JPH0843031A - アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法 - Google Patents
アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法Info
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- JPH0843031A JPH0843031A JP19386794A JP19386794A JPH0843031A JP H0843031 A JPH0843031 A JP H0843031A JP 19386794 A JP19386794 A JP 19386794A JP 19386794 A JP19386794 A JP 19386794A JP H0843031 A JPH0843031 A JP H0843031A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アライメントマークの大きさが目的とする大
きさより小さくなっても、２つのアライメントマークの
間の中点を正確に検出する。 【構成】 ２つのアライメントマーク１１、１２の形状
は直角三角形となっている。この場合、図１（Ａ）にお
いて、目的とする大きさが点線で示す大きさであって
も、サイドエッチング量がＲであるとすると、実際の大
きさは実線で示す大きさとなるが、直角三角形の頂点部
の大きさは変化しない。そこで、この頂点部をパターン
マッチング法により検出すると、この頂点部に対応する
認識マーク１７、１８と登録マーク１３、１４とを完全
に一致させることができる。したがって、両アライメン
トマーク１１、１２の頂点部を的確に画像認識すること
ができ、ひいてはその間の中点Ｐを正確に検出すること
ができる。
きさより小さくなっても、２つのアライメントマークの
間の中点を正確に検出する。 【構成】 ２つのアライメントマーク１１、１２の形状
は直角三角形となっている。この場合、図１（Ａ）にお
いて、目的とする大きさが点線で示す大きさであって
も、サイドエッチング量がＲであるとすると、実際の大
きさは実線で示す大きさとなるが、直角三角形の頂点部
の大きさは変化しない。そこで、この頂点部をパターン
マッチング法により検出すると、この頂点部に対応する
認識マーク１７、１８と登録マーク１３、１４とを完全
に一致させることができる。したがって、両アライメン
トマーク１１、１２の頂点部を的確に画像認識すること
ができ、ひいてはその間の中点Ｐを正確に検出すること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はアライメントマークを
備えた部品及びその位置検出方法に関する。
備えた部品及びその位置検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アライメントマークを備えた部品には種
々のものがあるが、ここでは一例として、図３に示す液
晶表示パネルについて説明する。この図３に示す液晶表
示パネル１は、下側基板２の一端部が上側基板３から突
出され、この突出部分の上面中央部を半導体チップ搭載
領域４とされ、その両側の各所定の個所にアライメント
マーク５が設けられた構造となっている。
々のものがあるが、ここでは一例として、図３に示す液
晶表示パネルについて説明する。この図３に示す液晶表
示パネル１は、下側基板２の一端部が上側基板３から突
出され、この突出部分の上面中央部を半導体チップ搭載
領域４とされ、その両側の各所定の個所にアライメント
マーク５が設けられた構造となっている。
【０００３】そして、液晶表示パネル１の半導体チップ
搭載領域４上に、液晶表示パネル１を駆動するためのＬ
ＳＩ等からなる半導体チップ（図示せず）を搭載する場
合には、両者の位置合わせを行った後に、ボンディング
して搭載する方法がある。この場合、半導体チップの位
置が決まっており、また半導体チップに対する液晶表示
パネル１のθ方向の位置が合っているとすると、半導体
チップに対する液晶表示パネル１のＸ方向及びＹ方向の
位置合わせを行うことになる。すなわち、図示していな
いが、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なボンディングステ
ージ上に液晶表示パネル１を載置し、液晶表示パネル１
の２つのアライメントマーク５をカメラで画像認識し、
この認識結果に基づいてボンディングステージと共に液
晶表示パネル１をＸ方向やＹ方向に微動させ、その位置
補正を行うことになる。
搭載領域４上に、液晶表示パネル１を駆動するためのＬ
ＳＩ等からなる半導体チップ（図示せず）を搭載する場
合には、両者の位置合わせを行った後に、ボンディング
して搭載する方法がある。この場合、半導体チップの位
置が決まっており、また半導体チップに対する液晶表示
パネル１のθ方向の位置が合っているとすると、半導体
チップに対する液晶表示パネル１のＸ方向及びＹ方向の
位置合わせを行うことになる。すなわち、図示していな
いが、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能なボンディングステ
ージ上に液晶表示パネル１を載置し、液晶表示パネル１
の２つのアライメントマーク５をカメラで画像認識し、
この認識結果に基づいてボンディングステージと共に液
晶表示パネル１をＸ方向やＹ方向に微動させ、その位置
補正を行うことになる。
【０００４】ここで、具体的な位置補正の一例について
説明する。パターンマッチング法と呼ばれる方式では、
アライメントマーク５の形状が図４（Ａ）に示すように
直径Ｄ1の円である場合には、これに対応するマーク画
像を登録マークとして図示しない画像処理装置のメモリ
に予め登録しておく。すなわち、図４（Ｂ）において実
線で示すように、カメラによる正方形状の画像認識領域
６の中央部に直径Ｄ1の円からなる登録マーク７が形成
されたように登録しておく。そして、カメラからのアラ
イメントマーク５に対応する画像信号（認識マーク）が
画像処理装置に入力されると、例えば図４（Ｂ）におい
て点線で示すように、このときの認識マーク８が画像認
識領域６内のどこかに形成される。この状態で、カメラ
がＸ方向やＹ方向に微動すると、画像認識領域６内にお
ける認識マーク８の位置が変化する。そして、認識マー
ク８が登録マーク７の領域から食み出さず、且つ認識マ
ーク８が登録マーク７の領域内に入り込んで重なり合っ
た量（パターンマッチング率）が最大となる部分（この
場合、両マーク９、８が完全に一致する部分）を算出
し、この算出結果に基づいてボンディングステージをそ
の上に載置された液晶表示パネル１と共にＸ方向やＹ方
向に微動させると、液晶表示パネル１の位置補正が自動
的に行われる。
説明する。パターンマッチング法と呼ばれる方式では、
アライメントマーク５の形状が図４（Ａ）に示すように
直径Ｄ1の円である場合には、これに対応するマーク画
像を登録マークとして図示しない画像処理装置のメモリ
に予め登録しておく。すなわち、図４（Ｂ）において実
線で示すように、カメラによる正方形状の画像認識領域
６の中央部に直径Ｄ1の円からなる登録マーク７が形成
されたように登録しておく。そして、カメラからのアラ
イメントマーク５に対応する画像信号（認識マーク）が
画像処理装置に入力されると、例えば図４（Ｂ）におい
て点線で示すように、このときの認識マーク８が画像認
識領域６内のどこかに形成される。この状態で、カメラ
がＸ方向やＹ方向に微動すると、画像認識領域６内にお
ける認識マーク８の位置が変化する。そして、認識マー
ク８が登録マーク７の領域から食み出さず、且つ認識マ
ーク８が登録マーク７の領域内に入り込んで重なり合っ
た量（パターンマッチング率）が最大となる部分（この
場合、両マーク９、８が完全に一致する部分）を算出
し、この算出結果に基づいてボンディングステージをそ
の上に載置された液晶表示パネル１と共にＸ方向やＹ方
向に微動させると、液晶表示パネル１の位置補正が自動
的に行われる。
【０００５】ところで、アライメントマーク５をパター
ン形成する場合エッチング工程を含んだフォトリソグラ
フィにより行うことが多いが、この場合、エッチングマ
スク（フォトレジスト）周囲からのサイドエッチングに
より、オーバーエッチングされることが多い。このよう
な場合には、図５に示すように、アライメントマーク５
の直径が、目的とする大きさＤ1よりもサイドエッチン
グ量Ｒの２倍だけ小さい大きさＤ2となる。すると、図
６（Ａ）に示すように、認識マーク８の直径もＤ2とな
り、登録マーク７の直径Ｄ1よりもサイドエッチング量
Ｒの２倍だけ小さくなる。この結果、図６（Ａ）に示す
ように、認識マーク８が登録マーク７内の中心部に位置
する状態と、図６（Ｂ）に示すように、認識マーク８が
登録マーク７内において距離Ｒだけ偏心した位置に位置
する状態とが発生しても、いずれの場合もパターンマッ
チング率が最大となってしまい、両者を区別することが
できなくなる。この結果、図６（Ｃ）において一点鎖線
で示すように、認識マーク８の中心Ｏ1が登録マーク７
の中心Ｏ2から半径Ｒの円内のどこに位置しても、その
位置が正しいと判断されることになる。
ン形成する場合エッチング工程を含んだフォトリソグラ
フィにより行うことが多いが、この場合、エッチングマ
スク（フォトレジスト）周囲からのサイドエッチングに
より、オーバーエッチングされることが多い。このよう
な場合には、図５に示すように、アライメントマーク５
の直径が、目的とする大きさＤ1よりもサイドエッチン
グ量Ｒの２倍だけ小さい大きさＤ2となる。すると、図
６（Ａ）に示すように、認識マーク８の直径もＤ2とな
り、登録マーク７の直径Ｄ1よりもサイドエッチング量
Ｒの２倍だけ小さくなる。この結果、図６（Ａ）に示す
ように、認識マーク８が登録マーク７内の中心部に位置
する状態と、図６（Ｂ）に示すように、認識マーク８が
登録マーク７内において距離Ｒだけ偏心した位置に位置
する状態とが発生しても、いずれの場合もパターンマッ
チング率が最大となってしまい、両者を区別することが
できなくなる。この結果、図６（Ｃ）において一点鎖線
で示すように、認識マーク８の中心Ｏ1が登録マーク７
の中心Ｏ2から半径Ｒの円内のどこに位置しても、その
位置が正しいと判断されることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の位
置検出方法では、アライメントマーク５の直径が目的と
する大きさＤ1よりもサイドエッチング量Ｒの２倍だけ
小さい大きさＤ2となった場合には、図６（Ｃ）におい
て一点鎖線で示すように、認識マーク８の中心Ｏ1が登
録マーク７の中心Ｏ2から半径Ｒの円内のどこに位置し
ても、その位置が正しいと判断されることになる。この
結果、図３に示すように、２つのアライメントマーク５
の間の中点Ｐと半導体チップの中心点との位置合わせを
行う場合、図７に示すように、各アライメントマーク５
の中心Ｏ3が半径Ｒの円内のどこに位置してもその位置
が正しいと判断されるので、２つのアライメントマーク
５の間の中点Ｐも半径Ｒの円内のどこかに位置すること
となり、２つのアライメントマーク５の間の中点Ｐと半
導体チップの中心点とにずれが発生しやすいという問題
があった。特に、アライメント精度としてμオーダーと
いうようにかなり高い精度が要求される場合には、２つ
のアライメントマーク５の間の中点Ｐと半導体チップの
中心点とが僅かでもずれると、ボンディング（接続）不
良が発生することになる。なお、登録マークを実際のア
ライメントマーク５の大きさ（直径Ｄ2）に対応する大
きさとすることも考えられるが、オーバーエッチング量
（サイドエッチング量Ｒ）は個々の製品によって異なる
ので、個々に測定して個々に登録しなければならず、大
量生産には不向きである。なおまた、アライメントマー
クの形状としては、円形のほかに、図８（Ａ）〜（Ｃ）
にそれぞれ示すように、リング形状、正方形状、４つの
正方形の組合わせ形状等があるが、いずれの場合も上述
の円形の場合と同様の問題があった。この発明の目的
は、アライメントマークの大きさが目的とする大きさよ
り小さくなっても、２つのアライメントマークの間の中
点を正確に検出することのできるアライメントマークを
備えた部品及びその位置検出方法を提供することにあ
る。
置検出方法では、アライメントマーク５の直径が目的と
する大きさＤ1よりもサイドエッチング量Ｒの２倍だけ
小さい大きさＤ2となった場合には、図６（Ｃ）におい
て一点鎖線で示すように、認識マーク８の中心Ｏ1が登
録マーク７の中心Ｏ2から半径Ｒの円内のどこに位置し
ても、その位置が正しいと判断されることになる。この
結果、図３に示すように、２つのアライメントマーク５
の間の中点Ｐと半導体チップの中心点との位置合わせを
行う場合、図７に示すように、各アライメントマーク５
の中心Ｏ3が半径Ｒの円内のどこに位置してもその位置
が正しいと判断されるので、２つのアライメントマーク
５の間の中点Ｐも半径Ｒの円内のどこかに位置すること
となり、２つのアライメントマーク５の間の中点Ｐと半
導体チップの中心点とにずれが発生しやすいという問題
があった。特に、アライメント精度としてμオーダーと
いうようにかなり高い精度が要求される場合には、２つ
のアライメントマーク５の間の中点Ｐと半導体チップの
中心点とが僅かでもずれると、ボンディング（接続）不
良が発生することになる。なお、登録マークを実際のア
ライメントマーク５の大きさ（直径Ｄ2）に対応する大
きさとすることも考えられるが、オーバーエッチング量
（サイドエッチング量Ｒ）は個々の製品によって異なる
ので、個々に測定して個々に登録しなければならず、大
量生産には不向きである。なおまた、アライメントマー
クの形状としては、円形のほかに、図８（Ａ）〜（Ｃ）
にそれぞれ示すように、リング形状、正方形状、４つの
正方形の組合わせ形状等があるが、いずれの場合も上述
の円形の場合と同様の問題があった。この発明の目的
は、アライメントマークの大きさが目的とする大きさよ
り小さくなっても、２つのアライメントマークの間の中
点を正確に検出することのできるアライメントマークを
備えた部品及びその位置検出方法を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
るアライメントマークを備えた部品は、同一直線上に設
けられた２つのアライメントマークを、角形の頂点部に
対応する形状の凸部または凹部を前記直線上に線対称的
に有する形状としたものである。請求項４記載の発明に
係る電子部品の位置検出方法は、請求項１記載の部品の
２つのアライメントマークの凸部または凹部を画像認識
して、前記２つのアライメントマークの間の中点を検出
し、これにより前記部品の位置を検出するようにしたも
のである。
るアライメントマークを備えた部品は、同一直線上に設
けられた２つのアライメントマークを、角形の頂点部に
対応する形状の凸部または凹部を前記直線上に線対称的
に有する形状としたものである。請求項４記載の発明に
係る電子部品の位置検出方法は、請求項１記載の部品の
２つのアライメントマークの凸部または凹部を画像認識
して、前記２つのアライメントマークの間の中点を検出
し、これにより前記部品の位置を検出するようにしたも
のである。
【０００８】
【作用】この発明によれば、アライメントマーク全体の
大きさが目的とする大きさより小さくなっても、角形の
頂点部に対応する形状の凸部または凹部の大きさ（つま
り角形の頂角）は変化しないので、アライメントマーク
の凸部または凹部に対応する認識マークの大きさも変化
せず、したがって２つのアライメントマークの凸部また
は凹部を的確に画像認識することができ、ひいては２つ
のアライメントマークの間の中点を正確に検出すること
ができる。
大きさが目的とする大きさより小さくなっても、角形の
頂点部に対応する形状の凸部または凹部の大きさ（つま
り角形の頂角）は変化しないので、アライメントマーク
の凸部または凹部に対応する認識マークの大きさも変化
せず、したがって２つのアライメントマークの凸部また
は凹部を的確に画像認識することができ、ひいては２つ
のアライメントマークの間の中点を正確に検出すること
ができる。
【０００９】
【実施例】図１（Ａ）はこの発明の一実施例におけるア
ライメントマークを示したものである。この図において
実線で示す２つのアライメントマーク１１、１２は、形
状が直角三角形であって、その各頂点を内側にして同一
直線上に線対称的に且つ個々には該直線を挾んで線対称
的に設けられている。ところで、アライメントマーク１
１、１２をエッチングによりパターン形成する場合、図
１（Ａ）において、アライメントマーク１１、１２の目
的とする大きさが点線で示す大きさであって、サイドエ
ッチング量がＲであるとすると、実際の大きさは実線で
示す大きさとなる。この場合、点線で示す直角三角形と
実線で示す直角三角形とは相似形となるので、各直角三
角形の頂点部（凸部）の大きさ（つまり直角三角形の頂
角）は変化しない。また、２つのアライメントマーク１
１、１２は均等にエッチングされ、２つのアライメント
マーク１１、１２の頂点間の距離が左右両側に均等に長
くなるだけであるので、２つのアライメントマーク１
１、１２の間の中点Ｐは本来の間の中点と一致する。
ライメントマークを示したものである。この図において
実線で示す２つのアライメントマーク１１、１２は、形
状が直角三角形であって、その各頂点を内側にして同一
直線上に線対称的に且つ個々には該直線を挾んで線対称
的に設けられている。ところで、アライメントマーク１
１、１２をエッチングによりパターン形成する場合、図
１（Ａ）において、アライメントマーク１１、１２の目
的とする大きさが点線で示す大きさであって、サイドエ
ッチング量がＲであるとすると、実際の大きさは実線で
示す大きさとなる。この場合、点線で示す直角三角形と
実線で示す直角三角形とは相似形となるので、各直角三
角形の頂点部（凸部）の大きさ（つまり直角三角形の頂
角）は変化しない。また、２つのアライメントマーク１
１、１２は均等にエッチングされ、２つのアライメント
マーク１１、１２の頂点間の距離が左右両側に均等に長
くなるだけであるので、２つのアライメントマーク１
１、１２の間の中点Ｐは本来の間の中点と一致する。
【００１０】一方、図１（Ｂ）に示すように、図示しな
い画像処理装置のメモリには、図１（Ａ）において点線
で示す目的とする大きさのアライメントマーク１１ａ、
１２ａの頂点部に対応する形状の登録マーク１３、１４
がカメラ（図示せず）による正方形状の画像認識領域１
５、１６内の左側及び右側にそれぞれ形成されたように
登録されている。すなわち、登録マーク１３、１４は画
像認識領域１５、１６の左辺及び右辺を底辺とする直角
三角形状となっている。
い画像処理装置のメモリには、図１（Ａ）において点線
で示す目的とする大きさのアライメントマーク１１ａ、
１２ａの頂点部に対応する形状の登録マーク１３、１４
がカメラ（図示せず）による正方形状の画像認識領域１
５、１６内の左側及び右側にそれぞれ形成されたように
登録されている。すなわち、登録マーク１３、１４は画
像認識領域１５、１６の左辺及び右辺を底辺とする直角
三角形状となっている。
【００１１】そして、図１（Ｃ）に示すように、カメラ
からのアライメントマーク１１、１２の頂点部に対応す
る画像信号（認識マーク）が画像処理装置に入力され、
認識マーク１７、１８が画像認識領域１７、１８内の左
側及び右側にそれぞれ形成されて登録マーク１３、１４
と完全に一致したとする。すなわち、この場合、アライ
メントマーク１１、１２の大きさは目的とする大きさよ
り小さくなっているが、アライメントマーク１１、１２
の頂点部の大きさは変化していないので、アライメント
マーク１１、１２の頂点部に対応する認識マーク１７、
１８の大きさも変化せず、したがって認識マーク１７、
１８を登録マーク１３、１４と完全に一致させることが
できる。そして、この状態では、パターンマッチング率
が最大となり、したがって２つのアライメントマーク１
１、１２の頂点部を的確に画像認識することができる。
この結果、２つのアライメントマーク１１、１２の位置
が正確に検出され、この検出結果に基づいて２つのアラ
イメントマーク１１、１２の間の中点Ｐを正確に検出す
ることができる。
からのアライメントマーク１１、１２の頂点部に対応す
る画像信号（認識マーク）が画像処理装置に入力され、
認識マーク１７、１８が画像認識領域１７、１８内の左
側及び右側にそれぞれ形成されて登録マーク１３、１４
と完全に一致したとする。すなわち、この場合、アライ
メントマーク１１、１２の大きさは目的とする大きさよ
り小さくなっているが、アライメントマーク１１、１２
の頂点部の大きさは変化していないので、アライメント
マーク１１、１２の頂点部に対応する認識マーク１７、
１８の大きさも変化せず、したがって認識マーク１７、
１８を登録マーク１３、１４と完全に一致させることが
できる。そして、この状態では、パターンマッチング率
が最大となり、したがって２つのアライメントマーク１
１、１２の頂点部を的確に画像認識することができる。
この結果、２つのアライメントマーク１１、１２の位置
が正確に検出され、この検出結果に基づいて２つのアラ
イメントマーク１１、１２の間の中点Ｐを正確に検出す
ることができる。
【００１２】次に、図２（Ａ）はこの発明の他の実施例
におけるアライメントマークを示したものである。な
お、この図では、エッチング後の実際のアライメントマ
ーク２１、２２を示している。この場合の２つのアライ
メントマーク２１、２２は、正方形の左側及び右側から
その左辺及び右辺を底辺とする直角三角形状部分をそれ
ぞれ削除した形状であって、同一直線上に線対称的に且
つ個々には該直線を挾んで線対称的に設けられている。
一方、図２（Ｂ）に示すように、図示しない画像処理装
置のメモリには、アライメントマーク２１、２２の削除
された直角三角形の頂点部に対応する形状の凹部に応じ
た形状の登録マーク２３、２４がカメラ（図示せず）に
よる正方形の画像認識領域２５、２６内の右側及び左側
にそれぞれ形成されたように登録されている。すなわ
ち、登録マーク２３、２４は正方形の画像認識領域２
５、２６の左側及び右側をその左辺及び右辺を底辺とす
る直角三角形状にそれぞれ削除した形状となっている。
したがって、この場合も上記実施例の場合と同様に、２
つのアライメントマーク２１、２２の凹部の部分の頂点
部を的確に画像認識することができる。この結果、２つ
のアライメントマーク２１、２２の位置が正確に検出さ
れ、この検出結果に基づいて２つのアライメントマーク
２１、２２の間の中点Ｐを正確に検出することができ
る。
におけるアライメントマークを示したものである。な
お、この図では、エッチング後の実際のアライメントマ
ーク２１、２２を示している。この場合の２つのアライ
メントマーク２１、２２は、正方形の左側及び右側から
その左辺及び右辺を底辺とする直角三角形状部分をそれ
ぞれ削除した形状であって、同一直線上に線対称的に且
つ個々には該直線を挾んで線対称的に設けられている。
一方、図２（Ｂ）に示すように、図示しない画像処理装
置のメモリには、アライメントマーク２１、２２の削除
された直角三角形の頂点部に対応する形状の凹部に応じ
た形状の登録マーク２３、２４がカメラ（図示せず）に
よる正方形の画像認識領域２５、２６内の右側及び左側
にそれぞれ形成されたように登録されている。すなわ
ち、登録マーク２３、２４は正方形の画像認識領域２
５、２６の左側及び右側をその左辺及び右辺を底辺とす
る直角三角形状にそれぞれ削除した形状となっている。
したがって、この場合も上記実施例の場合と同様に、２
つのアライメントマーク２１、２２の凹部の部分の頂点
部を的確に画像認識することができる。この結果、２つ
のアライメントマーク２１、２２の位置が正確に検出さ
れ、この検出結果に基づいて２つのアライメントマーク
２１、２２の間の中点Ｐを正確に検出することができ
る。
【００１３】なお、図１（Ａ）に示す２つのアライメン
トマーク１１、１２の配置位置及び図２（Ａ）に示す２
つのアライメントマーク２１、２２の配置位置をそれぞ
れ逆とし、且つこれらに対する登録マークの関係を逆と
しても、上述の場合と同様の効果を得ることができる。
また、図１に示す場合のアライメントマークの１１、１
２の形状は、直角三角形に限らず、二等辺三角形であっ
てもよく、また図２に示す場合のアライメントマーク２
１、２２の形状も二等辺三角形の頂点部に対応する形状
の凹部を有する形状であってもよい。また、アライメン
トマークの二等辺三角形の頂点部に対応する形状の凸部
または凹部以外の部分はどんな形状であってもよい。さ
らに、個々のアライメントマークは直線を挾んで線対称
でなくてもよい。要は、２つのアライメントマークは、
角形の頂点部に対応する形状の凸部または凹部を同一直
線上に線対称的に有する形状であればよい。
トマーク１１、１２の配置位置及び図２（Ａ）に示す２
つのアライメントマーク２１、２２の配置位置をそれぞ
れ逆とし、且つこれらに対する登録マークの関係を逆と
しても、上述の場合と同様の効果を得ることができる。
また、図１に示す場合のアライメントマークの１１、１
２の形状は、直角三角形に限らず、二等辺三角形であっ
てもよく、また図２に示す場合のアライメントマーク２
１、２２の形状も二等辺三角形の頂点部に対応する形状
の凹部を有する形状であってもよい。また、アライメン
トマークの二等辺三角形の頂点部に対応する形状の凸部
または凹部以外の部分はどんな形状であってもよい。さ
らに、個々のアライメントマークは直線を挾んで線対称
でなくてもよい。要は、２つのアライメントマークは、
角形の頂点部に対応する形状の凸部または凹部を同一直
線上に線対称的に有する形状であればよい。
【００１４】ところで、この発明では、アライメントマ
ークのオーバーエッチング量を自動的に検出することも
可能である。例えば、図１に示す実施例の場合、図１
（Ａ）において点線で示す目的とする２つのアライメン
トマークの頂点間の距離は予め定まっている。そして、
既に説明したように、図１（Ｃ）に示す状態において、
実際の２つのアライメントマーク１１、１２の位置を正
確に検出することができるので、この検出結果に基づい
て実際の２つのアライメントマーク１１、１２の頂点間
の距離を算出し、この算出結果から目的とする２つのア
ライメントマークの頂点間の距離を差し引き、その結果
を２√２で割ると、オーバーエッチング量Ｒを求めるこ
とができる。この結果、例えば図３に示す液晶表示パネ
ル１において、下側基板２の上面全体にＩＴＯ膜を成膜
し、このＩＴＯ膜をエッチングして図示しない透明電極
及びアライメントマーク５を形成すると、アライメント
マーク５のオーバーエッチング量から透明電極のオーバ
ーエッチング量を知ることができ、ひいてはその場合の
オーバーエッチング量の良否を判断することができる。
ークのオーバーエッチング量を自動的に検出することも
可能である。例えば、図１に示す実施例の場合、図１
（Ａ）において点線で示す目的とする２つのアライメン
トマークの頂点間の距離は予め定まっている。そして、
既に説明したように、図１（Ｃ）に示す状態において、
実際の２つのアライメントマーク１１、１２の位置を正
確に検出することができるので、この検出結果に基づい
て実際の２つのアライメントマーク１１、１２の頂点間
の距離を算出し、この算出結果から目的とする２つのア
ライメントマークの頂点間の距離を差し引き、その結果
を２√２で割ると、オーバーエッチング量Ｒを求めるこ
とができる。この結果、例えば図３に示す液晶表示パネ
ル１において、下側基板２の上面全体にＩＴＯ膜を成膜
し、このＩＴＯ膜をエッチングして図示しない透明電極
及びアライメントマーク５を形成すると、アライメント
マーク５のオーバーエッチング量から透明電極のオーバ
ーエッチング量を知ることができ、ひいてはその場合の
オーバーエッチング量の良否を判断することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、アライメントマーク全体の大きさが目的とする大き
さより小さくなっても、角形の頂点部に対応する形状の
凸部または凹部の大きさ（つまり角形の頂角）は変化し
ないので、アライメントマークの凸部または凹部に対応
する認識マークの大きさも変化せず、したがって２つの
アライメントマークの凸部または凹部を的確に画像認識
することができ、ひいては２つのアライメントマークの
間の中点を正確に検出することができる。
ば、アライメントマーク全体の大きさが目的とする大き
さより小さくなっても、角形の頂点部に対応する形状の
凸部または凹部の大きさ（つまり角形の頂角）は変化し
ないので、アライメントマークの凸部または凹部に対応
する認識マークの大きさも変化せず、したがって２つの
アライメントマークの凸部または凹部を的確に画像認識
することができ、ひいては２つのアライメントマークの
間の中点を正確に検出することができる。
【図１】（Ａ）はこの発明の一実施例におけるアライメ
ントマークを示す図、（Ｂ）は登録マークを説明するた
めに示す図、（Ｃ）は認識マークと登録マークとの関係
を説明するために示す図。
ントマークを示す図、（Ｂ）は登録マークを説明するた
めに示す図、（Ｃ）は認識マークと登録マークとの関係
を説明するために示す図。
【図２】（Ａ）はこの発明の他の実施例におけるアライ
メントマークを示す図、（Ｂ）は登録マークを説明する
ために示す図。
メントマークを示す図、（Ｂ）は登録マークを説明する
ために示す図。
【図３】従来のアライメントマークを備えた液晶表示パ
ネルの一例の斜視図。
ネルの一例の斜視図。
【図４】（Ａ）は従来のアライメントマークの一例を示
す図、（Ｂ）は登録マークを説明するために示す図。
す図、（Ｂ）は登録マークを説明するために示す図。
【図５】従来の実際のアライメントマークを説明するた
めに示す図。
めに示す図。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ同従来の実際のアラ
イメントマークと登録マークとの関係を説明するために
示す図。
イメントマークと登録マークとの関係を説明するために
示す図。
【図７】同従来の実際のアライメントマークの問題点を
説明するために示す図。
説明するために示す図。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ従来のアライメント
マークの他の各例を示す図。
マークの他の各例を示す図。
１１、１２ アライメントマーク １３、１４ 登録マーク １５、１６ 画像認識領域 １７、１８ 認識マーク
Claims (5)
- 【請求項１】 同一直線上に２つのアライメントマーク
を備えた部品において、 前記２つのアライメントマークは、角形の頂点部に対応
する形状の凸部または凹部を前記直線上に線対称的に有
する形状であることを特徴とするアライメントマークを
備えた部品。 - 【請求項２】 前記角形の頂点部は二等辺三角形の頂点
部であって前記直線を挾んで線対称であることを特徴と
する請求項１記載のアライメントマークを備えた部品。 - 【請求項３】 前記二等辺三角形は直角三角形であるこ
とを特徴とする請求項２記載のアライメントマークを備
えた部品。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の部品の
２つのアライメントマークの凸部または凹部を画像認識
して、前記２つのアライメントマークの間の中点を検出
し、これにより前記部品の位置を検出することを特徴と
する位置検出方法。 - 【請求項５】 前記画像認識はパターンマッチング法に
より行うことを特徴とする請求項３記載の位置検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19386794A JPH0843031A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19386794A JPH0843031A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843031A true JPH0843031A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16315079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19386794A Pending JPH0843031A (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | アライメントマークを備えた部品及びその位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843031A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069797A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Saxa Inc | 変位量測定装置及び変位量測定方法 |
| CN110440664A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-11-12 | 格力电器（武汉）有限公司 | 标识位置检测工装及检测方法 |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP19386794A patent/JPH0843031A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069797A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Saxa Inc | 変位量測定装置及び変位量測定方法 |
| CN110440664A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-11-12 | 格力电器（武汉）有限公司 | 标识位置检测工装及检测方法 |
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