JPH0861291A - 磁気軸受を用いた真空ポンプのための給気装置 - Google Patents
磁気軸受を用いた真空ポンプのための給気装置Info
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- JPH0861291A JPH0861291A JP7163944A JP16394495A JPH0861291A JP H0861291 A JPH0861291 A JP H0861291A JP 7163944 A JP7163944 A JP 7163944A JP 16394495 A JP16394495 A JP 16394495A JP H0861291 A JPH0861291 A JP H0861291A
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- magnetic
- vacuum pump
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C2360/44—Centrifugal pumps
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速回転するロータを有し磁気軸受を用いた
真空ポンプのための給気装置を、製造コストを増大させ
ることなく改良する。 【構成】 高速回転するロータを有し磁気軸受を用いた
真空ポンプのための給気装置において、給気過程の実行
中はスラスト軸受板２０とスラスト軸受磁石１２との間
の空隙を小さくして磁気スラスト軸受の負荷能力を高
め、それによって、給気過程の実行に伴って発生する大
きな荷重に耐えられるようにする。通常運転時には、こ
の空隙が上限の大きさになるように制御する。
真空ポンプのための給気装置を、製造コストを増大させ
ることなく改良する。 【構成】 高速回転するロータを有し磁気軸受を用いた
真空ポンプのための給気装置において、給気過程の実行
中はスラスト軸受板２０とスラスト軸受磁石１２との間
の空隙を小さくして磁気スラスト軸受の負荷能力を高
め、それによって、給気過程の実行に伴って発生する大
きな荷重に耐えられるようにする。通常運転時には、こ
の空隙が上限の大きさになるように制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気軸受を用いた真空
ポンプのための給気装置に関し、より詳しくは、高速回
転するロータを有するその種の真空ポンプのための給気
装置に関するものである。
ポンプのための給気装置に関し、より詳しくは、高速回
転するロータを有するその種の真空ポンプのための給気
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】広く用
いられている種々の高速回転形の真空ポンプのうちの１
つに、ターボ分子ポンプがある。以下にこのターボ分子
ポンプを例にとって、解決すべき課題とその課題を解決
するための手段について説明して行く。
いられている種々の高速回転形の真空ポンプのうちの１
つに、ターボ分子ポンプがある。以下にこのターボ分子
ポンプを例にとって、解決すべき課題とその課題を解決
するための手段について説明して行く。
【０００３】ターボ分子ポンプは、その選択的なポンプ
動作によって、油微粒子の存在しない状態でのポンプ作
用を保証している。しかしながらターボ分子ポンプは、
運転を停止すると、油微粒子やその他の汚染物質が背圧
側から高真空側へ逆流して、高真空側にかなりの量の汚
染物質が蓄積するおそれがあり、蓄積した汚染物質は、
ポンプの再始動時には初期汚染物質となるため、甚だし
い不都合をもたらす。このような汚染物質は、特にそれ
が炭化水素や水である場合に、ポンプによる排気時間を
著しく長引かせるという結果を生じる。これを防止する
には、ターボ分子ポンプの運転を停止した直後に、その
ターボ分子ポンプの内部へ不活性ガスを給気すればよ
い。これによってポンプ及び真空容器の内側表面が不活
性ガスで覆われるため、再始動後の排気時間を大幅に短
縮することができる。更に、この給気を行うことによっ
て、ロータが完全に停止するまでの時間も短縮すること
ができる。このことは、特に磁気軸受を用いたポンプで
は、摩擦が非常に小さいため、特に重要である。
動作によって、油微粒子の存在しない状態でのポンプ作
用を保証している。しかしながらターボ分子ポンプは、
運転を停止すると、油微粒子やその他の汚染物質が背圧
側から高真空側へ逆流して、高真空側にかなりの量の汚
染物質が蓄積するおそれがあり、蓄積した汚染物質は、
ポンプの再始動時には初期汚染物質となるため、甚だし
い不都合をもたらす。このような汚染物質は、特にそれ
が炭化水素や水である場合に、ポンプによる排気時間を
著しく長引かせるという結果を生じる。これを防止する
には、ターボ分子ポンプの運転を停止した直後に、その
ターボ分子ポンプの内部へ不活性ガスを給気すればよ
い。これによってポンプ及び真空容器の内側表面が不活
性ガスで覆われるため、再始動後の排気時間を大幅に短
縮することができる。更に、この給気を行うことによっ
て、ロータが完全に停止するまでの時間も短縮すること
ができる。このことは、特に磁気軸受を用いたポンプで
は、摩擦が非常に小さいため、特に重要である。
【０００４】給気装置を備えたターボ分子ポンプは、ド
イツ特許公報 DE-PS 18 09 902号にも記載されており、
また、「Vakuumtechnik (真空技術)」という雑誌の、第
20巻(1971年度)、第7号、第201頁以降にも記載されてい
る。
イツ特許公報 DE-PS 18 09 902号にも記載されており、
また、「Vakuumtechnik (真空技術)」という雑誌の、第
20巻(1971年度)、第7号、第201頁以降にも記載されてい
る。
【０００５】これら刊行物によれば、幾つかの給気条件
を最適に設定することで、ポンプの再始動後の排気時間
を大幅に短縮することができる。しかしながら、１つの
重大な問題が十分に対処されないままでいる。それは給
気流量に関する問題である。これに関して問題となるの
は、ポンプ内へ注入する給気ガスの速度をどれほどにす
れば、最適給気条件を更に向上させることができ、また
特に、悪影響を軽減することができるかということであ
る。
を最適に設定することで、ポンプの再始動後の排気時間
を大幅に短縮することができる。しかしながら、１つの
重大な問題が十分に対処されないままでいる。それは給
気流量に関する問題である。これに関して問題となるの
は、ポンプ内へ注入する給気ガスの速度をどれほどにす
れば、最適給気条件を更に向上させることができ、また
特に、悪影響を軽減することができるかということであ
る。
【０００６】このことは特に磁気軸受を用いたポンプに
おいて問題になる。そのようなポンプに関して特に考慮
せねばならないのは、摩擦が非常に小さいために回転が
完全に停止するまでの時間が長くかかること、それに、
外部からロータに作用させることのできる力の大きさに
限界があることである。
おいて問題になる。そのようなポンプに関して特に考慮
せねばならないのは、摩擦が非常に小さいために回転が
完全に停止するまでの時間が長くかかること、それに、
外部からロータに作用させることのできる力の大きさに
限界があることである。
【０００７】この給気速度の問題は、何よりも先ず弁の
開口の断面積の問題に還元される。この断面積が小さい
場合には、ポンプへの給気を非常に長時間に亙って行う
ことになり、そのためロータが完全に停止するまでの時
間が非常に長くかかり、これは、殆どの用途において許
されないことである。
開口の断面積の問題に還元される。この断面積が小さい
場合には、ポンプへの給気を非常に長時間に亙って行う
ことになり、そのためロータが完全に停止するまでの時
間が非常に長くかかり、これは、殆どの用途において許
されないことである。
【０００８】一方、その断面積が大きい場合には、注入
されるガスからロータに作用する力が非常に大きくな
り、そのため、例えばスラスト軸受の負荷が過大となっ
てロータが非常用軸受に接触してしまうというような、
重大な結果が生じかねない。その断面積を中程度の大き
さにすると、上述の両方の短所が交錯することになり、
結局のところ、弁の開口の断面積を変化させるという方
法では、十分な解決法には到達できない。更に、たとえ
ポンプの大きさが同程度であっても、そのポンプに接続
される真空容器の容積は実に様々であり、このことが、
所定のポンプの種類に適合した最適給気条件を予め定め
ることを一層困難にしている。
されるガスからロータに作用する力が非常に大きくな
り、そのため、例えばスラスト軸受の負荷が過大となっ
てロータが非常用軸受に接触してしまうというような、
重大な結果が生じかねない。その断面積を中程度の大き
さにすると、上述の両方の短所が交錯することになり、
結局のところ、弁の開口の断面積を変化させるという方
法では、十分な解決法には到達できない。更に、たとえ
ポンプの大きさが同程度であっても、そのポンプに接続
される真空容器の容積は実に様々であり、このことが、
所定のポンプの種類に適合した最適給気条件を予め定め
ることを一層困難にしている。
【０００９】給気流量を変化させるための可能な方法の
１つに、給気弁を、予め定めた一定の長さの期間だけ開
弁したり閉弁したりするという方法がある。この方法で
は余計なコストがかかり、しかもそのコストは効果によ
って正当化される程度を超えている。またこの方法で
は、最適な給気過程を実現することはできず、なぜなら
ば、例えば真空容器の大きさ、給気ガスの種類及び圧
力、それに補助ポンプの作動態様等の様々な構成条件が
この方法では考慮されないからである。また、サイクル
タイムに応じて上述したのと同様の短所が発生する。
１つに、給気弁を、予め定めた一定の長さの期間だけ開
弁したり閉弁したりするという方法がある。この方法で
は余計なコストがかかり、しかもそのコストは効果によ
って正当化される程度を超えている。またこの方法で
は、最適な給気過程を実現することはできず、なぜなら
ば、例えば真空容器の大きさ、給気ガスの種類及び圧
力、それに補助ポンプの作動態様等の様々な構成条件が
この方法では考慮されないからである。また、サイクル
タイムに応じて上述したのと同様の短所が発生する。
【００１０】ドイツ特許公報 DE-OS 40 22 523号に１つ
の解決法が記載されている。そこでは、ロータに作用す
る力の大きさを測定し、その測定値に基づいて制御部を
介して給気弁を制御することによって、最適な給気速度
を達成している。また、ロータに作用する合計の力が、
安全基準を考慮して決定した所定値を超えないという条
件の範囲内で、できる限り大量のガスを注入するという
方法で、給気弁の開弁時間を最適化するようにしてい
る。ロータにアクティブ制御式の磁気軸受が備えられて
いると、多くの場合、力の測定値は、その磁気軸受の制
御回路の中にもともと任意に定められている値より大き
くなる。またこの場合、磁気軸受の電磁石の電流は、そ
の力の大きさに比例した大きさになる。
の解決法が記載されている。そこでは、ロータに作用す
る力の大きさを測定し、その測定値に基づいて制御部を
介して給気弁を制御することによって、最適な給気速度
を達成している。また、ロータに作用する合計の力が、
安全基準を考慮して決定した所定値を超えないという条
件の範囲内で、できる限り大量のガスを注入するという
方法で、給気弁の開弁時間を最適化するようにしてい
る。ロータにアクティブ制御式の磁気軸受が備えられて
いると、多くの場合、力の測定値は、その磁気軸受の制
御回路の中にもともと任意に定められている値より大き
くなる。またこの場合、磁気軸受の電磁石の電流は、そ
の力の大きさに比例した大きさになる。
【００１１】しかしながら、この最後に説明した解決法
では、幾つかの考慮されていない点がある。
では、幾つかの考慮されていない点がある。
【００１２】即ち、ロータの最適位置は、磁気スラスト
軸受の空隙の大きさが上限の大きさと下限の大きさとの
間にくる位置として規定される。そして、空隙の最大幅
は、それ以上空隙が広がると磁気スラスト軸受に作用す
る荷重が小さくなり過ぎて、ロータの安定位置の値が保
証されなくなる幅として規定される。
軸受の空隙の大きさが上限の大きさと下限の大きさとの
間にくる位置として規定される。そして、空隙の最大幅
は、それ以上空隙が広がると磁気スラスト軸受に作用す
る荷重が小さくなり過ぎて、ロータの安定位置の値が保
証されなくなる幅として規定される。
【００１３】一方、空隙が小さくなると上記荷重も大き
くなり、それと同時に、制御回路の固有振動周波数も大
きくなって、その減衰が不可能となるおそれがあり、そ
うなると制御回路が不安定になる。このことから、関連
した空隙の下限の大きさが定められる。
くなり、それと同時に、制御回路の固有振動周波数も大
きくなって、その減衰が不可能となるおそれがあり、そ
うなると制御回路が不安定になる。このことから、関連
した空隙の下限の大きさが定められる。
【００１４】また更に、空隙がそれより更に小さくなる
と、制御回路の働きによってロータに作用する力や、常
時存在している多少の大きさの外乱によってロータに作
用する力も大きくなり、そのため、ポンプのハウジング
に作用する反作用力も大きくなる。多くの場合、これに
よって発生するポンプのハウジングの振動は、非常に不
都合な、許容されないものである。それゆえ、長時間の
運転を行う場合には、磁気軸受の空隙の大きさはできる
限り上限の近くに維持すべきである。
と、制御回路の働きによってロータに作用する力や、常
時存在している多少の大きさの外乱によってロータに作
用する力も大きくなり、そのため、ポンプのハウジング
に作用する反作用力も大きくなる。多くの場合、これに
よって発生するポンプのハウジングの振動は、非常に不
都合な、許容されないものである。それゆえ、長時間の
運転を行う場合には、磁気軸受の空隙の大きさはできる
限り上限の近くに維持すべきである。
【００１５】これに対して、給気過程の実行中は、既述
の如く磁気軸受に大きな耐荷重性が要求されるため、ロ
ータ位置を下限位置に近付けて磁気軸受の負荷能力を高
めるのが有利である。この場合には、振動が大きくなる
ことは不都合ではなく、なぜなら、このときポンプは回
転を停止しようとしているからである。
の如く磁気軸受に大きな耐荷重性が要求されるため、ロ
ータ位置を下限位置に近付けて磁気軸受の負荷能力を高
めるのが有利である。この場合には、振動が大きくなる
ことは不都合ではなく、なぜなら、このときポンプは回
転を停止しようとしているからである。
【００１６】本発明の目的は、高速回転するロータを有
し磁気軸受を用いた真空ポンプのための給気装置であっ
て、製造コストを増大させることなく在来のこの種の給
気装置を改良した、給気装置を提供することにある。
し磁気軸受を用いた真空ポンプのための給気装置であっ
て、製造コストを増大させることなく在来のこの種の給
気装置を改良した、給気装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明にかかる給気装置は、目標値設定変更部(23)
を備え、該目標値設定変更部(23)が、給気過程の開始時
に、注入量制御部(22)を介して磁気スラスト軸受(12)の
制御回路(15, 17, 19)に関与して、スラスト軸受板(20)
とスラスト軸受磁石(12)との間の空隙を制御技術が許す
限り小さくするようにしたことを特徴とする。また、本
発明にかかる給気装置は、前記目標値設定変更部(23)
が、通常運転時に、前記スラスト軸受板(20)と前記スラ
スト軸受磁石(12)との間の前記空隙を上限の大きさにな
るように制御するようにしたことを特徴とする。
め、本発明にかかる給気装置は、目標値設定変更部(23)
を備え、該目標値設定変更部(23)が、給気過程の開始時
に、注入量制御部(22)を介して磁気スラスト軸受(12)の
制御回路(15, 17, 19)に関与して、スラスト軸受板(20)
とスラスト軸受磁石(12)との間の空隙を制御技術が許す
限り小さくするようにしたことを特徴とする。また、本
発明にかかる給気装置は、前記目標値設定変更部(23)
が、通常運転時に、前記スラスト軸受板(20)と前記スラ
スト軸受磁石(12)との間の前記空隙を上限の大きさにな
るように制御するようにしたことを特徴とする。
【００１８】この課題の解決法によれば、高速回転する
ロータを有し磁気軸受を用いた真空ポンプの給気を、空
隙を小さくして磁気軸受の耐荷重性を大きくすることに
よって最適化することができる。また更に、長時間の運
転を行う際には、そのような場合に最適な空隙幅を維持
するため、安全で静粛な運転が保証される。
ロータを有し磁気軸受を用いた真空ポンプの給気を、空
隙を小さくして磁気軸受の耐荷重性を大きくすることに
よって最適化することができる。また更に、長時間の運
転を行う際には、そのような場合に最適な空隙幅を維持
するため、安全で静粛な運転が保証される。
【００１９】
【実施例】以下に添付図面を参照しつつ、磁気軸受を用
いたターボ分子ポンプの実施例に即して本発明を更に詳
細に説明する。ターボ分子ポンプのハウジング１の中に
は、複数のポンプ要素が配設されており、それらポンプ
要素は複数枚のステータ羽根車２と複数枚のロータ羽根
車３とから成り、ロータ羽根車３はロータ軸４に取付け
られている。給気ガスを注入するために、ハウジング１
にはガス注入口５を形成してあり、このガス注入口５に
制御可能な給気弁６を備えている。参照番号８は、ロー
タ軸４を回転駆動するための駆動機構である。ロータの
軸支構造は、図示の実施例では、吸気口を備えたポンプ
上部に設けたパッシブ形の磁気ラジアル軸受９と、駆動
機構８の下側に設けたアクティブ形の磁気ラジアル軸受
１０と、ロータ軸４の下端に装備したアクティブ形の磁
気スラスト軸受１２とで構成されている。径方向センサ
１１及び軸方向センサ１３は、夫々、ロータ軸４の径方
向位置と軸方向位置とを測定する機能を果たしている。
センサ評価部１４、１５と制御部１６、１７とで、夫々
の制御信号を発生させており、それら制御信号が、電力
増幅器１８、１９を介してアクティブ形の磁気軸受１
０、１２の電流を制御して、ロータを安定した位置に維
持する。
いたターボ分子ポンプの実施例に即して本発明を更に詳
細に説明する。ターボ分子ポンプのハウジング１の中に
は、複数のポンプ要素が配設されており、それらポンプ
要素は複数枚のステータ羽根車２と複数枚のロータ羽根
車３とから成り、ロータ羽根車３はロータ軸４に取付け
られている。給気ガスを注入するために、ハウジング１
にはガス注入口５を形成してあり、このガス注入口５に
制御可能な給気弁６を備えている。参照番号８は、ロー
タ軸４を回転駆動するための駆動機構である。ロータの
軸支構造は、図示の実施例では、吸気口を備えたポンプ
上部に設けたパッシブ形の磁気ラジアル軸受９と、駆動
機構８の下側に設けたアクティブ形の磁気ラジアル軸受
１０と、ロータ軸４の下端に装備したアクティブ形の磁
気スラスト軸受１２とで構成されている。径方向センサ
１１及び軸方向センサ１３は、夫々、ロータ軸４の径方
向位置と軸方向位置とを測定する機能を果たしている。
センサ評価部１４、１５と制御部１６、１７とで、夫々
の制御信号を発生させており、それら制御信号が、電力
増幅器１８、１９を介してアクティブ形の磁気軸受１
０、１２の電流を制御して、ロータを安定した位置に維
持する。
【００２０】アクティブ形の磁気スラスト軸受の制御
は、例えば、スラスト軸受磁石１２とスラスト軸受板２
０との間の空隙が一定になるようにする制御である。ロ
ータに作用する力が増大したならば、電磁石の電流が変
化するようにしてあり、従って電磁石の電流はロータに
加わる力に比例した大きさを持つ。
は、例えば、スラスト軸受磁石１２とスラスト軸受板２
０との間の空隙が一定になるようにする制御である。ロ
ータに作用する力が増大したならば、電磁石の電流が変
化するようにしてあり、従って電磁石の電流はロータに
加わる力に比例した大きさを持つ。
【００２１】この電流の大きさが、ロータに作用する所
定の大きさの力に対応させて予め設定してある電流値を
超えたならば、給気弁６が限界値検出部２１によって閉
弁される。その結果、ポンプの内部に圧力平衡状態が発
生し、そのため、ロータに加わっていた力が低下する。
これによって電流も減少し、給気弁６が再び開弁され
る。
定の大きさの力に対応させて予め設定してある電流値を
超えたならば、給気弁６が限界値検出部２１によって閉
弁される。その結果、ポンプの内部に圧力平衡状態が発
生し、そのため、ロータに加わっていた力が低下する。
これによって電流も減少し、給気弁６が再び開弁され
る。
【００２２】本発明に従って、更に目標値設定変更部２
３を備えており、この目標値設定変更部２３は、給気過
程の開始時に、注入量制御部２２を介して磁気スラスト
軸受１２の制御回路１５、１７、１９に関与する。そし
てそれによって、スラスト軸受板２０とスラスト軸受磁
石１２との間の空隙を、制御技術が許す限り小さくする
ようにしている。磁気スラスト軸受１２は、これによっ
て、最大の負荷能力を発揮する状態になり、給気過程の
実行に伴って発生する大きな荷重に耐えられるようにな
る。通常運転時には、この空隙を拡げて上限の大きさに
なるようにする。これによって振動が大幅に抑制され、
より静粛でより安全なロータの回転が保証されるように
なる。尚、給気過程の実行時間は非常に短縮される。
３を備えており、この目標値設定変更部２３は、給気過
程の開始時に、注入量制御部２２を介して磁気スラスト
軸受１２の制御回路１５、１７、１９に関与する。そし
てそれによって、スラスト軸受板２０とスラスト軸受磁
石１２との間の空隙を、制御技術が許す限り小さくする
ようにしている。磁気スラスト軸受１２は、これによっ
て、最大の負荷能力を発揮する状態になり、給気過程の
実行に伴って発生する大きな荷重に耐えられるようにな
る。通常運転時には、この空隙を拡げて上限の大きさに
なるようにする。これによって振動が大幅に抑制され、
より静粛でより安全なロータの回転が保証されるように
なる。尚、給気過程の実行時間は非常に短縮される。
【００２３】上述した解決すべき課題とその課題を解決
するための手段とは、以上に例示した実施例に限定され
るものではない。それらはその他の種類の真空ポンプに
も同様に適用され、また、その真空ポンプに用いられて
いる磁気軸受がスラスト軸受とラジアル軸受とのいずれ
であっても、同様に良好に適用されるものである。
するための手段とは、以上に例示した実施例に限定され
るものではない。それらはその他の種類の真空ポンプに
も同様に適用され、また、その真空ポンプに用いられて
いる磁気軸受がスラスト軸受とラジアル軸受とのいずれ
であっても、同様に良好に適用されるものである。
【図１】ターボ分子ポンプに適用した、本発明の実施例
にかかる給気装置の模式図である。
にかかる給気装置の模式図である。
３ ロータ羽根車 ４ ロータ軸 ５ ガス注入口 ６ 給気弁 １２ 磁気スラスト軸受（スラスト軸受磁石） １５ センサ評価部（制御回路） １７ 制御部（制御回路） １９ 電力増幅器（制御回路） ２０ スラスト軸受板 ２２ 注入量制御部 ２３ 目標値設定変更部
Claims (2)
- 【請求項１】 高速回転するロータを有し磁気軸受を用
いた真空ポンプであって、電磁石を用いたアクティブ制
御式の少なくとも１つの磁気スラスト軸受と制御可能な
給気機構とを備えた真空ポンプに給気するための給気装
置において、 目標値設定変更部(23)を備え、該目標値設定変更部(23)
が、給気過程の開始時に、注入量制御部(22)を介して磁
気スラスト軸受(12)の制御回路(15, 17, 19)に関与し
て、スラスト軸受板(20)とスラスト軸受磁石(12)との間
の空隙を制御技術が許す限り小さくするようにしたこと
を特徴とする、高速回転するロータを有し磁気軸受を用
いた真空ポンプに給気するための給気装置。 - 【請求項２】 前記目標値設定変更部(23)が、通常運転
時に、前記スラスト軸受板(20)と前記スラスト軸受磁石
(12)との間の前記空隙を上限の大きさになるように制御
するようにしたことを特徴とする、請求項１記載の高速
回転するロータを有し磁気軸受を用いた真空ポンプに給
気するための給気装置。
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