JPH084564Y2 - 光学式変位測定器 - Google Patents
光学式変位測定器Info
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- JPH084564Y2 JPH084564Y2 JP12730589U JP12730589U JPH084564Y2 JP H084564 Y2 JPH084564 Y2 JP H084564Y2 JP 12730589 U JP12730589 U JP 12730589U JP 12730589 U JP12730589 U JP 12730589U JP H084564 Y2 JPH084564 Y2 JP H084564Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は光学式変位測定器のフォーカスエラー検出方
式に関するものである。
式に関するものである。
〈従来の技術〉 第８図は本考案に係わる先行技術の構成図であり、本
願出願人によって、実願平01−19699号『光学式変位測
定器』として出願している。本考案は、この既出願の
『光学式変位測定器』を改善したものであるが、以下、
本考案を説明する前に、この既出願について概略説明す
る。
願出願人によって、実願平01−19699号『光学式変位測
定器』として出願している。本考案は、この既出願の
『光学式変位測定器』を改善したものであるが、以下、
本考案を説明する前に、この既出願について概略説明す
る。
第８図において、レーザダイオード１より出射された
光は、コリメータレンズ２で平行光とされ、偏光ビーム
スプリッタ３で反射される。反射光は、1/4波長板４を
通って対物レンズ５にて集光され、被測定物６上に照射
される。照射された光は、被測定物６で反射され、対物
レンズ５、1/4波長板４、偏光ビームスプリッタ３を通
って、ハーフミラー７で２つに分岐される。透過光は、
集光レンズ８にて集光され、集光レンズ８の焦点前方に
焦点から距離ｘの位置に設置されたフォトダイオード10
に入射され、被測定物６の変位に対する変位信号Ａが出
力される。一方、反射光は、集光レンズ９にて集光さ
れ、集光レンズ９の焦点後方に焦点から距離ｘの位置に
設置されたフォトダイオード11に入射され、同様に変位
信号Ｂが出力される。
光は、コリメータレンズ２で平行光とされ、偏光ビーム
スプリッタ３で反射される。反射光は、1/4波長板４を
通って対物レンズ５にて集光され、被測定物６上に照射
される。照射された光は、被測定物６で反射され、対物
レンズ５、1/4波長板４、偏光ビームスプリッタ３を通
って、ハーフミラー７で２つに分岐される。透過光は、
集光レンズ８にて集光され、集光レンズ８の焦点前方に
焦点から距離ｘの位置に設置されたフォトダイオード10
に入射され、被測定物６の変位に対する変位信号Ａが出
力される。一方、反射光は、集光レンズ９にて集光さ
れ、集光レンズ９の焦点後方に焦点から距離ｘの位置に
設置されたフォトダイオード11に入射され、同様に変位
信号Ｂが出力される。
ここで、フォトダイオード10、11から出力される変位
信号Ａ、Ｂは、フォトダイオード10、11が焦点から同距
離ｘ離れた位置でその前後に設置されているため、第９
図に示すように、被測定物６の変位に対しズレた信号と
なって出力される。この変位信号Ａ、Ｂには、被測定物
６の反射率むらや面の傾き等の影響が含まれている。そ
のため、変位信号ＡとＢの差をとるような（Ａ−Ｂ）と
いう演算を行うことにより、被測定物６の反射率むらや
面の傾き等の影響が排除されたフォーカスエラー信号を
得ることができる。
信号Ａ、Ｂは、フォトダイオード10、11が焦点から同距
離ｘ離れた位置でその前後に設置されているため、第９
図に示すように、被測定物６の変位に対しズレた信号と
なって出力される。この変位信号Ａ、Ｂには、被測定物
６の反射率むらや面の傾き等の影響が含まれている。そ
のため、変位信号ＡとＢの差をとるような（Ａ−Ｂ）と
いう演算を行うことにより、被測定物６の反射率むらや
面の傾き等の影響が排除されたフォーカスエラー信号を
得ることができる。
〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記従来技術に示す光学式変位測定器
においては、集光レンズ８、９は焦点距離が同一であ
り、この集光レンズ8,9の焦点前後同距離に置かれたフ
ォトダイオード10、11からの変位信号Ａ、Ｂの変化の割
合は、第９図に示すように等しくならず、この変位信号
Ａ、Ｂの差（Ａ−Ｂ）をとったフォーカスエラー信号
は、第10図に示すように、合焦点前後で折れ曲がってし
まう。したがって、フォーカスサーボのゲインが変化す
ることになり、サーボ系が不安定となるという課題があ
った。
においては、集光レンズ８、９は焦点距離が同一であ
り、この集光レンズ8,9の焦点前後同距離に置かれたフ
ォトダイオード10、11からの変位信号Ａ、Ｂの変化の割
合は、第９図に示すように等しくならず、この変位信号
Ａ、Ｂの差（Ａ−Ｂ）をとったフォーカスエラー信号
は、第10図に示すように、合焦点前後で折れ曲がってし
まう。したがって、フォーカスサーボのゲインが変化す
ることになり、サーボ系が不安定となるという課題があ
った。
本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたも
のであり、２つの変位信号の変化の割合を等しくするこ
とにより、フォーカスエラー信号の合焦点前後における
ゲインの変化を無くすことができる光学式変位測定器を
提供することを目的としたものである。
のであり、２つの変位信号の変化の割合を等しくするこ
とにより、フォーカスエラー信号の合焦点前後における
ゲインの変化を無くすことができる光学式変位測定器を
提供することを目的としたものである。
〈課題を解決するための手段〉 上記課題を解決するための本考案の第１の構成は、対
物レンズをフォーカス方向に駆動し被測定物上に光スポ
ットを集光しその反射光の光強度パターンを光検出器で
測定し演算処理することにより被測定物の微小変位を測
定する光学式変位測定器において、被測定物からの反射
光を２方向に分岐する光学要素と、前記光学要素により
分岐された２つの光をそれぞれ集光する２つの集光レン
ズと、前記２つの集光レンズの焦点前後同距離に配置さ
れ前記集光レンズにより集光された光がそれぞれ入射さ
れる２つのフォトダイオードと、前記２つのフォトダイ
オードの検出信号がそれぞれ入力されこの検出信号の変
化の割合を等しくするための２つのゲイン調整回路とを
設けた構成とし、この２つのゲイン調整回路の出力信号
の差からフォーカスエラー信号を得るようにしたことを
特徴とするものであり、第２の構成は、前記２つの集光
レンズを検出信号の変化の割合を等しくするための焦点
距離の異なる集光レンズとし、この集光レンズにより集
光された光がそれぞれ入射される２つのフォトダイオー
ドを前記２つの集光レンズの焦点前後かつ前記フォトダ
イオードの直径とフォトダイオード上のスポット径が等
しくなる距離に配置した構成とし、この２つのフォトダ
イオードの検出信号の差からフォーカスエラー信号を得
るようにしたことを特徴とするものである。
物レンズをフォーカス方向に駆動し被測定物上に光スポ
ットを集光しその反射光の光強度パターンを光検出器で
測定し演算処理することにより被測定物の微小変位を測
定する光学式変位測定器において、被測定物からの反射
光を２方向に分岐する光学要素と、前記光学要素により
分岐された２つの光をそれぞれ集光する２つの集光レン
ズと、前記２つの集光レンズの焦点前後同距離に配置さ
れ前記集光レンズにより集光された光がそれぞれ入射さ
れる２つのフォトダイオードと、前記２つのフォトダイ
オードの検出信号がそれぞれ入力されこの検出信号の変
化の割合を等しくするための２つのゲイン調整回路とを
設けた構成とし、この２つのゲイン調整回路の出力信号
の差からフォーカスエラー信号を得るようにしたことを
特徴とするものであり、第２の構成は、前記２つの集光
レンズを検出信号の変化の割合を等しくするための焦点
距離の異なる集光レンズとし、この集光レンズにより集
光された光がそれぞれ入射される２つのフォトダイオー
ドを前記２つの集光レンズの焦点前後かつ前記フォトダ
イオードの直径とフォトダイオード上のスポット径が等
しくなる距離に配置した構成とし、この２つのフォトダ
イオードの検出信号の差からフォーカスエラー信号を得
るようにしたことを特徴とするものである。
〈作用〉 本考案によると、２つのフォトダイオードの出力信号
の変化の割合が等しくなるように演算回路のゲインを調
整しており、又、２つの集光レンズの焦点距離を変える
ことにより、２つのフォトダイオードの出力信号の変化
の割合を等しくなるようにしており、フォーカスエラー
信号の合焦点前後におけるゲインの変化を無くすことが
できる。
の変化の割合が等しくなるように演算回路のゲインを調
整しており、又、２つの集光レンズの焦点距離を変える
ことにより、２つのフォトダイオードの出力信号の変化
の割合を等しくなるようにしており、フォーカスエラー
信号の合焦点前後におけるゲインの変化を無くすことが
できる。
〈実施例〉 以下、本考案を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案に係わる光学式変位測定器の信号処理
の一実施例を示す構成図である。なお、光学系は第８図
の従来例と同一であるため省略する。
の一実施例を示す構成図である。なお、光学系は第８図
の従来例と同一であるため省略する。
第１図において、フォトダイオード10、11の出力信号
Ａ、Ｂは、ゲイン調整回路12、13にそれぞれ入力され、
G1、G2のゲイン調整が行われる。ここで、12、13はフォ
トダイオード10、11の変位信号の変化の割合を等しくす
るためのゲイン調整回路であり、例えば、フォトダイオ
ード10、11の出力信号Ａ、Ｂの変化の割合とゲイン調整
回路12、13のゲインG1、G2の関係が下記の条件を満足す
るものである。
Ａ、Ｂは、ゲイン調整回路12、13にそれぞれ入力され、
G1、G2のゲイン調整が行われる。ここで、12、13はフォ
トダイオード10、11の変位信号の変化の割合を等しくす
るためのゲイン調整回路であり、例えば、フォトダイオ
ード10、11の出力信号Ａ、Ｂの変化の割合とゲイン調整
回路12、13のゲインG1、G2の関係が下記の条件を満足す
るものである。
G1・dA/dz＝G2・dB/dz ただし、ｚは被測定物６の変位量である。
したがって、ゲイン調整回路12、13の出力信号G1A、G
2Bは、第２図に示すように変化の割合が等しくされて、
演算回路14にそれぞれ入力される。この演算回路14に
て、ゲイン調整回路12、13の出力信号G1Ａ、G2Ｂの差
（G1Ａ−G2Ｂ）をとることにより、第３図に示すよう
に、合焦点前後で折れ曲がらず、リニアリティの良いフ
ォーカスエラー信号が求められるため、フォーカスサー
ボのゲインの変化を無くすることができる。
2Bは、第２図に示すように変化の割合が等しくされて、
演算回路14にそれぞれ入力される。この演算回路14に
て、ゲイン調整回路12、13の出力信号G1Ａ、G2Ｂの差
（G1Ａ−G2Ｂ）をとることにより、第３図に示すよう
に、合焦点前後で折れ曲がらず、リニアリティの良いフ
ォーカスエラー信号が求められるため、フォーカスサー
ボのゲインの変化を無くすることができる。
第４図は本考案の第２の実施例を示す光学式変位測定
器の構成図である。なお、第４図において第８図と同一
要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
器の構成図である。なお、第４図において第８図と同一
要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
第４図において、15、16は焦点距離の異なる集光レン
ズであり、フォトダイオード10を集光レンズ15の焦点前
方に焦点から距離ｘの位置に、フォトダイオード11を集
光レンズ16の焦点後方に焦点から距離ｙの位置にそれぞ
れ設置している。なお、距離ｘ、ｙは、それぞれフォト
ダイオード10、11の直径とこのフォトダイオード10、11
上のスポット径が等しくなる距離である。
ズであり、フォトダイオード10を集光レンズ15の焦点前
方に焦点から距離ｘの位置に、フォトダイオード11を集
光レンズ16の焦点後方に焦点から距離ｙの位置にそれぞ
れ設置している。なお、距離ｘ、ｙは、それぞれフォト
ダイオード10、11の直径とこのフォトダイオード10、11
上のスポット径が等しくなる距離である。
このような構成において、その光学系の動作は、第８
図の装置と同様であるため省略するが、ここで、フォト
ダイオード10、11上のスポット径をW10、W11、被測定物
６の変位量をｚとすると（図中、右向きを正とする）、
集光レンズ15、16の焦点距離F15、F16は、次式の方程式
を満たすものとして表される。
図の装置と同様であるため省略するが、ここで、フォト
ダイオード10、11上のスポット径をW10、W11、被測定物
６の変位量をｚとすると（図中、右向きを正とする）、
集光レンズ15、16の焦点距離F15、F16は、次式の方程式
を満たすものとして表される。
dW10/dz＝dW11/dz … 又、第11図に示すように、被測定物６が対物レンズ５
の焦点位置（対物レンズ５の中心から距離F5だけ離れた
位置）からｚだけ内側（対物レンズ５寄り）へ入ると、
被測定物６に照射された光は折り返されてP1に集光し対
物レンズ５に入り、対物レンズ５からは虚像P2からの発
散光として集光レンズ15に入る。
の焦点位置（対物レンズ５の中心から距離F5だけ離れた
位置）からｚだけ内側（対物レンズ５寄り）へ入ると、
被測定物６に照射された光は折り返されてP1に集光し対
物レンズ５に入り、対物レンズ５からは虚像P2からの発
散光として集光レンズ15に入る。
ここで、対物レンズ５の有効径をA5、対物レンズ５上
のスポット径をW5、集光レンズ15上のスポット径を
W15、フォトダイオード10上のスポット径をW10とする。
のスポット径をW5、集光レンズ15上のスポット径を
W15、フォトダイオード10上のスポット径をW10とする。
対物レンズ５から集光位置P1までの距離l1は、 l1＝F5−2z であり、対物レンズ５から虚像P2までの距離l2は、 l2＝1/（1/F5−1/l1）＝｛F5・（F5−2z）｝/2z である。
また、集光レンズ15から虚像P2までの距離a15は、 a15＝l2＋D15 ただし、D15は対物レンズ５と集光レンズ15との距離 であり、集光レンズ15からその後側焦点位置までの距離
b15は、 b15＝1/（1/F15−1/a15）＝a15・F15／（a15−F15） である。
b15は、 b15＝1/（1/F15−1/a15）＝a15・F15／（a15−F15） である。
また、対物レンズ５、集光レンズ15およびフォトダイ
オード10の各スポット径の間には、 W15＝W5・a15／l5・a15／（a15−D15） の関係があり、したがってフォトダイオード10上のスポ
ット径W10は次式で表される。
オード10の各スポット径の間には、 W15＝W5・a15／l5・a15／（a15−D15） の関係があり、したがってフォトダイオード10上のスポ
ット径W10は次式で表される。
W10＝W15・（b15−f15）／b15 ＝W5・（a15／（a15−D15）｝・｛（a15−F15）／（a15
・F15）｝ ×｛a15・F15／（a15−F15）−f15｝ ＝W5・｛a15・F15−（a15−F15）・f15｝ ／｛（a15−D15）・F15｝ … 他方、フォトダイオード11のスポット径W11は、第11
図において集光レンズ15を集光レンズ16に、フォトダイ
オード10をフォトダイオード11に、またa15，D15，f15
をそれぞれa16，D16，f16に変えたものに相当し、次の
式で表される。
・F15）｝ ×｛a15・F15／（a15−F15）−f15｝ ＝W5・｛a15・F15−（a15−F15）・f15｝ ／｛（a15−D15）・F15｝ … 他方、フォトダイオード11のスポット径W11は、第11
図において集光レンズ15を集光レンズ16に、フォトダイ
オード10をフォトダイオード11に、またa15，D15，f15
をそれぞれa16，D16，f16に変えたものに相当し、次の
式で表される。
W11＝W5・｛a16・F16−（a16−F16）・f16｝ ／｛（a16−D16）・F16｝ … この式及び式において、W5＞A5の場合には、式
及び式のW5はA5となる。更に、対物レンズ５と集光レ
ンズ15、16との距離をD15、D16、対物レンズ５の焦点距
離をF5、集光レンズ15とフォトダイオード10及び集光レ
ンズ16とフォトダイオード11との距離をそれぞれf15、f
16とすると、 a15＝D15＋F5（F5−2z）／2z … f15＝F15−ｘ … a16＝D16＋F5（F5−2Z）／2z … f16＝F16＋ｙ … となる。ここで、前記集光レンズ15、16の焦点距離
F15、F16をそれぞれ15mm、60mmに設定した時のフォトダ
イオード10、11上でのスポット径W10、W11と被測定物６
の変位量ｚとの関係のシュミレーションを第５図に示
す。なお、第５図においては、前記式〜式を用い
て、下記の数値を代入している。
及び式のW5はA5となる。更に、対物レンズ５と集光レ
ンズ15、16との距離をD15、D16、対物レンズ５の焦点距
離をF5、集光レンズ15とフォトダイオード10及び集光レ
ンズ16とフォトダイオード11との距離をそれぞれf15、f
16とすると、 a15＝D15＋F5（F5−2z）／2z … f15＝F15−ｘ … a16＝D16＋F5（F5−2Z）／2z … f16＝F16＋ｙ … となる。ここで、前記集光レンズ15、16の焦点距離
F15、F16をそれぞれ15mm、60mmに設定した時のフォトダ
イオード10、11上でのスポット径W10、W11と被測定物６
の変位量ｚとの関係のシュミレーションを第５図に示
す。なお、第５図においては、前記式〜式を用い
て、下記の数値を代入している。
対物レンズ５の有効径 A5＝4.3mm 対物レンズ５の焦点距離 F5＝4.6mm 対物レンズ５と集光レンズ15との距離 D15＝135.8mm 対物レンズ５と集光レンズ16との距離 D16＝142.8mm 集光レンズ15とフォトダイオード10の距離 f15＝11.51mm 集光レンズ16とフォトダイオード11の距離 f16＝73.95mm 第５図に示すように、被測定物６の変位量ｚが零での
合焦点前後のフォトダイオード10、11上のスポット径W
10、W11の変化の割合は、ほぼ等しくなっている。した
がって、フォトダイオード10、11からの変位信号Ａ、Ｂ
は、第６図に示すように、その変化の割合が等しくな
り、変位信号Ａ、Ｂの差をとったフォーカスエラー信号
は、第７図に示すように、合焦点前後で折れ曲がらず直
線となり、フォーカスサーボのゲインの変化は無くな
る。
合焦点前後のフォトダイオード10、11上のスポット径W
10、W11の変化の割合は、ほぼ等しくなっている。した
がって、フォトダイオード10、11からの変位信号Ａ、Ｂ
は、第６図に示すように、その変化の割合が等しくな
り、変位信号Ａ、Ｂの差をとったフォーカスエラー信号
は、第７図に示すように、合焦点前後で折れ曲がらず直
線となり、フォーカスサーボのゲインの変化は無くな
る。
なお、変位信号Ａ、Ｂが完全に一致しない場合、フォ
ーカスエラー信号は完全な直線にはならないが、多少の
曲がりはフォーカスサーボ動作には支障がない。
ーカスエラー信号は完全な直線にはならないが、多少の
曲がりはフォーカスサーボ動作には支障がない。
又、第８図に示す従来例の構成図において、フォトダ
イオード10、11を異なる直径を用いた構成とすることに
よっても、第４図の装置と同様の効果を得ることができ
る。
イオード10、11を異なる直径を用いた構成とすることに
よっても、第４図の装置と同様の効果を得ることができ
る。
更に被測定物６からの反射光を分岐する光学要素は上
記実施例中に示したハーフミラーに限るものではなく、
例えば、回析格子、偏光ビームスプリッタ、又は1/2波
長板と偏光ビームスプリッタとの組合せ等により反射光
を分岐しても良く、要は平行光を２方向に分岐できる構
成のものであれば良い。
記実施例中に示したハーフミラーに限るものではなく、
例えば、回析格子、偏光ビームスプリッタ、又は1/2波
長板と偏光ビームスプリッタとの組合せ等により反射光
を分岐しても良く、要は平行光を２方向に分岐できる構
成のものであれば良い。
又、変位の測定方法としては、上記フォーカスエラー
信号をもとにフォーカスサーボをかけ対物レンズ５のレ
ンズ変位量を測定しサーボエラーを考慮して出力するよ
うな構成やレンズ変位量の代りに入力レーザ光の干渉を
用いた構成により測定を行うようにしても良い。
信号をもとにフォーカスサーボをかけ対物レンズ５のレ
ンズ変位量を測定しサーボエラーを考慮して出力するよ
うな構成やレンズ変位量の代りに入力レーザ光の干渉を
用いた構成により測定を行うようにしても良い。
〈考案の効果〉 以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案
によれば、２つのフォトダイオードの出力の変化の割合
を等しくするようなゲイン調整回路を設け、その出力の
差からフォーカスエラー信号を求めるような構成や焦点
距離の異なる２つの集光レンズを用いて、フォトダイオ
ードをその直径とフォトダイオード上のスポット径が等
しくなる距離に配置させた構成とすることにより、フォ
ーカスエラー信号の合焦点前後におけるリニアリティが
良くなるため、フォーカスサーボのゲイン変化が一定と
なり、サーボ系の安定した光学式変位測定器を実現する
ことができる。
によれば、２つのフォトダイオードの出力の変化の割合
を等しくするようなゲイン調整回路を設け、その出力の
差からフォーカスエラー信号を求めるような構成や焦点
距離の異なる２つの集光レンズを用いて、フォトダイオ
ードをその直径とフォトダイオード上のスポット径が等
しくなる距離に配置させた構成とすることにより、フォ
ーカスエラー信号の合焦点前後におけるリニアリティが
良くなるため、フォーカスサーボのゲイン変化が一定と
なり、サーボ系の安定した光学式変位測定器を実現する
ことができる。
第１図は本考案に係わる光学式変位測定器の信号処理の
一実施例を示す構成図、第２図は第１図の信号処理を構
成するゲイン調整回路の出力信号を示す図、第３図は第
１図の信号処理から得られるフォーカスエラー信号を示
す図、第４図は本考案に係わる光学式変位測定器の他の
実施例を示す構成図、第５図は第４図の装置を用いた際
のスポット径と被測定物の変位量の関係を示すシュミレ
ーション図、第６図は第４図の装置から得られるフォト
ダイオードの出力信号を示す図、第７図は第４図の装置
から得られるフォーカスエラー信号を示す図、第８図は
従来例の構成図、第９図は第８図の従来装置から得られ
るフォトダイオードの出力信号を示す図、第10図は第８
図の従来装置から得られるフォーカスエラー信号を示す
図、第11図は第４図の構成における光学系に関する説明
図である。 １……レーザダイオード、２……コリメータレンズ、３
……偏光ビームスプリッタ、４……1/4波長板、５……
対物レンズ、６……被測定物、７……ハーフミラー、1
0、11……フォトダイオード、12、13……ゲイン調整回
路、14……演算回路、15、16……集光レンズ。
一実施例を示す構成図、第２図は第１図の信号処理を構
成するゲイン調整回路の出力信号を示す図、第３図は第
１図の信号処理から得られるフォーカスエラー信号を示
す図、第４図は本考案に係わる光学式変位測定器の他の
実施例を示す構成図、第５図は第４図の装置を用いた際
のスポット径と被測定物の変位量の関係を示すシュミレ
ーション図、第６図は第４図の装置から得られるフォト
ダイオードの出力信号を示す図、第７図は第４図の装置
から得られるフォーカスエラー信号を示す図、第８図は
従来例の構成図、第９図は第８図の従来装置から得られ
るフォトダイオードの出力信号を示す図、第10図は第８
図の従来装置から得られるフォーカスエラー信号を示す
図、第11図は第４図の構成における光学系に関する説明
図である。 １……レーザダイオード、２……コリメータレンズ、３
……偏光ビームスプリッタ、４……1/4波長板、５……
対物レンズ、６……被測定物、７……ハーフミラー、1
0、11……フォトダイオード、12、13……ゲイン調整回
路、14……演算回路、15、16……集光レンズ。
Claims (2)
- 【請求項１】対物レンズをフォーカス方向に駆動し被測
定物上に光スポットを集光しその反射光の光強度パター
ンを光検出器で測定し演算処理することにより被測定物
の微小変位を測定する光学式変位測定器において、 被測定物からの反射光を２方向に分岐する光学要素と、
前記光学要素により分岐された２つの光をそれぞれ集光
する２つの集光レンズと、前記２つの集光レンズの焦点
前後同距離に配置され前記集光レンズにより集光された
光がそれぞれ入射される２つのフォトダイオードと、前
記２つのフォトダイオードの検出信号がそれぞれ入力さ
れこの検出信号の変化の割合を等しくするための２つの
ゲイン調整回路とを設けた構成とし、この２つのゲイン
調整回路の出力信号の差からフォーカスエラー信号を得
るようにしたことを特徴とする光学式変位測定器。 - 【請求項２】前記２つの集光レンズを検出信号の変化の
割合を等しくするための焦点距離の異なる集光レンズと
し、この集光レンズにより集光された光がそれぞれ入射
される２つのフォトダイオードを前記２つの集光レンズ
の焦点前後かつ前記フォトダイオードの直径とフォトダ
イオード上のスポット径が等しくなる距離に配置した構
成とし、この２つのフォトダイオードの検出信号の差か
らフォーカスエラー信号を得るようにしたことを特徴と
する光学式変位測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12730589U JPH084564Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光学式変位測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12730589U JPH084564Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光学式変位測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365909U JPH0365909U (ja) | 1991-06-26 |
| JPH084564Y2 true JPH084564Y2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=31675065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12730589U Expired - Fee Related JPH084564Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 光学式変位測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084564Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4233336C2 (de) * | 1992-10-05 | 2001-08-23 | Zeiss Carl | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Fokusablagen |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP12730589U patent/JPH084564Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0365909U (ja) | 1991-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |