JPH0854322A - 光パルス形状測定器 - Google Patents
光パルス形状測定器Info
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- JPH0854322A JPH0854322A JP21176494A JP21176494A JPH0854322A JP H0854322 A JPH0854322 A JP H0854322A JP 21176494 A JP21176494 A JP 21176494A JP 21176494 A JP21176494 A JP 21176494A JP H0854322 A JPH0854322 A JP H0854322A
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は極短光パルスの時間波形を１ｐｓ以
下の高分解能で計測する新しい高速光パルス形状測定器
を提供することを目的とする。 【構成】 上記目的を達成するために、本発明は半絶縁
基板上に形成されたコプレーナラインとこのラインに構
成された２対の電極を有し同一特性の光伝導素子（フォ
トコンダクタ）の新しい検出手段を用い、第１電極では
被測定光パルスをディテクトし、第２電極では同一被測
定光パルスに遅延時間τを与えつつ第１電極からの電気
信号をサンプリングして検出信号を得る。この検出信号
はつまり被測定光パルスの自己相関波形ｙ（ｔ）である
ことから、この検出信号をデコンボリューションして元
の波形に戻し、表示する構成とする。
下の高分解能で計測する新しい高速光パルス形状測定器
を提供することを目的とする。 【構成】 上記目的を達成するために、本発明は半絶縁
基板上に形成されたコプレーナラインとこのラインに構
成された２対の電極を有し同一特性の光伝導素子（フォ
トコンダクタ）の新しい検出手段を用い、第１電極では
被測定光パルスをディテクトし、第２電極では同一被測
定光パルスに遅延時間τを与えつつ第１電極からの電気
信号をサンプリングして検出信号を得る。この検出信号
はつまり被測定光パルスの自己相関波形ｙ（ｔ）である
ことから、この検出信号をデコンボリューションして元
の波形に戻し、表示する構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば連続して発生
する極短光パルスの時間波形を１ｐｓ（ピコ秒＝１０
-12 秒）以下の高分解能で測定する高速光パルス形状測
定器に関する。
する極短光パルスの時間波形を１ｐｓ（ピコ秒＝１０
-12 秒）以下の高分解能で測定する高速光パルス形状測
定器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光パルスの波形を測定する方法に
は、光の干渉を利用して自己相関で測定するオートコリ
レータや、ＰＤ（フォト・ダイオード）のようなＯ／Ｅ
変換器（電気／光・変換器）を通してサンプリング・オ
ッシロスコープで測定する方法がある。
は、光の干渉を利用して自己相関で測定するオートコリ
レータや、ＰＤ（フォト・ダイオード）のようなＯ／Ｅ
変換器（電気／光・変換器）を通してサンプリング・オ
ッシロスコープで測定する方法がある。
【０００３】オートコリレータによる光パルスの形状測
定では分解能は高くとれるが、被測定光がマルチモード
では干渉縞がとれないので測定できず、測定できるのは
単一モードの光のみである。サンプリング・オッシロス
コープでは周波数帯域の最高周波数が約５０ＧＨｚであ
るので、分解能はたかだか２０ｐｓである。
定では分解能は高くとれるが、被測定光がマルチモード
では干渉縞がとれないので測定できず、測定できるのは
単一モードの光のみである。サンプリング・オッシロス
コープでは周波数帯域の最高周波数が約５０ＧＨｚであ
るので、分解能はたかだか２０ｐｓである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最近の超高速光技術の
進展により、極短光パルスの時間波形や強度波形の高分
解能での測定技術が待望されているが、前述のように高
速で高分解能の測定技術は未だ確定されていない。この
発明は、新しい素子を用いて１ｐｓ以下の高分解能で極
短光パルスの時間波形を計測する高速光パルス形状測定
器を提供するものである。
進展により、極短光パルスの時間波形や強度波形の高分
解能での測定技術が待望されているが、前述のように高
速で高分解能の測定技術は未だ確定されていない。この
発明は、新しい素子を用いて１ｐｓ以下の高分解能で極
短光パルスの時間波形を計測する高速光パルス形状測定
器を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は半絶縁基板上に形成されたコプレーナライ
ンとそのラインに構成された２対の電極を有し同一特性
の光伝導素子（フォトコンダクタ）の検出手段を用いて
測定する。ここで光伝導素子とは、通常は絶縁体である
が光を照射すると電気伝導体となる物質をいう。そして
一の電極は光パルス波形を光電変換するディテクタとし
て動作させ、他の電極でその電気信号をサンプリングす
る検出手段とする。サンプリングは光の遅延手段でもっ
て少しづつ時間をずらしながらサンプリングする。する
と、その検出手段の出力波形は自己相関波形となり、こ
れを演算手段でデコンボリューションして元の波形を求
める。以下、詳細に説明する。
に、本発明は半絶縁基板上に形成されたコプレーナライ
ンとそのラインに構成された２対の電極を有し同一特性
の光伝導素子（フォトコンダクタ）の検出手段を用いて
測定する。ここで光伝導素子とは、通常は絶縁体である
が光を照射すると電気伝導体となる物質をいう。そして
一の電極は光パルス波形を光電変換するディテクタとし
て動作させ、他の電極でその電気信号をサンプリングす
る検出手段とする。サンプリングは光の遅延手段でもっ
て少しづつ時間をずらしながらサンプリングする。する
と、その検出手段の出力波形は自己相関波形となり、こ
れを演算手段でデコンボリューションして元の波形を求
める。以下、詳細に説明する。
【０００６】上記光の検出手段のコプレーナラインの片
端には直流電圧を印加し、他端はロックイン・アンプの
ような増幅器に接続している。そして極短光パルスを発
生する被測定光源からの光パルスを、光分岐手段である
ＢＳ（ビーム・スプリッター）あるいはハーフミラーな
どで２路に分岐し、分岐された一の被測定光パルスを上
記光伝導素子の光電変換するディテクタ側の第１電極に
照射して、関数ｘ（ｔ）の電気信号を得る。分岐された
他の被測定光パルスは、可動鏡あるいはＥ／Ｏ変調器等
の遅延手段で遅延時間τを与えつつ第２電極に照射し、
関数ｈ（ｔ＋τ）で上記第１電極からの電気信号をのサ
ンプリングする。つまり、第１電極で光電変換された関
数ｘ（ｔ）の電気信号を、第２電極では同一光パルスの
関数ｈ（ｔ＋τ）でサンプリングするため、その出力信
号はｘ（ｔ）の自己相関波形ｙ（ｔ）となる。
端には直流電圧を印加し、他端はロックイン・アンプの
ような増幅器に接続している。そして極短光パルスを発
生する被測定光源からの光パルスを、光分岐手段である
ＢＳ（ビーム・スプリッター）あるいはハーフミラーな
どで２路に分岐し、分岐された一の被測定光パルスを上
記光伝導素子の光電変換するディテクタ側の第１電極に
照射して、関数ｘ（ｔ）の電気信号を得る。分岐された
他の被測定光パルスは、可動鏡あるいはＥ／Ｏ変調器等
の遅延手段で遅延時間τを与えつつ第２電極に照射し、
関数ｈ（ｔ＋τ）で上記第１電極からの電気信号をのサ
ンプリングする。つまり、第１電極で光電変換された関
数ｘ（ｔ）の電気信号を、第２電極では同一光パルスの
関数ｈ（ｔ＋τ）でサンプリングするため、その出力信
号はｘ（ｔ）の自己相関波形ｙ（ｔ）となる。
【０００７】つまり、検出手段のコプレーナラインから
の出力信号ｙ（ｔ）は、ｙ（ｔ）＝∫ｘ（τ）ｈ（ｔ＋
τ）ｄτ 但し積分は−無限大から＋無限大までとな
る。この電気信号ｙ（ｔ）を演算手段でデコンボリュー
ションして元の波形に復元して表示手段に表示するもの
である。
の出力信号ｙ（ｔ）は、ｙ（ｔ）＝∫ｘ（τ）ｈ（ｔ＋
τ）ｄτ 但し積分は−無限大から＋無限大までとな
る。この電気信号ｙ（ｔ）を演算手段でデコンボリュー
ションして元の波形に復元して表示手段に表示するもの
である。
【０００８】この検出手段は、例えば半絶縁基板である
Ｆｅ（鉄）をドープしたＩｎＰ（インジューム・リン）
基板上に、金属膜のコプレーナラインとこのコプレーナ
ラインに超微細間隔のギャップを有する２対の電極で構
成されている。電極は対向型や櫛型電極が用いられ、そ
のギャップ幅は数μｍ以下である。１μｍ以下にするこ
とも可能である。このように極小ギャップにし、導電時
のオン抵抗を４０Ω以下とし、また電極間容量を３ｆＦ
（３フェムト・ファラッド＝３×１０-15 Ｆ）以下と小
さくした。このようにして、光パルスを高速で、かつ高
分解能で検出し得る検出手段が得られた。
Ｆｅ（鉄）をドープしたＩｎＰ（インジューム・リン）
基板上に、金属膜のコプレーナラインとこのコプレーナ
ラインに超微細間隔のギャップを有する２対の電極で構
成されている。電極は対向型や櫛型電極が用いられ、そ
のギャップ幅は数μｍ以下である。１μｍ以下にするこ
とも可能である。このように極小ギャップにし、導電時
のオン抵抗を４０Ω以下とし、また電極間容量を３ｆＦ
（３フェムト・ファラッド＝３×１０-15 Ｆ）以下と小
さくした。このようにして、光パルスを高速で、かつ高
分解能で検出し得る検出手段が得られた。
【０００９】被測定光パルスに遅延時間τを与える遅延
手段には、従来技術の可動鏡を用いればよい。１μｍ
（１ミクロン＝１×１０-6ｍ）の可動鏡移動で光パルス
に往復で６．６ｆｓの遅延を与える。即ち、光速は３×
１０8 ｍ／ｓであるから、２×１０-6ｍ／３×１０8 ｍ
／ｓ＝６．６×１０-15 ｓ＝６．６ｆｓとなる。従って
１μｍの可動鏡の移動毎に、その遅延された被測定光パ
ルスでサンプリングすると、分解能は６．６ｆｓとな
る。そして例えば全体の移動区間を５ｃｍとすると、３
３３ｐｓの遅延を与えることになり、被測定光パルスを
６．６ｆｓの高分解能で３３３ｐｓ区間の波形を測定で
きることとなる。遅延手段はモータと可動鏡で構成さ
れ、可動鏡を動かすには測定システム内での同期を取り
つつ、パルスモータ等のモータでステージ上の可動鏡を
駆動する。
手段には、従来技術の可動鏡を用いればよい。１μｍ
（１ミクロン＝１×１０-6ｍ）の可動鏡移動で光パルス
に往復で６．６ｆｓの遅延を与える。即ち、光速は３×
１０8 ｍ／ｓであるから、２×１０-6ｍ／３×１０8 ｍ
／ｓ＝６．６×１０-15 ｓ＝６．６ｆｓとなる。従って
１μｍの可動鏡の移動毎に、その遅延された被測定光パ
ルスでサンプリングすると、分解能は６．６ｆｓとな
る。そして例えば全体の移動区間を５ｃｍとすると、３
３３ｐｓの遅延を与えることになり、被測定光パルスを
６．６ｆｓの高分解能で３３３ｐｓ区間の波形を測定で
きることとなる。遅延手段はモータと可動鏡で構成さ
れ、可動鏡を動かすには測定システム内での同期を取り
つつ、パルスモータ等のモータでステージ上の可動鏡を
駆動する。
【００１０】遅延手段としては、可動鏡を用いずに可動
部が不要の光変調器で行うこともできる。例えばタンタ
ル酸リチュウム（ＬｉＴａＯ3 ）結晶やニオブ酸リチュ
ーム（ＬｉＮｂＯ3 ）結晶のようなＥ／Ｏ変調器は、ポ
ッケルス効果により電界を与えることで光の屈折率を変
化させ、屈折率の変化は光速度の変化となり、光パルス
に遅延τを与えることができる。電界を変えることによ
り遅延時間τが変化する。従って可動鏡のような可動部
が無くなり、集積化が可能となり、測定の高速化、信頼
性の向上も図れる。また、遅延手段としてＥ／Ｏ変調器
の他に磁気光学変調器等の光変調器を用いることができ
る。以下、本発明の実施例について説明する。
部が不要の光変調器で行うこともできる。例えばタンタ
ル酸リチュウム（ＬｉＴａＯ3 ）結晶やニオブ酸リチュ
ーム（ＬｉＮｂＯ3 ）結晶のようなＥ／Ｏ変調器は、ポ
ッケルス効果により電界を与えることで光の屈折率を変
化させ、屈折率の変化は光速度の変化となり、光パルス
に遅延τを与えることができる。電界を変えることによ
り遅延時間τが変化する。従って可動鏡のような可動部
が無くなり、集積化が可能となり、測定の高速化、信頼
性の向上も図れる。また、遅延手段としてＥ／Ｏ変調器
の他に磁気光学変調器等の光変調器を用いることができ
る。以下、本発明の実施例について説明する。
【００１１】
【実施例】図１に本発明の一実施例を示す。被測定光源
８からの被測定光パルス９は、光分岐手段３０のＢＳ
（ビーム・スプリッタ）３０で２路に分岐される。分岐
された一の被測定光パルス９Ａは直進して固定鏡３１で
反射し、ミラー３３及びレンズＡ・３５で集光し、検出
手段１０の第１電極１２を照射し、光電変換してディテ
クタとして作動する。分岐された他の被測定光パルス９
Ｂは９０度反射されて光遅延手段２１の可動鏡３２に達
し、可動鏡３２で反射されてレンズＢ・３６で集光され
検出手段１０の第２電極１３を照射して光電変換し、第
１電極１２から送出された電気信号をサンプリングす
る。
８からの被測定光パルス９は、光分岐手段３０のＢＳ
（ビーム・スプリッタ）３０で２路に分岐される。分岐
された一の被測定光パルス９Ａは直進して固定鏡３１で
反射し、ミラー３３及びレンズＡ・３５で集光し、検出
手段１０の第１電極１２を照射し、光電変換してディテ
クタとして作動する。分岐された他の被測定光パルス９
Ｂは９０度反射されて光遅延手段２１の可動鏡３２に達
し、可動鏡３２で反射されてレンズＢ・３６で集光され
検出手段１０の第２電極１３を照射して光電変換し、第
１電極１２から送出された電気信号をサンプリングす
る。
【００１２】被測定光源８から固定鏡３１を経過し第１
電極１２までの光路長と、可動鏡３２を経過し第２電極
１３までの光路長とをほぼ等しく固定すると、検出手段
１０からの検出信号は常に同一である。そこで、可動鏡
３２を同一光路長より被測定光パルス９のパルス幅分の
マイナス側からプラス側の時間分移動させながら、第１
電極１２で得た電気信号を第２電極１３で多点のサンプ
リングを行う。サンプリングされた検出信号は、前述の
ように自己相関波形ｙ（ｔ）である。この自己相関波形
ｙ（ｔ）をデコンボリューションすると元の波形が求ま
る。
電極１２までの光路長と、可動鏡３２を経過し第２電極
１３までの光路長とをほぼ等しく固定すると、検出手段
１０からの検出信号は常に同一である。そこで、可動鏡
３２を同一光路長より被測定光パルス９のパルス幅分の
マイナス側からプラス側の時間分移動させながら、第１
電極１２で得た電気信号を第２電極１３で多点のサンプ
リングを行う。サンプリングされた検出信号は、前述の
ように自己相関波形ｙ（ｔ）である。この自己相関波形
ｙ（ｔ）をデコンボリューションすると元の波形が求ま
る。
【００１３】光遅延手段２１の可動鏡３２は、モータ２
２の駆動で光の進行方向に前後に移動でき、分岐された
被測定光パルスに遅延時間τを与えサンプリング信号を
つくる。モータ２２はＴＧ（タイミング・ジェネレー
タ）２０からのタイミング信号を受けて可動鏡３２をス
テップ状あるいは連続して駆動する。ＴＧ２０はタイミ
ング信号を被測定光源８やＡ／Ｄ変換手段１７や演算手
段１８等にも与え、測定システムの同期をとる。このタ
イミング信号は特にＴＧ２０を設けなくとも、被測定光
源８の発振タイミング信号等を用いてもよい。
２の駆動で光の進行方向に前後に移動でき、分岐された
被測定光パルスに遅延時間τを与えサンプリング信号を
つくる。モータ２２はＴＧ（タイミング・ジェネレー
タ）２０からのタイミング信号を受けて可動鏡３２をス
テップ状あるいは連続して駆動する。ＴＧ２０はタイミ
ング信号を被測定光源８やＡ／Ｄ変換手段１７や演算手
段１８等にも与え、測定システムの同期をとる。このタ
イミング信号は特にＴＧ２０を設けなくとも、被測定光
源８の発振タイミング信号等を用いてもよい。
【００１４】検出手段１０は前述のように、例えば半絶
縁基板であるＩｎＰ基板上に金属膜のコプレーナライン
１１とこのコプレーナライン１１に超微細間隔のギャッ
プを有する２対の電極で構成され、このコプレーナライ
ン１１の片端の第１電極１２側に直流電源１５を接続し
て直流電圧を与え、第１電極１２の電極間に電界を加え
ておく。第１電極１２及び第２電極１３のギャップ幅は
数μｍ以下である。よって、第１電極１２に被測定光パ
ルス９を照射すると、感度よく光電変換ができるのであ
る。第２電極１３では、この第１電極で検出した電気信
号を時間を少しづつずらしながらサンプリングしてい
く。
縁基板であるＩｎＰ基板上に金属膜のコプレーナライン
１１とこのコプレーナライン１１に超微細間隔のギャッ
プを有する２対の電極で構成され、このコプレーナライ
ン１１の片端の第１電極１２側に直流電源１５を接続し
て直流電圧を与え、第１電極１２の電極間に電界を加え
ておく。第１電極１２及び第２電極１３のギャップ幅は
数μｍ以下である。よって、第１電極１２に被測定光パ
ルス９を照射すると、感度よく光電変換ができるのであ
る。第２電極１３では、この第１電極で検出した電気信
号を時間を少しづつずらしながらサンプリングしてい
く。
【００１５】サンプリングされた検出信号は、例えばロ
ックイン・アンプのような増幅器１６で増幅してＡ／Ｄ
変換する。Ａ／Ｄ変換手段１７は検出されたアナログ信
号をＴＧ２０からのタイミング信号に応じてデジタル信
号に変換する。そのデジタル化された検出信号を演算手
段１８に与え、デコンボリューションの演算を行わせ
る。表示手段１９はその演算結果を表示する。
ックイン・アンプのような増幅器１６で増幅してＡ／Ｄ
変換する。Ａ／Ｄ変換手段１７は検出されたアナログ信
号をＴＧ２０からのタイミング信号に応じてデジタル信
号に変換する。そのデジタル化された検出信号を演算手
段１８に与え、デコンボリューションの演算を行わせ
る。表示手段１９はその演算結果を表示する。
【００１６】図２は遅延手段２１の他の実施例である。
被測定光源８からの被測定光パルス９は、光分岐手段３
０であるＢＳ（ビーム・スプリッタ）で２路に分岐す
る。分岐された一の被測定光パルス９Ａは直進して高ｎ
物質４１を通過して、検出手段１０の第１電極１２を照
射する。高ｎ物質４１とは高い屈折率を有する物質で光
の固定遅延素子である。これは分岐された他の被測定光
パルス９Ｂが第２電極１３に到達する時間に合致させる
ための固定遅延時間を与えるために設ける。
被測定光源８からの被測定光パルス９は、光分岐手段３
０であるＢＳ（ビーム・スプリッタ）で２路に分岐す
る。分岐された一の被測定光パルス９Ａは直進して高ｎ
物質４１を通過して、検出手段１０の第１電極１２を照
射する。高ｎ物質４１とは高い屈折率を有する物質で光
の固定遅延素子である。これは分岐された他の被測定光
パルス９Ｂが第２電極１３に到達する時間に合致させる
ための固定遅延時間を与えるために設ける。
【００１７】ＢＳ３０で分岐された他の被測定光パルス
９Ｂは、光変調器４２を通過してプリズム４３で反射し
検出手段１０の第２電極１３を照射する。図２ではＥ／
Ｏ変調器を示しているが、磁気光学変調器等でもよい。
光変調器４２は光の可変遅延素子でもあり、光変調器４
２に電界又は磁界を与えると電界又は磁界の強さに比例
して、光の遅延時間τが変化する。従って、光変調器４
２に加える電圧又は電流を変化させて電界又は磁界を変
え、遅延時間τを変化させた光パルス９Ｂを第２電極１
３に照射し、第１電極１２からの電気信号をサンプリン
グする。サンプリングされた検出信号は、前述のよう
に、被測定光パルス９の自己相関波形ｙ（ｔ）である。
９Ｂは、光変調器４２を通過してプリズム４３で反射し
検出手段１０の第２電極１３を照射する。図２ではＥ／
Ｏ変調器を示しているが、磁気光学変調器等でもよい。
光変調器４２は光の可変遅延素子でもあり、光変調器４
２に電界又は磁界を与えると電界又は磁界の強さに比例
して、光の遅延時間τが変化する。従って、光変調器４
２に加える電圧又は電流を変化させて電界又は磁界を変
え、遅延時間τを変化させた光パルス９Ｂを第２電極１
３に照射し、第１電極１２からの電気信号をサンプリン
グする。サンプリングされた検出信号は、前述のよう
に、被測定光パルス９の自己相関波形ｙ（ｔ）である。
【００１８】上述のように、光変調器４２で光遅延手段
を構成すると、電圧を可変するだけで遅延時間τを変化
することができ、可動部分が不要である。従って、測定
器の固体化、集積化が可能となり、また、測定の高速
化、信頼性の向上も図れる。
を構成すると、電圧を可変するだけで遅延時間τを変化
することができ、可動部分が不要である。従って、測定
器の固体化、集積化が可能となり、また、測定の高速
化、信頼性の向上も図れる。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明は
光パルスの検出手段１０として、新しく２対の電極を有
する光伝導素子（フォトコンダクタ）を試作して、その
光電変換の高速性を活用した。測定する被測定光パルス
９を２路に分岐し、分岐された一の被測定光パルス９Ａ
で光波形をディテクトし、分岐された他の被測定光パル
ス９Ｂに遅延時間τを与えつつサンプリングすることに
より自己相関波形ｙ（ｔ）の検出信号を得る。この検出
信号をデコンボリューションすることにより元の波形を
得ることができる。
光パルスの検出手段１０として、新しく２対の電極を有
する光伝導素子（フォトコンダクタ）を試作して、その
光電変換の高速性を活用した。測定する被測定光パルス
９を２路に分岐し、分岐された一の被測定光パルス９Ａ
で光波形をディテクトし、分岐された他の被測定光パル
ス９Ｂに遅延時間τを与えつつサンプリングすることに
より自己相関波形ｙ（ｔ）の検出信号を得る。この検出
信号をデコンボリューションすることにより元の波形を
得ることができる。
【００２０】この測定された光パルス波形の分解能は１
ｐｓ以下であり、従来の分解能の数十分の１の高分解能
である。しかも検出手段１０である光伝導素子の改良に
よりこれ以上の超高分解能の測定器も可能である。この
ように、この発明の技術的効果は非常に大である。
ｐｓ以下であり、従来の分解能の数十分の１の高分解能
である。しかも検出手段１０である光伝導素子の改良に
よりこれ以上の超高分解能の測定器も可能である。この
ように、この発明の技術的効果は非常に大である。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】図１の遅延手段の他の実施例の構成図である。
【符号の説明】 ８ 被測定光源 ９ 被測定光パルス １０ 検出手段（光伝導素子） １１ コプレーナライン １２ 第１電極 １３ 第２電極 １５ 直流電源 １６ 増幅器 １７ Ａ／Ｄ変換手段 １８ 演算手段 １９ 表示手段 ２０ ＴＧ（タイミング・ジェネレータ） ２１ 光遅延手段 ２２ モータ ３０ 光分岐手段［ＢＳ（ビーム・スプリッタ）］ ３１ 固定鏡 ３２ 可動鏡 ３３ ミラー ３５ レンズＡ ３６ レンズＢ ４１ 高ｎ物質（高屈折率物質） ４２ 光遅延手段（光変調器） ４３ プリズム
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定光パルス（９）を２路に分岐する
光分岐手段（３０）と、 分岐された他の被測定光パルス（９Ｂ）に任意の遅延時
間を与える光遅延手段（２１）と、 分岐された一の被測定光パルス（９Ａ）で光電変換し電
気信号を送出する第１電極（１２）と、分岐された他の
遅延された上記被測定光パルス（９Ｂ）で上記第１電極
（１２）から送出された電気信号をサンプリングする第
２電極（１３）を有する検出手段（１０）と、 上記検出手段（１０）で検出された電気信号をＡ／Ｄ変
換するＡ／Ｄ変換手段（１７）と、 上記Ａ／Ｄ変換手段（１７）の出力信号をデコンボリュ
ーションの演算をする演算手段（１８）と、 上記演算手段（１８）の演算結果を表示する表示手段
（１９）と、を具備することを特徴とする光パルス形状
測定器。 - 【請求項２】 検出手段（１０）は半絶縁基板上に形成
されたコプレーナライン（１１）と上記コプレーナライ
ン（１１）に構成された２対の電極（１２、１３）を有
する光伝導素子である請求項１記載の光パルス形状測定
器。 - 【請求項３】 光遅延手段（２１）は遅延時間を任意に
可変できる高変調器の光遅延手段（４２）である請求項
１又は２記載の光パルス形状測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21176494A JPH0854322A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 光パルス形状測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21176494A JPH0854322A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 光パルス形状測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854322A true JPH0854322A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16611200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21176494A Withdrawn JPH0854322A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 光パルス形状測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100900124B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2009-06-01 | 한국원자력연구원 | 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템 |
-
1994
- 1994-08-15 JP JP21176494A patent/JPH0854322A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100900124B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2009-06-01 | 한국원자력연구원 | 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |