JPH0852404A - カーテンフローコータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 - Google Patents
カーテンフローコータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法Info
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- JPH0852404A JPH0852404A JP18720994A JP18720994A JPH0852404A JP H0852404 A JPH0852404 A JP H0852404A JP 18720994 A JP18720994 A JP 18720994A JP 18720994 A JP18720994 A JP 18720994A JP H0852404 A JPH0852404 A JP H0852404A
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- curtain flow
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Abstract
(57)【要約】
【構成】本発明は、カーテンフローコータの口金リップ
部の形状において、バックアップリップの先端のみが基
板と平行になっていることを特徴とする口金形状および
それを用いた塗布方法である。 【効果】本発明によると、口金のドクターリップ部に所
定の角度を持たせ、さらにバックアップリップ部を基板
と平行な形状にすることにより、塗布開始部からの膜厚
均一化が可能となった。更に、塗膜外観もムラ、スジの
ない良好なものが得られるようになった。
部の形状において、バックアップリップの先端のみが基
板と平行になっていることを特徴とする口金形状および
それを用いた塗布方法である。 【効果】本発明によると、口金のドクターリップ部に所
定の角度を持たせ、さらにバックアップリップ部を基板
と平行な形状にすることにより、塗布開始部からの膜厚
均一化が可能となった。更に、塗膜外観もムラ、スジの
ない良好なものが得られるようになった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶を用いたカラーデ
ィスプレイや固体撮像素子などに用いられる、カラーフ
ィルタ用塗膜形成に好適に用いられるカーテンフローコ
ータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィル
タ用塗膜の製造方法に関するものである。
ィスプレイや固体撮像素子などに用いられる、カラーフ
ィルタ用塗膜形成に好適に用いられるカーテンフローコ
ータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィル
タ用塗膜の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に液晶を用いたディスプレイ等に利
用されるカラーフィルタは、ガラス基板等の透明基板上
に、赤、緑、青の３原色パターンがある一定の位置関係
を保って配列されている。この透明基板上への薄膜塗布
方式の１つにカーテンフローコータがある。
用されるカラーフィルタは、ガラス基板等の透明基板上
に、赤、緑、青の３原色パターンがある一定の位置関係
を保って配列されている。この透明基板上への薄膜塗布
方式の１つにカーテンフローコータがある。
【０００３】この塗布方法としては、例えば特開平５−
１１１０５号公報に公開されており、ダイヘッド、Ｔダ
イ、スリットダイと呼ばれる口金のリップ先端から塗料
をカーテン状に吐出し、基板に非接触で塗布する方式の
ものである。この方式は、吐出されるまでの塗料供給経
路が密閉されているために、異物の混入が少なく、さら
に塗料の粘度変化が少ないなどの特徴を有している。
１１１０５号公報に公開されており、ダイヘッド、Ｔダ
イ、スリットダイと呼ばれる口金のリップ先端から塗料
をカーテン状に吐出し、基板に非接触で塗布する方式の
ものである。この方式は、吐出されるまでの塗料供給経
路が密閉されているために、異物の混入が少なく、さら
に塗料の粘度変化が少ないなどの特徴を有している。
【０００４】しかしながら、カーテンフローコータによ
る薄膜塗布は、塗布開始部において数メートルの間膜厚
精度が悪く、薄くなる傾向がある。このために、小さな
平板への薄膜塗布は困難とされてきた。しかしながら、
カラーフィルタの場合、平板への塗布において、塗布開
始部から均一膜厚を有する物を得ることは、品質上欠か
せない問題である。
る薄膜塗布は、塗布開始部において数メートルの間膜厚
精度が悪く、薄くなる傾向がある。このために、小さな
平板への薄膜塗布は困難とされてきた。しかしながら、
カラーフィルタの場合、平板への塗布において、塗布開
始部から均一膜厚を有する物を得ることは、品質上欠か
せない問題である。
【０００５】塗布開始部の膜厚均一性の向上の手段とし
て、口金形状の最適化があげられる。現状の口金形状と
して、Ｔダイが一般的である。Ｔダイは、リップ先端部
の液だまりが大きく、安定した液だまりになるまでに時
間がかかる。そのために、塗布開始部の膜厚安定性が悪
く、また、縦スジなどの塗布欠陥が発生しやすいなどの
問題点がある。
て、口金形状の最適化があげられる。現状の口金形状と
して、Ｔダイが一般的である。Ｔダイは、リップ先端部
の液だまりが大きく、安定した液だまりになるまでに時
間がかかる。そのために、塗布開始部の膜厚安定性が悪
く、また、縦スジなどの塗布欠陥が発生しやすいなどの
問題点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、カー
テンフローコータのこれまでの課題である塗布開始部の
膜厚均一化を可能にすることにある。
テンフローコータのこれまでの課題である塗布開始部の
膜厚均一化を可能にすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、次の構成を有
するものである。
するものである。
【０００８】（１）平板上に塗料を塗布する際に用いら
れるカーテンフローコータであって、該カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端の角度が９０度未満であ
ることを特徴とするカーテンフローコータ。
れるカーテンフローコータであって、該カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端の角度が９０度未満であ
ることを特徴とするカーテンフローコータ。
【０００９】（２）カーテンフローコータを用いて平板
上に塗料を塗布する方法において、該カーテンフローコ
ータの口金のドクターリップ部およびバックアップリッ
プ部の少なくとも一方の先端が、該平板と平行でない状
態で塗布することを特徴とする塗料の塗布方法。
上に塗料を塗布する方法において、該カーテンフローコ
ータの口金のドクターリップ部およびバックアップリッ
プ部の少なくとも一方の先端が、該平板と平行でない状
態で塗布することを特徴とする塗料の塗布方法。
【００１０】（３）カーテンフローコータを用いて平板
上にカラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を
含むカラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カー
テンフローコータの口金のドクターリップ部およびバッ
クアップリップ部の少なくとも一方の先端が、該平板と
平行でない状態で塗布することを特徴とするカラーフィ
ルタ用塗膜の製造方法。
上にカラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を
含むカラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カー
テンフローコータの口金のドクターリップ部およびバッ
クアップリップ部の少なくとも一方の先端が、該平板と
平行でない状態で塗布することを特徴とするカラーフィ
ルタ用塗膜の製造方法。
【００１１】本発明におけるカーテンフローコータにつ
いて説明する。
いて説明する。
【００１２】本発明にかかるカーテンフローコータの口
金は、ドクターリップ部およびバックアップリップ部の
少なくとも一方の先端が９０度未満であることを特徴と
する。両方のリップ部の先端が９０度であると塗布開始
部の膜厚が安定しないためである。塗布開始部の膜厚の
安定性をより高めるためには、ドクターリップ部の先端
の角度が９０度未満であり、バックアップリップ部の先
端の角度が９０度であることが好ましい。ドクターリッ
プ部の先端の角度はより好ましくは３０〜８０度、さら
に好ましくは４０〜７０度である。３０度未満になる
と、リップ部の先端の液だまりの量が多くなり、塗布開
始部の膜厚が薄くなる。また、８０度をこえると、Ｔダ
イとほぼ同様な形状になるため、塗布開始部の膜厚均一
性に欠ける。一方、バックアップリップ部の先端の角度
は実質的に９０度であることが好ましく、塗料を塗布す
る平板に平行な状態で塗布することが好ましい。この基
板と平行な部分がないと、塗料塗布時に、リップの先端
の液だまりが安定しなくなるため、幅方向の塗布むらが
発生しやすい。この平板に平行な部分の長さは０．５〜
２０ｍｍの範囲が好ましく、より好ましくは１〜５ｍｍ
の範囲が好適である。０．５ｍｍ未満では、幅方向の塗
布むらが発生しやすく、また２０ｍｍをこえると、口金
が重くなるために口金がたわみ、基板とのクリアランス
が一定に保てないために幅方向の膜厚均一性に欠ける。
金は、ドクターリップ部およびバックアップリップ部の
少なくとも一方の先端が９０度未満であることを特徴と
する。両方のリップ部の先端が９０度であると塗布開始
部の膜厚が安定しないためである。塗布開始部の膜厚の
安定性をより高めるためには、ドクターリップ部の先端
の角度が９０度未満であり、バックアップリップ部の先
端の角度が９０度であることが好ましい。ドクターリッ
プ部の先端の角度はより好ましくは３０〜８０度、さら
に好ましくは４０〜７０度である。３０度未満になる
と、リップ部の先端の液だまりの量が多くなり、塗布開
始部の膜厚が薄くなる。また、８０度をこえると、Ｔダ
イとほぼ同様な形状になるため、塗布開始部の膜厚均一
性に欠ける。一方、バックアップリップ部の先端の角度
は実質的に９０度であることが好ましく、塗料を塗布す
る平板に平行な状態で塗布することが好ましい。この基
板と平行な部分がないと、塗料塗布時に、リップの先端
の液だまりが安定しなくなるため、幅方向の塗布むらが
発生しやすい。この平板に平行な部分の長さは０．５〜
２０ｍｍの範囲が好ましく、より好ましくは１〜５ｍｍ
の範囲が好適である。０．５ｍｍ未満では、幅方向の塗
布むらが発生しやすく、また２０ｍｍをこえると、口金
が重くなるために口金がたわみ、基板とのクリアランス
が一定に保てないために幅方向の膜厚均一性に欠ける。
【００１３】第２図に、本発明におけるカーテンフロー
コータの口金の一例を表す概略図を示す。すなわち、口
金６の先端は、ドクターリップ１２とバックアップリッ
プ１３とから構成されており、ドクターリップ１２の先
端の角度は約５０度、バックアップリップ１３の先端の
角度は実質的に９０度となっている。なお、７は押し引
きボルト、１１はフィルムを表す。
コータの口金の一例を表す概略図を示す。すなわち、口
金６の先端は、ドクターリップ１２とバックアップリッ
プ１３とから構成されており、ドクターリップ１２の先
端の角度は約５０度、バックアップリップ１３の先端の
角度は実質的に９０度となっている。なお、７は押し引
きボルト、１１はフィルムを表す。
【００１４】次に本発明における塗料の塗布方法を説明
する。
する。
【００１５】本発明にかかる塗料の塗布方法は、上記で
説明したようなカーテンフローコータを用いて平板上に
塗料を塗布する方法である。あるいは、カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端が、平板と平行でない状
態で塗料を塗布する方法である。塗布開始部の膜厚安定
性向上のためには、ドクターリップ部の先端が平板と平
行ではなく、かつバックアップリップ部の先端が平板と
平行となっている状態で塗布することが好ましい。
説明したようなカーテンフローコータを用いて平板上に
塗料を塗布する方法である。あるいは、カーテンフロー
コータの口金のドクターリップ部およびバックアップリ
ップ部の少なくとも一方の先端が、平板と平行でない状
態で塗料を塗布する方法である。塗布開始部の膜厚安定
性向上のためには、ドクターリップ部の先端が平板と平
行ではなく、かつバックアップリップ部の先端が平板と
平行となっている状態で塗布することが好ましい。
【００１６】第１図に、本発明におけるカーテンフロー
コータ（スリットダイコータ）による塗布の一例を表す
概略図を示す。すなわち、塗料１０はポンプ９によって
配管８から口金６の内部に供給され、平板１の搬送（矢
印Ａ方向）に従い、口金６の先端であるリップ５（ドク
ターリップ１２とバックアップリップ１３から構成され
る）からカーテン状態で吸着ステージ２上に吸着固定さ
れた平板１上に塗布され、塗膜３が形成される。幅方向
の塗膜の均一性は、カーテン状に吐出される塗料を口金
先端部にあるリップ５の間隔や、平板１とリップの間隔
すなわちクリアランス４を調整してコントロールされ
る。
コータ（スリットダイコータ）による塗布の一例を表す
概略図を示す。すなわち、塗料１０はポンプ９によって
配管８から口金６の内部に供給され、平板１の搬送（矢
印Ａ方向）に従い、口金６の先端であるリップ５（ドク
ターリップ１２とバックアップリップ１３から構成され
る）からカーテン状態で吸着ステージ２上に吸着固定さ
れた平板１上に塗布され、塗膜３が形成される。幅方向
の塗膜の均一性は、カーテン状に吐出される塗料を口金
先端部にあるリップ５の間隔や、平板１とリップの間隔
すなわちクリアランス４を調整してコントロールされ
る。
【００１７】本発明のカーテンフローコータによる塗料
の塗布は、スリットダイコータによる方法に限定され
ず、ダイヘッド、Ｔダイ等による方法でもよい。また塗
料の供給手段はポンプに限定されず、圧空などの方式に
よるものでもよい。
の塗布は、スリットダイコータによる方法に限定され
ず、ダイヘッド、Ｔダイ等による方法でもよい。また塗
料の供給手段はポンプに限定されず、圧空などの方式に
よるものでもよい。
【００１８】塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料で
ある場合には、特に塗膜の外観が良好であることが要求
されるので、本発明のカーテンフローコータによる塗料
の塗布方法は特に好適に用いられる。
ある場合には、特に塗膜の外観が良好であることが要求
されるので、本発明のカーテンフローコータによる塗料
の塗布方法は特に好適に用いられる。
【００１９】以下、カラーフィルタ用塗膜形成に本発明
の塗料の塗布方法を適用した場合について説明する。
の塗料の塗布方法を適用した場合について説明する。
【００２０】カラーフィルタ用塗膜形成の場合、平板と
して透明平板を用いる。透明平板としては、特に限定さ
れるものではないが、ポリカーボネート、ポリメチルメ
タクリレート等のプラスチック平板やプラスチックフィ
ルムおよびガラス板等全光透過率が７０％以上の透明平
板が好ましく用いられる。なおこれらの中ではガラス板
がより好ましく用いられる。
して透明平板を用いる。透明平板としては、特に限定さ
れるものではないが、ポリカーボネート、ポリメチルメ
タクリレート等のプラスチック平板やプラスチックフィ
ルムおよびガラス板等全光透過率が７０％以上の透明平
板が好ましく用いられる。なおこれらの中ではガラス板
がより好ましく用いられる。
【００２１】塗料の種類としては、特に限定されるもの
ではないが、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビ
ニールアルコール樹脂、ポリアミド酸樹脂、ポリイミド
樹脂等の一種ないし二種以上の混合物およびこれらの感
光性樹脂等が好ましく用いられる。なおこれらの樹脂に
染料または顔料などの着色材を分散混合して、使用する
こともできる。
ではないが、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビ
ニールアルコール樹脂、ポリアミド酸樹脂、ポリイミド
樹脂等の一種ないし二種以上の混合物およびこれらの感
光性樹脂等が好ましく用いられる。なおこれらの樹脂に
染料または顔料などの着色材を分散混合して、使用する
こともできる。
【００２２】透明平板への塗布後の膜厚は、特に限定さ
れるものではないが、乾燥塗膜の状態で、０．１〜５．
０μｍの範囲が好ましく、より好ましくは、０．２〜
３．０μｍの範囲が好適に用いられる。乾燥後の塗膜が
０．１μｍ未満では、乾燥塗膜に縦状のスジが発生し、
品質上問題である。一方５．０μｍを越える場合は、乾
燥塗膜の平滑性が劣る。さらに塗料の使用量も多くな
り、経済性に欠ける。
れるものではないが、乾燥塗膜の状態で、０．１〜５．
０μｍの範囲が好ましく、より好ましくは、０．２〜
３．０μｍの範囲が好適に用いられる。乾燥後の塗膜が
０．１μｍ未満では、乾燥塗膜に縦状のスジが発生し、
品質上問題である。一方５．０μｍを越える場合は、乾
燥塗膜の平滑性が劣る。さらに塗料の使用量も多くな
り、経済性に欠ける。
【００２３】カラーフィルタの製造方法については、た
とえば、以下の方法があげられるが、これらに限定され
るものではない。まず透明平板上に微細パターンからな
る遮光層を形成する。この遮光層上に接着剤を添加した
熱硬化性の塗料を塗布し、５０〜１５０℃の温度で乾燥
して、熱硬化性塗膜を形成する。続いて該熱硬化性塗膜
上にポジ型フォトレジストを塗布し、超高圧水銀灯など
を用いて、マスク露光を行い、次いで該レリーフパター
ンをマスクとして、該熱硬化性塗膜をエッチングする。
続いて該ポジ型フォトレジストを剥離した後、２００〜
３５０℃に加熱焼成し、塗膜を熱硬化する。以上の工程
を赤色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、
緑色および青色の微細パターンを形成し、カラーフィル
タとする。
とえば、以下の方法があげられるが、これらに限定され
るものではない。まず透明平板上に微細パターンからな
る遮光層を形成する。この遮光層上に接着剤を添加した
熱硬化性の塗料を塗布し、５０〜１５０℃の温度で乾燥
して、熱硬化性塗膜を形成する。続いて該熱硬化性塗膜
上にポジ型フォトレジストを塗布し、超高圧水銀灯など
を用いて、マスク露光を行い、次いで該レリーフパター
ンをマスクとして、該熱硬化性塗膜をエッチングする。
続いて該ポジ型フォトレジストを剥離した後、２００〜
３５０℃に加熱焼成し、塗膜を熱硬化する。以上の工程
を赤色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、
緑色および青色の微細パターンを形成し、カラーフィル
タとする。
【００２４】塗料の乾燥温度は、５０〜１６０℃の範囲
が好ましく、より好ましくは、８０〜１３０℃の範囲が
好適である。５０℃未満では、乾燥時間が長く、生産効
率が悪くなる。一方１６０℃以上では、熱硬化が進行し
てしまい、現像液に不溶化してしまう。
が好ましく、より好ましくは、８０〜１３０℃の範囲が
好適である。５０℃未満では、乾燥時間が長く、生産効
率が悪くなる。一方１６０℃以上では、熱硬化が進行し
てしまい、現像液に不溶化してしまう。
【００２５】一方着色剤を添加した感光性塗料の場合
は、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を形成
し、該遮光層上に着色材を添加した感光性塗料を塗布し
て、５０〜１５０℃の温度で乾燥して、感光性塗膜を形
成する。続いて超高圧水銀灯などを用いてマスク露光を
行い、感光性塗料を光硬化する。その後遮光層上の未硬
化感光性塗膜を現像、エッチングする。以上の工程を赤
色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、緑色
および青色の微細パターンを形成し、カラーフィルタと
する。
は、透明平板上に微細パターンからなる遮光層を形成
し、該遮光層上に着色材を添加した感光性塗料を塗布し
て、５０〜１５０℃の温度で乾燥して、感光性塗膜を形
成する。続いて超高圧水銀灯などを用いてマスク露光を
行い、感光性塗料を光硬化する。その後遮光層上の未硬
化感光性塗膜を現像、エッチングする。以上の工程を赤
色、緑色および青色につて繰り返し、所定の赤色、緑色
および青色の微細パターンを形成し、カラーフィルタと
する。
【００２６】なお必要に応じて、該赤色、緑色および青
色の微細パターン上に保護膜および平滑性を高める目的
で着色剤を含まない塗料を塗布して、カラーフィルタと
しても良い。
色の微細パターン上に保護膜および平滑性を高める目的
で着色剤を含まない塗料を塗布して、カラーフィルタと
しても良い。
【００２７】本発明による塗料の塗布方法は、以上のカ
ラーフィルタ製造工程における各種塗料カラーフィルタ
用塗膜形成用塗料の塗布に有効である。すなわち、赤
色、緑色、青色の微細パターン形成用塗料、遮光層形成
用塗料、保護層形成用塗料などである。
ラーフィルタ製造工程における各種塗料カラーフィルタ
用塗膜形成用塗料の塗布に有効である。すなわち、赤
色、緑色、青色の微細パターン形成用塗料、遮光層形成
用塗料、保護層形成用塗料などである。
【００２８】
【実施例】以下に、実施例を挙げて本発明を詳細に説明
するが、これらに限定されるものではない。
するが、これらに限定されるものではない。
【００２９】実施例１・比較例１ 第１図および第２図に示す塗布装置および口金を用い
て、ガラス基板上に塗布を実施した。ガラス基板の大き
さは３００×４００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのものを使用
した。また塗料としては、Ｎメチルピロリドン溶剤と塩
臭素化フタルシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグ
リーン３６）とジスアゾイエローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ＰＩピ
グメントイエロー８３）顔料を添加、分散したポリアミ
ド酸塗料を固形分８ｗｔ％、粘度１００ｃｐの状態で、
塗布速度２ｍ／分の速度で塗布し、１２０℃で１０分乾
燥した。
て、ガラス基板上に塗布を実施した。ガラス基板の大き
さは３００×４００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのものを使用
した。また塗料としては、Ｎメチルピロリドン溶剤と塩
臭素化フタルシアニングリーン（Ｃ．Ｉ．ピグメントグ
リーン３６）とジスアゾイエローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ＰＩピ
グメントイエロー８３）顔料を添加、分散したポリアミ
ド酸塗料を固形分８ｗｔ％、粘度１００ｃｐの状態で、
塗布速度２ｍ／分の速度で塗布し、１２０℃で１０分乾
燥した。
【００３０】一方、第３図に示す従来のカーテンフロー
コータ（ドクターリップおよびバックアップリップの先
端が９０度であり、両方の先端が平板と平行である）を
使用して、実施例１と同様な方法で塗布を行った（比較
例１）。
コータ（ドクターリップおよびバックアップリップの先
端が９０度であり、両方の先端が平板と平行である）を
使用して、実施例１と同様な方法で塗布を行った（比較
例１）。
【００３１】第４図に、実施例１で得られた塗布基板
と、比較例１で得られた塗布基板の膜厚分布結果を比較
して示した。
と、比較例１で得られた塗布基板の膜厚分布結果を比較
して示した。
【００３２】比較例１では塗布基板中心部に対して、塗
布開始部から２００ｍｍまで膜厚が薄く、膜厚が不均一
である。一方実施例１では、比較例１のような膜厚分布
にならず、塗布開始部から１０ｍｍですでに膜厚が安定
している。更に塗布時には塗布ムラもなく、良好な塗膜
が得られた。
布開始部から２００ｍｍまで膜厚が薄く、膜厚が不均一
である。一方実施例１では、比較例１のような膜厚分布
にならず、塗布開始部から１０ｍｍですでに膜厚が安定
している。更に塗布時には塗布ムラもなく、良好な塗膜
が得られた。
【００３３】
【発明の効果】本発明にかかるカーテンフローコータ、
塗料の塗布方法を適用することにより、塗布開始部から
の膜厚均一性が著しく向上させることができるので、従
来発生していた塗布時の縦スジがほとんど発生せず、品
質の良い塗膜を得ることができる。したがって、外観が
良好であることが要求されるカラーフィルタ用塗膜を形
成する場合、特に塗布開始部からの膜厚の安定性が要求
される枚葉塗布の場合には、特に好適に用いることがで
きる。
塗料の塗布方法を適用することにより、塗布開始部から
の膜厚均一性が著しく向上させることができるので、従
来発生していた塗布時の縦スジがほとんど発生せず、品
質の良い塗膜を得ることができる。したがって、外観が
良好であることが要求されるカラーフィルタ用塗膜を形
成する場合、特に塗布開始部からの膜厚の安定性が要求
される枚葉塗布の場合には、特に好適に用いることがで
きる。
【図１】本発明にかかるカーテンフローコータによる塗
布の一例を表す概略図である。
布の一例を表す概略図である。
【図２】本発明のにかかるカーテンフローコータの口金
の一例を表す概略図である。
の一例を表す概略図である。
【図３】従来のカーテンフローコータの口金の一例を表
す概略図である。
す概略図である。
【図４】実施例１で得られた塗布基板と比較例１で得ら
れた塗布基板の膜厚分布図である。
れた塗布基板の膜厚分布図である。
１：平板 ２：吸着ステージ ３：塗膜 ４：クリアランス ５：リップ ６：口金 ７：押し引きボルト ８：配管 ９：ポンプ １０：塗料 １１：フイルム １２：ドクターリップ １３：バックアップリップ
Claims (10)
- 【請求項１】平板上に塗料を塗布する際に用いられるカ
ーテンフローコータであって、該カーテンフローコータ
の口金のドクターリップ部およびバックアップリップ部
の少なくとも一方の先端の角度が９０度未満であること
を特徴とするカーテンフローコータ。 - 【請求項２】該ドクターリップ部の先端の角度が９０度
未満であり、かつ該バックアップリップ部の先端の角度
は９０度であることを特徴とする請求項１記載のカーテ
ンフローコータ。 - 【請求項３】該ドクターリップ部の先端の角度が３０〜
８０度であることを特徴とする請求項１記載のカーテン
フローコータ。 - 【請求項４】カーテンフローコータを用いて平板上に塗
料を塗布する方法において、該カーテンフローコータと
して請求項１〜４のいずれかに記載のカーテンフローコ
ータを用いることを特徴とする塗料の塗布方法。 - 【請求項５】カーテンフローコータを用いて平板上に塗
料を塗布する方法において、該カーテンフローコータの
口金のドクターリップ部およびバックアップリップ部の
少なくとも一方の先端が、該平板と平行でない状態で塗
布することを特徴とする塗料の塗布方法。 - 【請求項６】該ドクターリップ部の先端が該平板と平行
ではなく、かつ該バックアップリップ部の先端が該平板
と平行となっていることを特徴とする請求項５記載の塗
料の塗布方法。 - 【請求項７】塗料がカラーフィルタ用塗膜形成用塗料で
あることを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の
塗料の塗布方法。 - 【請求項８】カーテンフローコータを用いて平板上にカ
ラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を含むカ
ラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カーテンフ
ローコータとして請求項１〜４のいずれかに記載のカー
テンフローコータを用いることを特徴とするカラーフィ
ルタ用塗膜の製造方法。 - 【請求項９】カーテンフローコータを用いて平板上にカ
ラーフィルタ用塗膜形成用塗料を塗布する工程を含むカ
ラーフィルタ用塗膜の製造方法において、該カーテンフ
ローコータの口金のドクターリップ部およびバックアッ
プリップ部の少なくとも一方の先端が、該平板と平行で
ない状態で塗布することを特徴とするカラーフィルタ用
塗膜の製造方法。 - 【請求項１０】該ドクターリップ部の先端が該平板と平
行ではなく、かつ該バックアップリップ部の先端が該平
板と平行となっていることを特徴とする請求項９記載の
カラーフィルタ用塗膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720994A JP3963329B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | カーテンフローコータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18720994A JP3963329B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | カーテンフローコータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0852404A true JPH0852404A (ja) | 1996-02-27 |
| JP3963329B2 JP3963329B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=16202000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18720994A Expired - Lifetime JP3963329B2 (ja) | 1994-08-09 | 1994-08-09 | カーテンフローコータ、それを用いた塗料の塗布方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3963329B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024503150A (ja) * | 2021-11-15 | 2024-01-25 | 武漢華星光電技術有限公司 | 液晶表示パネル及び車載液晶表示装置 |
-
1994
- 1994-08-09 JP JP18720994A patent/JP3963329B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024503150A (ja) * | 2021-11-15 | 2024-01-25 | 武漢華星光電技術有限公司 | 液晶表示パネル及び車載液晶表示装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3963329B2 (ja) | 2007-08-22 |
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