JPH0862446A - 微小駆動部材 - Google Patents
微小駆動部材Info
- Publication number
- JPH0862446A JPH0862446A JP6218219A JP21821994A JPH0862446A JP H0862446 A JPH0862446 A JP H0862446A JP 6218219 A JP6218219 A JP 6218219A JP 21821994 A JP21821994 A JP 21821994A JP H0862446 A JPH0862446 A JP H0862446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- base portion
- pressing
- insertion hole
- driving member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2555—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing
- G02B6/2557—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing using deformable flexure members, flexible hinges or pivotal arms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4226—Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバの調心などを行うための微小駆
動部材に関し、構成部品を単一とすることでがたつきを
なくし、駆動精度を向上する。 【構成】 押圧手段の挿入孔が形成された基部１と、基
部１と一体で、挿入孔５に対向する支持部２と、押圧手
段により押圧される押圧部３と、駆動対象物を支持する
台部４を具える微小駆動部材である。この台部４は、一
側が支持部２から伸延する第一の水平可撓部９につなが
り、他側が開放されている。また、押圧部３はＬ字型
で、一端が基部１から伸延する第二の水平可撓部11につ
ながり、他端が基部１と支持部２との間で挿入孔５に対
向している。そして、台部４と押圧部３の一端とは、垂
直可撓部10でつながれている。
動部材に関し、構成部品を単一とすることでがたつきを
なくし、駆動精度を向上する。 【構成】 押圧手段の挿入孔が形成された基部１と、基
部１と一体で、挿入孔５に対向する支持部２と、押圧手
段により押圧される押圧部３と、駆動対象物を支持する
台部４を具える微小駆動部材である。この台部４は、一
側が支持部２から伸延する第一の水平可撓部９につなが
り、他側が開放されている。また、押圧部３はＬ字型
で、一端が基部１から伸延する第二の水平可撓部11につ
ながり、他端が基部１と支持部２との間で挿入孔５に対
向している。そして、台部４と押圧部３の一端とは、垂
直可撓部10でつながれている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバの融着接続
時の調心などに用いる微小駆動部材と、それを用いた微
小駆動機構に関するものである。
時の調心などに用いる微小駆動部材と、それを用いた微
小駆動機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバを融着接続をする際に用いる
調心機構の基本原理を図５に示す。これは、上面にＶ溝
が形成されたブロック60,61 を対向して配置し、各Ｖ溝
に接続する光ファイバ62,63 の端部を載置して軸合わせ
をするものである。調心は同図右側のブロック60を垂直
に、同図左側のブロック61を水平に移動することで行う
が、この移動は極めて高い精度が要求され、支持台64に
片持ち支持された梁65をマイクロシリンダ66でコイルば
ね67を介して押圧し、この片持ち梁65のひずみを利用す
ることで行っている。
調心機構の基本原理を図５に示す。これは、上面にＶ溝
が形成されたブロック60,61 を対向して配置し、各Ｖ溝
に接続する光ファイバ62,63 の端部を載置して軸合わせ
をするものである。調心は同図右側のブロック60を垂直
に、同図左側のブロック61を水平に移動することで行う
が、この移動は極めて高い精度が要求され、支持台64に
片持ち支持された梁65をマイクロシリンダ66でコイルば
ね67を介して押圧し、この片持ち梁65のひずみを利用す
ることで行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５では微
小駆動機構の原理を説明するため、片持ち梁65の構成も
簡略化して示しているが、実際の装置では、支持台64か
ら片持ち梁65およびブロック60,61 までの機構に複数の
部品を用いている。このため、各構成部品間の僅かなが
たつきが位置合わせの精度低下につながる。また、この
ようながたつきが有るため、装置の調整に手間と時間が
かかるといった問題があった。
小駆動機構の原理を説明するため、片持ち梁65の構成も
簡略化して示しているが、実際の装置では、支持台64か
ら片持ち梁65およびブロック60,61 までの機構に複数の
部品を用いている。このため、各構成部品間の僅かなが
たつきが位置合わせの精度低下につながる。また、この
ようながたつきが有るため、装置の調整に手間と時間が
かかるといった問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
消するため、複数の部品を用いるのではなく、単一の部
品により、駆動対象を垂直または水平に移動するための
部材を提供するものである。その第一の特徴は、垂直移
動用の部材に関し、押圧手段の挿入孔が形成された基部
と、基部と一体で、前記挿入孔に対向する支持部と、前
記押圧手段により押圧される押圧部と、駆動対象物を支
持する台部を具える微小駆動部材であって、前記台部
は、一側が前記支持部から伸延する第一の水平可撓部に
つながり、他側が開放され、前記押圧部はＬ字型で、一
端が基部から伸延する第二の水平可撓部につながり、他
端が基部と支持部との間で挿入孔に対向し、前記台部と
押圧部の一端とは、垂直可撓部でつながれてなることに
ある。
消するため、複数の部品を用いるのではなく、単一の部
品により、駆動対象を垂直または水平に移動するための
部材を提供するものである。その第一の特徴は、垂直移
動用の部材に関し、押圧手段の挿入孔が形成された基部
と、基部と一体で、前記挿入孔に対向する支持部と、前
記押圧手段により押圧される押圧部と、駆動対象物を支
持する台部を具える微小駆動部材であって、前記台部
は、一側が前記支持部から伸延する第一の水平可撓部に
つながり、他側が開放され、前記押圧部はＬ字型で、一
端が基部から伸延する第二の水平可撓部につながり、他
端が基部と支持部との間で挿入孔に対向し、前記台部と
押圧部の一端とは、垂直可撓部でつながれてなることに
ある。
【０００５】第二の特徴は、水平移動用の部材に関し、
押圧手段の挿入孔が形成された基部と、該基部と一体
で、前記挿入孔に対向する支持部と、前記押圧手段によ
り押圧される押圧部と、駆動対象物を支持する台部を具
える微小駆動部材であって、前記台部は、第一の垂直可
撓部を介して基部につながり、前記押圧部は、基部と支
持部の間に位置する板状体で、一端が水平可撓部を介し
て前記第一の垂直可撓部のほぼ中間につながると共に、
第二の垂直可撓部を介して支持部につながり、他端が挿
入孔に対向されてなることにある。
押圧手段の挿入孔が形成された基部と、該基部と一体
で、前記挿入孔に対向する支持部と、前記押圧手段によ
り押圧される押圧部と、駆動対象物を支持する台部を具
える微小駆動部材であって、前記台部は、第一の垂直可
撓部を介して基部につながり、前記押圧部は、基部と支
持部の間に位置する板状体で、一端が水平可撓部を介し
て前記第一の垂直可撓部のほぼ中間につながると共に、
第二の垂直可撓部を介して支持部につながり、他端が挿
入孔に対向されてなることにある。
【０００６】そして、第三の特徴は、上記の微小駆動部
材を用いて微小駆動機構を構成したことにある。即ち、
上記垂直移動用微小駆動部材と水平移動用微小駆動部材
とを各台部が対向するように固定し、押圧手段としてマ
イクロシリンダを用いる。
材を用いて微小駆動機構を構成したことにある。即ち、
上記垂直移動用微小駆動部材と水平移動用微小駆動部材
とを各台部が対向するように固定し、押圧手段としてマ
イクロシリンダを用いる。
【０００７】
【実施例】以下、光ファイバの調心機構を例として本発
明を説明する。図１は本発明機構の組立説明図で、図示
のように基体の両側に垂直移動用と水平移動用の両駆動
部材が固定される。 （垂直移動用駆動部材）垂直移動用駆動部材は、図２に
示すように、基部１，支持部２，マイクロシリンダによ
り押圧される押圧部３，光ファイバを保持するブロック
が支持される台部４を具え、これら全てが連結部を有す
ることなく一体に構成されている。
明を説明する。図１は本発明機構の組立説明図で、図示
のように基体の両側に垂直移動用と水平移動用の両駆動
部材が固定される。 （垂直移動用駆動部材）垂直移動用駆動部材は、図２に
示すように、基部１，支持部２，マイクロシリンダによ
り押圧される押圧部３，光ファイバを保持するブロック
が支持される台部４を具え、これら全てが連結部を有す
ることなく一体に構成されている。
【０００８】まず、基部１は、ほぼブロック状のもの
で、マイクロシリンダが挿入される挿入孔５が形成され
ている。挿入孔５は基部１のほぼ中央で長手方向（幅方
向）沿いに形成された円孔で、基部１の一端から他端に
貫通している。また、基部１の背面には、長手方向沿い
の長孔６が穿設され、前記挿入孔５にまで達している。
この長孔６はマイクロシリンダの円筒部材23に固定され
たガイドピン24が係合され、円筒部材23が進退する際の
ガイド孔となるものである。さらに基部１には正面から
背面に貫通するボルト孔７が３箇所に形成されている。
これは本駆動部材を後述の駆動機構に取り付ける際に用
いるボルトを螺合するためのものである。
で、マイクロシリンダが挿入される挿入孔５が形成され
ている。挿入孔５は基部１のほぼ中央で長手方向（幅方
向）沿いに形成された円孔で、基部１の一端から他端に
貫通している。また、基部１の背面には、長手方向沿い
の長孔６が穿設され、前記挿入孔５にまで達している。
この長孔６はマイクロシリンダの円筒部材23に固定され
たガイドピン24が係合され、円筒部材23が進退する際の
ガイド孔となるものである。さらに基部１には正面から
背面に貫通するボルト孔７が３箇所に形成されている。
これは本駆動部材を後述の駆動機構に取り付ける際に用
いるボルトを螺合するためのものである。
【０００９】次に、支持部２は基部１の下方から水平方
向に伸延し、直角に折れ曲がって上方に伸延することで
挿入孔５に対向するＬ字型の部分である。後述の押圧部
３や垂直，水平可撓部９,10,11に比べて大きな厚さをも
つ。
向に伸延し、直角に折れ曲がって上方に伸延することで
挿入孔５に対向するＬ字型の部分である。後述の押圧部
３や垂直，水平可撓部９,10,11に比べて大きな厚さをも
つ。
【００１０】一方、台部４は光ファイバを保持するブロ
ックが取り付けられる矩形板状体で、その上面にはブロ
ック取付用のボルト孔８が形成されている。この台部４
は、一側が第一の水平可撓部９によって支持部２につな
がれて保持され、他側は開放されている。そして、台部
４の下面は垂直可撓部10によって次に述べる押圧部３の
一端につながれている。
ックが取り付けられる矩形板状体で、その上面にはブロ
ック取付用のボルト孔８が形成されている。この台部４
は、一側が第一の水平可撓部９によって支持部２につな
がれて保持され、他側は開放されている。そして、台部
４の下面は垂直可撓部10によって次に述べる押圧部３の
一端につながれている。
【００１１】押圧部３は支持部２の約半分の厚さをもつ
Ｌ字型の小片で、一端が第二の水平可撓部12を介して基
部１の上部につながって、丁度基部１と支持部２の間に
配置される。従って、押圧部３の一端と第二水平可撓部
11は直線上に位置し、前記台部４の下面から伸延する垂
直可撓部10は、押圧部３と第二水平可撓部11のほぼ境界
につながっている。また、他端は開放端で、挿入孔５に
対向する箇所に位置し、基部の挿入孔５に装着されるマ
イクロシリンダで押圧される。さらに、押圧部３の他端
には後述するスプリングの受け具が取り付けられるた
め、この受け具を嵌合する円孔12が形成されている。こ
の円孔12は、ドリルなどを支持部２に貫通し、さらに押
圧部３も貫通させることで形成する。このとき、支持部
２に形成された孔13は捨て孔となる。
Ｌ字型の小片で、一端が第二の水平可撓部12を介して基
部１の上部につながって、丁度基部１と支持部２の間に
配置される。従って、押圧部３の一端と第二水平可撓部
11は直線上に位置し、前記台部４の下面から伸延する垂
直可撓部10は、押圧部３と第二水平可撓部11のほぼ境界
につながっている。また、他端は開放端で、挿入孔５に
対向する箇所に位置し、基部の挿入孔５に装着されるマ
イクロシリンダで押圧される。さらに、押圧部３の他端
には後述するスプリングの受け具が取り付けられるた
め、この受け具を嵌合する円孔12が形成されている。こ
の円孔12は、ドリルなどを支持部２に貫通し、さらに押
圧部３も貫通させることで形成する。このとき、支持部
２に形成された孔13は捨て孔となる。
【００１２】上記台部４や押圧部３から伸延する垂直，
水平可撓部９，10,11 は、非常に厚みの小さい板状体
で、僅かな応力に対しても容易にたわむ。第一水平可撓
部９は支持部２の上端につながれて、支持部２との間に
細長いＵ字型の切欠14を形成しており、第二水平可撓部
11は基部１の上端につながれて、基部１との間に細長い
Ｕ字型の切欠15を形成している。
水平可撓部９，10,11 は、非常に厚みの小さい板状体
で、僅かな応力に対しても容易にたわむ。第一水平可撓
部９は支持部２の上端につながれて、支持部２との間に
細長いＵ字型の切欠14を形成しており、第二水平可撓部
11は基部１の上端につながれて、基部１との間に細長い
Ｕ字型の切欠15を形成している。
【００１３】このような駆動部材において、押圧部３の
他端を同図の左側に押圧すると、第二水平可撓部11がた
わみ、押圧部３は第二の水平可撓部11と基部１がつなが
る箇所を基点として右回りに回動する。このため押圧部
３の一端から上方に伸延する垂直可撓部10で支持された
台部４も右回りに回動しようとする。一方、台部４はそ
の左側が第一の水平可撓部９で支持部２につながってい
るため、右回りに回動しようとする台部４を左側に引き
戻し、結果として台部４は上方に移動されることとな
る。本例では、下記の材質，サイズの部材を作製した。
得られた駆動部材は、０．１μｍピッチの精度で、１４
０μｍの範囲にわたって駆動対象を昇降することができ
た。
他端を同図の左側に押圧すると、第二水平可撓部11がた
わみ、押圧部３は第二の水平可撓部11と基部１がつなが
る箇所を基点として右回りに回動する。このため押圧部
３の一端から上方に伸延する垂直可撓部10で支持された
台部４も右回りに回動しようとする。一方、台部４はそ
の左側が第一の水平可撓部９で支持部２につながってい
るため、右回りに回動しようとする台部４を左側に引き
戻し、結果として台部４は上方に移動されることとな
る。本例では、下記の材質，サイズの部材を作製した。
得られた駆動部材は、０．１μｍピッチの精度で、１４
０μｍの範囲にわたって駆動対象を昇降することができ
た。
【００１４】材 質：ステンレス鋼 駆動部材：幅７０ｍｍ，高さ４７ｍｍ，奥行１２ｍｍ 垂直可撓部の厚さ：１ｍｍ 第一水平可撓部
の厚さ：１ｍｍ 第二水平可撓部の厚さ：１ｍｍ 支持部の厚さ：
８ｍｍ 台部の幅：２３ｍｍ 押圧部の厚さ：
４ｍｍ
の厚さ：１ｍｍ 第二水平可撓部の厚さ：１ｍｍ 支持部の厚さ：
８ｍｍ 台部の幅：２３ｍｍ 押圧部の厚さ：
４ｍｍ
【００１５】なお、上記の微小駆動部材は、例えばステ
ンレス板をワイヤ放電加工により所定形状に切り抜いて
作製すればよい。
ンレス板をワイヤ放電加工により所定形状に切り抜いて
作製すればよい。
【００１６】（水平移動用駆動部材）一方、水平移動用
の駆動部材も垂直用駆動部材と同様に、基部１，支持部
２，押圧部３，台部４を具えるが、押圧部３の形状や台
部４の支持の仕方が異なっている。図３に示すように、
台部４は第一の垂直可撓部16で直接基部１につながって
いる。そして、第一の垂直可撓部16と基部１の上部との
間には矩形の切欠17が形成される。また、押圧部３は矩
形の板状体で、その一端は水平可撓部18を介して前記第
一の垂直可撓部16の中間につながると共に、第二の垂直
可撓部19を介して支持部２につながっている。この第二
の垂直可撓部19は、支持部２の上端から僅かに水平方向
（図３の右側）に伸延してから折れ曲がって下方に伸延
し、支持部２との間に細長いＵ字型の切欠20を形成す
る。
の駆動部材も垂直用駆動部材と同様に、基部１，支持部
２，押圧部３，台部４を具えるが、押圧部３の形状や台
部４の支持の仕方が異なっている。図３に示すように、
台部４は第一の垂直可撓部16で直接基部１につながって
いる。そして、第一の垂直可撓部16と基部１の上部との
間には矩形の切欠17が形成される。また、押圧部３は矩
形の板状体で、その一端は水平可撓部18を介して前記第
一の垂直可撓部16の中間につながると共に、第二の垂直
可撓部19を介して支持部２につながっている。この第二
の垂直可撓部19は、支持部２の上端から僅かに水平方向
（図３の右側）に伸延してから折れ曲がって下方に伸延
し、支持部２との間に細長いＵ字型の切欠20を形成す
る。
【００１７】このような駆動部材において、押圧部３の
他端を同図の左側に押圧すると、第一垂直可撓部16と基
部１のつながる箇所を基点として台部４は左回りに回動
しようとする。一方、押圧部３はその一端が第一の垂直
可撓部16で支持部２につながっているため、前記回動を
抑制し、結果として台部４は左方向に移動されることと
なる。
他端を同図の左側に押圧すると、第一垂直可撓部16と基
部１のつながる箇所を基点として台部４は左回りに回動
しようとする。一方、押圧部３はその一端が第一の垂直
可撓部16で支持部２につながっているため、前記回動を
抑制し、結果として台部４は左方向に移動されることと
なる。
【００１８】なお、以下の点は前記垂直移動用駆動部材
と同様である。 ブロック状の基部１にマイクロシリンダの挿入孔５が
形成されると共に、挿入孔５に達する長孔６が形成され
ていること。 基部１に、これを正面から背面に貫通するボルト孔７
が形成されていること。 支持部２は基部１の下方から伸延し、Ｌ字型に形成さ
れていること。 台部４の上面にボルト孔８が形成されていること。 押圧部３の他端に円孔12が形成されていること。 製造方法はワイヤ放電加工による切り抜き加工が好適
であること。
と同様である。 ブロック状の基部１にマイクロシリンダの挿入孔５が
形成されると共に、挿入孔５に達する長孔６が形成され
ていること。 基部１に、これを正面から背面に貫通するボルト孔７
が形成されていること。 支持部２は基部１の下方から伸延し、Ｌ字型に形成さ
れていること。 台部４の上面にボルト孔８が形成されていること。 押圧部３の他端に円孔12が形成されていること。 製造方法はワイヤ放電加工による切り抜き加工が好適
であること。
【００１９】本例では、下記の材質，サイズの部材を作
製した。得られた駆動部材は、０．１μｍピッチの精度
で、１４０μｍの範囲にわたって駆動対象を水平移動す
ることができた。 材 質：ステンレス鋼 駆動部材：幅７０ｍｍ，高さ４６ｍｍ，奥行１２ｍｍ 第一垂直可撓部の厚さ：１ｍｍ 第二垂直可撓部
の厚さ：１ｍｍ 水平可撓部の厚さ：１ｍｍ 支持部の厚さ：
１１ｍｍ 台部の幅：２０ｍｍ 押圧部の厚さ：
４ｍｍ
製した。得られた駆動部材は、０．１μｍピッチの精度
で、１４０μｍの範囲にわたって駆動対象を水平移動す
ることができた。 材 質：ステンレス鋼 駆動部材：幅７０ｍｍ，高さ４６ｍｍ，奥行１２ｍｍ 第一垂直可撓部の厚さ：１ｍｍ 第二垂直可撓部
の厚さ：１ｍｍ 水平可撓部の厚さ：１ｍｍ 支持部の厚さ：
１１ｍｍ 台部の幅：２０ｍｍ 押圧部の厚さ：
４ｍｍ
【００２０】（組み立て）以上のような垂直，水平移動
用の駆動部材を利用した光ファイバの調心装置は次のよ
うにして組み立てる。図１に示すように、まず基体21の
両側に垂直移動用駆動部材Ｖと水平移動用駆動部材Ｈを
各台部４が対向するように配し、各基部１に設けられた
ボルト孔７にボルトを螺合して、これを基体１に取り付
ける。次に、各基部の挿入孔５にスプリング22と円筒部
材23を挿入して、長孔６からガイドピン24をはめ込み、
これをマイクロシリンダとなる円筒部材23の端部に固定
する。このとき、押圧部の円孔12に浅いキャップ状の受
け具25を嵌合し、基部の挿入孔５から押圧部側に突出し
たスプリング22の端部には鍔を有する円筒状の座金26を
はめ込む。そして、この受け具25と座金26の間に環状片
27を介在して円筒部材23からの押圧力を押圧部３に伝達
できるよう構成する。
用の駆動部材を利用した光ファイバの調心装置は次のよ
うにして組み立てる。図１に示すように、まず基体21の
両側に垂直移動用駆動部材Ｖと水平移動用駆動部材Ｈを
各台部４が対向するように配し、各基部１に設けられた
ボルト孔７にボルトを螺合して、これを基体１に取り付
ける。次に、各基部の挿入孔５にスプリング22と円筒部
材23を挿入して、長孔６からガイドピン24をはめ込み、
これをマイクロシリンダとなる円筒部材23の端部に固定
する。このとき、押圧部の円孔12に浅いキャップ状の受
け具25を嵌合し、基部の挿入孔５から押圧部側に突出し
たスプリング22の端部には鍔を有する円筒状の座金26を
はめ込む。そして、この受け具25と座金26の間に環状片
27を介在して円筒部材23からの押圧力を押圧部３に伝達
できるよう構成する。
【００２１】一方、台部４にはブロック保持具28を取り
付け、この保持具28にブロック29を固定する。ブロック
保持具28は、台部４に取り付けるためのボルト孔30が形
成された板状体で、一端にねじ孔台部31が対向して突設
される。また、ブロック29は、その上面に光ファイバを
配置するＶ溝を具え、前記ねじ孔台部31の間にはめ込ま
れる。ブロック29の固定は、保持具28にブロック29をは
め込み、その上からブロック29の両側が覆われるように
押さえ板32を配して、これを貫通するビス33により押さ
え板32をねじ孔台部31に固定することで行う。そして、
基部１の側面の下方に挟持片34を配し、その上に当て板
35を被せ、これらをねじで貫通して基部１に固定する。
付け、この保持具28にブロック29を固定する。ブロック
保持具28は、台部４に取り付けるためのボルト孔30が形
成された板状体で、一端にねじ孔台部31が対向して突設
される。また、ブロック29は、その上面に光ファイバを
配置するＶ溝を具え、前記ねじ孔台部31の間にはめ込ま
れる。ブロック29の固定は、保持具28にブロック29をは
め込み、その上からブロック29の両側が覆われるように
押さえ板32を配して、これを貫通するビス33により押さ
え板32をねじ孔台部31に固定することで行う。そして、
基部１の側面の下方に挟持片34を配し、その上に当て板
35を被せ、これらをねじで貫通して基部１に固定する。
【００２２】このような装置の駆動は、図４に示すモー
タ36を用いて回転軸37を駆動し、この回転軸37を前記円
筒部材23に螺合させて、円筒部材23を進退させることで
行う。薄い直方体の軸受け台38には、その両側に軸孔39
が、四隅にビス孔40が、中間部の４箇所に、軸受け台38
を基体１へ固定するための取付孔41が、この取付孔41の
間にビス孔40が形成されている。一方、この軸受け台38
に取り付けられる保持板42は、軸受け台の各孔39,40,41
に対応した孔43,44,45を有し、さらに、一側にモータの
軸孔46と、モータ36を保持板42に固定するためのねじ孔
47が並設されている。また、回転軸37は、一方が細く、
他方が太く形成され、両端部にはねじ山が形成されてい
る。
タ36を用いて回転軸37を駆動し、この回転軸37を前記円
筒部材23に螺合させて、円筒部材23を進退させることで
行う。薄い直方体の軸受け台38には、その両側に軸孔39
が、四隅にビス孔40が、中間部の４箇所に、軸受け台38
を基体１へ固定するための取付孔41が、この取付孔41の
間にビス孔40が形成されている。一方、この軸受け台38
に取り付けられる保持板42は、軸受け台の各孔39,40,41
に対応した孔43,44,45を有し、さらに、一側にモータの
軸孔46と、モータ36を保持板42に固定するためのねじ孔
47が並設されている。また、回転軸37は、一方が細く、
他方が太く形成され、両端部にはねじ山が形成されてい
る。
【００２３】まず、２枚の保持板42を軸受け台38の正面
に対称に配し、各ビス孔40にビスを挿入して保持板42を
軸受け台38に固定する。このとき、各保持板42における
モータの軸孔46やねじ孔47が形成された部分は軸受け台
38の両側に突出する。ここで、この軸孔46に軸受け台38
の背面側からモータの駆動軸48を差し込み、ねじ孔47に
ねじを挿入してモータ36を保持板42に固定する。そし
て、モータの軸48に駆動ギア49を取り付ける。一方、軸
受け台の軸孔39には、軸受け台38の背面側から回転軸37
を挿入すると共に、軸受け台38の両面から軸受け50をは
め込んで、回転軸37の細く形成された方が軸受け台38の
正面に突出するようにこれを取り付ける。さらに、この
突出した回転軸37に従動ギア51をはめ込んで、これを駆
動ギア49に噛合し、ナット52で固定する。
に対称に配し、各ビス孔40にビスを挿入して保持板42を
軸受け台38に固定する。このとき、各保持板42における
モータの軸孔46やねじ孔47が形成された部分は軸受け台
38の両側に突出する。ここで、この軸孔46に軸受け台38
の背面側からモータの駆動軸48を差し込み、ねじ孔47に
ねじを挿入してモータ36を保持板42に固定する。そし
て、モータの軸48に駆動ギア49を取り付ける。一方、軸
受け台の軸孔39には、軸受け台38の背面側から回転軸37
を挿入すると共に、軸受け台38の両面から軸受け50をは
め込んで、回転軸37の細く形成された方が軸受け台38の
正面に突出するようにこれを取り付ける。さらに、この
突出した回転軸37に従動ギア51をはめ込んで、これを駆
動ギア49に噛合し、ナット52で固定する。
【００２４】そして、軸受け台38の背面側に突出する回
転軸37の太い方を図３に示す円筒部材23に螺合し、保持
板42と軸受け台の取付孔41にボルトを差し込んで、これ
ら駆動源を基体21に取り付ける。このような構成の装置
で、各ブロック29のＶ溝に光ファイバを配し、モータ36
を駆動して駆動ギア49を回転し、これに同期して回転軸
37を回す。円筒部材23はこの回転軸37に螺合されている
が、ガイドピン24が長孔６に係合しているため、それ自
体は回転せず、挿入孔内を進退する。そのため、押圧部
３にかかる押圧力を変化でき、前述のように各台部４を
上下または水平方向に移動させて光ファイバを調心する
ことができる。
転軸37の太い方を図３に示す円筒部材23に螺合し、保持
板42と軸受け台の取付孔41にボルトを差し込んで、これ
ら駆動源を基体21に取り付ける。このような構成の装置
で、各ブロック29のＶ溝に光ファイバを配し、モータ36
を駆動して駆動ギア49を回転し、これに同期して回転軸
37を回す。円筒部材23はこの回転軸37に螺合されている
が、ガイドピン24が長孔６に係合しているため、それ自
体は回転せず、挿入孔内を進退する。そのため、押圧部
３にかかる押圧力を変化でき、前述のように各台部４を
上下または水平方向に移動させて光ファイバを調心する
ことができる。
【００２５】このように、本発明の微小移動部材は、基
部１，支持部２，押圧部３および台部４が全て連結部を
有することなく一体化され、単一の部材として構成され
ているため、従来問題となった部品間のがたつきに伴う
精度低下や煩雑な調整作業を回避することができる。な
お、以上の実施例は光ファイバの調心機構を例として説
明したが、本発明はこの他にも、ごく僅かな移動を高い
精度で行う種々の用途に適用できる。
部１，支持部２，押圧部３および台部４が全て連結部を
有することなく一体化され、単一の部材として構成され
ているため、従来問題となった部品間のがたつきに伴う
精度低下や煩雑な調整作業を回避することができる。な
お、以上の実施例は光ファイバの調心機構を例として説
明したが、本発明はこの他にも、ごく僅かな移動を高い
精度で行う種々の用途に適用できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明微小駆動部
材を用いれば、単一の部材により駆動対象を精度良く移
動させることができる。そのため、部品数を減少でき、
より簡易な構造の微小駆動機構を作製することができ
る。特に、従来、複数の部品を用いることで問題となっ
たがたつきに伴う精度低下を解消し、機構の調整も容易
に行うことができる。従って、光ファイバの調心機構な
どに利用すると効果的である。
材を用いれば、単一の部材により駆動対象を精度良く移
動させることができる。そのため、部品数を減少でき、
より簡易な構造の微小駆動機構を作製することができ
る。特に、従来、複数の部品を用いることで問題となっ
たがたつきに伴う精度低下を解消し、機構の調整も容易
に行うことができる。従って、光ファイバの調心機構な
どに利用すると効果的である。
【図１】本発明微小駆動機構（光ファイバの調心機構）
の組立図である。
の組立図である。
【図２】本発明の垂直移動用の微小駆動部材を示すもの
で、（Ａ）は平面図，（Ｂ）は正面図，（Ｃ）は側面図
である。
で、（Ａ）は平面図，（Ｂ）は正面図，（Ｃ）は側面図
である。
【図３】本発明の水平移動用の微小駆動部材を示すもの
で、（Ａ）は平面図，（Ｂ）は正面図，（Ｃ）は側面図
である。
で、（Ａ）は平面図，（Ｂ）は正面図，（Ｃ）は側面図
である。
【図４】本発明微小駆動機構に用いる押圧機構を示す組
立図である。
立図である。
【図５】従来の微小駆動装置の駆動原理を示す概略図で
ある。
ある。
１ 基部 ２ 支持部 ３ 押圧部 ４ 台部 ５ 挿
入孔 ６ 長孔 ７，８ ボルト孔 ９ 第一水平可撓部 10 垂直可撓
部 11 第二水平可撓部 12 円孔 13 孔 14,15 切欠
16 第一垂直可撓部 17 切欠 18 水平可撓部 19 第二垂直可撓部 20
切欠 21 基体 22 スプリング 23 円筒部材 24 ガイドピン 25
受け具 26 座金 27 環状片 28 ブロック保持具 29 ブロック 30
ボルト孔 31 ねじ孔台部 32 押さえ板 33 ビス 34 挟持片
35 当て板 36 モータ 37 回転軸 38 軸受け台 39 軸孔 40
ビス孔 41 取付孔 42 保持板 43,44,45 孔 46 軸孔 47 ねじ孔 48
駆動軸 49 駆動ギア 50 軸受け 51 従動ギア 52 ナット
60,61 ブロック 62,63 光ファイバ 64 支持台 65 片持ち梁 66
マイクロシリンダ 67 コイルばね
入孔 ６ 長孔 ７，８ ボルト孔 ９ 第一水平可撓部 10 垂直可撓
部 11 第二水平可撓部 12 円孔 13 孔 14,15 切欠
16 第一垂直可撓部 17 切欠 18 水平可撓部 19 第二垂直可撓部 20
切欠 21 基体 22 スプリング 23 円筒部材 24 ガイドピン 25
受け具 26 座金 27 環状片 28 ブロック保持具 29 ブロック 30
ボルト孔 31 ねじ孔台部 32 押さえ板 33 ビス 34 挟持片
35 当て板 36 モータ 37 回転軸 38 軸受け台 39 軸孔 40
ビス孔 41 取付孔 42 保持板 43,44,45 孔 46 軸孔 47 ねじ孔 48
駆動軸 49 駆動ギア 50 軸受け 51 従動ギア 52 ナット
60,61 ブロック 62,63 光ファイバ 64 支持台 65 片持ち梁 66
マイクロシリンダ 67 コイルばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 児玉 至行 兵庫県神戸市灘区高徳町一丁目２番16号 甲南メゾン六甲203号
Claims (3)
- 【請求項１】 押圧手段の挿入孔が形成された基部と、 該基部と一体で、前記挿入孔に対向する支持部と、 前記押圧手段により押圧される押圧部と、 駆動対象物を支持する台部を具える微小駆動部材であっ
て、 前記台部は、一側が前記支持部から伸延する第一の水平
可撓部につながり、他側が開放され、 前記押圧部はＬ字型で、一端が基部から伸延する第二の
水平可撓部につながり、他端が基部と支持部との間で挿
入孔に対向し、 前記台部と押圧部の一端とは、垂直可撓部でつながれて
なることを特徴とする垂直移動用の微小駆動部材。 - 【請求項２】 押圧手段の挿入孔が形成された基部と、 該基部と一体で、前記挿入孔に対向する支持部と、 前記押圧手段により押圧される押圧部と、 駆動対象物を支持する台部を具える微小駆動部材であっ
て、 前記台部は、第一の垂直可撓部を介して基部につなが
り、 前記押圧部は、基部と支持部の間に位置する板状体で、
一端が水平可撓部を介して前記第一の垂直可撓部のほぼ
中間につながると共に、第二の垂直可撓部を介して支持
部につながり、他端が挿入孔に対向されてなることを特
徴とする水平移動用の微小駆動部材。 - 【請求項３】 請求項１記載の垂直移動用微小駆動部材
と請求項２記載の水平移動用微小駆動部材とを各台部が
対向するように固定し、押圧手段としてマイクロシリン
ダを用いたことを特徴とする微小駆動機構。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218219A JP3070406B2 (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 微小駆動部材 |
| DE69520854T DE69520854T2 (de) | 1994-08-18 | 1995-08-16 | Positioniervorrichtung für Spleissgerät von optischen Fasern |
| EP95112871A EP0699929B1 (en) | 1994-08-18 | 1995-08-16 | Positioning device for optical fiber splicer |
| CA002156332A CA2156332A1 (en) | 1994-08-18 | 1995-08-17 | Optical fiber splicer |
| US08/516,437 US5561728A (en) | 1994-08-18 | 1995-08-17 | Optical fiber splicer |
| CN95115089A CN1063549C (zh) | 1994-08-18 | 1995-08-17 | 光纤接续器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6218219A JP3070406B2 (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 微小駆動部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862446A true JPH0862446A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3070406B2 JP3070406B2 (ja) | 2000-07-31 |
Family
ID=16716485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6218219A Expired - Fee Related JP3070406B2 (ja) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 微小駆動部材 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5561728A (ja) |
| EP (1) | EP0699929B1 (ja) |
| JP (1) | JP3070406B2 (ja) |
| CN (1) | CN1063549C (ja) |
| CA (1) | CA2156332A1 (ja) |
| DE (1) | DE69520854T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101582485B1 (ko) | 2014-10-24 | 2016-01-05 | 가부시키가이샤후지쿠라 | 광섬유 융착 접속기 및 이것을 구비하는 광섬유 융착 접속 장치 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3500850B2 (ja) * | 1996-04-23 | 2004-02-23 | 住友電気工業株式会社 | リボン型光ファイバの突き合せ部を観察する方法及び観察装置 |
| JP4104769B2 (ja) * | 1999-02-25 | 2008-06-18 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ融着接続装置 |
| EP1267458B1 (de) * | 2001-06-15 | 2004-03-17 | TRUMPF LASERTECHNIK GmbH | Lagerfuss und -vorrichtung, insbesondere für einen Laserresonator |
| US20030062122A1 (en) * | 2001-10-02 | 2003-04-03 | Keane Richard J. | Optical fiber processing system and method |
| US7070342B2 (en) * | 2003-03-24 | 2006-07-04 | Aurora Instruments, Inc. | Low profile system for joining optical fiber waveguides |
| US7004640B2 (en) * | 2003-03-24 | 2006-02-28 | Aurora Instruments, Inc. | Low profile local injection and detection system for optical fiber waveguides |
| US7077579B2 (en) * | 2003-03-24 | 2006-07-18 | Aurora Instruments, Inc. | Low profile splicing stage for optical fiber waveguides |
| US7090414B2 (en) * | 2003-03-25 | 2006-08-15 | Aurora Instruments, Inc. | Automatic apparatus for cleaving optical fiber waveguides |
| US6984077B2 (en) * | 2003-03-25 | 2006-01-10 | Aurora Instruments, Inc. | System for joining polarization-maintaining optical fiber waveguides |
| DE102006031077A1 (de) * | 2006-03-08 | 2007-09-13 | CCS Technology, Inc., Wilmington | Spleißgerät mit Spleißkassettenträger |
| US7689142B2 (en) | 2006-08-28 | 2010-03-30 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming apparatus, and processing unit and latent image writing device mounted therein |
| CN101029953B (zh) * | 2007-04-04 | 2012-07-25 | 王其彪 | 一种野战型光纤固定接续器 |
| US7809230B2 (en) | 2007-09-25 | 2010-10-05 | Ksaria Corporation | Apparatus for shaping the end of an optical fiber |
| DE102009025309B4 (de) * | 2009-06-15 | 2016-12-22 | Toptica Photonics Ag | Kinematischer Halter |
| USD652850S1 (en) * | 2009-10-14 | 2012-01-24 | Ilsin Tech Co., Ltd. | Optical fiber fusion splicer |
| US8254738B2 (en) | 2010-08-27 | 2012-08-28 | Ksaria Corporation | Methods and systems for efficient installation of cables in watercraft |
| USD652438S1 (en) * | 2011-02-09 | 2012-01-17 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical fiber fusion splicer |
| US9239428B2 (en) | 2011-09-28 | 2016-01-19 | Ksaria Corporation | Epoxy dispensing system and dispensing tip used therewith |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3407018A (en) * | 1964-01-30 | 1968-10-22 | Electro Optical Systems Inc | Two-axis angular positioning apparatus for adjusting the position of an optical element |
| US4426055A (en) * | 1982-03-09 | 1984-01-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Precision translator |
| DE3217298A1 (de) * | 1982-05-07 | 1983-11-10 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mikropositionier- und justiervorrichtung |
| JPS59111120A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ用軸合装置 |
| JPS60207104A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-18 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 光フアイバ−の自動調心装置 |
| FR2595476B1 (fr) * | 1986-03-07 | 1990-03-02 | Mehadji Kada | Procede et systeme de positionnement relatif de deux fibres optiques en vue d'etablir entre elles une liaison optique |
| DE3789751T2 (de) * | 1986-10-27 | 1994-12-22 | The Furukawa Electric Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Vorrichtung zum axialen Zentrieren beim Verschmelzen optischer Fasern. |
| US5168617A (en) * | 1986-10-27 | 1992-12-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Axially centering apparatus for fusion-bonding optical fibers |
| FR2671409B1 (fr) * | 1991-01-08 | 1994-06-10 | Alcatel Fibres Optiques | Microsoudeuse pour fibres optiques et procede de soudage a l'aide de cette microsoudeuse. |
-
1994
- 1994-08-18 JP JP6218219A patent/JP3070406B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-16 EP EP95112871A patent/EP0699929B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-16 DE DE69520854T patent/DE69520854T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-17 CN CN95115089A patent/CN1063549C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-17 US US08/516,437 patent/US5561728A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-17 CA CA002156332A patent/CA2156332A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101582485B1 (ko) | 2014-10-24 | 2016-01-05 | 가부시키가이샤후지쿠라 | 광섬유 융착 접속기 및 이것을 구비하는 광섬유 융착 접속 장치 |
| EP3012673A1 (en) | 2014-10-24 | 2016-04-27 | Fujikura Ltd. | Optical fiber fusion splicer and optical fiber fusion splicing apparatus provided with same |
| US9513439B2 (en) | 2014-10-24 | 2016-12-06 | Fujikura Ltd. | Optical fiber fusion splicer and optical fiber fusion splicing apparatus provided with same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3070406B2 (ja) | 2000-07-31 |
| DE69520854D1 (de) | 2001-06-13 |
| DE69520854T2 (de) | 2001-09-27 |
| CN1063549C (zh) | 2001-03-21 |
| CN1126842A (zh) | 1996-07-17 |
| CA2156332A1 (en) | 1996-02-19 |
| EP0699929A1 (en) | 1996-03-06 |
| EP0699929B1 (en) | 2001-05-09 |
| US5561728A (en) | 1996-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3070406B2 (ja) | 微小駆動部材 | |
| JPS58500744A (ja) | 位置設定装置 | |
| KR20090042902A (ko) | 제한 회전 모터 및 스캐너에 사용을 위하여 형상기억 물질을 채용한 거울 장착 구조물 및 방법 | |
| JP3009591B2 (ja) | 光ファイバー端の研磨方法 | |
| JPH0868921A (ja) | 光ファイバ整列装置 | |
| CN1093942C (zh) | 光导基片端平行度调节设备 | |
| WO2003003058A2 (en) | Manufacturing technique for optical fiber array | |
| JPH06295968A (ja) | デジタル素子のリード配列修正方法および修正装置 | |
| JP3145468B2 (ja) | かしめ装置に於ける下型の取付構造 | |
| JP2002066893A (ja) | 磁気ヘッド用研磨装置および方法 | |
| JPH0625803B2 (ja) | 光ファイバ切断用応力発生装置 | |
| JP2021013991A (ja) | ニードルグリッパーおよびアクチュエータ | |
| JP3122559B2 (ja) | 光ファイバの調心装置 | |
| JPH05277912A (ja) | 超精密芯出し加工装置と超精密芯出し加工方法 | |
| JPH08152319A (ja) | ウェーハその他の薄層体の表面形状測定方法及び装置 | |
| JPH0575083B2 (ja) | ||
| JP2020003527A (ja) | ステージ装置及び顕微鏡システム | |
| JPH10143870A (ja) | 光ディスクシステムの光軸調整機構 | |
| JPH08188426A (ja) | 芯出し機構を備えた光学素子成形装置 | |
| JP3142974B2 (ja) | 顕微鏡の焦準装置 | |
| JPH11320230A (ja) | 溝加工装置 | |
| JP3343188B2 (ja) | 微小部品用パレット及びそれを用いた作業装置 | |
| JPH06320366A (ja) | テ−ブル装置及びその組立方法 | |
| JP2004104001A (ja) | 試料移動機構 | |
| JP4028493B2 (ja) | 光ファイバの軸合せ装置及び光ファイバ融着接続装置。 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |