   え、前記低エネルギー側加速管で加速されたイオンを荷
   電変換せずに前記高エネルギー側加速管で減速させるこ
   とができるように構成したことを特徴とするイオン加速
   装置。
2. 【請求項２】 加速電圧源に接続された高電圧タ−ミナ
   ルと、この高電圧タ−ミナルを介してそれぞれ加速電圧
   が印加され、タンデムに配置された低エネルギー側加速
   管及び高エネルギー側加速管と、前記高電圧タ−ミナル
   内で、前記両加速管の間に配置された荷電変換用ストリ
   ッパカナールと、このストリッパカナールへのストリッ
   パガス供給路に第１のバルブを介して接続されたストリ
   ッパガス供給源と、前記ストリッパカナールの配置空間
   に接続され、排気路が前記ストリッパガス供給路に連通
   している第１の真空ポンプと、前記ストリッパガス供給
   路を開閉する第２のバルブと、前記ストリッパガス供給
   路に接続され、排気路が第３のバルブを介して前記高エ
   ネルギー側加速管内に連通している第２の真空ポンプと
   を備え、前記低エネルギー側加速管で加速されたイオン
   を荷電変換せずに前記高エネルギー側加速管で減速させ
   ることができるように構成したことを特徴とするイオン
   加速装置。
3. 【請求項３】 加速電圧源に接続された高電圧タ−ミナ
   ルと、この高電圧タ−ミナルを介してそれぞれ加速電圧
   が印加され、タンデムに配置された低エネルギー側加速
   管及び高エネルギー側加速管と、前記高電圧タ−ミナル
   内で、前記両加速管の間に配置され、イオンビーム通過
   路から離脱可能の荷電変換用ストリッパカナールと、こ
   のストリッパカナールへのストリッパガス供給路に第１
   のバルブを介して接続されたストリッパガス供給源と、
   前記ストリッパガス供給路を開閉する第２のバルブと、
   前記ストリッパカナールの配置空間に接続され、排気路
   が前記ストリッパガス供給路に連通していると共に第３
   のバルブを介して高エネルギー側加速管内に連通してい
   る真空ポンプとを備え、前記低エネルギー側加速管で加
   速されたイオンを荷電変換せずに前記高エネルギー側加
   速管で減速させることができるように構成したことを特
   徴とするイオン加速装置。