JPH0862068A - 圧電型面圧入力パネル - Google Patents

圧電型面圧入力パネル

Info

Publication number
JPH0862068A
JPH0862068A JP5285877A JP28587793A JPH0862068A JP H0862068 A JPH0862068 A JP H0862068A JP 5285877 A JP5285877 A JP 5285877A JP 28587793 A JP28587793 A JP 28587793A JP H0862068 A JPH0862068 A JP H0862068A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
input panel
surface pressure
pressure input
vibrating body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5285877A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2557796B2 (ja
Inventor
Teruhiko Tamori
照彦 田森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ENITSUKUSU KK
Enix Corp
Original Assignee
ENITSUKUSU KK
Enix Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ENITSUKUSU KK, Enix Corp filed Critical ENITSUKUSU KK
Priority to JP5285877A priority Critical patent/JP2557796B2/ja
Priority to EP94307577A priority patent/EP0649116B1/en
Priority to DE69422579T priority patent/DE69422579T2/de
Priority to US08/325,673 priority patent/US5515738A/en
Publication of JPH0862068A publication Critical patent/JPH0862068A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2557796B2 publication Critical patent/JP2557796B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/047Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using sets of wires, e.g. crossed wires
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • G01L5/226Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping
    • G01L5/228Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping using tactile array force sensors
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/043Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using propagating acoustic waves
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V40/00Recognition of biometric, human-related or animal-related patterns in image or video data
    • G06V40/10Human or animal bodies, e.g. vehicle occupants or pedestrians; Body parts, e.g. hands
    • G06V40/12Fingerprints or palmprints
    • G06V40/13Sensors therefor
    • G06V40/1306Sensors therefor non-optical, e.g. ultrasonic or capacitive sensing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Image Input (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 安価で構造が簡単な圧電型面圧入力パネルを
提供すること。 【構成】 圧電フィルムの表面と裏面に複数の走査電極
をマトリクス状に形成したマトリクス圧電センサと、圧
電振動体などの高周波で振動させることのできる振動体
とを積層して構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電効果を利用して指
紋のような微細な面圧力分布を検出するのに好適な圧電
型面圧入力パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】微細な面圧力分布の一例として指紋のパ
ターンを考えてみると、従来の指紋パターン検出用の面
圧入力パネルとしては、圧力に応じて導電度が変化する
導電性ゴムとマトリクス状の走査電極とを積層し、指を
パネルに押しあてたときの指紋の山と谷による押圧力の
差による導電度の変化をON/OFFの状態で検出する
ようにした装置や、この装置の導電性ゴムの代わりに抵
抗膜を用い、指紋の山が抵抗膜に接触する時の面積で抵
抗膜の抵抗値が変化することを利用した装置、あるいは
半導体製造技術を用いて半導体基板上に圧電薄膜を上面
電極と下面電極とで挟んで形成するとともにMOS型電
界効果トランジスタを形成した指紋センサ(特開平5ー
61966号)などが提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、指紋パ
ターンが微細なだけに導電性ゴムや抵抗膜を用いる装置
の場合は製造技術上あるいは検出回路上の問題があり、
半導体製造技術を用いた装置にあっては製造設備やシリ
コン基板などの材料が高価であり、歩留りが良くないた
めパネルがコスト高となり、大きな検出エリアが取れな
いという問題がある。
【0004】一方、圧電フィルムや圧電振動子を用いて
圧力分布を検出するセンサが提案されている(たとえ
ば、特開昭62−2132号、特開昭63−20873
4号、特開平3−287034号)。しかしこれらのセ
ンサは指紋パターンのように平面的に同時に圧力が掛か
る場合の検出はできないものであり、指紋パターンのよ
うな50〜100μmの微細な構造のものを実現するこ
とが製造上困難である。
【0005】本発明は安価で構造が簡単な圧電型面圧入
力パネルを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明によれば、圧電フィルムの表面と裏面に複
数の走査電極をマトリクス状に形成したマトリクス圧電
センサと、圧電振動体などの高周波で振動させることの
できる振動体とを積層して圧電型面圧入力パネルを構成
した。
【0007】
【作用】本発明は以上の構成によって、あらかじめ高周
波振動体を振動させておき、面分布圧力を圧電センサの
多数の圧力検出ポイントで受け、マトリクス状走査電極
で走査することによって面圧力分布を検出する。
【0008】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。
【0009】図1は本発明による面圧入力パネルの分解
斜視図である。
【0010】2はPET(ポリエチレンテレフタレー
ト)などの絶縁保護フィルム、3は圧電効果を有する圧
電フィルムで、その表面と裏面にはアルミニウムまたは
銅などの導電材料の走査電極3aおよび3bが互いに直
交するように蒸着されている。この圧電フィルム3とそ
の両面走査電極3aおよび3bとでマトリクス圧電セン
サを構成している。圧電フィルム3の製造方法は種々知
られているが、本実施例では、ポリフッ化ビニリデンな
どのような樹脂シートの両面に導電膜を形成し、両面に
形成した導電膜を電極としてその間に高電圧を短時間印
加すると樹脂シートに圧電特性が付加されるので、その
後エッチングにより両面に走査電極3aと3bを形成す
る方法が採用される。
【0011】4はPETなどの絶縁フィルムで作られた
絶縁膜、5は圧電セラミック板5aを上面振動電導板5
bと下面電導板5cとで挟んで構成した圧電振動体であ
り、面圧入力パネル1は、これらの部材を積層して構成
したものである。
【0012】指紋パターンを検出する場合には、走査電
極3aどうしおよび3bどうしは50〜60μm程度の
細かい間隔で配置されるので、マトリクス圧電センサに
はこの間隔で多数の圧力検出ポイントができる。
【0013】図2は面圧入力パネル1の断面図である。
【0014】図3は本発明による面圧入力パネルを用い
て指紋を検出する検出回路のブロック線図である。
【0015】図3において、マトリクス圧電センサの上
面に形成されたX方向走査電極3aはX方向選択スイッ
チ10に接続され、下面に形成されたY方向走査電極3
bはY方向選択スイッチ11に接続され、圧電振動体5
の上面振動電導板5bと下面電導板5cはたとえば1M
Hzの発振器12に接続されている。X方向選択スイッ
チ10の出力端子とY方向選択スイッチ11の出力端子
は差動アンプ13に接続され、比較回路14が発振器1
2の発振出力と差動アンプ13の出力とを比較するよう
に接続されている。
【0016】さて、このように構成された面圧入力パネ
ル1を用いて指紋を検出するには、まず発振器12を駆
動して圧電振動体5の電導板5bと5cの間に例えば1
MHzの高周波信号を印加して圧電振動体5を微細に連
続して振動させておく。圧電センサに圧力がかからない
状態では、圧電振動体5の微細振動は、そのままの周波
数(1MHz)で圧電フィルム3に伝わる。
【0017】ここで図2に示すように絶縁保護フィルム
2上に指Fを乗せると、指紋の山の部分が圧電センサに
当たり、その部位において圧電振動体5の振動が妨げら
れ、振幅、振動数ともに変化させられる。その結果圧電
センサに当たっている山の部位のみ圧電振動体5から伝
搬される振動の振動数および振幅が変化することにな
る。
【0018】図3に示した検出回路において、X方向選
択スイッチ10とY方向選択スイッチ11を切り替えて
X方向の任意の走査電極とY方向の任意の走査電極を選
択し、その電極から出力する信号を差動アンプ13に送
る。差動アンプ13は両信号の差を増幅する。たとえ
ば、圧電振動体5を1MHzで振動させている場合、指
紋パターンの谷の部分が当たっている走査電極交点に対
してはその交点部分の圧電フィルム3は押圧力を受けな
いため圧電振動体5による振動はなんら影響を受けない
ために差動アンプ13の出力信号の周波数は1MHzで
あるが、山の部分が当たっている交点部分の圧電フィル
ム3はその山の部分により押圧力を受けるために差動ア
ンプ13の出力信号の周波数はたとえば99980Hz
となる。そこで比較回路14において、発振器12から
の出力信号(周波数が1MHz)と差動アンプ13から
の出力信号とを比較すれば、指紋パターンの谷の部分が
当たる走査電極交点に対しては比較の結果が0であるの
に対して、山の部分が当たる走査電極交点に対しては比
較の結果が|1MHz−99980Hz|=20Hzと
なる。そこで比較回路14はこの比較結果から各交点に
指紋パターンの山の部分が当たっているのか谷の部分が
当たっているのかを判断することができる。X方向選択
スイッチ10およびY方向選択スイッチ11を所定のタ
イミングで切り替えることによって面圧力入力パネル1
の全面に分布するすべての圧力検出ポイントに対して比
較回路14で指紋パターンの山と谷を調べることができ
る。面圧入力パネル1の出力信号から指紋パターンを検
出するための信号処理については本発明の要旨ではない
ので説明は省略する。
【0019】上記実施例ではマトリクス圧電センサを振
動させるのに圧電振動体を用いたが、本発明はこれに限
らず他の高周波振動体を用いてもよい。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
製造および構造が比較的簡単で、安価な微細な面分布圧
力が検出できる。本発明による圧電型面圧入力パネルは
指紋のような山と谷との間隔が50〜100μmという
微細な圧力分布の検出に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による面圧入力パネルの一実施例の一部
分解斜視図である。
【図2】図1に示した面圧入力パネルを積層した状態で
示す側面図である。
【図3】本発明による面圧入力パネルを用いた指紋検出
回路のブロック図である。
【符号の説明】
1 面圧入力パネル 2 絶縁保護フィルム 3 圧電フィルム 3a、3b 走査電極 4 絶縁フィルム 5 圧電振動体 5a 圧電セラミック板 5b 上面振動電導板 5c 下面電導板

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電フィルムの表面と裏面に複数の走査
    電極をマトリクス状に形成したマトリクス圧電センサ
    と、高周波振動体とを積層してなることを特徴とする圧
    電型面圧入力パネル。
  2. 【請求項2】 前記高周波振動体が圧電振動体である請
    求項1に記載の圧電型面圧入力パネル。
  3. 【請求項3】 圧電フィルムの表面と裏面に複数の走査
    電極を微細間隔でマトリクス状に形成したマトリクス圧
    電センサと、圧電振動体とを絶縁膜を介して積層してな
    ることを特徴とする圧電型指紋入力パネル。
JP5285877A 1993-10-19 1993-10-19 圧電型面圧入力パネル Expired - Fee Related JP2557796B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5285877A JP2557796B2 (ja) 1993-10-19 1993-10-19 圧電型面圧入力パネル
EP94307577A EP0649116B1 (en) 1993-10-19 1994-10-14 Piezoelectric surface pressure input panel
DE69422579T DE69422579T2 (de) 1993-10-19 1994-10-14 Piezoelektrische Oberflächendruckeingabetafel
US08/325,673 US5515738A (en) 1993-10-19 1994-10-18 Piezoelectric surface pressure input panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5285877A JP2557796B2 (ja) 1993-10-19 1993-10-19 圧電型面圧入力パネル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0862068A true JPH0862068A (ja) 1996-03-08
JP2557796B2 JP2557796B2 (ja) 1996-11-27

Family

ID=17697192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5285877A Expired - Fee Related JP2557796B2 (ja) 1993-10-19 1993-10-19 圧電型面圧入力パネル

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5515738A (ja)
EP (1) EP0649116B1 (ja)
JP (1) JP2557796B2 (ja)
DE (1) DE69422579T2 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506693A (ja) * 1999-08-09 2003-02-18 クロス マッチ テクノロジーズ, インコーポレイテッド 圧電膜指紋スキャナ
KR100393191B1 (ko) * 2001-05-12 2003-07-31 삼성전자주식회사 압전체 박막을 이용한 지문인식 센서
JP2003527906A (ja) * 2000-03-23 2003-09-24 クロス マッチ テクノロジーズ, インコーポレイテッド 圧電識別デバイスおよびそのアプリケーション
KR100425777B1 (ko) * 2001-09-29 2004-04-03 홍동표 대상물 인식능력을 가진 촉각센서
JPWO2008108042A1 (ja) * 2007-03-01 2010-06-10 シャープ株式会社 表示パネル用基板、表示パネル、表示装置、および表示パネル用基板の製造方法
JP2012161876A (ja) * 2011-02-07 2012-08-30 Canon Inc 把持装置
JP2013148450A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Seiko Epson Corp 圧力センサーおよび圧力測定装置
KR101320138B1 (ko) * 2011-11-30 2013-10-23 삼성전기주식회사 지문 인식 센서 및 그 제조 방법
CN110428597A (zh) * 2019-07-11 2019-11-08 大唐国际发电股份有限公司张家口发电厂 基于压电陶瓷的动态断煤信号报警装置及其逻辑设计

Families Citing this family (86)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0922324A (ja) * 1995-07-05 1997-01-21 Canon Inc 座標入力装置
US6216545B1 (en) * 1995-11-14 2001-04-17 Geoffrey L. Taylor Piezoresistive foot pressure measurement
GB9615278D0 (en) * 1996-07-20 1996-09-04 Philips Electronics Nv Capacitive sensing array device
US5905209A (en) * 1997-07-22 1999-05-18 Tekscan, Inc. Output circuit for pressure sensor
EP1717679B1 (en) 1998-01-26 2016-09-21 Apple Inc. Method for integrating manual input
US6870946B1 (en) 1998-08-06 2005-03-22 Secugen Corporation Compact optical fingerprint capturing and recognition system
US6381347B1 (en) * 1998-11-12 2002-04-30 Secugen High contrast, low distortion optical acquistion system for image capturing
GB2356961A (en) * 1999-12-02 2001-06-06 Ibm Biometrics system
US20030001459A1 (en) * 2000-03-23 2003-01-02 Cross Match Technologies, Inc. Secure wireless sales transaction using print information to verify a purchaser's identity
US7141918B2 (en) 2000-03-23 2006-11-28 Cross Match Technologies, Inc. Method for obtaining biometric data for an individual in a secure transaction
US7067962B2 (en) 2000-03-23 2006-06-27 Cross Match Technologies, Inc. Multiplexer for a piezo ceramic identification device
US7316167B2 (en) * 2000-05-16 2008-01-08 Fidelica, Microsystems, Inc. Method and apparatus for protection of contour sensing devices
US6578436B1 (en) 2000-05-16 2003-06-17 Fidelica Microsystems, Inc. Method and apparatus for pressure sensing
KR20020028754A (ko) * 2001-05-04 2002-04-17 안준영 액정표시겸 지문입력 패널
KR100432490B1 (ko) * 2001-09-17 2004-05-22 (주)니트 젠 광학식 지문취득 장치
DE10149165A1 (de) * 2001-10-04 2003-04-30 Bircher Ag Beringen Verfahren zur Herstellung eines Sensorelementes, insbesondere Schaltelementes
KR100822185B1 (ko) * 2001-10-10 2008-04-16 삼성에스디아이 주식회사 터치 패널
WO2003054849A1 (en) 2001-10-23 2003-07-03 Immersion Corporation Method of using tactile feedback to deliver silent status information to a user of an electronic device
TWI237209B (en) * 2002-05-31 2005-08-01 Sanyo Electric Co Surface pressure distribution sensor and method for making same
US6894427B2 (en) * 2002-06-24 2005-05-17 Dymedix Corp. Nasal vibration transducer
WO2004019382A2 (en) * 2002-08-21 2004-03-04 Secugen Corporation Tft sensor having improved imaging surface
CZ2005209A3 (cs) * 2002-09-10 2005-12-14 Ivi Smart Technologies, Inc. Bezpečné biometrické ověření identity
DE10251639A1 (de) * 2002-10-31 2004-05-13 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Sensorelement-Vorrichtung für einen kapazitiven Berührungsschalter mit einem elektrisch leitfähigen Körper und Verfahren zur Herstellung eines solchen Körpers
JP2004192520A (ja) * 2002-12-13 2004-07-08 Korg Inc 押圧位置検出装置
US20040190761A1 (en) * 2003-03-05 2004-09-30 Ju-Hyeon Lee Apparatus for fingerprint analysis using current detection
US20050012434A1 (en) * 2003-03-26 2005-01-20 Continuum Photonics, Inc. Robust piezoelectric power generation module
KR100561851B1 (ko) * 2003-11-18 2006-03-16 삼성전자주식회사 지문 인식 센서 및 그 제조 방법
JP4364609B2 (ja) 2003-11-25 2009-11-18 アルプス電気株式会社 容量検出回路及びそれを用いた指紋センサ
US6964205B2 (en) * 2003-12-30 2005-11-15 Tekscan Incorporated Sensor with plurality of sensor elements arranged with respect to a substrate
US8447077B2 (en) 2006-09-11 2013-05-21 Validity Sensors, Inc. Method and apparatus for fingerprint motion tracking using an in-line array
US8131026B2 (en) 2004-04-16 2012-03-06 Validity Sensors, Inc. Method and apparatus for fingerprint image reconstruction
US6993954B1 (en) * 2004-07-27 2006-02-07 Tekscan, Incorporated Sensor equilibration and calibration system and method
DE602005022900D1 (de) 2004-10-04 2010-09-23 Validity Sensors Inc Fingerabdruckerfassende konstruktionen mit einem substrat
AU2006251406B9 (en) * 2005-05-27 2009-09-24 Unilever Plc Process of bleaching
JP4577109B2 (ja) * 2005-06-20 2010-11-10 パナソニック株式会社 タッチパネル及びその製造方法
KR101146530B1 (ko) * 2005-08-30 2012-05-25 삼성전자주식회사 스피커 겸용 터치 패널
JP2010503113A (ja) * 2006-09-09 2010-01-28 エフ−オリジン・インコーポレイテッド 統合感圧レンズ組立品
US8253696B2 (en) * 2006-10-23 2012-08-28 Patrick R. Antaki Flexible fingerprint sensor
US8130203B2 (en) 2007-01-03 2012-03-06 Apple Inc. Multi-touch input discrimination
US7855718B2 (en) * 2007-01-03 2010-12-21 Apple Inc. Multi-touch input discrimination
US8161826B1 (en) * 2009-03-05 2012-04-24 Stryker Corporation Elastically stretchable fabric force sensor arrays and methods of making
US8116540B2 (en) 2008-04-04 2012-02-14 Validity Sensors, Inc. Apparatus and method for reducing noise in fingerprint sensing circuits
JP2011523566A (ja) * 2008-05-02 2011-08-18 ダイメディックス コーポレイション 中枢神経系を刺激するためのアジテーター
US20090315688A1 (en) * 2008-06-19 2009-12-24 Hongwei Kong Method and system for processing audio signals for handset vibration
WO2010036445A1 (en) 2008-07-22 2010-04-01 Validity Sensors, Inc. System, device and method for securing a device component
US8834347B2 (en) * 2008-08-22 2014-09-16 Dymedix Corporation Anti-habituating sleep therapy for a closed loop neuromodulator
US20100069773A1 (en) * 2008-09-12 2010-03-18 Dymedix Corporation Wireless pyro/piezo sensor system
KR101516982B1 (ko) * 2008-12-24 2015-04-30 삼성전자주식회사 진동 터치 센서와 진동 터치 센싱 방법 및 진동 터치 스크린 디스플레이 패널
US8600122B2 (en) 2009-01-15 2013-12-03 Validity Sensors, Inc. Apparatus and method for culling substantially redundant data in fingerprint sensing circuits
US8421890B2 (en) 2010-01-15 2013-04-16 Picofield Technologies, Inc. Electronic imager using an impedance sensor grid array and method of making
US8791792B2 (en) 2010-01-15 2014-07-29 Idex Asa Electronic imager using an impedance sensor grid array mounted on or about a switch and method of making
US8866347B2 (en) 2010-01-15 2014-10-21 Idex Asa Biometric image sensing
US8716613B2 (en) * 2010-03-02 2014-05-06 Synaptics Incoporated Apparatus and method for electrostatic discharge protection
JP5355515B2 (ja) 2010-05-06 2013-11-27 株式会社村田製作所 タッチパネル、ならびにタッチ式入力装置およびその制御方法
US9001040B2 (en) 2010-06-02 2015-04-07 Synaptics Incorporated Integrated fingerprint sensor and navigation device
US8594393B2 (en) 2011-01-26 2013-11-26 Validity Sensors System for and method of image reconstruction with dual line scanner using line counts
US8538097B2 (en) 2011-01-26 2013-09-17 Validity Sensors, Inc. User input utilizing dual line scanner apparatus and method
WO2012153642A1 (ja) * 2011-05-09 2012-11-15 日本電気株式会社 位置検出装置
US8966997B2 (en) 2011-10-12 2015-03-03 Stryker Corporation Pressure sensing mat
CN103529990B (zh) 2011-10-19 2017-05-10 松下电器产业株式会社 压电元件及电子设备
CN102402336A (zh) * 2011-11-15 2012-04-04 深圳市华星光电技术有限公司 节能型触控液晶显示装置
US9268991B2 (en) 2012-03-27 2016-02-23 Synaptics Incorporated Method of and system for enrolling and matching biometric data
EP2958053A1 (en) 2012-04-10 2015-12-23 Idex Asa Biometric sensing
CN104246665B (zh) * 2012-04-27 2016-12-14 株式会社村田制作所 操作输入装置以及信息显示装置
US8997588B2 (en) 2012-09-29 2015-04-07 Stryker Corporation Force detecting mat with multiple sensor types
US8904876B2 (en) 2012-09-29 2014-12-09 Stryker Corporation Flexible piezocapacitive and piezoresistive force and pressure sensors
US9665762B2 (en) 2013-01-11 2017-05-30 Synaptics Incorporated Tiered wakeup strategy
WO2014143065A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Rinand Solutions Llc Force-sensitive fingerprint sensing input
DE102013205157A1 (de) * 2013-03-22 2014-10-09 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung und Verfahren zur Umfelderfassung eines Fahrzeugs
EP3022683B1 (en) * 2013-07-16 2024-01-17 The Regents of The University of California Mut fingerprint identification system
EP3020549B1 (en) * 2013-09-02 2017-11-15 Mitsui Chemicals, Inc. Laminate body
US10120478B2 (en) * 2013-10-28 2018-11-06 Apple Inc. Piezo based force sensing
CN206574060U (zh) * 2013-11-21 2017-10-20 3M创新有限公司 具有力检测的电子设备
CN104458075B (zh) * 2014-12-31 2017-01-11 中国矿业大学 一种应力分布监测装置及方法
FR3033087B1 (fr) * 2015-02-23 2018-03-23 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Dispositif piezoelectrique
CN106548116B (zh) * 2015-09-22 2020-09-15 神盾股份有限公司 阵列式感测装置及其感测方法
KR102381652B1 (ko) * 2015-09-30 2022-04-04 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
JP6489290B2 (ja) 2016-08-03 2019-03-27 株式会社村田製作所 変形検知センサ、電子機器、および変形検知センサの製造方法
TWI612456B (zh) * 2017-06-13 2018-01-21 友達光電股份有限公司 感測元件與具有感測元件的電子裝置
CN108267246A (zh) * 2017-12-12 2018-07-10 武汉科技大学 一种动态胎与路接地应力测量装置及方法
WO2019136759A1 (zh) * 2018-01-15 2019-07-18 深圳市汇顶科技股份有限公司 指纹识别系统的按压检测方法、装置和终端设备
US10782818B2 (en) 2018-08-29 2020-09-22 Apple Inc. Load cell array for detection of force input to an electronic device enclosure
CN110277484B (zh) * 2019-06-25 2021-11-26 京东方科技集团股份有限公司 压电传感器及其制备方法、电子设备
CN110764641A (zh) * 2019-09-27 2020-02-07 武汉华星光电技术有限公司 显示面板及显示装置
CN111521301A (zh) * 2020-05-15 2020-08-11 常州天策电子科技有限公司 一种分布式压力测量系统
US12131619B2 (en) * 2022-12-13 2024-10-29 The Adt Security Corporation Embedded fingerprint sensor for a premises security system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7904924A (nl) * 1979-06-25 1980-12-30 Philips Nv Akoestische transducent.
DE3429607A1 (de) * 1984-08-09 1986-02-20 Klaus 1000 Berlin Oppermann Messwertaufnehmer zum elektrischen messen von kraeften, druecken und spannungen
IL72736A0 (en) * 1984-08-21 1984-11-30 Cybertronics Ltd Surface-area pressure transducers
US4634917A (en) * 1984-12-26 1987-01-06 Battelle Memorial Institute Active multi-layer piezoelectric tactile sensor apparatus and method
NL8501908A (nl) * 1985-07-03 1987-02-02 Tno Tastsensor.
FR2644309B1 (fr) * 1989-03-09 1991-05-24 France Etat Armement Ecran tactile a ondes elastiques guidees a boucle oscillante
US5209126A (en) * 1991-01-04 1993-05-11 Bonneville Scientific Force sensor
JP2943437B2 (ja) * 1991-08-30 1999-08-30 松下電器産業株式会社 指紋センサ

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003506693A (ja) * 1999-08-09 2003-02-18 クロス マッチ テクノロジーズ, インコーポレイテッド 圧電膜指紋スキャナ
JP2003527906A (ja) * 2000-03-23 2003-09-24 クロス マッチ テクノロジーズ, インコーポレイテッド 圧電識別デバイスおよびそのアプリケーション
KR100393191B1 (ko) * 2001-05-12 2003-07-31 삼성전자주식회사 압전체 박막을 이용한 지문인식 센서
KR100425777B1 (ko) * 2001-09-29 2004-04-03 홍동표 대상물 인식능력을 가진 촉각센서
JPWO2008108042A1 (ja) * 2007-03-01 2010-06-10 シャープ株式会社 表示パネル用基板、表示パネル、表示装置、および表示パネル用基板の製造方法
JP2012161876A (ja) * 2011-02-07 2012-08-30 Canon Inc 把持装置
KR101320138B1 (ko) * 2011-11-30 2013-10-23 삼성전기주식회사 지문 인식 센서 및 그 제조 방법
JP2013148450A (ja) * 2012-01-19 2013-08-01 Seiko Epson Corp 圧力センサーおよび圧力測定装置
CN110428597A (zh) * 2019-07-11 2019-11-08 大唐国际发电股份有限公司张家口发电厂 基于压电陶瓷的动态断煤信号报警装置及其逻辑设计

Also Published As

Publication number Publication date
EP0649116B1 (en) 2000-01-12
DE69422579T2 (de) 2000-07-06
DE69422579D1 (de) 2000-02-17
EP0649116A1 (en) 1995-04-19
US5515738A (en) 1996-05-14
JP2557796B2 (ja) 1996-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2557796B2 (ja) 圧電型面圧入力パネル
US4234813A (en) Piezoelectric or pyroelectric polymer input element for use as a transducer in keyboards
EP0650139B1 (en) Magnetic surface pressure input panel
US10061963B2 (en) Active sensing element for acoustic imaging systems
US5673041A (en) Reflective mode ultrasonic touch sensitive switch
JPH0466828A (ja) 面圧力分布検出素子
Suzuki et al. A silicon electrostatic ultrasonic transducer
JP6896857B2 (ja) 圧電気センサ装置及び応用
US3940637A (en) Polymeric piezoelectric key actuated device
KR100874050B1 (ko) 태블릿 장치
EP0235494A1 (en) Active tactile sensor apparatus and method
US11829552B2 (en) Display panel, control method thereof, and display device combining a fingerprint recognition function and a touch detection function
EP0203261A2 (en) Improved keyboard apparatus and process for making same
US4755707A (en) Input device
CN116615767A (zh) 用于超声指纹和触摸感测的装置和方法
US5767608A (en) Surface acoustic wave device for sensing a touch-position
EP0231596B1 (en) Electrostatic type atmospheric ultrasonic transducer
US10444893B2 (en) Touch input device and touch input detecting method
JPH01312485A (ja) 静電容量型超音波トランスデューサ
JPH1199141A (ja) 個体認証装置及びその製造方法
JPS5838972Y2 (ja) 圧電スイッチ
JPH11108776A (ja) 圧力検出装置
JPH11160168A (ja) 圧力検出装置
JP2000028443A (ja) 圧力センサ
JP2000214005A (ja) 圧力検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960624

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100905

Year of fee payment: 14

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees