JPH0848052A - Elアレイを有する光プリンタヘッド - Google Patents

Elアレイを有する光プリンタヘッド

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JPH0848052A
JPH0848052A JP18700994A JP18700994A JPH0848052A JP H0848052 A JPH0848052 A JP H0848052A JP 18700994 A JP18700994 A JP 18700994A JP 18700994 A JP18700994 A JP 18700994A JP H0848052 A JPH0848052 A JP H0848052A
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JP
Japan
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organic material
printer head
layer
material layer
light emitting
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Withdrawn
Application number
JP18700994A
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English (en)
Inventor
Kazuyuki Shiyou
一超 蒋
Masumi Koizumi
真澄 小泉
Hiroo Miyamoto
裕生 宮本
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高速・安価・高解像度・低騒音・コンパクト
・普通紙印字・低電圧駆動等全ての光ヘッドの長所を持
つ有機物質層を発光層とするELアレイ方式の光プリン
タヘッドを提供する。 【構成】 ELアレイを有する光プリンタヘッドにおい
て、ガラス基板11と、このガラス基板11上に設けら
れる第1電極となる導電膜12と、この導電膜12上に
設けられる発光性有機物質を含む有機物質層13と、ス
トライプ状にパターニングされ、前記有機物質層13上
に形成される第2電極となる導電膜14を備え、前記二
つの導電膜12,14によって前記有機物質層13に電
界を印加し、前記有機物質層13から発光させるように
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光プリンタヘッドに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、プリンタに対しては、高速・高解
像度・低騒音・コンパクト・普通紙印字等の要求が高ま
りつつあり、これらの要求を満たす電子方式プリンタ、
いわゆる光プリンタの開発が盛んになっている。また、
光プリンタは、ファクシミリ受像機、複写機の出力装置
にも適用することができ、この分野でも大きい需要が見
込まれている。
【0003】通常、光プリンタの印刷は、図9に示すよ
うに、帯電、露光、現像、転写、定着、除電、クリーニ
ングの各工程からなる。ここで、光プリンタの印刷の各
工程について説明する。 (1)まず、ドラム(あるいはベルト)上の感光体の表
面を一様に帯電させる(ステップ:帯電)。
【0004】(2)次に、帯電させた感光体上画像パタ
ーンに応じた光を照射すると、光の当たった部分が除電
され、感光体上に静電荷による潜像が書き込まれる(ス
テップ:露光) (3)次に、この感光体上に、例えば、電荷を帯びたト
ナーと呼ばれる着色微粒子を散布することによって、静
電荷による潜像をトナーによる画像に顕在化する(ステ
ップ:現像)。
【0005】(4)次に、この感光体上に紙を押し当て
て、例えば、電界を印加してトナーを紙に転写し(ステ
ップ:転写)、そして、例えば、熱を与える等の手段
でトナーを紙に融着させる(定着)。 (5)次に、転写後の感光体表面から、例えば、交流電
圧や全面光照射を加えて、電荷を消す(ステップ:除
電)。
【0006】(6)次に、転写後に残ったトナーを取り
除く(ステップ:クリーニング)。 このような電子写真方式の光プリンタは、特に、露光プ
ロセスにおける感光体への画像書き込みに用いられる光
プリンタヘッドの種類によって、幾つかに分類される。
【0007】商品化されたものとしては、例えば、レー
ザビーム(LB)スキャン方式、発光ダイオード(LE
D)アレイ方式、液晶シャッタ(LCS)アレイ方式が
ある。また、最近エレクトロ・ルミレッセンス(EL)
アレイ方式も研究開発のレベルで検討されている。電子
写真方式プリンタについては、例えば、丸善刊の「記録
・記憶技術ハンドブック」に詳述されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の光プリンタのLBスキャン方式の光ヘッドは、
回転多面鏡等を主体とする走査機構の低廉化、超高速化
と超小型化が難しいといった問題がある。また、LED
アレイ方式の光ヘッドは、高価なGaAs系等半導体単
結晶基板を用い、AlGaAs、GaAsP等の層を成
長する時、高価な真空エピタキシャル装置を使う。更
に、LEDアレイを一枚の基板上で作ることができない
ため、工程が煩雑になり、LEDチップ配列誤差が発生
する。
【0009】また、LCSアレイ方式の光ヘッドは、他
の光ヘッドより印刷速度が遅い。更に、光源に蛍光灯を
使用するために、ヘッドのサイズも大きい。従来のEL
アレイ方式の光ヘッドは、ZnS:Mnを発光層とし、
発光素子の低い輝度(200cd/m2 )と高い駆動電
圧(220V)等が問題になる。このように、従来の各
方式の光ヘッドは、一長一短がある。
【0010】本発明は、上記問題点を除去し、高速・安
価・高解像度・低騒音・コンパクト・普通紙印字・低電
圧駆動等全ての光ヘッドの長所を持つ有機物質層を発光
層とするELアレイ方式の光プリンタヘッドを提供する
ことを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 (1)ELアレイを有する光プリンタヘッドにおいて、
基板と、この基板上に設けられる第1電極となる導電膜
と、この導電膜上に設けられる発光性有機物質を含む有
機物質層と、ストライプ状にパターニングされ、前記有
機物質層上に形成される第2電極となる導電膜を備え、
前記二つの導電膜によって前記有機物質層に電界を印加
し、前記有機物質層から発光させるようにしたものであ
る。
【0012】(2)ELアレイを有する光プリンタヘッ
ドにおいて、基板と、この基板上に設けられる第1電極
となる導電膜と、この導電膜上に設けられる発光性有機
物質を含む有機物質層と、ストライプ状にパターニング
され、前記有機物質層上に形成される第2電極となる導
電膜と、この導電膜間に設けられる絶縁保護膜とを備
え、前記二つの導電膜によって前記有機物質層に電界を
印加し、前記有機物質層から発光させるようにしたもの
である。
【0013】(3)ELアレイを有する光プリンタヘッ
ドにおいて、基板と、この基板上に設けられる第1電極
となる導電膜と、ストライプ状にパターニングされ、素
子分離される発光性有機物質を含む有機物質層と、この
有機物質層上に形成される第2電極となる導電膜とを備
え、前記二つの導電膜によって前記有機物質層に電界を
印加し、前記有機物質層から発光させるようにしたもの
である。
【0014】
【作用】本発明によれば、上記したように、ELアレイ
方式光プリンタヘッドは、基板上に有機EL素子をアレ
イにすることによって作られる。有機EL素子は、基本
的には電子とホールの二重注入と、その再結合に由来す
る注入型ELで、発光輝度が基本的に膜厚に依存しな
い。また、真空蒸着法により、良質な薄い有機物質がで
きるので、有機EL素子は、ZnS:Mnを発光層とす
るような無機ELより、駆動電圧が低く、輝度が高い。
【0015】また、ガラスを基板として使用できるの
で、一つの光ヘッドは、一枚の基板で作ることができ
る。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。なお、以下に述べる使用材料、成
膜法、膜厚及びその他の条件については一例を示したに
すぎない。従って、この発明がこの条件にのみ限定され
るものではない。ここで、実施例を説明するために、以
下の幾つかの言葉を説明する。“有機電子の輸送層”と
は、仕事関数が小さな電子注入電極を用いた場合に、多
量の電子の注入が可能であり、しかも注入された電子が
膜中を移動できるが、一方、ホールは注入が困難である
か、注入は可能でも膜中を移動し難いような性質を持っ
た有機薄膜層である。
【0017】一方“有機ホールの輸送層”とは、仕事関
数が大きなホール注入電極を用いた場合に、多量のホー
ルの注入が可能であり、しかも注入されたホールが膜中
を移送できるが、一方、電子は注入が困難であるが、注
入可能でも膜中を移動し難いような性質を持った有機薄
膜層である。また、電子とホールをほぼ対等に輸送でき
る場合を、両性輸送性、或いは電子ホール輸送性と呼
ぶ。
【0018】発光層には、電子輸送性、ホール輸送性、
両性輸送性の各場合があり、それぞれ、電子輸送性発光
層、ホール輸送性発光層、両性発光層(或いは発光層)
と呼ぶ。これらの材料としては、種々の有機化合物が考
えられ、実施例に示したものに限定されるものではな
い。これらの有機化合物、及びその積層の組合せは、有
機EL素子として高輝度、高効率、高寿命な素子を実現
するために、或はまた、微細加工プロセスに適するよう
に適宜選択されるものである。更に、有機薄膜の成膜法
についても、同様の目的のために適宜選択されるもので
ある。有機化合物の成膜法としては、実施例に述べた真
空蒸着法やディップコート法、スピンコート法以外に、
ドライな方法としては、有機分子線蒸着(OMBD)
法、プラズマ重合法等が、ウェットな方法としては、ラ
ングミュ・アブロジェット(LB)法やミセル電解法等
の適応も可能である。
【0019】更にまた、EL素子の発光効率の向上や、
発光波長を制御するために、発光層に微量の色素をドー
プするなどの改良も可能である。図1は本発明の第1実
施例を示す有機ELアレイの斜視図である。まず、有機
EL素子の構造を説明する。図1に示すように、有機E
Lアレイ10は、ガラス基板11上に、第1導電膜12
(陰極)、発光性有機物質を含む有機物質層13(膜厚
0.01μm〜1μm)、ストライプ状にパターニング
された第2導電膜14(陽極、透明電極ITO)(ピッ
チ21〜126μm)、ストライプ状にパターニングさ
れた第3導電膜15によって構成される。
【0020】ここで、発光性有機物質を含む有機物質層
13は、電子輸送性発光層であるアルミキノリノール錯
体の薄膜層と、ホール輸送層であるトリフェニルアミン
誘導体の薄膜層を、順次真空蒸着法により積層したもの
である。次に、有機EL素子の動作を簡単に説明する。
有機物質層13に電界を印加することにより、有機物質
層13から発光する。10V前後の電圧で、最高105
cd/m2 以上の高輝度で発光が得られる。光は、第2
導電膜14(透明電極ITO)を通し上面に出射する。
発光波長は、発光性有機物質を含む有機物質の選択によ
って、青色から赤色まで変化できる。
【0021】次に、この第1実施例の有機EL素子アレ
イの製造方法を簡単に説明する。図2は図1のA方向か
ら見た製造工程図である。 (1)まず、図2(a)に示すように、ガラス基板11
を用意し、洗浄する。 (2)次に、図2(b)に示すように、ガラス基板11
上に第1導電膜12としてMg薄膜(陰極)を0.1μ
m真空蒸着する。
【0022】(3)次に、第1導電膜12上に、図2
(c)に示すように、有機物質層13を形成する。この
有機物質層13の形成方法として、以下のような5つの
実施例を挙げることができる。 (A)第1実施例の有機物質層13の形成方法の場合、
発光性有機物質を含む有機物質層13としては、例えば
図3に示すように、電子輸送性発光層としての昇華精
製したアルミキノリノール錯体〔トリス(8−キノリノ
ール)アルミニウム〕(以下Alq3 と略す)13a1
を、また、ホール輸送層としては、昇華精製を行なっ
たトリフェニルアミン誘電体〔N、N′−ジフェニル−
N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−1,1′−ビ
フェニル−4,4′−ジアミン〕(以下、TADと略
す)13a2を用い、それぞれアルミナ製のるつぼに入
れる。
【0023】るつぼを抵抗線加熱することにより、それ
ぞれ0.05μm、0.06μm順次真空蒸着を行っ
た。蒸着時の真空度は、10-3pa以下で、蒸着速度
は、いずれも2〜3Å/secで行った。また、基板の
冷却あるいは加熱は行われなかった。なお、電子輸送性
発光層としてはAlq3 に限定されるものではなく、ベ
リリウム−ベンゾキノリノール錯体などの他のキノリノ
ール錯体或いはポルフィリン系錯体等の金属錯体、シク
ロペンタジェン誘導体、ペリレン誘導体等を用いること
ができる。
【0024】このように構成した素子においては、陰極
12から注入された電子と、陽極14から注入されたホ
ールが、印加電場により薄膜中を移動する。薄膜中を移
動した電子とホールは再結合し、放出されたエネルギー
は蛍光分子(この場合、電子輸送性発光層材料)を励起
し、蛍光(EL発光)が観測される。また、ホール輸送
層としはトリフェニルアミン系以外に、トリフェニルメ
タン系、オキサジアゾール系、ピラゾリン系、ヒドラゾ
ン系、ポリビニルカルバゾール系等の材料が適用でき
る。
【0025】(B)第2実施例の有機物質層13の形成
方法の場合、発光性有機物質を含む有機物質層13とし
て、図4に示すように、電子輸送層としてオキサジアゾ
ールの誘電体〔2−(4−Biphenylyl)−5
−(4−tert−butylphenyl)−1,
3,4−oxadiazole〕(以下、PBDと略
す)13b1と、ホール輸送性発光層としてトリフェニ
ルアミン誘導体{N,N−bis(4−methoxy
phenyl)−4−〔2−(1−naphthale
nyl)ethenyl〕−Benzenamine}
(以下、NSDと略す)13b2の二層構造にする。そ
れ以外は、第1実施例と同様であり、ここでは、その説
明は省略する。
【0026】このような有機EL素子においては、陰極
12から注入された電子と、陽極14から注入されたホ
ールが、ホール輸送性発光層中で結合し、発光が観察さ
れる。この構造は、発光層として用いる材料がホール輸
送性を持つ場合に適した構造である。
【0027】(C)第3実施例の有機物質層13の形成
方法の場合、発光性有機物質を含む有機物質層として、
第5に示すように、電子輸送層としてオキサジアゾール
の誘電体(PBD)13c1と、発光層としてアントラ
セン13c2と、ホール輸送層としてトリフェニルアミ
ン誘導体(TAD)13c3の三層構造にする。その以
外は、実施例1と同様であり、ここでは、その説明は省
略する。
【0028】このように、薄い発光層13c2を電子輸
送層13c1とホール輸送層13c3とで挟んだダブル
ヘテロ型の構造を有している。陰極12から注入された
電子と、陽極14から注入されたホールが結合し、発光
層13c2より発光が観察される。この構造は、発光層
として、用いる材料が電子およびホール双方を同程度に
輸送する性質を持つ場合に適した構造である。
【0029】(D)第4実施例の有機物質層13の形成
方法の場合、発光性有機物質を含む有機物質層13とし
て、図6に示すように、電子輸送性有機化合物、ホール
輸送性有機化合物、発光性有機化合物を混合塗布したも
のの一層構造にする。具体的には、電子輸送性有機化合
物としてオキサジアゾール誘導体(2,5−ビスナフチ
ル−1,3,4−オキサジアゾール)を用い、ホール輸
送性有機化合物としてヒドラゾンを用い、発光性有機化
合物として、レーザー用色素であるクリン6を用いた。
素子の作製は、電子輸送性有機化合物、ホール輸送性有
機化合物、発光性有機化合物、ポリエステル樹脂を1:
1:0.05:1の割合で混合し、第1導電膜12上
に、混合層の薄膜13d1をディップコーティング法に
より、0.2μmの厚さに形成した。それ以外は、第1
実施例と同様であり、ここでは、その説明は省略する。
【0030】このように積層構造を採用しなくても有機
単層構造でも、電子とホールのバランスのとれた注入、
有機物質層内部でのキャリア再結合の条件が満たされる
場合には高い性能を発現できる。 (E)第5実施例の有機物質層13の形成方法の場合、
発光性有機物質13を含む有機物質層13として、図7
に示すように、導電性高分子の一層構造にする。具体的
には、第1導電膜12上に、電子・ホール輸送性発光層
13e1としてのポリ(3−オクタデシルチオフェン)
の薄膜をスピンコート法で、0.2μmの薄膜に形成す
る。それ以外は、第1実施例と同様であり、ここでは、
その説明は省略する。
【0031】このような導電性高分子を用いた単層型素
子構造においても、陰極12および陽極14からそれぞ
れ電子、ホールがバランスよく注入され発光が得られ
る。 (4)更に、有機物質層13の上に、第2導電膜14と
してのITO透明薄膜(陽極)を0.1μm真空蒸着す
る。次に、ホトリソ・エッチングにより、第2導電膜1
4になるITO薄膜を所定の形状に加工し、図2(d)
に示すように、陽極を形成する。
【0032】(5)更に、第3導電膜としてのAl膜1
5を、膜厚を0.5〜3.0μm蒸着し、ホトリソ・エ
ッチングを経て所定形状に加工し、図2(e)に示すよ
うに、陽極の引出しパットを形成する。 (6)その後、図8に示すように、基板を切断し、図1
に示すように、有機ELアレイ10を形成する。
【0033】完成した有機ELアレイ方式光プリンタヘ
ッドは、複数の駆動用ドライバ−LSIよりなる回路
と、ワイヤーボンドなどで接続され、電子写真プリンタ
光源となる。集束性ロッドレンズアレイ等の結像系を用
いて、前記有機ELアレイ方式ヘッドからの出力光を感
光ドラム面上に結像させることになる。
【0034】また、図1に示したガラス基板11上に第
1導電膜12、有機物質層13、第2導電膜14の成膜
順序を逆にする。つまり、ガラス基板11上に第2導電
膜14、有機物質層13、第1導電膜12を形成するよ
うにしてもよい。それ以外は、第1実施例と同様であ
り、ここでは、その説明は省略する。このように構成し
ても、陰極から有機物質層への電子の注入、陽極から有
機物質層へのホールの注入に関しては、本質的な違いは
生じず、同様な発光が得られる。
【0035】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図10は本発明の第2実施例を示す有機ELアレイ
の斜視図、図11は図10のA方向から見た製造工程図
である。まず、有機EL素子の構造を説明する。図10
に示すように、有機ELアレイ20は、ガラス基板11
上に第1導電膜12(陰極)、発光性有機物質を含む有
機物質層13(膜厚0.01μm〜1μm)、ストライ
プ状にパターニングされた第2導電膜21(陽極、透明
電極ITO)(ピッチ21〜126μm)、ストライプ
状にパターニングされた絶縁保護膜22、パターンニン
グされた第3導電膜23によって構成される。
【0036】このように、絶縁保護膜22を設けること
により、発光性有機物質を含む有機物質層13を保護す
ることができる。なお、有機EL素子の動作は、前記し
た第1実施例と同様であり、重複するので、説明は省略
する。次に、この第2実施例の有機EL素子アレイの製
造方法を簡単に説明する。
【0037】図11(a)から図11(c)の工程は、
第1実施例と同様であり、説明は省略する。次に、図1
1(d)に示すように、有機物質層13の上に、第2導
電膜21としてのITO透明膜(陽極)を0.1μm真
空蒸着した後、ホトリソ・エッチングにより、ストライ
プ状にパターニングし、第2導電膜21となるITO薄
膜を所定の形状に加工し、陽極を形成する。
【0038】その後、スパッタ法、CVD法などによ
り、SiO2 絶縁膜を、0.01〜10μm堆積し、ホ
トリソ.エッチング(HF系使用)し、ストライプ状に
パターニングし、SiO2 絶縁膜を所定の形状に加工
し、図11(e)に示すように、有機物質層13の絶縁
保護膜22を形成する。
【0039】更に、第3導電膜としてのAl膜23を膜
厚0.5〜3.0μm蒸着し、ホトリソ・エッチングに
より、ストライプ状にパターニングし、所定形状に加工
し、図11(f)に示すように、陽極の引出しパットを
形成する。その後、図8に示すように、基板を切断し、
有機ELアレイを形成する。その他の点は、前記した第
1実施例と同様であり、ここではその説明は重複するの
で省略する。
【0040】次に、本発明の第3実施例について説明す
る。図12は本発明の第3実施例を示す有機ELアレイ
の斜視図、図13は図12のA方向から見た製造工程図
である。まず、有機EL素子の構造を説明する。図1に
示すように、有機ELアレイ30は、ガラス基板11上
に、第1導電膜12(陰極)、素子分離された発光性有
機物質を含む有機物質層31(膜厚0.01μm〜1μ
m)、ストライプ状にパターニングされた第2導電膜3
2(陽極、透明電極ITO)(ピッチ21μm〜126
μm)、ストライプ状にパターニングされた第3導電膜
33によって構成される。
【0041】この実施例では、各有機EL素子間のクロ
ストークを防止するために、有機物質層31の素子分離
を行う。なお、有機EL素子の動作は、前記した第1実
施例と同様であり、重複するので、説明は省略する。次
に、この第3実施例の有機EL素子アレイの製造方法を
簡単に説明する。
【0042】図13(a)から図13(b)の工程は、
第1実施例と同様であり、説明は省略する。図13
(b)工程終了後、図13(c)に示すように、第1導
電膜12上に、素子分離された発光性有機物質を含む有
機物質層31(膜厚0.01μm〜1μm)を形成す
る。
【0043】次いで、有機物質層31の上に、第2導電
膜としてのITO透明電極(陽極)を0.1μm真空蒸
着し、ホトリソ・エッチングにより、図13(d)に示
すように、ストライプ状にパターニングし、第2導電膜
32となるITO薄膜を所定の形状に加工し、陽極を形
成する。そして、ホトリソ・エッチングにより、有機物
質層31の素子分離を行う。
【0044】更に、図13(e)に示すように、第3導
電膜としてのAl膜を膜厚0.5〜3.0μm蒸着し、
ホトリソ・エッチングにより、ストライプ状にパターニ
ングし、第3導電膜としてのAl膜33を所定形状に加
工し、陽極の引き出しパットを形成する。その後、図8
に示すように、基板を切断し、有機ELアレイ30を形
成する。
【0045】その他の点は、前記した第1実施例と同様
であり、ここではその説明は重複するので省略する。な
お、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これら
を本発明の範囲から排除するものではない。
【0046】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、請求項1
〜3記載の本発明の光プリンタヘッドは、基板上に有機
EL素子を配置することによって作られるため、 (1)レーザービーム(LB)スキャン方式の光プリン
タヘッドと比べて、回転多面鏡等を主体とする走査機構
がなく、超高速化と超小型化を図ることができる。
【0047】(2)LEDアレイ方式の光プリンタヘッ
ドと比べて、高価なGaAs系等半導体単結晶基板、高
価な真空エピタキシャル装置を使用する必要がない。ま
た、一つの光ヘッドを一枚の基板で作製できるため、基
板のブレーク回数、位置出しに要する時間(実装、検
査)が少なくなり、工程が簡単になり、低コスト化が可
能になり、同時に配列誤差が発生することがない。
【0048】(3)LCSアレイ方式の光プリンタヘッ
ドと比べて、光ヘッドより印刷速度が速い。また、光源
の蛍光灯を使用しないため、ヘッドのサイズを小さくす
ることができる。従来のZnS:Mnを発光層とする無
機ELアレイ方式の光ヘッドと比べて、駆動電圧が低く
(10V前後)、輝度が高い(最高105 cd/m2
上)。
【0049】従って、本発明の光プリンタヘッドは、高
速、安価、高解像度、低騒音、コンパクト、普通紙印
字、低い電圧駆動等全ての光プリンタヘッドの長所を有
している。また、請求項2記載の発明は、上記作用効果
に加えて、特に、有機物質層の上にSiO2 、SiN、
GeO等の絶縁保護膜を形成し、有機物質特有の劣化を
防止することができる。
【0050】更に、請求項3記載の発明は、上記作用効
果に加えて、特に、有機物質層の素子分離を行うように
したので、各有機EL素子間のクロストークを防止でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す有機ELアレイの斜
視図である。
【図2】図1のA方向から見た製造工程図である。
【図3】本発明の有機ELアレイの有機物質層の第1実
施例を示す断面図である。
【図4】本発明の有機ELアレイの有機物質層の第2実
施例を示す断面図である。
【図5】本発明の有機ELアレイの有機物質層の第3実
施例を示す断面図である。
【図6】本発明の有機ELアレイの有機物質層の第4実
施例を示す断面図である。
【図7】本発明の有機ELアレイの有機物質層の第5実
施例を示す断面図である。
【図8】本発明の有機ELアレイの切り出しの説明図で
ある。
【図9】従来の光プリンタの印刷工程説明図である。
【図10】本発明の第2実施例を示す有機ELアレイの
斜視図である。
【図11】図10のA方向から見た製造工程図である。
【図12】本発明の第3実施例を示す有機ELアレイの
斜視図である。
【図13】図12のA方向から見た製造工程図である。
【符号の説明】
10,20,30 有機ELアレイ 11 ガラス基板 12 第1導電膜(陰極) 13 発光性有機物質を含む有機物質層 13a1 電子輸送性発光層 13a2 ホール輸送層 13b1,13c1 電子輸送層 13b2 ホール輸送性発光層 13c2 発光層 13c3 ホール輸送層 13d1 混合層の薄膜 13e1 電子・ホール輸送性発光層 14 第2導電膜(陽極、透明電極ITO) 15 第3導電膜(Al膜) 21,32 パターニングされた第2導電膜 22 パターニングされた絶縁保護膜 23,33 パターニングされた第3導電膜 31 素子分離された発光性有機物質を含む有機物質
【手続補正書】
【提出日】平成7年10月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0045
【補正方法】変更
【補正内容】
【0045】その他の点は、前記した第1実施例と同様
であり、ここではその説明は重複するので省略する。な
お、前記各実施例では、一例として発光性有機物質を含
む有機物質層で発光された光を第2導電膜を通し、上面
から取り出す面発光型の光プリンタヘッドとして説明し
たが、この発光性有機物質を含む有機物質層で発光され
た光は、この有機物質層の露出した端面からも出射され
るため、この端面から出射される光を利用して、例えば
特開平2−125765号公報、特開平5−31955
号公報等に開示される端面発光型光プリンタヘッドと同
様の端面発光型の光プリンタヘッドとすることもできる
ことは言うまでもない。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ELアレイを有する光プリンタヘッドに
    おいて、(a)基板と、(b)該基板上に設けられる第
    1電極となる導電膜と、(c)該導電膜上に設けられる
    発光性有機物質を含む有機物質層と、(d)ストライプ
    状にパターニングされ、前記有機物質層上に形成される
    第2電極となる導電膜を備え、(e)前記二つの導電膜
    によって前記有機物質層に電界を印加し、前記有機物質
    層から発光を生ぜしめるELアレイを有する光プリンタ
    ヘッド。
  2. 【請求項2】 ELアレイを有する光プリンタヘッドに
    おいて、(a)基板と、(b)該基板上に設けられる第
    1電極となる導電膜と、(c)該導電膜上に設けられる
    発光性有機物質を含む有機物質層と、(d)ストライプ
    状にパターニングされ、前記有機物質層上に形成される
    第2電極となる導電膜と、(e)該導電膜間に設けられ
    る絶縁保護膜とを備え、(f)前記二つの導電膜によっ
    て前記有機物質層に電界を印加し、前記有機物質層から
    発光を生ぜしめるELアレイを有する光プリンタヘッ
    ド。
  3. 【請求項3】 ELアレイを有する光プリンタヘッドに
    おいて、(a)基板と、(b)該基板上に設けられる第
    1電極となる導電膜と、(c)ストライプ状にパターニ
    ングされ、素子分離される発光性有機物質を含む有機物
    質層と、(d)該有機物質層上に形成される第2電極と
    なる導電膜とを備え、(e)前記二つの導電膜によって
    前記有機物質層に電界を印加し、前記有機物質層から発
    光を生ぜしめるELアレイを有する光プリンタヘッド。
  4. 【請求項4】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    は、少なくとも電子輸送性発光層とホール輸送層からな
    ることを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリン
    タヘッド。
  5. 【請求項5】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    は、少なくとも電子輸送層とホール輸送性発光層からな
    ることを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリン
    タヘッド。
  6. 【請求項6】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    は、少なくとも電子輸送層と発光層とホール輸送層から
    なることを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリ
    ンタヘッド。
  7. 【請求項7】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    は、少なくとも電子・ホール輸送性発光層からなること
    を特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリンタヘッ
    ド。
  8. 【請求項8】 一光ヘッド分のELアレイを一基板で作
    ることを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリン
    タヘッド。
  9. 【請求項9】 第1電極を陰極、第2電極を陽極とする
    ことを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリンタ
    ヘッド。
  10. 【請求項10】 第1電極を陽極、第2電極を陰極とす
    ることを特徴とする請求項1、2又は3記載の光プリン
    タヘッド。
  11. 【請求項11】 前記電子輸送性発光層として、Alq
    3 、ベリリウム−ベンゾキノリノール錯体など他のキノ
    リノール錯体或はポルフィリン系錯体等の金属錯体、シ
    クロペンタジェン誘電体、ペリレン誘電体を用いること
    を特徴とする請求項4記載の光プリンタヘッド。
  12. 【請求項12】 前記ホール輸送層として、トリフェニ
    ルアミン系、トリフェニルメタン系、オキサジアゾール
    系、ピラゾリン系、ヒドラゾン系、ポリビニルカルバゾ
    ール系を用いることを特徴とする請求項4又は6記載の
    光プリンタヘッド。
  13. 【請求項13】 前記電子輸送層として、オキサジアゾ
    ールの誘電体(PBD)を用いることを特徴とする請求
    項5又は6記載の光プリンタヘッド。
  14. 【請求項14】 ホール輸送性発光層として、トリフェ
    ニルアミン誘導体(NSD)を用いることを特徴とする
    請求項5記載の光プリンタヘッド。
  15. 【請求項15】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    として、電子輸送性有機化合物オキサジアゾールの誘電
    体(2,5−ブスナフチル−1,3,4−オキサジアゾ
    ール)、ホール輸送性有機化合物ヒドラゾン、発光性有
    機化合物レーザー用色素であるクマリン6、ポリエステ
    ル樹脂を混合した一層構造を用いることを特徴とする請
    求項7記載の光プリンタヘッド。
  16. 【請求項16】 前記発光性有機物質を含む有機物質層
    として、ポリ(3−オクタデシルチオフェン)の薄膜導
    電性高分子の一層構造を用いることを特徴とする請求項
    7記載の光プリンタヘッド。
JP18700994A 1994-08-09 1994-08-09 Elアレイを有する光プリンタヘッド Withdrawn JPH0848052A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1035004A (ja) * 1996-03-01 1998-02-10 Fuji Electric Co Ltd 光学プリンターヘッド
US6236416B1 (en) * 1997-11-11 2001-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Image forming apparatus featuring a plurality of light emission elements on a single chip

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