JPH086748B2 - 多孔質静圧気体軸受の製造方法 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受の製造方法Info
- Publication number
- JPH086748B2 JPH086748B2 JP10171390A JP10171390A JPH086748B2 JP H086748 B2 JPH086748 B2 JP H086748B2 JP 10171390 A JP10171390 A JP 10171390A JP 10171390 A JP10171390 A JP 10171390A JP H086748 B2 JPH086748 B2 JP H086748B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- porous
- solvent
- bearing
- open pores
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、軸受面に多孔質体を配し、その多孔質体の
通気孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気
体膜を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受の製造
方法に関する。
通気孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気
体膜を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受の製造
方法に関する。
［従来の技術］ この種の軸受で所定の回転精度、負荷能力、軸受剛性
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量、すなわち気体通過流量が軸受面全面
にわたり均一であることが要求される。そのために、従
来は予め、所定の流量以下になるように軸受面に樹脂を
含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しなが
ら、溶剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一にな
るように調整していた。そしてこの方法においては、溶
剤を適量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて樹脂を
溶かし、徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行
なっていた。
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量、すなわち気体通過流量が軸受面全面
にわたり均一であることが要求される。そのために、従
来は予め、所定の流量以下になるように軸受面に樹脂を
含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しなが
ら、溶剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一にな
るように調整していた。そしてこの方法においては、溶
剤を適量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて樹脂を
溶かし、徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行
なっていた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来例では調整作業が作業者の経験や
勘に頼っているために、調整方法が試行錯誤で行なわれ
る結果、 作業工数が多くかかり、コスト増加の原因となる。
勘に頼っているために、調整方法が試行錯誤で行なわれ
る結果、 作業工数が多くかかり、コスト増加の原因となる。
手作業に頼っているため、標準化し難く、品質のばら
つきが大きい。
つきが大きい。
自動化に不向きである。
等の不都合があった。
本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので
あって、作業工程を減少させて製造コストを低減し、作
業の標準化および品質の安定化を図ることができるとと
もに、自動化が可能な、多孔質静圧気体軸受の製造方法
を提供することを目的とする。
あって、作業工程を減少させて製造コストを低減し、作
業の標準化および品質の安定化を図ることができるとと
もに、自動化が可能な、多孔質静圧気体軸受の製造方法
を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段および作用］ 本発明は、樹脂を含浸させた軸受面に、均一に穴のあ
いたパターンを介して溶剤を塗布することにより、気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたもので、予め軸受面の気体通過流量を測定し、そ
れが規格流量を上回るか下回るかを判別し、その判別結
果に応じて該軸受面の開気孔を回復させるかまたは目止
めするかを選択するようにしたものである。開気孔の回
復は、例えば該気体軸受に加圧空気を給気した状態で溶
剤を塗布することによって実現することができる。ま
た、目止めは無給気状態で溶剤を塗布することによって
実現することができる。
いたパターンを介して溶剤を塗布することにより、気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたもので、予め軸受面の気体通過流量を測定し、そ
れが規格流量を上回るか下回るかを判別し、その判別結
果に応じて該軸受面の開気孔を回復させるかまたは目止
めするかを選択するようにしたものである。開気孔の回
復は、例えば該気体軸受に加圧空気を給気した状態で溶
剤を塗布することによって実現することができる。ま
た、目止めは無給気状態で溶剤を塗布することによって
実現することができる。
［実施例］ 第１図（ａ）は多孔質軸受を示す断面図、第１図
（ｂ）はその外観図である。図において、１はグラファ
イト多孔質材、２は多孔質材１を保持および固定するハ
ウジング、３は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
（ｂ）はその外観図である。図において、１はグラファ
イト多孔質材、２は多孔質材１を保持および固定するハ
ウジング、３は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
研摩加工などにより所定の精度に仕上げられた多孔質
材１の気体通過流量は、設計値よりも大きくなるように
製作されている。そのため、これを以下の手順にしたが
って設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微
細な開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う
余剰の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気
孔５内に樹脂膜6aを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。こ
れにより、気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次
に、第３図に示すように、所定の開口率を有するように
小孔7aが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受
面に対して平行で微小な隙間を持つように対向させて配
置する。さらに、多孔質材１に通気した状態で、パター
ン７を介して微量の溶剤を塗布させると、パターン７の
小孔7aの位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が
溶けて所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗
布方法としては霧状にして噴射する方法等がある。この
溶剤塗布の際、多孔質軸受に加圧空気を給気するか否か
によって、開気孔５を開口（回復）させたり、閉塞（目
止め）させることができる。
材１の気体通過流量は、設計値よりも大きくなるように
製作されている。そのため、これを以下の手順にしたが
って設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微
細な開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う
余剰の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気
孔５内に樹脂膜6aを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。こ
れにより、気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次
に、第３図に示すように、所定の開口率を有するように
小孔7aが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受
面に対して平行で微小な隙間を持つように対向させて配
置する。さらに、多孔質材１に通気した状態で、パター
ン７を介して微量の溶剤を塗布させると、パターン７の
小孔7aの位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が
溶けて所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗
布方法としては霧状にして噴射する方法等がある。この
溶剤塗布の際、多孔質軸受に加圧空気を給気するか否か
によって、開気孔５を開口（回復）させたり、閉塞（目
止め）させることができる。
気体通過流量の調整原理をわかりやすく説明するため
に、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に多孔質材
の開気孔部を拡大しモデル化した断面図を示す。
に、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に多孔質材
の開気孔部を拡大しモデル化した断面図を示す。
開気孔の回復 樹脂を含浸された開気孔５は樹脂膜6bによって塞がれ
ており、多孔質軸受に加圧空気を通気した状態において
樹脂膜6bには、第４図（ａ）に示すように、内部より圧
力が加わっている。この状態において、パターン７を介
して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の一
部に侵入し、その開気孔５の樹脂膜6bを溶かす。その結
果、樹脂膜6bは、第４図（ｂ）の6cで示すように、内部
圧力によって破壊され、圧力気体が開気孔５より流出す
る。これにより、開気孔５が開口（回復）する。
ており、多孔質軸受に加圧空気を通気した状態において
樹脂膜6bには、第４図（ａ）に示すように、内部より圧
力が加わっている。この状態において、パターン７を介
して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の一
部に侵入し、その開気孔５の樹脂膜6bを溶かす。その結
果、樹脂膜6bは、第４図（ｂ）の6cで示すように、内部
圧力によって破壊され、圧力気体が開気孔５より流出す
る。これにより、開気孔５が開口（回復）する。
開気孔の目止め 第４図（ｃ）に示すように、開気孔５の樹脂膜6dが溶
剤によって破壊されている場合、この樹脂膜を再生して
開気孔５を塞ぐことを目止めという。多孔質軸受に、無
給気状態において、パターン７を介して溶剤を噴射する
と、溶剤８は軸受面上に到達後、開気孔５の一部に侵入
し、その開気孔５の樹脂膜6dを溶かす。溶けた樹脂は表
面張力によって第４図（ｄ）に示すように再度完全な樹
脂膜6eに再生されて即時固化し、開気孔５を塞ぐ。
剤によって破壊されている場合、この樹脂膜を再生して
開気孔５を塞ぐことを目止めという。多孔質軸受に、無
給気状態において、パターン７を介して溶剤を噴射する
と、溶剤８は軸受面上に到達後、開気孔５の一部に侵入
し、その開気孔５の樹脂膜6dを溶かす。溶けた樹脂は表
面張力によって第４図（ｄ）に示すように再度完全な樹
脂膜6eに再生されて即時固化し、開気孔５を塞ぐ。
これらの回復および目止め処理によって開気孔を開い
たり、閉じたりするとともに、処理の際にパターンの開
口率を加減して溶剤が塗布される面積を変化させること
で、軸受部材の気体透過流量を均一に所定の値で設定す
ることができる。
たり、閉じたりするとともに、処理の際にパターンの開
口率を加減して溶剤が塗布される面積を変化させること
で、軸受部材の気体透過流量を均一に所定の値で設定す
ることができる。
次に、気体透過流量の実際の調整方法について詳細に
説明する。第５図は本発明に一実施例に係る流量調整装
置の構成を示すブロック図であり、第６図は第５図の装
置における流量調整方法を示すフローチャートである。
第５図において、101は圧縮空気の供給源であるコンプ
レッサ、102は気体透過流量を調整しようとする多孔質
軸受である。今、多孔質軸受102はコンプレッサ101に接
続されている。103は多孔質軸受102とコンプレッサ101
との間に接続されて多孔質軸受102への空気供給を制御
する三方電磁弁、104は多孔質軸受102の表面に溶剤を塗
布するためのスプレーガン、105はスプレーガンに溶剤
を供給するためのタンク、106はスプレーガン104への空
気供給を制御する電磁弁、107はその電磁弁106を動作さ
せるためのドライバである。電磁弁106は、スプレーガ
ン104とコンプレッサ101との間に接続されている。108
は多孔質静圧軸受102の軸受面１より流出する流量を検
出するための測定パッド、109は測定パッドより取り込
まれた検出流量を電気信号に換えるためのセンサであ
る。測定パッド108の下端には、第８図に示すように、
ゴム製のＯリング120が配置され、軸受102の多孔質体１
の表面から噴出する空気は導孔121を経てセンサ109へ導
かれるようになっている。第５図において、110はその
電気信号をデジタル変換するためのA/Dコンバータであ
る。111はスプレーガン104より噴射された溶剤の塗布面
積を加減するためのパターンを有する円板である。円板
111は、第７図（ａ）に示すように６分割されており、
６分割された各部分に開口率をそれぞれ100％、50％、2
5％、12％、６％および３％に設定されたパターン7f〜7
kが形成されている。パターン7fは全体が１つの開口に
より構成されている。パターン７（7g〜7k）は、それぞ
れ、第７図（ｂ）に拡大して示すように、板厚0.1mm程
度のステンレス板にエッチングによって小孔7aを等ピッ
チに開けられたものよりなる。それぞれのパターン7g〜
7kは、第１表に示す仕様に合わせて製作されている。
説明する。第５図は本発明に一実施例に係る流量調整装
置の構成を示すブロック図であり、第６図は第５図の装
置における流量調整方法を示すフローチャートである。
第５図において、101は圧縮空気の供給源であるコンプ
レッサ、102は気体透過流量を調整しようとする多孔質
軸受である。今、多孔質軸受102はコンプレッサ101に接
続されている。103は多孔質軸受102とコンプレッサ101
との間に接続されて多孔質軸受102への空気供給を制御
する三方電磁弁、104は多孔質軸受102の表面に溶剤を塗
布するためのスプレーガン、105はスプレーガンに溶剤
を供給するためのタンク、106はスプレーガン104への空
気供給を制御する電磁弁、107はその電磁弁106を動作さ
せるためのドライバである。電磁弁106は、スプレーガ
ン104とコンプレッサ101との間に接続されている。108
は多孔質静圧軸受102の軸受面１より流出する流量を検
出するための測定パッド、109は測定パッドより取り込
まれた検出流量を電気信号に換えるためのセンサであ
る。測定パッド108の下端には、第８図に示すように、
ゴム製のＯリング120が配置され、軸受102の多孔質体１
の表面から噴出する空気は導孔121を経てセンサ109へ導
かれるようになっている。第５図において、110はその
電気信号をデジタル変換するためのA/Dコンバータであ
る。111はスプレーガン104より噴射された溶剤の塗布面
積を加減するためのパターンを有する円板である。円板
111は、第７図（ａ）に示すように６分割されており、
６分割された各部分に開口率をそれぞれ100％、50％、2
5％、12％、６％および３％に設定されたパターン7f〜7
kが形成されている。パターン7fは全体が１つの開口に
より構成されている。パターン７（7g〜7k）は、それぞ
れ、第７図（ｂ）に拡大して示すように、板厚0.1mm程
度のステンレス板にエッチングによって小孔7aを等ピッ
チに開けられたものよりなる。それぞれのパターン7g〜
7kは、第１表に示す仕様に合わせて製作されている。
第５図において、112はパターン割出しを行なうため
のステッピングモータ、113はステッピングモータを駆
動させるためのドライバ、114はCPU、115はメモリ、そ
して116は三方電磁弁103を駆動するためのドライバであ
る。
のステッピングモータ、113はステッピングモータを駆
動させるためのドライバ、114はCPU、115はメモリ、そ
して116は三方電磁弁103を駆動するためのドライバであ
る。
次に、第５図の装置の動作を説明する。
多孔質軸受102に空気が供給された状態において、流
量検出パッド108を軸受面の調整部分に密着させ、気体
通過流量を検出する。検出された流量はセンサ109によ
って電気信号に変換され、A/Dコンバータ110を介しCPU1
14に取り込まれる。CPU114は、回復か目止めのどちらの
操作を行なうか判断し、電磁弁103に命令を出して供給
エアのオン、オフを制御する。CPU114は、次に、回復ま
たは目止めに用いるべきパターンを決定するための演算
を行ない、演算結果に応じた命令をステッピングモータ
用ドライバ113に出す。これにより、ステッピングモー
タ112が駆動され、所定の開口率のパターン７が選択さ
れる。
量検出パッド108を軸受面の調整部分に密着させ、気体
通過流量を検出する。検出された流量はセンサ109によ
って電気信号に変換され、A/Dコンバータ110を介しCPU1
14に取り込まれる。CPU114は、回復か目止めのどちらの
操作を行なうか判断し、電磁弁103に命令を出して供給
エアのオン、オフを制御する。CPU114は、次に、回復ま
たは目止めに用いるべきパターンを決定するための演算
を行ない、演算結果に応じた命令をステッピングモータ
用ドライバ113に出す。これにより、ステッピングモー
タ112が駆動され、所定の開口率のパターン７が選択さ
れる。
次に、CPU114の制御のもとに、軸受面の調整部に対し
一定の距離をとってスプレーガン104が配置される。そ
して、CPU114よりドライバ107に命令が出され、電磁弁1
06が一定時間オンすることによって、スプレーガン104
は空気が供給されてノズルより溶剤を露状に噴射する。
噴射された溶剤はパターン７（7f〜7kのいずれか）を介
して軸受面に塗布される。
一定の距離をとってスプレーガン104が配置される。そ
して、CPU114よりドライバ107に命令が出され、電磁弁1
06が一定時間オンすることによって、スプレーガン104
は空気が供給されてノズルより溶剤を露状に噴射する。
噴射された溶剤はパターン７（7f〜7kのいずれか）を介
して軸受面に塗布される。
次に、第６図のフローに基づき第５図のCPU114の調整
処理における動作を説明する。
処理における動作を説明する。
新たな多孔質軸受102が、第５図に示すようにセット
されると、CPU114は、繰返し数ｎをリセット（ｎ＝０）
した（ステップ600）後、以下の調整処理を実行する。
されると、CPU114は、繰返し数ｎをリセット（ｎ＝０）
した（ステップ600）後、以下の調整処理を実行する。
まず、ドライバ116により電磁弁103を多孔質軸受102
側に切り換えてコンプレッサ101から軸受102への給気を
オンする（ステップ601）。センサ109はこの給気オンに
より多孔質軸受102の軸受面から噴出し検出パッド108に
取り込まれる空気の流量を検出する。A/Dコンバータ110
は、この検出流量をディジタル値Qnに変換する。CPU114
は、この検出流量値Qnを取り込み（ステップ602）、こ
の検出流量値Qnが設計値（QS＝QU〜QL）を満足するかど
うかを判定する（ステップ603,604）。検出流量値Qnが
設計下限値QLを下回る場合は、流量を回復させるため、
第６図中で右側の流量回復ループに入る。
側に切り換えてコンプレッサ101から軸受102への給気を
オンする（ステップ601）。センサ109はこの給気オンに
より多孔質軸受102の軸受面から噴出し検出パッド108に
取り込まれる空気の流量を検出する。A/Dコンバータ110
は、この検出流量をディジタル値Qnに変換する。CPU114
は、この検出流量値Qnを取り込み（ステップ602）、こ
の検出流量値Qnが設計値（QS＝QU〜QL）を満足するかど
うかを判定する（ステップ603,604）。検出流量値Qnが
設計下限値QLを下回る場合は、流量を回復させるため、
第６図中で右側の流量回復ループに入る。
この回復ループでは、まず、繰返し数ｎの判定を行な
い（ステップ605）、ｎ＝０ならば所定の初期パターン
（例えばパターンｊ）を選択する（ステップ608）。一
方、ｎ≧１の場合には、今回の調整処理においてステッ
プ602で取り込んだ検出流量値Qnと前回の調整処理の際
に取り込んだ検出流量値Qn-1との関係に基づき、パター
ンを選択する（ステップ606）。次いで、ドライバ107を
介して電磁弁106をオンさせ、コンプレッサ101からの加
圧空気をスプレーガン104へ供給する。これにより、ス
プレーガン104から溶剤が噴霧され多孔質軸受102の軸受
け面に塗布される（ステップ607）。そして繰返し数ｎ
に１を加算した（ステップ609）後、ステップ601へ戻
り、ステップ602の流量検出以下、上述と同様の操作を
繰返す。
い（ステップ605）、ｎ＝０ならば所定の初期パターン
（例えばパターンｊ）を選択する（ステップ608）。一
方、ｎ≧１の場合には、今回の調整処理においてステッ
プ602で取り込んだ検出流量値Qnと前回の調整処理の際
に取り込んだ検出流量値Qn-1との関係に基づき、パター
ンを選択する（ステップ606）。次いで、ドライバ107を
介して電磁弁106をオンさせ、コンプレッサ101からの加
圧空気をスプレーガン104へ供給する。これにより、ス
プレーガン104から溶剤が噴霧され多孔質軸受102の軸受
け面に塗布される（ステップ607）。そして繰返し数ｎ
に１を加算した（ステップ609）後、ステップ601へ戻
り、ステップ602の流量検出以下、上述と同様の操作を
繰返す。
前記ステップ603,604の判定において検出流量値Qnが
設計値QS＝QU〜QLの範囲を満足した場合はこの流量調整
処理を修了する。しかし、万一設計の上限値QUをオーバ
ーした場合は、流量を設計上限値QU以下に下げるために
開気孔５の樹脂膜6d（第４図（ｃ），（ｄ））を再生し
て開気孔５を塞ぐ、第６図中NO左側の目止めループに入
る（第６図中の左側のループ）。
設計値QS＝QU〜QLの範囲を満足した場合はこの流量調整
処理を修了する。しかし、万一設計の上限値QUをオーバ
ーした場合は、流量を設計上限値QU以下に下げるために
開気孔５の樹脂膜6d（第４図（ｃ），（ｄ））を再生し
て開気孔５を塞ぐ、第６図中NO左側の目止めループに入
る（第６図中の左側のループ）。
この目止めループでは、まず、前記回復ループのステ
ップ605におけると同様に、繰返し数ｎの判定を行なう
（ステップ610）。この時ｎ＝０ならば、その多孔質軸
受102は樹脂含浸により全部の開気孔５が塞がれてお
り、それ以上の目止めはできない筈であるから、エラー
として動作をストップする（ステップ611）。ｎ≧１の
場合は、前記回復ループのステップ606におけると同様
に、検出流量値QnとQn-1の関係により所定のパターンを
選択する（ステップ612）。次に、流量を下げるため
に、電磁弁103を制御し、多孔質静圧軸受102の供給エア
をストップする（ステップ613）。さらに、スプレーガ
ン104より溶剤を噴霧して軸受面に塗布させる（ステッ
プ614）。続いて、繰返し数ｎに１を加算した（ステッ
プ616）後、ステップ601へ戻って電磁弁103を制御して
再度軸受に空気を供給し（ステップ601）、ステップ602
の流量検出を行なう。以下、上述と同様の処理を繰り返
す。
ップ605におけると同様に、繰返し数ｎの判定を行なう
（ステップ610）。この時ｎ＝０ならば、その多孔質軸
受102は樹脂含浸により全部の開気孔５が塞がれてお
り、それ以上の目止めはできない筈であるから、エラー
として動作をストップする（ステップ611）。ｎ≧１の
場合は、前記回復ループのステップ606におけると同様
に、検出流量値QnとQn-1の関係により所定のパターンを
選択する（ステップ612）。次に、流量を下げるため
に、電磁弁103を制御し、多孔質静圧軸受102の供給エア
をストップする（ステップ613）。さらに、スプレーガ
ン104より溶剤を噴霧して軸受面に塗布させる（ステッ
プ614）。続いて、繰返し数ｎに１を加算した（ステッ
プ616）後、ステップ601へ戻って電磁弁103を制御して
再度軸受に空気を供給し（ステップ601）、ステップ602
の流量検出を行なう。以下、上述と同様の処理を繰り返
す。
［発明の効果］ 以上説明したように、所定の開口率を有するパターン
を介し、溶剤を塗布させることにより所定の気体通過流
量が得られる。したがって、従来のように繰り返し調整
作業を行なう手間が省け製造コストが下がる。また作業
の標準化が容易になり、品質が安定化しまた自動化がで
きるなどの効果がある。さらに、開口率が設計値より大
きくなり過ぎた場合にはそのまま続けて目止め処理を行
なうようことができるため、不良率の低下や作業効率の
向上に効果がある。
を介し、溶剤を塗布させることにより所定の気体通過流
量が得られる。したがって、従来のように繰り返し調整
作業を行なう手間が省け製造コストが下がる。また作業
の標準化が容易になり、品質が安定化しまた自動化がで
きるなどの効果がある。さらに、開口率が設計値より大
きくなり過ぎた場合にはそのまま続けて目止め処理を行
なうようことができるため、不良率の低下や作業効率の
向上に効果がある。
第１図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ多孔質軸受の断
面図および斜視図、 第２図は、樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面
図、 第３図は、溶剤塗布用パターンの一例を示す外観図、 第４図（ａ）〜（ｄ）は、本発明の多孔質開気孔の拡大
モデル説明図、 第５図は、本発明に係る流量調整装置の構成図、 第６図は、第５図の装置における流量調整を表すフロー
チャート、 第７図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第５図の装置で
用いられるパターンが形成された円板の外観図および該
円板上のパターンの拡大図、そして 第８図は、第５図の装置における流量測定部の拡大図で
ある。 1:多孔質材 5:開気孔 6a,6b,6c,6d,6e:樹脂膜 7,7f〜7k:パターン 7a:小孔 8:溶剤 101:コンプレッサ 102:多孔質軸受 104:スプレーガン 108:測定パッド 109:センサ 111:円板 114:CPU
面図および斜視図、 第２図は、樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面
図、 第３図は、溶剤塗布用パターンの一例を示す外観図、 第４図（ａ）〜（ｄ）は、本発明の多孔質開気孔の拡大
モデル説明図、 第５図は、本発明に係る流量調整装置の構成図、 第６図は、第５図の装置における流量調整を表すフロー
チャート、 第７図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第５図の装置で
用いられるパターンが形成された円板の外観図および該
円板上のパターンの拡大図、そして 第８図は、第５図の装置における流量測定部の拡大図で
ある。 1:多孔質材 5:開気孔 6a,6b,6c,6d,6e:樹脂膜 7,7f〜7k:パターン 7a:小孔 8:溶剤 101:コンプレッサ 102:多孔質軸受 104:スプレーガン 108:測定パッド 109:センサ 111:円板 114:CPU
Claims (3)
- 【請求項１】噴出流量調整すべき多孔質材に樹脂を含浸
させて開気孔を塞ぎ、該多孔質材に対し所定の開口分布
を有するパターンを介して前記樹脂を溶かすための溶剤
を塗布することによって該多孔質静圧気体軸受の噴出流
量を調整する多孔質静圧気体軸受の製造方法において、 前記溶剤塗布に先立って該多孔質材の気体通過流量を測
定し、それが所定の流量を上回るか下回るかに基づいて
前記開気孔を回復させる流量調整方法と目止めする流量
調整方法とを使い分けすることを特徴とする多孔質静圧
気体軸受の製造方法。 - 【請求項２】前記開気孔を回復させる流量調整方法は、
前記多孔質材に対し加圧気体を供給した状態で前記溶剤
を塗布する方法であり、前記開気孔を目止めする流量調
整方法は、前記多孔質材に対し加圧気体を供給しない状
態で前記溶剤を塗布する方法である請求項１記載の多孔
質静圧気体軸受の製造方法。 - 【請求項３】前記パターンを多孔質材の軸受に対し所定
間隔を隔てて平行に対向させた状態で前記溶剤を塗布す
る請求項１記載の多孔質静圧気体軸受の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10171390A JPH086748B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
| US07/594,933 US5110520A (en) | 1989-10-13 | 1990-10-10 | Method for manufacturing a porous static pressure gas bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10171390A JPH086748B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044318A JPH044318A (ja) | 1992-01-08 |
| JPH086748B2 true JPH086748B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=14307945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10171390A Expired - Lifetime JPH086748B2 (ja) | 1989-10-13 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086748B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4006367A1 (en) | 2020-11-27 | 2022-06-01 | European Space Agency | Gas bearing system |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060070697A1 (en) * | 2004-09-23 | 2006-04-06 | Ingersoll Machine Tools, Inc. | Method and apparatus for directing resin-impregnated tape |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP10171390A patent/JPH086748B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4006367A1 (en) | 2020-11-27 | 2022-06-01 | European Space Agency | Gas bearing system |
| US12077322B2 (en) | 2020-11-27 | 2024-09-03 | European Space Agency | Gas bearing system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH044318A (ja) | 1992-01-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5415265B2 (ja) | 電子回路基板に任意のコーティング材料を塗布する方法 | |
| US4688918A (en) | Negative type photoresist developing apparatus | |
| KR101267922B1 (ko) | 폴리싱장치 및 폴리싱방법 | |
| KR100234793B1 (ko) | 도막형성장치 및 그것에 사용되는 막두께 제어조건을 결정하는 방법 | |
| JP2008016038A (ja) | 流体を分配するための停止／吸引弁を調節する制御システム | |
| JP2004535956A (ja) | キャリブレーション気体の容積を移送することによる圧力の調節 | |
| US5670202A (en) | Method and system for spraying material in a spray pattern having a variable form and collecting excess material | |
| JPH086748B2 (ja) | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 | |
| KR0175048B1 (ko) | 포토레지스트 분사장치 | |
| JP4166465B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法、および塗布基板の製造方法 | |
| US6896736B2 (en) | Photoresist purge control of semiconductor wafer coating equipment | |
| JPH086749B2 (ja) | 多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置 | |
| JP3976167B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3590233B2 (ja) | 粉体供給装置 | |
| EP4028176B1 (en) | Methods of determining clogging and clogging characteristics of coating medium apparatus, coating medium apparatus, calibration system and industrial robot | |
| JP3630650B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
| JP2809751B2 (ja) | 塗装ガンの塗料吐出量制御装置 | |
| US5203204A (en) | Flow regulating apparatus and flow measuring apparatus for porous hydrostatic bearing | |
| JPH0459945B2 (ja) | ||
| JP2577644B2 (ja) | 多孔質静圧気体軸受の製造方法 | |
| JP4388304B2 (ja) | 測定装置のパージ機構およびそれを備えた測定装置 | |
| JPH04145222A (ja) | 多孔質静圧気体軸受の流量調整装置 | |
| JP3732673B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
| JPH04145217A (ja) | 多孔質静圧気体軸受の流量調整装置 | |
| JP3322388B2 (ja) | 鋳物砂処理用の散水装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 15 |