JPH083727A - 真空蒸着方法 - Google Patents
真空蒸着方法Info
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- JPH083727A JPH083727A JP13551994A JP13551994A JPH083727A JP H083727 A JPH083727 A JP H083727A JP 13551994 A JP13551994 A JP 13551994A JP 13551994 A JP13551994 A JP 13551994A JP H083727 A JPH083727 A JP H083727A
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- vapor deposition
- fluoride
- alkaline earth
- deposition method
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Abstract
(57)【要約】
【目的】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土
類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給／排出する
真空蒸着方法において、原料組成を反映した組成の蒸着
膜を得る真空蒸着方法の提供。 【構成】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土
類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給／排出する
真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度／アル
カリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度
の比を、９．５〜７．５／２．５〜０．５とすることを
特徴とする真空蒸着方法。 【効果】珪素酸化物依存のバリヤー性，寸法安定性等と
アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物依存の
高透明性を両立する蒸着フィルムが得られるようになっ
た。
類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給／排出する
真空蒸着方法において、原料組成を反映した組成の蒸着
膜を得る真空蒸着方法の提供。 【構成】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土
類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給／排出する
真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度／アル
カリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度
の比を、９．５〜７．５／２．５〜０．５とすることを
特徴とする真空蒸着方法。 【効果】珪素酸化物依存のバリヤー性，寸法安定性等と
アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物依存の
高透明性を両立する蒸着フィルムが得られるようになっ
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、食品包装、医薬品包
装、電子機器部品包装、たばこ包装、写真製版、感光性
写真材料などの分野に利用可能な各種機能を有したフレ
キシブルプラスチックフィルムの真空蒸着方法に関す
る。
装、電子機器部品包装、たばこ包装、写真製版、感光性
写真材料などの分野に利用可能な各種機能を有したフレ
キシブルプラスチックフィルムの真空蒸着方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、真空蒸着法によりフレキシブルプ
ラスチックフィルムの表面に金属または金属酸化物をコ
ーティングし、装飾性、ガスバリヤ性、耐薬品性、濡れ
特性、磁気特性、電導性、寸法安定性などの機能性を付
与し、食品包装，医薬品包装，電子機器部品包装，たば
こ包装，写真製版及び感光性写真材料などの分野に利用
されるようになった。また、最近では環境汚染の少ない
透明ハイバリヤー素材として珪素酸化物蒸着フィルムの
研究開発も盛んに行われ、広く普及することも期待され
るなど金属酸化物の蒸着技術の開発に対する要求も日増
しに強くなっている。
ラスチックフィルムの表面に金属または金属酸化物をコ
ーティングし、装飾性、ガスバリヤ性、耐薬品性、濡れ
特性、磁気特性、電導性、寸法安定性などの機能性を付
与し、食品包装，医薬品包装，電子機器部品包装，たば
こ包装，写真製版及び感光性写真材料などの分野に利用
されるようになった。また、最近では環境汚染の少ない
透明ハイバリヤー素材として珪素酸化物蒸着フィルムの
研究開発も盛んに行われ、広く普及することも期待され
るなど金属酸化物の蒸着技術の開発に対する要求も日増
しに強くなっている。
【０００３】特に、２種以上の原料を用いて真空蒸着し
た場合、混合した各原料の特性が蒸着膜に反映され、結
果として得られた蒸着膜は２種以上の特性を有する。例
えば、珪素酸化物類に金属フッ化物を添加した原料を真
空蒸着すると、バリヤー性，寸法安定性の他に高度な透
明性を得ることができる。しかしながら、現実には、珪
素酸化物類と金属フッ化物の混合物を真空蒸着する場
合、それぞれ反応昇華点，昇華点等が異なるために、蒸
着温度条件によっては蒸着膜組成と原料組成は大きく異
なってしまうことがあり、原料組成を反映しない蒸着膜
組成となった場合、結果として期待する物性が得られな
かった。
た場合、混合した各原料の特性が蒸着膜に反映され、結
果として得られた蒸着膜は２種以上の特性を有する。例
えば、珪素酸化物類に金属フッ化物を添加した原料を真
空蒸着すると、バリヤー性，寸法安定性の他に高度な透
明性を得ることができる。しかしながら、現実には、珪
素酸化物類と金属フッ化物の混合物を真空蒸着する場
合、それぞれ反応昇華点，昇華点等が異なるために、蒸
着温度条件によっては蒸着膜組成と原料組成は大きく異
なってしまうことがあり、原料組成を反映しない蒸着膜
組成となった場合、結果として期待する物性が得られな
かった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、珪素
酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ
化物の混合原料を連続的に供給／排出する真空蒸着方法
において、原料組成を反映した組成の蒸着膜を得る真空
蒸着方法を提供することにある。
酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ
化物の混合原料を連続的に供給／排出する真空蒸着方法
において、原料組成を反映した組成の蒸着膜を得る真空
蒸着方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、珪素酸化物類
とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混
合原料を連続的に供給／排出する真空蒸着方法におい
て、珪素酸化物類の蒸着速度／アルカリ金属またはアル
カリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、９．５〜
７．５／２．５〜０．５とすることを特徴とする真空蒸
着方法により達成される。
とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混
合原料を連続的に供給／排出する真空蒸着方法におい
て、珪素酸化物類の蒸着速度／アルカリ金属またはアル
カリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、９．５〜
７．５／２．５〜０．５とすることを特徴とする真空蒸
着方法により達成される。
【０００６】珪素酸化物類としては、珪素と二酸化珪
素，一酸化珪素，ＳｉＯX （Ｘ＝１〜２）の中から選ば
れる一種または二種以上の珪素酸化物類があげられる。
珪素は特に限定させず、純度９７％以上で粉末状で有れ
ばよい。また、珪素酸化物類は、一酸化珪素（ＳｉＯ）
や二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）を含むＳｉＯX （Ｘ＝１〜
２）であり、純度９７％以上で粉末状で有ればよく、二
酸化珪素については非晶性でも結晶性でも構わない。珪
素酸化物類として珪素／二酸化珪素を用いる場合、その
組成比は、基本的には等モルが望ましく、４０モル％〜
６０モル％／６０モル％〜４０モル％の範囲内ならよ
い。この範囲からはずれると反応が起こり難いため、珪
素の溶出や二酸化珪素の溶出がおこる。また、珪素と二
酸化珪素に更に一酸化珪素を混合する場合、一酸化珪素
の混合比には特に制限はない。
素，一酸化珪素，ＳｉＯX （Ｘ＝１〜２）の中から選ば
れる一種または二種以上の珪素酸化物類があげられる。
珪素は特に限定させず、純度９７％以上で粉末状で有れ
ばよい。また、珪素酸化物類は、一酸化珪素（ＳｉＯ）
や二酸化珪素（ＳｉＯ2 ）を含むＳｉＯX （Ｘ＝１〜
２）であり、純度９７％以上で粉末状で有ればよく、二
酸化珪素については非晶性でも結晶性でも構わない。珪
素酸化物類として珪素／二酸化珪素を用いる場合、その
組成比は、基本的には等モルが望ましく、４０モル％〜
６０モル％／６０モル％〜４０モル％の範囲内ならよ
い。この範囲からはずれると反応が起こり難いため、珪
素の溶出や二酸化珪素の溶出がおこる。また、珪素と二
酸化珪素に更に一酸化珪素を混合する場合、一酸化珪素
の混合比には特に制限はない。
【０００７】アルカリ金属のフッ化物としては、フッ化
ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化リチウム、フッ化
セシウム等が挙げられる。アルカリ土類金属のフッ化物
としては、フッ化マグネシウム，フッ化カルシウム，フ
ッ化ストロンチウム，フッ化バリウム等が挙げられる。
特に、フッ化マグネシウム，フッ化カルシウムが優れて
いる。珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類
金属のフッ化物の平均粒径は、０．５〜４０μｍ、さら
には０．８〜２０μｍが好ましい。また、それぞれの平
均粒径は比較的同程度の方が好ましく、各々の平均粒径
差が±１５μｍ以内程度が好ましい。また、珪素酸化物
類／アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の
組成比としては、６４モル％〜９８モル％／２モル％〜
３６モル％が好ましい。
ナトリウム、フッ化カリウム、フッ化リチウム、フッ化
セシウム等が挙げられる。アルカリ土類金属のフッ化物
としては、フッ化マグネシウム，フッ化カルシウム，フ
ッ化ストロンチウム，フッ化バリウム等が挙げられる。
特に、フッ化マグネシウム，フッ化カルシウムが優れて
いる。珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類
金属のフッ化物の平均粒径は、０．５〜４０μｍ、さら
には０．８〜２０μｍが好ましい。また、それぞれの平
均粒径は比較的同程度の方が好ましく、各々の平均粒径
差が±１５μｍ以内程度が好ましい。また、珪素酸化物
類／アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の
組成比としては、６４モル％〜９８モル％／２モル％〜
３６モル％が好ましい。
【０００８】本発明において、原料を連続的に供給／排
出する真空蒸着方法としては、基本的には原料を連続的
に供給／排出する真空蒸着方法なら制限は無いが、特開
平１−２５２７８６号公報及び特開平２−２７７７７４
号公報記載の蒸着方法が望ましい。また、その加熱方式
も制限はなく、抵抗加熱方式，高周波誘導加熱方式、電
子線加熱方式など公知の方式の中から特に限定なく選択
することができる。蒸着速度（単位時間あたりの蒸発
量）を制御する方法としては、温度による制御方法が挙
げられる。ここで温度制御とは蒸発源の温度制御であ
る。蒸着速度（単位時間あたりの蒸発量）を測定する方
法としては、水晶式膜厚モニターを使用する方法や、蒸
着膜の光線透過率と幾何学膜厚の相関から得られる蒸着
膜の光線透過率を用いる方法があげられる。
出する真空蒸着方法としては、基本的には原料を連続的
に供給／排出する真空蒸着方法なら制限は無いが、特開
平１−２５２７８６号公報及び特開平２−２７７７７４
号公報記載の蒸着方法が望ましい。また、その加熱方式
も制限はなく、抵抗加熱方式，高周波誘導加熱方式、電
子線加熱方式など公知の方式の中から特に限定なく選択
することができる。蒸着速度（単位時間あたりの蒸発
量）を制御する方法としては、温度による制御方法が挙
げられる。ここで温度制御とは蒸発源の温度制御であ
る。蒸着速度（単位時間あたりの蒸発量）を測定する方
法としては、水晶式膜厚モニターを使用する方法や、蒸
着膜の光線透過率と幾何学膜厚の相関から得られる蒸着
膜の光線透過率を用いる方法があげられる。
【０００９】本発明においては、珪素酸化物類とアルカ
リ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物のそれぞれの
温度における蒸着速度を測定し、蒸着速度の比が９．５
〜７．５／２．５〜０．５になるよう蒸着温度を決定す
る。この蒸着速度の比になる蒸着温度で真空蒸着するこ
とにより、原料の組成比を蒸着膜の組成比に反映させる
ことができ、珪素酸化物依存のバリヤー性，湿度寸法安
定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化
物依存の高透明性を両立できる。高度なバリヤー性と高
透明性を両立したい時は、珪素酸化物とアルカリ土類金
属のフッ化物の混合原料を使用し、高度でないバリヤー
性と高透明性を両立したい時は、珪素酸化物とアルカリ
金属のフッ化物の混合原料を使用する。
リ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物のそれぞれの
温度における蒸着速度を測定し、蒸着速度の比が９．５
〜７．５／２．５〜０．５になるよう蒸着温度を決定す
る。この蒸着速度の比になる蒸着温度で真空蒸着するこ
とにより、原料の組成比を蒸着膜の組成比に反映させる
ことができ、珪素酸化物依存のバリヤー性，湿度寸法安
定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化
物依存の高透明性を両立できる。高度なバリヤー性と高
透明性を両立したい時は、珪素酸化物とアルカリ土類金
属のフッ化物の混合原料を使用し、高度でないバリヤー
性と高透明性を両立したい時は、珪素酸化物とアルカリ
金属のフッ化物の混合原料を使用する。
【００１０】珪素酸化物類の蒸着速度の比が９．５を越
える（アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物
の蒸着速度の比が０．５未満）と、アルカリ土類金属の
フッ化物依存の透明性が劣り、７．５未満（アルカリ金
属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比が
２．５を越える）になると珪素酸化物依存のバリヤー
性，寸法安定性等に問題を生じる。
える（アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物
の蒸着速度の比が０．５未満）と、アルカリ土類金属の
フッ化物依存の透明性が劣り、７．５未満（アルカリ金
属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比が
２．５を越える）になると珪素酸化物依存のバリヤー
性，寸法安定性等に問題を生じる。
【００１１】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明をさらに詳細
に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下
の実施例に限定されるものではない。なお実施例におけ
る試験方法は以下のとおりである。 水蒸気バリヤー性：ＡＳＴＭ Ｆ １２４９に準拠し、
米国モダンコントロールズ社のＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ
−ＴＷＩＮを用いて水蒸気透過率を測定した。透明性：
分光光度計（日本分光社製 U-best30）を用い、リファ
レンスを空気とし３５０ｎｍでの透過率を測定した。
に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下
の実施例に限定されるものではない。なお実施例におけ
る試験方法は以下のとおりである。 水蒸気バリヤー性：ＡＳＴＭ Ｆ １２４９に準拠し、
米国モダンコントロールズ社のＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ
−ＴＷＩＮを用いて水蒸気透過率を測定した。透明性：
分光光度計（日本分光社製 U-best30）を用い、リファ
レンスを空気とし３５０ｎｍでの透過率を測定した。
【００１２】〔実施例１〕特開平１−２５２７６８号公
報に記載される原料を連続的に供給／排出する機構を有
する真空蒸着装置を用いた。蒸発源の加熱方法は抵抗加
熱方式であり、放射温度計により温度制御した。珪素／
二酸化珪素の等モル混合物（珪素酸化物類）の１×１０
-3ｔｏｒｒ，１４００℃における蒸発速度を水晶式膜厚
モニターにて求めたところ、０．０３７μｍ3 ／ｍｉｎ
・ｍ3 であった。次に、フッ化カルシウムの１×１０-3
ｔｏｒｒ，１４００℃における蒸発速度を水晶式膜厚モ
ニターにて求めたところ、４．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉ
ｎ・ｍ3 であった。１×１０-3ｔｏｒｒ，１４００℃に
おける珪素酸化物類の蒸発速度／フッ化カルシウムの蒸
発速度の比は９．０／１．０であった。珪素／二酸化珪
素／フッ化カルシウムの混合物（組成比は４５モル％／
４５モル％／１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１４
００℃の条件下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルムに真空蒸着した。
報に記載される原料を連続的に供給／排出する機構を有
する真空蒸着装置を用いた。蒸発源の加熱方法は抵抗加
熱方式であり、放射温度計により温度制御した。珪素／
二酸化珪素の等モル混合物（珪素酸化物類）の１×１０
-3ｔｏｒｒ，１４００℃における蒸発速度を水晶式膜厚
モニターにて求めたところ、０．０３７μｍ3 ／ｍｉｎ
・ｍ3 であった。次に、フッ化カルシウムの１×１０-3
ｔｏｒｒ，１４００℃における蒸発速度を水晶式膜厚モ
ニターにて求めたところ、４．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉ
ｎ・ｍ3 であった。１×１０-3ｔｏｒｒ，１４００℃に
おける珪素酸化物類の蒸発速度／フッ化カルシウムの蒸
発速度の比は９．０／１．０であった。珪素／二酸化珪
素／フッ化カルシウムの混合物（組成比は４５モル％／
４５モル％／１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１４
００℃の条件下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタ
レートフィルムに真空蒸着した。
【００１３】〔比較例１〕実施例１で用いた真空蒸着装
置を用い、真空蒸着を行った。珪素／二酸化珪素の等モ
ル混合物（珪素酸化物類）の１×１０-3ｔｏｒｒ，１４
５０℃における蒸発速度を水晶式膜厚モニターにて求め
たところ、０．１２μｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ3であった。次
に、フッ化マグネシウムの１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５
０℃における蒸発速度を水晶式膜厚モニターにて求めた
ところ、３．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ3 であっ
た。１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５０℃における珪素酸化
物類の蒸発速度／フッ化マグネシウムの蒸発速度の比は
９．７５／０．２５であった。珪素／二酸化珪素／フッ
化マグネシウムの混合物（組成比は４５モル％／４５モ
ル％／１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５０℃
の条件下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
フィルムに真空蒸着した。
置を用い、真空蒸着を行った。珪素／二酸化珪素の等モ
ル混合物（珪素酸化物類）の１×１０-3ｔｏｒｒ，１４
５０℃における蒸発速度を水晶式膜厚モニターにて求め
たところ、０．１２μｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ3であった。次
に、フッ化マグネシウムの１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５
０℃における蒸発速度を水晶式膜厚モニターにて求めた
ところ、３．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉｎ・ｍ3 であっ
た。１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５０℃における珪素酸化
物類の蒸発速度／フッ化マグネシウムの蒸発速度の比は
９．７５／０．２５であった。珪素／二酸化珪素／フッ
化マグネシウムの混合物（組成比は４５モル％／４５モ
ル％／１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１４５０℃
の条件下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
フィルムに真空蒸着した。
【００１４】〔比較例２〕実施例１で用いた真空蒸着装
置を用い、真空蒸着を行った。一酸化珪素の１×１０-3
ｔｏｒｒ，１３００℃における蒸発速度を水晶式膜厚モ
ニターにて求めたところ、５．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉ
ｎ・ｍ3 であった。次に、フッ化マグネシウムの１×１
０-3ｔｏｒｒ，１３００℃における蒸発速度を水晶式膜
厚モニターにて求めたところ、５．１×１０-3μｍ3 ／
ｍｉｎ・ｍ3 であった。１×１０-3ｔｏｒｒ，１３００
℃における一酸化珪素の蒸発速度／フッ化マグネシウム
の蒸発速度の比は５．０／５．０であった。一酸化珪素
／フッ化マグネシウムの混合物（組成比は９０モル％／
１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１３００℃の条件
下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムに真空蒸着した。
置を用い、真空蒸着を行った。一酸化珪素の１×１０-3
ｔｏｒｒ，１３００℃における蒸発速度を水晶式膜厚モ
ニターにて求めたところ、５．１×１０-3μｍ3 ／ｍｉ
ｎ・ｍ3 であった。次に、フッ化マグネシウムの１×１
０-3ｔｏｒｒ，１３００℃における蒸発速度を水晶式膜
厚モニターにて求めたところ、５．１×１０-3μｍ3 ／
ｍｉｎ・ｍ3 であった。１×１０-3ｔｏｒｒ，１３００
℃における一酸化珪素の蒸発速度／フッ化マグネシウム
の蒸発速度の比は５．０／５．０であった。一酸化珪素
／フッ化マグネシウムの混合物（組成比は９０モル％／
１０モル％）を１×１０-3ｔｏｒｒ，１３００℃の条件
下、厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムに真空蒸着した。
【００１５】実施例および比較例で得られた蒸着フィル
ムについて、水蒸気バリヤー性と透明性を評価した。結
果を表１に示す。
ムについて、水蒸気バリヤー性と透明性を評価した。結
果を表１に示す。
【表１】
【００１６】
【発明の効果】本発明により、珪素酸化物依存のバリヤ
ー性，寸法安定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類
金属のフッ化物依存の高透明性を両立する蒸着フィルム
が得られるようになった。
ー性，寸法安定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類
金属のフッ化物依存の高透明性を両立する蒸着フィルム
が得られるようになった。
Claims (2)
- 【請求項１】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカ
リ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給／排出
する真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度／
アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着
速度の比を、９．５〜７．５／２．５〜０．５とするこ
とを特徴とする真空蒸着方法。 - 【請求項２】アルカリ土類金属のフッ化物がフッ化マグ
ネシウムおよびまたはフッ化カルシウムであることを特
徴とする請求項１記載の真空蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13551994A JPH083727A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 真空蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13551994A JPH083727A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 真空蒸着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH083727A true JPH083727A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15153669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13551994A Pending JPH083727A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 真空蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH083727A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12067907B2 (en) | 2020-09-23 | 2024-08-20 | Sony Interactive Entertainment Inc. | Position information acquisition device, head-mounted display, and position information acquisition method |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP13551994A patent/JPH083727A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12067907B2 (en) | 2020-09-23 | 2024-08-20 | Sony Interactive Entertainment Inc. | Position information acquisition device, head-mounted display, and position information acquisition method |
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