JPH0843432A - 加速度センサ及びその製造方法 - Google Patents
加速度センサ及びその製造方法Info
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- JPH0843432A JPH0843432A JP6193678A JP19367894A JPH0843432A JP H0843432 A JPH0843432 A JP H0843432A JP 6193678 A JP6193678 A JP 6193678A JP 19367894 A JP19367894 A JP 19367894A JP H0843432 A JPH0843432 A JP H0843432A
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加速度センサに関し、特に、Ｘ、Ｚ両軸方向
の振動を単一のセンサで検出できる小型の加速度センサ
及びその製造方法の改良に関する。 【構成】 板状圧電セラミック１４の端面に電極１５、
１６を設けて該端面間で分極した前記板状圧電セラミッ
ク１４から切り出された圧電セラミック１において、前
記分極方向に交叉して切断形成された圧電セラミック体
の表裏に設けた電極５、６と該電極と電気的に接続され
た端面電極端子３、４をもつ圧電セラミックと、該圧電
セラミックに接着された付加質量２とからなる加速度セ
ンサ及びその製造方法。
の振動を単一のセンサで検出できる小型の加速度センサ
及びその製造方法の改良に関する。 【構成】 板状圧電セラミック１４の端面に電極１５、
１６を設けて該端面間で分極した前記板状圧電セラミッ
ク１４から切り出された圧電セラミック１において、前
記分極方向に交叉して切断形成された圧電セラミック体
の表裏に設けた電極５、６と該電極と電気的に接続され
た端面電極端子３、４をもつ圧電セラミックと、該圧電
セラミックに接着された付加質量２とからなる加速度セ
ンサ及びその製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は加速度センサに関し、特
に、プリント基板に直接ハンダ付けできる小型の加速度
センサ及びその製造方法の改良に関する。
に、プリント基板に直接ハンダ付けできる小型の加速度
センサ及びその製造方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】パーソナルコンピュータをはじめ多くの
コンピュータで光磁気ディスク装置、ハードディスク装
置と呼ばれるディスク装置等が使用され、フロッピーデ
ィスクに比べ記録密度が高く、記憶容量が大きい特徴を
持つ反面、衝撃に弱いといった欠点がある。このため、
読み書きするためには衝撃のあった際には読み出し、書
き込みの中止動作が必須となる。この衝撃を検出し特に
書き込みの中止指令を出させる衝撃センサとして装置自
体に装着させた加速度センサが利用されている。
コンピュータで光磁気ディスク装置、ハードディスク装
置と呼ばれるディスク装置等が使用され、フロッピーデ
ィスクに比べ記録密度が高く、記憶容量が大きい特徴を
持つ反面、衝撃に弱いといった欠点がある。このため、
読み書きするためには衝撃のあった際には読み出し、書
き込みの中止動作が必須となる。この衝撃を検出し特に
書き込みの中止指令を出させる衝撃センサとして装置自
体に装着させた加速度センサが利用されている。
【０００３】例えば特開昭６４−４１８６５がある。そ
れによれば図７にあるように、ハウジング４０の内側に
圧電素子１及び重錘２（付加質量）が装着されている。
ハウジング４０はプリント基板４１に載せられ圧電素子
１からの出力は一方の電極からリード線４５を経て同基
板回路４１を通して、他方電極はハウジングにアースさ
れそれぞれ取り出される。
れによれば図７にあるように、ハウジング４０の内側に
圧電素子１及び重錘２（付加質量）が装着されている。
ハウジング４０はプリント基板４１に載せられ圧電素子
１からの出力は一方の電極からリード線４５を経て同基
板回路４１を通して、他方電極はハウジングにアースさ
れそれぞれ取り出される。
【０００４】また、別の試みとしては、例えば実開６３
−２２８がある。それによれば、同公報の第１図にある
ように、板状バイモルフ圧電素子の先端に錘（付加質
量）を装着し、他方の素子の基部には弾性材を介して被
振動体に固定する方式をとった振動ピックアップがあ
る。この圧電素子は被振動体の取付面に対して３０〜６
０度の範囲で傾斜させて取り付けられているものであ
る。
−２２８がある。それによれば、同公報の第１図にある
ように、板状バイモルフ圧電素子の先端に錘（付加質
量）を装着し、他方の素子の基部には弾性材を介して被
振動体に固定する方式をとった振動ピックアップがあ
る。この圧電素子は被振動体の取付面に対して３０〜６
０度の範囲で傾斜させて取り付けられているものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の加速度セン
サにあっては、本来被装着物としてのハードディスク等
の振動体に使用されるには大き過ぎる欠点があった。こ
の結果、振動体自体の衝撃の検出とはならず、加速度セ
ンサ込みの衝撃センサとして利用される現状にあった。
このため、小型化等の目的に合致し、部品点数が少な
い、配線作業の省力化、さらには製造コスト等の大幅な
低減等といった解決すべき課題が多々あった。
サにあっては、本来被装着物としてのハードディスク等
の振動体に使用されるには大き過ぎる欠点があった。こ
の結果、振動体自体の衝撃の検出とはならず、加速度セ
ンサ込みの衝撃センサとして利用される現状にあった。
このため、小型化等の目的に合致し、部品点数が少な
い、配線作業の省力化、さらには製造コスト等の大幅な
低減等といった解決すべき課題が多々あった。
【０００６】前者の公知例にあっては、ハウジング、圧
電素子及び付加質量が一体となって組み立てられている
ため全体として大型となり、被振動体自体に対する重量
比が高くなる等加速度検出には不向きであった。また、
後者の公知例でも同様な理由で実際の使用はできないと
いった事情があった。さらに、前者ではＺ軸方向のみで
単一の加速度センサとしてはＸ軸まで含めた検出ができ
なかった。後者では板状バイモルフとその端部に付加質
量を載せる形式のため共振周波数を高くとれず限られた
用途しか使用できないものであった。
電素子及び付加質量が一体となって組み立てられている
ため全体として大型となり、被振動体自体に対する重量
比が高くなる等加速度検出には不向きであった。また、
後者の公知例でも同様な理由で実際の使用はできないと
いった事情があった。さらに、前者ではＺ軸方向のみで
単一の加速度センサとしてはＸ軸まで含めた検出ができ
なかった。後者では板状バイモルフとその端部に付加質
量を載せる形式のため共振周波数を高くとれず限られた
用途しか使用できないものであった。
【０００７】本発明は、上記従来の課題に鑑みなされた
もので、従来の手作り的な製法観点とは異なる、大量生
産可能な小型化された直接プリント基板にマウントされ
る加速度センサからなり、Ｘ軸、Ｚ軸双方の振動、衝撃
を単一の素子により検出可能としたものでハードディス
ク等の製品の耐衝撃性に対する信頼性を担保させる新規
な加速度センサの提供に関する。
もので、従来の手作り的な製法観点とは異なる、大量生
産可能な小型化された直接プリント基板にマウントされ
る加速度センサからなり、Ｘ軸、Ｚ軸双方の振動、衝撃
を単一の素子により検出可能としたものでハードディス
ク等の製品の耐衝撃性に対する信頼性を担保させる新規
な加速度センサの提供に関する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の加速度センサ
は、板状圧電セラミックの端面に電極を設けて該端面間
で分極した前記板状圧電セラミックから切り出された圧
電セラミックにおいて、前記分極方向に交叉して切断形
成された圧電セラミック体の表裏に設けた電極と該電極
と電気的に接続された端面電極端子をもつ圧電セラミッ
クと、該圧電セラミックに接着された付加質量とからな
る。
は、板状圧電セラミックの端面に電極を設けて該端面間
で分極した前記板状圧電セラミックから切り出された圧
電セラミックにおいて、前記分極方向に交叉して切断形
成された圧電セラミック体の表裏に設けた電極と該電極
と電気的に接続された端面電極端子をもつ圧電セラミッ
クと、該圧電セラミックに接着された付加質量とからな
る。
【０００９】さらに、前記の分極方向に交叉させ切断形
成たときの角度が、少なくとも１５〜７５度の範囲で該
分極方向に交叉させ切断形成させた圧電セラミックから
なる場合に効果的に、さらに、３０〜６０度の範囲でよ
り効果的に提供される。また、その製造方法として、板
状圧電セラミックに端面電極を設けて該端面間で分極
し、該分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成さ
せるとともにその表裏に電極を設け、該電極と電気的に
接続させた端面電極端子を形成させ、前記圧電セラミッ
クに付加質量を接着させることにより提供される。
成たときの角度が、少なくとも１５〜７５度の範囲で該
分極方向に交叉させ切断形成させた圧電セラミックから
なる場合に効果的に、さらに、３０〜６０度の範囲でよ
り効果的に提供される。また、その製造方法として、板
状圧電セラミックに端面電極を設けて該端面間で分極
し、該分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成さ
せるとともにその表裏に電極を設け、該電極と電気的に
接続させた端面電極端子を形成させ、前記圧電セラミッ
クに付加質量を接着させることにより提供される。
【００１０】さらに、前記の分極方向に交叉させ切断形
成たときの角度を、少なくとも１５〜７５度の範囲で該
分極方向に交叉させ切断形成させることにより効果的
に、さらに、３０〜６０度の範囲でより効果的に提供さ
れる。
成たときの角度を、少なくとも１５〜７５度の範囲で該
分極方向に交叉させ切断形成させることにより効果的
に、さらに、３０〜６０度の範囲でより効果的に提供さ
れる。
【００１１】
【作用】圧電素子及び付加質量の振動から素子の分極方
向に依存した圧電出力が検出され、これをプリント基板
上にある制御回路等で加速度出力に変え必要な制御操作
を行う。素子の分極方向については、板状圧電セラミッ
クに端面電極を設けて該端面間で分極し、さらに、その
分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成させたた
め、図１の矢印７のようにいわば斜め方向に分極され
る。したがって、単一の素子でＸ、Ｚ軸双方の振動の検
出ができる。加速度センサが小型化されることにより被
装着装置としてのハードディスク等は装置固有に近い加
速度を検出でき、センサ自体の重量依存性の極めて小さ
い加速度センサとして動作する。
向に依存した圧電出力が検出され、これをプリント基板
上にある制御回路等で加速度出力に変え必要な制御操作
を行う。素子の分極方向については、板状圧電セラミッ
クに端面電極を設けて該端面間で分極し、さらに、その
分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成させたた
め、図１の矢印７のようにいわば斜め方向に分極され
る。したがって、単一の素子でＸ、Ｚ軸双方の振動の検
出ができる。加速度センサが小型化されることにより被
装着装置としてのハードディスク等は装置固有に近い加
速度を検出でき、センサ自体の重量依存性の極めて小さ
い加速度センサとして動作する。
【００１２】
【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１は本発明により得られた加速度センサの一実施例を
示す斜視図である。図１で圧電セラミック１の上面に付
加質量２が接着され、下面はプリント基板（図示せず）
に載置し、側面の電極３、４によりハンダ付けし加速度
センサとして使用される。圧電セラミック１は図の右下
４５度方向に分極処理されている。上下の電極５、６は
一定のパターンで銀電極塗料を刷毛塗りし焼き付けられ
ている。圧電セラミック１の両サイドに施された電極
３、４も同様に銀電極が焼き付けられている。
図１は本発明により得られた加速度センサの一実施例を
示す斜視図である。図１で圧電セラミック１の上面に付
加質量２が接着され、下面はプリント基板（図示せず）
に載置し、側面の電極３、４によりハンダ付けし加速度
センサとして使用される。圧電セラミック１は図の右下
４５度方向に分極処理されている。上下の電極５、６は
一定のパターンで銀電極塗料を刷毛塗りし焼き付けられ
ている。圧電セラミック１の両サイドに施された電極
３、４も同様に銀電極が焼き付けられている。
【００１３】電極４、６は圧電セラミック１の下、側面
間で電気的に接続され、同様に、電極３、５は圧電セラ
ミック１の下、側、上面間で電気的に接続されている。
８はスペースでマスキング処理により電極４、６間の絶
縁性を確保している。付加質量２は金属板やアルミナ等
の絶縁物が使用できる。金属の場合には圧電セラミック
１と付加質量２の間に絶縁フィルムを介することにより
電極４、５間の絶縁性確保が可能である。この加速度セ
ンサはハードディスク等の振動体の回路基板の一部、も
しくは、振動体に装着しインターフェース等を介してセ
ンサとして動作し、被振動体への動作指令等を出力す
る。
間で電気的に接続され、同様に、電極３、５は圧電セラ
ミック１の下、側、上面間で電気的に接続されている。
８はスペースでマスキング処理により電極４、６間の絶
縁性を確保している。付加質量２は金属板やアルミナ等
の絶縁物が使用できる。金属の場合には圧電セラミック
１と付加質量２の間に絶縁フィルムを介することにより
電極４、５間の絶縁性確保が可能である。この加速度セ
ンサはハードディスク等の振動体の回路基板の一部、も
しくは、振動体に装着しインターフェース等を介してセ
ンサとして動作し、被振動体への動作指令等を出力す
る。
【００１４】図２は圧電セラミック１を多数切り出す前
の板状の圧電セラミック１４の斜視図である。板状圧電
セラミック１４には両端面に銀電極１５、１６が焼き付
けられ、直流電圧１kv/mm で分極処理を行った。これか
ら多数の圧電セラミック１が図の中央部分に示すような
直方体に切り出される。なお、直方体で説明するが他に
台形断面、菱形断面、板状等での使用も可能であり、用
途により切り出す形状を任意に設定できよう。
の板状の圧電セラミック１４の斜視図である。板状圧電
セラミック１４には両端面に銀電極１５、１６が焼き付
けられ、直流電圧１kv/mm で分極処理を行った。これか
ら多数の圧電セラミック１が図の中央部分に示すような
直方体に切り出される。なお、直方体で説明するが他に
台形断面、菱形断面、板状等での使用も可能であり、用
途により切り出す形状を任意に設定できよう。
【００１５】切り出された圧電セラミック１の水平面に
対する分極の角度は、板状圧電セラミック１４からの切
り出し角度９、１０に依存し任意に設定でき、例えば１
５〜７５度の範囲で実際の使用で効果が認められた。さ
らに、３０〜６０度の範囲ではＸ、Ｚ軸双方の出力バラ
ンス面や計算し易さといったメリットがみられた。
対する分極の角度は、板状圧電セラミック１４からの切
り出し角度９、１０に依存し任意に設定でき、例えば１
５〜７５度の範囲で実際の使用で効果が認められた。さ
らに、３０〜６０度の範囲ではＸ、Ｚ軸双方の出力バラ
ンス面や計算し易さといったメリットがみられた。
【００１６】図２の場合は説明の便宜から４５度に設定
したがこれに限定されるものではない。使用した板状圧
電セラミック材料としてはチタン酸ジルコン酸鉛が好適
で、切り出した圧電セラミック１は縦横約６．８mm×
７．５mm角で厚さ約０．６mmとした。計測用途、衝撃程
度により異なるが、近時回路技術の進歩により極めて薄
型の圧電セラミック１に切り出すことが要望され、それ
らにも対応可能な０．２〜０．５mmといった厚みも可能
であった。また、切り出す圧電セラミック１の大きさも
同様に小型化された圧電セラミック１に切り出すことが
可能で、例えば３〜５mm角の大きさにも対応可能であっ
た。
したがこれに限定されるものではない。使用した板状圧
電セラミック材料としてはチタン酸ジルコン酸鉛が好適
で、切り出した圧電セラミック１は縦横約６．８mm×
７．５mm角で厚さ約０．６mmとした。計測用途、衝撃程
度により異なるが、近時回路技術の進歩により極めて薄
型の圧電セラミック１に切り出すことが要望され、それ
らにも対応可能な０．２〜０．５mmといった厚みも可能
であった。また、切り出す圧電セラミック１の大きさも
同様に小型化された圧電セラミック１に切り出すことが
可能で、例えば３〜５mm角の大きさにも対応可能であっ
た。
【００１７】切り出された圧電セラミック１はその外表
面１２には図１の銀電極６、外表面１３は銀電極３、外
表面１１は同様に１１が対応し、分極方向を示す矢印１
７が図１の７に対応している。切断面を示す１８〜２１
は圧電セラミックの分極方向を決定し、各々板状圧電セ
ラミック１４の水平面からの角度９、１０は４５度に選
定した。
面１２には図１の銀電極６、外表面１３は銀電極３、外
表面１１は同様に１１が対応し、分極方向を示す矢印１
７が図１の７に対応している。切断面を示す１８〜２１
は圧電セラミックの分極方向を決定し、各々板状圧電セ
ラミック１４の水平面からの角度９、１０は４５度に選
定した。
【００１８】図３は得られた圧電セラミック１について
の振動出力と分極方向との関係を説明した図である。こ
こで圧電セラミックの水平面と分極方向Ｐとのなす角を
Θとして、Ｘ、Ｚ軸方向の合成出力Ｑは加わった任意の
方向の力Ｆ、水平方向とのなす角をαとした場合には、
の振動出力と分極方向との関係を説明した図である。こ
こで圧電セラミックの水平面と分極方向Ｐとのなす角を
Θとして、Ｘ、Ｚ軸方向の合成出力Ｑは加わった任意の
方向の力Ｆ、水平方向とのなす角をαとした場合には、
【数１】 として示され、加速度センサとして動作することが認め
られる。
られる。
【００１９】図４は実施例で得られた加速度センサの全
周感度グラフを示すもので、Ｘ、Ｚ軸方向の出力特性が
確認できる。加速度センサのＺ軸方向で上下が０°及び
１８０°となり、Ｘ軸方向が９０°及び２７０°とな
る。これから最大感度となるのは約２０°と約２７０°
付近の２軸方向となっていることがみられる。これらか
らそれぞれＺ軸方向成分のいわゆる主軸感度が、また、
Ｘ軸方向成分の横軸感度が求められる。したがって従来
の加速度センサにあってはＺ軸方向成分のいわゆる主軸
感度のみが得られたが、本発明にあっては分極方向の制
御によりＸ、Ｚ軸方向双方の振動を単一の加速度センサ
によって検出することができる。
周感度グラフを示すもので、Ｘ、Ｚ軸方向の出力特性が
確認できる。加速度センサのＺ軸方向で上下が０°及び
１８０°となり、Ｘ軸方向が９０°及び２７０°とな
る。これから最大感度となるのは約２０°と約２７０°
付近の２軸方向となっていることがみられる。これらか
らそれぞれＺ軸方向成分のいわゆる主軸感度が、また、
Ｘ軸方向成分の横軸感度が求められる。したがって従来
の加速度センサにあってはＺ軸方向成分のいわゆる主軸
感度のみが得られたが、本発明にあっては分極方向の制
御によりＸ、Ｚ軸方向双方の振動を単一の加速度センサ
によって検出することができる。
【００２０】図５は実施例で得られた加速度センサのＸ
軸方向の出力周波数特性である。横軸は周波数で５０Hz
〜５０ｋHz、縦軸はセンサ出力で１０db／目盛であり、
感度は加速度１Ｇ当たり０．７７mVである。図６は同様
に加速度センサの衝撃力に対するリンギング特性であ
る。横軸は時間で、縦軸はセンサの出力で波形から認め
られるようにリンギングは全く見られなかった。これら
から約１０ｋHzまで平坦であり、しかも小型、軽量のセ
ンサが得られることからプリント基板への搭載が可能と
なる。この結果振動系を乱すことが少なく広い使用分野
での利用が期待できよう。例えば、ノート型パソコン等
に使用されるハードディスクのようなＸ軸方向のみなら
ず同時にＺ軸方向の振動も検出することができるので、
衝撃センサとして好適なことが確認された。
軸方向の出力周波数特性である。横軸は周波数で５０Hz
〜５０ｋHz、縦軸はセンサ出力で１０db／目盛であり、
感度は加速度１Ｇ当たり０．７７mVである。図６は同様
に加速度センサの衝撃力に対するリンギング特性であ
る。横軸は時間で、縦軸はセンサの出力で波形から認め
られるようにリンギングは全く見られなかった。これら
から約１０ｋHzまで平坦であり、しかも小型、軽量のセ
ンサが得られることからプリント基板への搭載が可能と
なる。この結果振動系を乱すことが少なく広い使用分野
での利用が期待できよう。例えば、ノート型パソコン等
に使用されるハードディスクのようなＸ軸方向のみなら
ず同時にＺ軸方向の振動も検出することができるので、
衝撃センサとして好適なことが確認された。
【００２１】図６からは加速度出力の相対感度は共振周
波数が高まったことからリンギングの影響を大幅に改善
したことが認められ、特にフィルター使用等のリンギン
グ対策を必要としない効果があった。なお、一般に加速
度センサに衝撃が加わると共振周波で励振され、出力の
原波形にリンギングとして加算され誤差を生ずるるもの
で、リンギングの振幅の大きさは共振周波数を高くとる
ことでの軽減やフィルターを使用することで改善が図ら
れる。また、図５に示す周波数特性にも見られるように
共振周波数が高まったことでより広い使用分野での利用
が期待できよう。
波数が高まったことからリンギングの影響を大幅に改善
したことが認められ、特にフィルター使用等のリンギン
グ対策を必要としない効果があった。なお、一般に加速
度センサに衝撃が加わると共振周波で励振され、出力の
原波形にリンギングとして加算され誤差を生ずるるもの
で、リンギングの振幅の大きさは共振周波数を高くとる
ことでの軽減やフィルターを使用することで改善が図ら
れる。また、図５に示す周波数特性にも見られるように
共振周波数が高まったことでより広い使用分野での利用
が期待できよう。
【００２２】また、この加速度センサにあっては衝撃力
が相当小さな０．１Ｇ以上での使用が可能で、ハードデ
ィスク等での使用に好適であった。さらに、被装着装置
等振動体に対する加速度センサの重量比が極めて低く取
れることから、共振周波数も高くなり、センサ取り付け
を意識しない被装着装置の加速度の測定ができる加速度
センサが得られた。したがって、装置固有に近い加速度
を検出でき、センサ自体の重量依存性の極めて小さい加
速度センサとして動作することが明らかであった。
が相当小さな０．１Ｇ以上での使用が可能で、ハードデ
ィスク等での使用に好適であった。さらに、被装着装置
等振動体に対する加速度センサの重量比が極めて低く取
れることから、共振周波数も高くなり、センサ取り付け
を意識しない被装着装置の加速度の測定ができる加速度
センサが得られた。したがって、装置固有に近い加速度
を検出でき、センサ自体の重量依存性の極めて小さい加
速度センサとして動作することが明らかであった。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、板状
圧電セラミックの状態で端面電極からの分極と、さら
に、その分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成
させたため、加速度センサとしては水平面からいわば斜
め方向に分極されている。したがって、単一の素子で
Ｘ、Ｚ軸双方の振動が検出でき、より広い使用分野での
利用が期待できる。
圧電セラミックの状態で端面電極からの分極と、さら
に、その分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成
させたため、加速度センサとしては水平面からいわば斜
め方向に分極されている。したがって、単一の素子で
Ｘ、Ｚ軸双方の振動が検出でき、より広い使用分野での
利用が期待できる。
【００２４】また、従来にない小型化、部品点数を低下
でき製造コストの大幅なダウンで、ハードディスク等で
の使用に好適な加速度センサを提供できる。さらに、被
装着装置等振動体に対する加速度センサの重量比が極め
て低くなるので、共振周波数を高くでき、振動体自体に
より近い加速度測定が可能となるほか、センサ取り付け
が簡単、耐衝撃性、信頼性の高い加速度センサとして効
果が認められた。
でき製造コストの大幅なダウンで、ハードディスク等で
の使用に好適な加速度センサを提供できる。さらに、被
装着装置等振動体に対する加速度センサの重量比が極め
て低くなるので、共振周波数を高くでき、振動体自体に
より近い加速度測定が可能となるほか、センサ取り付け
が簡単、耐衝撃性、信頼性の高い加速度センサとして効
果が認められた。
【００２５】
【図１】本発明により得られた加速度センサの一実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】圧電セラミックを切り出す前の板状の圧電セラ
ミックの斜視図
ミックの斜視図
【図３】振動出力と分極方向との関係を説明した図
【図４】加速度センサのＸ、Ｚ軸方向の出力特性を示す
全周感度グラフ
全周感度グラフ
【図５】加速度センサ出力の周波数特性
【図６】加速度センサの衝撃力に対するリンギング特性
【図７】従来の加速度センサの断面図
１ 圧電セラミック ２ 付加質量 ３ 電極 ７ 分極方向 ９ 水平面との切断角度 １０ 水平面との切断角度 １４ 板状圧電セラミック
Claims (6)
- 【請求項１】板状圧電セラミックの端面に電極を設けて
該端面間で分極した前記板状圧電セラミックから切り出
された圧電セラミックにおいて、前記分極方向に交叉し
て切断形成された圧電セラミック体の表裏に設けた電極
と該電極と電気的に接続された端面電極端子をもつ圧電
セラミックと、該圧電セラミックに接着された付加質量
とからなる加速度センサ。 - 【請求項２】少なくとも１５〜７５度の範囲で該分極方
向に交叉させ切断形成させた圧電セラミックからなる請
求項１記載の加速度センサ。 - 【請求項３】少なくとも３０〜６０度の範囲で該分極方
向に交叉させ切断形成させた圧電セラミックからなる請
求項１記載の加速度センサ。 - 【請求項４】板状圧電セラミックから切り出された圧電
セラミックからなる加速度センサにおいて、前記板状圧
電セラミックに端面電極を設けて該端面間で分極し、該
分極方向に交叉して圧電セラミックを切断形成させると
ともにその表裏に電極を設け、該電極と電気的に接続さ
せた端面電極端子を形成させ、前記圧電セラミックに付
加質量を接着させることを特徴とする加速度センサの製
造方法。 - 【請求項５】少なくとも１５〜７５度の範囲で該分極方
向に交叉させ圧電セラミックを切断形成させた請求項４
記載の加速度センサの製造方法。 - 【請求項６】少なくとも３０〜６０度の範囲で該分極方
向に交叉させ圧電セラミックを切断形成させた請求項４
記載の加速度センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6193678A JPH0843432A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 加速度センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6193678A JPH0843432A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 加速度センサ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843432A true JPH0843432A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16311972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6193678A Withdrawn JPH0843432A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 加速度センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843432A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1207397A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-22 | Fujitsu Limited | Acceleration sensor |
| JP2014510233A (ja) * | 2011-04-07 | 2014-04-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 燃料インジェクタ |
-
1994
- 1994-07-26 JP JP6193678A patent/JPH0843432A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1207397A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-22 | Fujitsu Limited | Acceleration sensor |
| US6513382B2 (en) | 2000-11-17 | 2003-02-04 | Fujitsu Limited | Acceleration sensor |
| JP2014510233A (ja) * | 2011-04-07 | 2014-04-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 燃料インジェクタ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |