JPH085160Y2 - 基板移し替え治具 - Google Patents

基板移し替え治具

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Publication number
JPH085160Y2
JPH085160Y2 JP1989055402U JP5540289U JPH085160Y2 JP H085160 Y2 JPH085160 Y2 JP H085160Y2 JP 1989055402 U JP1989055402 U JP 1989055402U JP 5540289 U JP5540289 U JP 5540289U JP H085160 Y2 JPH085160 Y2 JP H085160Y2
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JP
Japan
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carrier
fork
jig
substrates
substrate
Prior art date
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Application number
JP1989055402U
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English (en)
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JPH02145240U (ja
Inventor
卓 大村
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Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、キャリア内に収納された液晶表示パネルな
どにおける基板を他のキャリアに移し替える際に使用す
る基板移し替え治具に関する。
[従来の技術] 液晶表示パネルなどにおける基板を製造する際には、
基板を保管用のキャリアから移送用のキャリアに、或い
はその逆に移送用のキャリアから保管用のキャリアに移
し替える作業がある。ここで保管用のキャリアも移送用
のキャリアも同一構造のものが使用されるのが通常で、
その構造を第4図に示し、aがキャリアで、このキャリ
アaの内側の両側面に複数段に支持溝b…が形成されて
いる。そしてキャリアaの前面の開口部から、手作業で
各段の支持溝b…に順に基板c…を差込んでキャリアa
内に複数段に収納し、またこれら基板c…を前方に順に
引出して取出すようにしている。
[考案が解決しようとする課題] このように従来においては、キャリアに対して基板を
手作業により一枚ずつ差込んで収納し、また一枚ずつ引
出して取出さなければならず、このため作業が面倒で能
率性が低下し、さらにその作業の際に作業者が手袋をは
めた手で直接基板に触れるため、その手袋に付着してい
た塵埃などが基板に付着して基板を汚損したり、或いは
フォトレジストを塗布したのちの基板にあってはそのフ
ォトレジストが手袋に付着して手袋の交換時期を早めて
しまう難点がある。
本考案はこのような点に着目してなされたもので、そ
の目的とするところは、複数枚の基板を直接手で触れる
ことなく一度に能率よく一方のキャリアから他方のキャ
リアに移し替えることができる基板移し替え治具を提供
することにある。
[課題を解決するための手段] 本考案はこのような目的を達成するために、治具本体
と、この治具本体に上下動可能に設けられたフォーク支
持具と、このフォーク支持具に上下複数段に設けられた
フォークと、前記治具本体に設けられた、前記フォーク
支持具及び前記フォークのみを上下動させる操作機構
と、前記フォークより長く複数段に基板を収納するキャ
リアの周囲に挿入可能な複数のガイドバーと、を具備
し、前記フォークでキャリア内に複数段に収納された基
板を支持して他のキャリアに移し替えるようにしたもの
である。
[作用] 基板が収納されたキャリアへのフォークの挿入時にフ
ォークの挿入より先にガイドバーがキャリアに挿入する
ことによりフォークが基板に届く前にフォークのキャリ
ア内の基板との相対的な位置関係を簡便に設定すること
ができるので、複雑な自動駆動手段なしにフォークをキ
ャリア内の基板に接触することなく挿入することがで
き、摩擦による塵の発生の低減化を実現できる。また、
治具本体及びキャリアを所定位置に固定する手段の必要
がないので、装置の簡易化を図ることができる。
[実施例] 以下、本考案の一実施例について第1図ないし第3図
を参照し説明する。
第2図に治具dの外観を示し、1が治具本体で、この
治具本体1の前面の四隅にキャリアaの内側面の上下部
分に挿入可能なガイドバー2…が取付けられている。さ
らにこの治具本体1の前面に、第1図に示すようにフォ
ーク支持具3が設けられ、このフォーク支持具3は一対
の支持板4,4と、これら支持板4,4を連結した連結桟5と
でH形に構成され、支持板4,4の両側縁が治具本体1に
取付けられたガイドプレート6,6により上下にスライド
可能に保持されている。そしてこれら支持板4,4の前面
に、キャリアaにおける支持溝b…に対応する段数分の
フォーク7…が上下に一定の間隔をあけて水平に取付け
られている。また治具本体1の中央部には第3図に示す
ように透孔8が形成され、この透孔8に操作摘み9を有
する操作軸10がその背面側から挿入され、その操作軸10
の先端部に偏心カム11が取付固定され、この偏心カム11
の周面が前記フォーク支持具3における連結桟5の下面
に接触し、これによりフォーク支持具3に対する操作機
構が構成されている。
このような基板移し替え治具で基板を移し替える手順
について述べると、ガイドバー2…を案内にして各フォ
ーク7…をキャリアaの前面の開口部からその内部に挿
入してこれらフォーク7…をキャリアa内の各基板c…
の下面側に対向配置させる。そしてこの状態で操作摘み
9を介して偏心カム11を回動操作し、この偏心カム11で
連結桟5を押上げてフォーク支持具3を上昇させ、この
上昇状態を操作軸10と透孔8との摩擦力で保持する。
フォーク支持具3の上昇に応じて各フォーク7…がそ
の上方に配置する各基板c…の下面に接触して各基板c
…を上方に押上げ、この押上げにより各基板c…が各フ
ォーク7…により支持される。したがってこの状態で治
具dをキャリアaの前方に引出すことにより各基板c…
を一体的にキャリアaから取出すことができる。
そしてこのようにして取出した各基板c…をフォーク
7…で支持したまま、別のキャリアa内にフォーク7…
と共に挿入し、こののち操作摘み9を介して偏心カム11
を回動操作して各フォーク7…を下降させる。この下降
により各基板c…の両端縁の下面が前記キャリアaの支
持溝b…に支持されるから、こののち治具dの全体をキ
ャリアaから引出し、これにより基板c…の移し替えが
完了する。
このようにキャリアa内の基板c…を一度に能率よく
他のキャリアaに移し替えることができる。そして基板
c…に直接手を触れることがないから、基板c…を汚損
したり、作業用の手袋にレジストが付着するようなこと
もない。
[考案の効果] 以上説明したように本考案によれば、基板が収納され
たキャリアへのフォークの挿入時にフォークの挿入より
先にガイドバーがキャリアに挿入することによりフォー
クが基板に届く前にフォークのキャリア内の基板との相
対的な位置関係を簡便に設定することができるので、複
雑な自動駆動手段なしにフォークをキャリア内の基板に
接触することなく挿入することができ、摩擦による塵の
発生の低減化を実現できる。また、治具本体及びキャリ
アを所定位置に固定する手段が必要がないので、装置の
簡易化を図ることができる。また、キャリア内に収納さ
れている複数枚の基板を一度に能率よく他のキャリアに
移し替えることができるとともに、その作業時に基板を
汚損したり、作業用の手袋にレジストが付着するような
ことがない利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例による基板移し替え治具を示
す正面図、第2図はその治具をキャリアに対向して配置
させた状態の斜視図、第3図はその治具の一部の断面
図、第4図はキャリアの斜視図である。 1……治具本体、3……フォーク支持具、7……フォー
ク、10……偏心カム(操作機構)、a……キャリア、c
……基板、d……治具。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】治具本体と、この治具本体に上下動可能に
    設けられたフォーク支持具と、このフォーク支持具に上
    下複数段に設けられたフォークと、前記治具本体に設け
    られた、前記フォーク支持具及び前記フォークのみを上
    下動させる操作機構と、前記フォークより長く複数段に
    基板を収納するキャリアの周囲に挿入可能な複数のガイ
    ドバーと、を具備し、前記フォークでキャリア内に複数
    段に収納された基板を支持して他のキャリアに移し替え
    ることを特徴とする基板移し替え治具。
JP1989055402U 1989-05-15 1989-05-15 基板移し替え治具 Expired - Lifetime JPH085160Y2 (ja)

Priority Applications (1)

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JP1989055402U JPH085160Y2 (ja) 1989-05-15 1989-05-15 基板移し替え治具

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JP1989055402U JPH085160Y2 (ja) 1989-05-15 1989-05-15 基板移し替え治具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02145240U JPH02145240U (ja) 1990-12-10
JPH085160Y2 true JPH085160Y2 (ja) 1996-02-14

Family

ID=31578320

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1989055402U Expired - Lifetime JPH085160Y2 (ja) 1989-05-15 1989-05-15 基板移し替え治具

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JP (1) JPH085160Y2 (ja)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61291335A (ja) * 1985-06-19 1986-12-22 Denkoo:Kk 半導体移換え装置
JPS6265843A (ja) * 1985-09-12 1987-03-25 Denkoo:Kk 半導体ウエハ取出し装置
JPS63102236U (ja) * 1986-12-23 1988-07-02

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02145240U (ja) 1990-12-10

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