JPH086749B2 - 多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置Info
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- JPH086749B2 JPH086749B2 JP10171490A JP10171490A JPH086749B2 JP H086749 B2 JPH086749 B2 JP H086749B2 JP 10171490 A JP10171490 A JP 10171490A JP 10171490 A JP10171490 A JP 10171490A JP H086749 B2 JPH086749 B2 JP H086749B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、軸受面に多孔質体を配し、その多孔質体の
通気孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気
体膜を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受を製造
する方法およびこの製造の際、前記多孔質体の気体流出
量を調整する装置に関する。
通気孔から加圧気体を軸との間の微小隙間に噴出し、気
体膜を形成して軸を支持する多孔質静圧気体軸受を製造
する方法およびこの製造の際、前記多孔質体の気体流出
量を調整する装置に関する。
［従来の技術］ この種の軸受で所定の回転精度、負荷能力、軸受剛性
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量、すなわち気体通過流量が軸受面全面
にわたり均一であることが要求される。そのために、従
来は予め、所定の流量以下になるように軸受面に樹脂を
含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しなが
ら、溶剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一にな
るように調整していた。そしてこの方法においては、溶
剤を適量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて樹脂を
溶かし、徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行
なっていた。
等の軸受性能を得るためには、多孔質体に所定の圧力で
気体を供給した時に軸受面における単位面積あたりに噴
出する気体の流量、すなわち気体通過流量が軸受面全面
にわたり均一であることが要求される。そのために、従
来は予め、所定の流量以下になるように軸受面に樹脂を
含浸させて孔を塞いだ後、気体通過流量を測定しなが
ら、溶剤により適宜樹脂を除去し、噴出流量が均一にな
るように調整していた。そしてこの方法においては、溶
剤を適量含ませた綿棒などで軸受面を擦り付けて樹脂を
溶かし、徐々に流量を回復させながら繰り返し調整を行
なっていた。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来例では調整作業が作業者の経験や
勘に頼っているために、調整方法が試行錯誤で行なわれ
る結果、 作業工数が多くかかり、コスト増加の原因となる。
勘に頼っているために、調整方法が試行錯誤で行なわれ
る結果、 作業工数が多くかかり、コスト増加の原因となる。
手作業に頼っているため、標準化し難く、品質のばら
つきが大きい。
つきが大きい。
自動化に不向きである。
等の不都合があった。
本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので
あって、作業工程を減少させて製造コストを低減し、作
業の標準化および品質の安定化を図ることができるとと
もに、自動化が可能な、多孔質静圧気体軸受の製造方法
および気体流量調整装置を提供することを目的とする。
あって、作業工程を減少させて製造コストを低減し、作
業の標準化および品質の安定化を図ることができるとと
もに、自動化が可能な、多孔質静圧気体軸受の製造方法
および気体流量調整装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段および作用］ 本発明は、樹脂を含浸させた軸受面に、均一に穴のあ
いたパターンを介して溶剤を塗布することにより、気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたもので、前記パターンとして開口率の異なるもの
を複数種類設けるとともに、溶剤塗布に先立って軸受面
の気体通過流量を測定し、その流量の測定値に応じて前
記パターンの選択条件を演算し、この演算結果に応じて
前記複数種類のパターンのうち１つを選択し、溶剤塗布
を行なうようにしている。この溶剤塗布は、前記気体通
過流量が所定の値となるまで必要ならば複数回行なわれ
るが、本発明の一つの態様において、２回目以降の溶剤
塗布前のパターン選択は前記流量測定値の変化状態の基
づいて行なわれる。
いたパターンを介して溶剤を塗布することにより、気体
軸受の気体通過流量を所定の値で均一に設定できるよう
にしたもので、前記パターンとして開口率の異なるもの
を複数種類設けるとともに、溶剤塗布に先立って軸受面
の気体通過流量を測定し、その流量の測定値に応じて前
記パターンの選択条件を演算し、この演算結果に応じて
前記複数種類のパターンのうち１つを選択し、溶剤塗布
を行なうようにしている。この溶剤塗布は、前記気体通
過流量が所定の値となるまで必要ならば複数回行なわれ
るが、本発明の一つの態様において、２回目以降の溶剤
塗布前のパターン選択は前記流量測定値の変化状態の基
づいて行なわれる。
［実施例］ 第１図（ａ）は多孔質軸受を示す断面図、第１図
（ｂ）はその外観図である。図において、１はグラファ
イト多孔質材、２は多孔質材１を保持および固定するハ
ウジング、３は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
（ｂ）はその外観図である。図において、１はグラファ
イト多孔質材、２は多孔質材１を保持および固定するハ
ウジング、３は給気室、４は圧縮空気の供給口である。
研摩加工などにより所定の精度に仕上げられた多孔質
材１の気体通過流量は、設計値よりも大きくなるように
製作されている。そのため、これを以下の手順にしたが
って設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微
細な開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う
余剰の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気
孔５内に樹脂膜6aを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。こ
れにより、気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次
に、第３図に示すように、所定の開口率を有するように
小孔7aが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受
面に対して平行で微小な隙間を持つように対向させて配
置する。さらに、多孔質材１に通気した状態で、パター
ン７を介して微量の溶剤を塗布させると、パターン７の
小孔7aの位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が
溶けて所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗
布方法としては霧状にして噴射する方法等がある。この
溶剤塗布の際、多孔質軸受に加圧空気を給気するか否か
によって、開気孔５を開口（回復）させたり、閉塞（目
止め）させることができる。
材１の気体通過流量は、設計値よりも大きくなるように
製作されている。そのため、これを以下の手順にしたが
って設計値に合致させる。まず、樹脂を多孔質材１の微
細な開気孔に含浸させる。そして、軸受面の表面を覆う
余剰の樹脂は溶剤で拭き取り、第２図に示すように開気
孔５内に樹脂膜6aを形成させ、この開気孔５を塞ぐ。こ
れにより、気体通過流量が設計値よりも小さくなる。次
に、第３図に示すように、所定の開口率を有するように
小孔7aが均一に分布したパターン７を多孔質材１の軸受
面に対して平行で微小な隙間を持つように対向させて配
置する。さらに、多孔質材１に通気した状態で、パター
ン７を介して微量の溶剤を塗布させると、パターン７の
小孔7aの位置に対応して多孔質材１に含浸された樹脂が
溶けて所定の気体通過流量が得られる。ここで溶剤の塗
布方法としては霧状にして噴射する方法等がある。この
溶剤塗布の際、多孔質軸受に加圧空気を給気するか否か
によって、開気孔５を開口（回復）させたり、閉塞（目
止め）させることができる。
気体通過流量の調整原理をわかりやすく説明するため
に、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に多孔質材
の開気孔部を拡大しモデル化した断面図を示す。
に、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に多孔質材
の開気孔部を拡大しモデル化した断面図を示す。
開気孔の回復 樹脂を含浸された開気孔５は樹脂膜6bによって塞がれ
ており、多孔質軸受に加圧空気を通気した状態において
樹脂膜6bには、第４図（ａ）に示すように、内部より圧
力が加わっている。この状態において、パターン７を介
して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の一
部に侵入し、その開気孔５の樹脂膜6bを溶かす。その結
果、樹脂膜6bは、第４図（ｂ）の6cで示すように、内部
圧力によって破壊され、圧力気体が開気孔５より流出す
る。これにより、開気孔５が開口（回復）する。
ており、多孔質軸受に加圧空気を通気した状態において
樹脂膜6bには、第４図（ａ）に示すように、内部より圧
力が加わっている。この状態において、パターン７を介
して通過した溶剤は、軸受面上に到達後、開気孔５の一
部に侵入し、その開気孔５の樹脂膜6bを溶かす。その結
果、樹脂膜6bは、第４図（ｂ）の6cで示すように、内部
圧力によって破壊され、圧力気体が開気孔５より流出す
る。これにより、開気孔５が開口（回復）する。
開気孔の目止め 第４図（ｃ）に示すように、開気孔５の樹脂膜6dが溶
剤によって破壊されている場合、この樹脂膜を再生して
開気孔５を塞ぐことを目止めという。多孔質軸受に、無
給気状態において、パターン７を介して溶剤を噴射する
と、溶剤８は軸受面上に到達後、開気孔５の一部に侵入
し、その開気孔５の樹脂膜6dを溶かす。溶けた樹脂は表
面張力によって第４図（ｄ）に示すように再度完全な樹
脂膜6eに再生されて即時固化し、開気孔５を塞ぐ。
剤によって破壊されている場合、この樹脂膜を再生して
開気孔５を塞ぐことを目止めという。多孔質軸受に、無
給気状態において、パターン７を介して溶剤を噴射する
と、溶剤８は軸受面上に到達後、開気孔５の一部に侵入
し、その開気孔５の樹脂膜6dを溶かす。溶けた樹脂は表
面張力によって第４図（ｄ）に示すように再度完全な樹
脂膜6eに再生されて即時固化し、開気孔５を塞ぐ。
これらの回復および目止め処理によって開気孔を開い
たり、閉じたりするとともに、処理の際にパターンの開
口率を加減して溶剤が塗布される面積を変化させること
で、軸受部材の気体透過流量を均一に所定の値で設定す
ることができる。
たり、閉じたりするとともに、処理の際にパターンの開
口率を加減して溶剤が塗布される面積を変化させること
で、軸受部材の気体透過流量を均一に所定の値で設定す
ることができる。
次に、気体透過流量の実際の調整方法について詳細に
説明する。第５図は本発明に一実施例に係る流量調整装
置の構成を示すブロック図であり、第６図は第５図の装
置における流量調整方法を示すフローチャートである。
第５図において、101は圧縮空気の供給源であるコンプ
レッサ、102は気体透過流量を調整しようとする多孔質
軸受である。今、多孔質軸受102はコンプレッサ101に接
続されている。103は多孔質軸受102とコンプレッサ101
との間に接続されて多孔質軸受102への空気供給を制御
する三方電磁弁、104は多孔質軸受102の表面に溶剤を塗
布するためのスプレーガン、105はスプレーガンに溶剤
に供給するためのタンク、106はスプレーガン104への空
気供給を制御する電磁弁、107はその電磁弁106を動作さ
せるためのドライバである。電磁弁106は、スプレーガ
ン104とコンプレッサ101との間に接続されている。108
は多孔質静圧軸受102の軸受面１より流出する流量を検
出するための測定パッド、109は測定パッドより取り込
まれた検出流量を電気信号に換えるためのセンサであ
る。測定パッド108の下端には、第８図に示すように、
ゴム製のＯリング120が配置され、軸受102の多孔質体１
の表面から噴出する空気は導孔121を経てセンサ109へ導
かれるようになっている。第５図において、110はその
電気信号をデジタル変換するためのA/Dコンバータであ
る。111はスプレーガン104より噴射された溶剤を塗布面
積を加減するためのパターンを有する円板である。円板
111は、第７図（ａ）に示すように６分割されており、
６分割された各部分に開口率をそれぞれ100％、50％、2
5％、12％、６％および３％に設定されたパターン7f〜7
kが形成されている。パターン7fは全体が１つの開口に
より構成されている。パターン７（7g〜7k）は、それぞ
れ、第７図（ｂ）に拡大して示すように、板厚0.1mm程
度のステンレス板にエッチングによって小孔7aを等ピッ
チに開けられたものよりなる。それぞれのパターン7g〜
7kは、第１表に示す仕様に合わせて製作されている。
説明する。第５図は本発明に一実施例に係る流量調整装
置の構成を示すブロック図であり、第６図は第５図の装
置における流量調整方法を示すフローチャートである。
第５図において、101は圧縮空気の供給源であるコンプ
レッサ、102は気体透過流量を調整しようとする多孔質
軸受である。今、多孔質軸受102はコンプレッサ101に接
続されている。103は多孔質軸受102とコンプレッサ101
との間に接続されて多孔質軸受102への空気供給を制御
する三方電磁弁、104は多孔質軸受102の表面に溶剤を塗
布するためのスプレーガン、105はスプレーガンに溶剤
に供給するためのタンク、106はスプレーガン104への空
気供給を制御する電磁弁、107はその電磁弁106を動作さ
せるためのドライバである。電磁弁106は、スプレーガ
ン104とコンプレッサ101との間に接続されている。108
は多孔質静圧軸受102の軸受面１より流出する流量を検
出するための測定パッド、109は測定パッドより取り込
まれた検出流量を電気信号に換えるためのセンサであ
る。測定パッド108の下端には、第８図に示すように、
ゴム製のＯリング120が配置され、軸受102の多孔質体１
の表面から噴出する空気は導孔121を経てセンサ109へ導
かれるようになっている。第５図において、110はその
電気信号をデジタル変換するためのA/Dコンバータであ
る。111はスプレーガン104より噴射された溶剤を塗布面
積を加減するためのパターンを有する円板である。円板
111は、第７図（ａ）に示すように６分割されており、
６分割された各部分に開口率をそれぞれ100％、50％、2
5％、12％、６％および３％に設定されたパターン7f〜7
kが形成されている。パターン7fは全体が１つの開口に
より構成されている。パターン７（7g〜7k）は、それぞ
れ、第７図（ｂ）に拡大して示すように、板厚0.1mm程
度のステンレス板にエッチングによって小孔7aを等ピッ
チに開けられたものよりなる。それぞれのパターン7g〜
7kは、第１表に示す仕様に合わせて製作されている。
第５図において、112はパターン割出しを行なうため
のステッピングモータ、113はステッピングモータを駆
動させるためのドライバ、114はCPU、115はメモリ、そ
して116は三方電磁弁103を駆動するためのドライバであ
る。
のステッピングモータ、113はステッピングモータを駆
動させるためのドライバ、114はCPU、115はメモリ、そ
して116は三方電磁弁103を駆動するためのドライバであ
る。
次に、第５図の装置の動作を説明する。
多孔質軸受102に空気が供給された状態において、流
量検出パッド108を軸受面の調整部分に密着させ、気体
通過流量を検出する。検出された流量はセンサ109によ
って電気信号に変換され、A/Dコンバータ110を介しCPU1
14に取り込まれる。CPU114は、回復か目止めのどちらの
操作を行なうか判断し、電磁弁103に命令を出して供給
エアのオン、オフを制御する。CPU114は、次に、回復ま
たは目止めに用いるべきパターンを決定するための演算
を行ない、演算結果に応じた命令をステッピングモータ
用ドライバ113に出す。これにより、ステッピングモー
タ112が駆動され、所定の開口率のパターン７が選択さ
れる。
量検出パッド108を軸受面の調整部分に密着させ、気体
通過流量を検出する。検出された流量はセンサ109によ
って電気信号に変換され、A/Dコンバータ110を介しCPU1
14に取り込まれる。CPU114は、回復か目止めのどちらの
操作を行なうか判断し、電磁弁103に命令を出して供給
エアのオン、オフを制御する。CPU114は、次に、回復ま
たは目止めに用いるべきパターンを決定するための演算
を行ない、演算結果に応じた命令をステッピングモータ
用ドライバ113に出す。これにより、ステッピングモー
タ112が駆動され、所定の開口率のパターン７が選択さ
れる。
次に、CPU114の制御のもとに、軸受面の調整部に対し
一定の距離をとってスプレーガン104が配置される。そ
して、CPU114よりドライバ107に命令が出され、電磁弁1
06が一定時間オンすることによって、スプレーガン104
は空気が供給されてノズルより溶剤を露状に噴射する。
噴射された溶剤はパターン７（7f〜7kのいずれか）を介
して軸受面に塗布される。
一定の距離をとってスプレーガン104が配置される。そ
して、CPU114よりドライバ107に命令が出され、電磁弁1
06が一定時間オンすることによって、スプレーガン104
は空気が供給されてノズルより溶剤を露状に噴射する。
噴射された溶剤はパターン７（7f〜7kのいずれか）を介
して軸受面に塗布される。
次に、第６図のフローに基づき第５図のCPU114の調整
処理における動作を説明する。
処理における動作を説明する。
新たな多孔質軸受102が、第５図に示すようにセット
されると、CPU114は、繰返し数ｎをリセット（ｎ＝０）
した（ステップ600）後、以下の調整処理を実行する。
されると、CPU114は、繰返し数ｎをリセット（ｎ＝０）
した（ステップ600）後、以下の調整処理を実行する。
まず、ドライバ116により電磁弁103を多孔質軸受102
側に切り換えてコンプレッサ101から軸受102への給気を
オンする（ステップ601）。センサ109はこの給気オンに
より孔質軸受102の軸受面から噴出し検出パッド108に取
り込まれる空気の流量を検出する。A/Dコンバータ110
は、この検出流量をディジタル値Qnに変換する。CPU114
は、この検出流量値Qnを取り込み（ステップ602）、こ
の検出流量値Qnが設計値（QS＝QU〜QL）を満足するかど
うかを判定する（ステップ603,604）。検出流量値Qnが
設計下限値QLを下回る場合は、流量を回復させるため、
第６図中で右側の流量回復ループに入る。
側に切り換えてコンプレッサ101から軸受102への給気を
オンする（ステップ601）。センサ109はこの給気オンに
より孔質軸受102の軸受面から噴出し検出パッド108に取
り込まれる空気の流量を検出する。A/Dコンバータ110
は、この検出流量をディジタル値Qnに変換する。CPU114
は、この検出流量値Qnを取り込み（ステップ602）、こ
の検出流量値Qnが設計値（QS＝QU〜QL）を満足するかど
うかを判定する（ステップ603,604）。検出流量値Qnが
設計下限値QLを下回る場合は、流量を回復させるため、
第６図中で右側の流量回復ループに入る。
この回復ループでは、まず、繰返し数ｎの判定を行な
い（ステップ605）、ｎ＝０ならば所定の初期パターン
（例えばパターンｊ）を選択する（ステップ608）。一
方、ｎ≧１の場合には、今回の調整処理においてステッ
プ602で取り込んだ検出流量値Qnと前回の調整処理の際
に取り込んだ検出流量値Qn-1との関係に基づき、パター
ンを選択する（ステップ606）。次いで、ドライバ107を
介して電磁弁106をオンさせ、コンプレッサ101からの加
圧空気をスプレーガン104へ供給する。これにより、ス
プレーガン104から溶剤が噴霧され多孔質軸受102の軸受
け面に塗布される（ステップ607）。そして繰返し数ｎ
に１を加算した（ステップ609）後、ステップ601へ戻
り、ステップ602の流量検出以下、上述と同様の操作を
繰返す。
い（ステップ605）、ｎ＝０ならば所定の初期パターン
（例えばパターンｊ）を選択する（ステップ608）。一
方、ｎ≧１の場合には、今回の調整処理においてステッ
プ602で取り込んだ検出流量値Qnと前回の調整処理の際
に取り込んだ検出流量値Qn-1との関係に基づき、パター
ンを選択する（ステップ606）。次いで、ドライバ107を
介して電磁弁106をオンさせ、コンプレッサ101からの加
圧空気をスプレーガン104へ供給する。これにより、ス
プレーガン104から溶剤が噴霧され多孔質軸受102の軸受
け面に塗布される（ステップ607）。そして繰返し数ｎ
に１を加算した（ステップ609）後、ステップ601へ戻
り、ステップ602の流量検出以下、上述と同様の操作を
繰返す。
前記ステップ603,604の判定において検出流量値Qnが
設計値QS＝QU〜QLの範囲を満足した場合はこの流量調整
処理を修了する。しかし、万一設計の上限値QUをオーバ
ーした場合は、流量を設計上限値QU以下に下げるために
開気孔５の樹脂膜6d（第４図（ｃ），（ｄ））を再生し
て開気孔５を塞ぐ、第６図中NO左側の目止めループに入
る（第６図中の左側のループ）。
設計値QS＝QU〜QLの範囲を満足した場合はこの流量調整
処理を修了する。しかし、万一設計の上限値QUをオーバ
ーした場合は、流量を設計上限値QU以下に下げるために
開気孔５の樹脂膜6d（第４図（ｃ），（ｄ））を再生し
て開気孔５を塞ぐ、第６図中NO左側の目止めループに入
る（第６図中の左側のループ）。
この目止めループでは、まず、前記回復ループのステ
ップ605におけると同様に、繰返し数ｎの判定を行なう
（ステップ610）。この時ｎ＝０ならば、その多孔質軸
受102は樹脂含浸により全部の開気孔５が塞がれてお
り、それ以上の目止めはできない筈であるから、エラー
として動作をストップする（ステップ611）。ｎ≧１の
場合は、前記回復ループのステップ606におけると同様
に、検出流量値QnとQn-1の関係により所定のパターンを
選択する（ステップ612）。次に、流量を下げるため
に、電磁弁103を制御し、多孔質静圧軸受102の供給エア
をストップする（ステップ613）。さらに、スプレーガ
ン104より溶剤を噴霧して軸受面に塗布させる（ステッ
プ614）。続いて、繰返し数ｎに１を加算した（ステッ
プ616）後、ステップ601へ戻って電磁弁103を制御して
再度軸受に空気を供給し（ステップ601）、ステップ602
の流量検出を行なう。以下、上述と同様の処理を繰り返
す。
ップ605におけると同様に、繰返し数ｎの判定を行なう
（ステップ610）。この時ｎ＝０ならば、その多孔質軸
受102は樹脂含浸により全部の開気孔５が塞がれてお
り、それ以上の目止めはできない筈であるから、エラー
として動作をストップする（ステップ611）。ｎ≧１の
場合は、前記回復ループのステップ606におけると同様
に、検出流量値QnとQn-1の関係により所定のパターンを
選択する（ステップ612）。次に、流量を下げるため
に、電磁弁103を制御し、多孔質静圧軸受102の供給エア
をストップする（ステップ613）。さらに、スプレーガ
ン104より溶剤を噴霧して軸受面に塗布させる（ステッ
プ614）。続いて、繰返し数ｎに１を加算した（ステッ
プ616）後、ステップ601へ戻って電磁弁103を制御して
再度軸受に空気を供給し（ステップ601）、ステップ602
の流量検出を行なう。以下、上述と同様の処理を繰り返
す。
ここで、本発明におけるパターンの選択方法を説明す
る。この選択方法は、検出流量および調整繰り返し数ｎ
等の条件に対応したパターン選択テーブルを複数用意し
てメモリ115に記憶させておき、調整過程における判別
フローに基づき対応するテーブルを読み出して参照する
ことにより、パターンの選択を行なうものである。
る。この選択方法は、検出流量および調整繰り返し数ｎ
等の条件に対応したパターン選択テーブルを複数用意し
てメモリ115に記憶させておき、調整過程における判別
フローに基づき対応するテーブルを読み出して参照する
ことにより、パターンの選択を行なうものである。
ｉ）初期パターン選択 初期パターン選択は繰り返し数ｎ＝０を条件としQnの
値とメモリに設定した初期条件選択テーブルとの参照を
行ないパターンを選択する。
値とメモリに設定した初期条件選択テーブルとの参照を
行ないパターンを選択する。
ii）パターン選択 前回の流量測定値Qn-1と今回の流量測定値Qnの関係か
ら流量の変化形態に応じたパターン選択テーブルをメモ
リに記憶しそのテーブルに基づいて次回のパターンを選
択する。
ら流量の変化形態に応じたパターン選択テーブルをメモ
リに記憶しそのテーブルに基づいて次回のパターンを選
択する。
ここで、流量調整を必要とする検出流量の変化形態は
次の４通りである。
次の４通りである。
ケースA:Qn＜QLでQn-1＜QLの場合 ケースB:Qn＜QLでQn-1＞QUの場合 ケースC:Qn＞QUでQn-1＜QLの場合 ケースD:Qn＞QUでQn-1＞QUの場合 それぞれのケースに応じてパターン選択テーブルが用
意されている。また各テーブルの参照を容易にするため
に各ケースに対応したテーブル参照係数Ｈを設定してあ
る。テーブル参照係数Ｈは、流量QL,QU,Qn,Qn-1の関係
に基づき各ケースごとの算定式により算出される。
意されている。また各テーブルの参照を容易にするため
に各ケースに対応したテーブル参照係数Ｈを設定してあ
る。テーブル参照係数Ｈは、流量QL,QU,Qn,Qn-1の関係
に基づき各ケースごとの算定式により算出される。
第９図のフローチャートをもとに第６図のフローチャ
ートにおける初期パターン選択ブロック（ステップ60
8）およびパターン選択ブロック（ステップ606,612）の
処理を詳細に説明する。なお、第９図中、第６図におけ
ると同様の処理には同一のステップ番号を付してある。
また、ここでは説明を容易にするために設計値流量Q
S（＝QL〜QU）は45〜50cc/cm2の範囲に設定されている
ものとする。
ートにおける初期パターン選択ブロック（ステップ60
8）およびパターン選択ブロック（ステップ606,612）の
処理を詳細に説明する。なお、第９図中、第６図におけ
ると同様の処理には同一のステップ番号を付してある。
また、ここでは説明を容易にするために設計値流量Q
S（＝QL〜QU）は45〜50cc/cm2の範囲に設定されている
ものとする。
先ず、ケースＡの場合について説明する。第９図を参
照して、初期の目止め（樹脂含浸）を行なった後の多孔
質軸受102（第５図）の流量Ｑｎ＝０を測定し（ステッ
プ600〜602）、続いて、この測定流量値（検出流量）が
規定流量QL以下であるか否かを判別する（ステップ60
3）。ここではＱｎ＝０＜QL（＝45）である。次に、繰
返し数ｎの判別を行ない（ステップ605）、ｎ＝０であ
るから初期条件選択ブロック（ステップ608）に進んで
初期条件選択テーブルとの参照を行ない、次の溶剤噴射
に用いるメッシュを選択する。このメッシュを介して溶
剤を噴射（ステップ607）した後、繰返し数ｎを１つ進
める（ステップ609）。次に、流量Ｑｎ＝１を測定し
（ステップ602）、ステップ603の判別でＱｎ＝１＜QLで
あるからステップ605に進む。さらに、ｎ＝１であるか
らｎ＞０である判別（ステップ605）に基づいてステッ
プ901以下のフィルター選択フローに進む。ここで、Q
n-1（＝Ｑｎ＝０）＜45であれば、ステップ902において で定義される計算を行ない、Ｈの値を求める。次にテー
ブル１をメモリから呼び出し、ステップ902で求めたＨ
の値でテーブル１を参照し、次の溶剤噴射に用いるべき
メッシュのランク（今回のメッシュから変化すべきラン
ク）を決定する。
照して、初期の目止め（樹脂含浸）を行なった後の多孔
質軸受102（第５図）の流量Ｑｎ＝０を測定し（ステッ
プ600〜602）、続いて、この測定流量値（検出流量）が
規定流量QL以下であるか否かを判別する（ステップ60
3）。ここではＱｎ＝０＜QL（＝45）である。次に、繰
返し数ｎの判別を行ない（ステップ605）、ｎ＝０であ
るから初期条件選択ブロック（ステップ608）に進んで
初期条件選択テーブルとの参照を行ない、次の溶剤噴射
に用いるメッシュを選択する。このメッシュを介して溶
剤を噴射（ステップ607）した後、繰返し数ｎを１つ進
める（ステップ609）。次に、流量Ｑｎ＝１を測定し
（ステップ602）、ステップ603の判別でＱｎ＝１＜QLで
あるからステップ605に進む。さらに、ｎ＝１であるか
らｎ＞０である判別（ステップ605）に基づいてステッ
プ901以下のフィルター選択フローに進む。ここで、Q
n-1（＝Ｑｎ＝０）＜45であれば、ステップ902において で定義される計算を行ない、Ｈの値を求める。次にテー
ブル１をメモリから呼び出し、ステップ902で求めたＨ
の値でテーブル１を参照し、次の溶剤噴射に用いるべき
メッシュのランク（今回のメッシュから変化すべきラン
ク）を決定する。
次に、初期の目止め（樹脂含浸）を行なった後、上記
フローに基づいて所定の流量を得るまでの過程を第10図
をもとに具体的に説明する。
フローに基づいて所定の流量を得るまでの過程を第10図
をもとに具体的に説明する。
まず、繰り返し回数ｎ＝０における流量がＱｎ＝０＝
25cc/cm2であると、初期選択条件より12％のメッシュが
選択される（第９図ステップ608）。このメッシュによ
り溶剤の噴射を行なった後、Ｑｎ＝１＝32cc/cm2が測定
される。この時、Qn＝Ｑｎ＝１＝32cc/cm2＜45cc/cm2、
Qn-1＝Ｑｎ＝０＝25cc/cm2＜45cc/cm2であるから前記ケ
ースＡに該当する。
25cc/cm2であると、初期選択条件より12％のメッシュが
選択される（第９図ステップ608）。このメッシュによ
り溶剤の噴射を行なった後、Ｑｎ＝１＝32cc/cm2が測定
される。この時、Qn＝Ｑｎ＝１＝32cc/cm2＜45cc/cm2、
Qn-1＝Ｑｎ＝０＝25cc/cm2＜45cc/cm2であるから前記ケ
ースＡに該当する。
したがって、ステップ902において計算式 を計算し、 を得る。このＨ＝0.35をテーブル１で参照して「メッシ
ュ１ランクアップ」を得る（ステップ903）。ここでメ
ッシュのランクアップとは、第７図（ａ）に示したパタ
ーンの場合、開口率が大きくなる場合をランクアップ、
開口率が小さくなる場合をランクダウンという。今、メ
ッシュ12％に対する１ランクアップであるからメッシュ
25％が選択されることになる。
ュ１ランクアップ」を得る（ステップ903）。ここでメ
ッシュのランクアップとは、第７図（ａ）に示したパタ
ーンの場合、開口率が大きくなる場合をランクアップ、
開口率が小さくなる場合をランクダウンという。今、メ
ッシュ12％に対する１ランクアップであるからメッシュ
25％が選択されることになる。
次に、この25％のメッシュを用いて溶剤の噴射を行な
った後、Ｑｎ＝２＝41cc/cm2が測定される。この場合も
Qn-1（＝Ｑｎ＝１）＜45cc/cm2、Qn＝Ｑｎ＝２＜45cc/c
m2であるからケースＡに該当する。
った後、Ｑｎ＝２＝41cc/cm2が測定される。この場合も
Qn-1（＝Ｑｎ＝１）＜45cc/cm2、Qn＝Ｑｎ＝２＜45cc/c
m2であるからケースＡに該当する。
したがって、式 を用いてHA＝0.69を得る。HA＝0.69をテーブル１で参照
して「同一メッシュ」（同一ランク）の指令を得る（ス
テップ903）。これにより次回の溶剤噴射は25％のメッ
シュを用いて行なう。第10図では第３回目の測定値Ｑ
ｎ＝３＝48cc/cm2を得て調整は終了している。
して「同一メッシュ」（同一ランク）の指令を得る（ス
テップ903）。これにより次回の溶剤噴射は25％のメッ
シュを用いて行なう。第10図では第３回目の測定値Ｑ
ｎ＝３＝48cc/cm2を得て調整は終了している。
第11図は、ケースＡ、ケースＢ、ケースＣおよびケー
スＤのそれぞれの流量変化の状態を示す。
スＤのそれぞれの流量変化の状態を示す。
同図に示すように、ケースＡは所定流量の下限未満で
の変化、ケースＢはＱの下限未満から上限を超える変
化、ケースＣはＱの上限超での変化、ケースＤはＱの上
限超から下限未満への変化である。ケースＢ〜Ｄはケー
スＡにおける流量調整が規定流量内へ収束しなかった場
合の修正に用いられる。
の変化、ケースＢはＱの下限未満から上限を超える変
化、ケースＣはＱの上限超での変化、ケースＤはＱの上
限超から下限未満への変化である。ケースＢ〜Ｄはケー
スＡにおける流量調整が規定流量内へ収束しなかった場
合の修正に用いられる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、所定の開口率
を有するパターンを介し、溶剤を塗布させることにより
所定の気体通過流量が得られる。したがって、従来のよ
うに繰り返し調整作業を行なう手間が省け製造コストが
下がる。また、作業の標準化が容易になり、品質が安定
化し、かつ自動化ができるなどの効果がある。さらに、
開口率が設計値より大きくなり過ぎた場合にはそのまま
続けて目止め処理を行なうことができるため、不良率の
低下や作業効率の向上に効果がある。
を有するパターンを介し、溶剤を塗布させることにより
所定の気体通過流量が得られる。したがって、従来のよ
うに繰り返し調整作業を行なう手間が省け製造コストが
下がる。また、作業の標準化が容易になり、品質が安定
化し、かつ自動化ができるなどの効果がある。さらに、
開口率が設計値より大きくなり過ぎた場合にはそのまま
続けて目止め処理を行なうことができるため、不良率の
低下や作業効率の向上に効果がある。
第１図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ多孔質軸受の断
面図および斜視図、 第２図は、樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面
図、 第３図は、溶剤塗布用パターンの一例を示す外観図、 第４図（ａ）〜（ｄ）は、本発明の多孔質開気孔の拡大
モデル説明図、 第５図は、本発明に係る流量調整装置の構成図、 第６図は、第５図の装置における流量調整を説明するた
めのフローチャート、 第７図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第５図の装置で
用いられるパターンが形成された円板の外観図および該
円板上のパターンの拡大図、 第８図は、第５図の装置における流量測定部の拡大図、 第９図は、第５図の装置におけるパターン選択を説明す
るためのフローチャート、 第10図は、流量の調整過程を説明するためのグラフ、そ
して 第11図は、本発明の流量調整過程における様々の流量変
化形態を示す説明図である。 1:多孔質材 5:開気孔 6a,6b,6c,6d,6e:樹脂膜 7,7f〜7k:パターン 7a:小孔 8:溶剤 101:コンプレッサ 102:多孔質軸受 104:スプレーガン 108:測定パッド 109:センサ 111:円板 112:パターン駆動モータ 113:パターン駆動モータ用ドライバ 114:CPU（制御装置） 115:メモリ
面図および斜視図、 第２図は、樹脂を含浸した状態の多孔質材の拡大断面
図、 第３図は、溶剤塗布用パターンの一例を示す外観図、 第４図（ａ）〜（ｄ）は、本発明の多孔質開気孔の拡大
モデル説明図、 第５図は、本発明に係る流量調整装置の構成図、 第６図は、第５図の装置における流量調整を説明するた
めのフローチャート、 第７図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第５図の装置で
用いられるパターンが形成された円板の外観図および該
円板上のパターンの拡大図、 第８図は、第５図の装置における流量測定部の拡大図、 第９図は、第５図の装置におけるパターン選択を説明す
るためのフローチャート、 第10図は、流量の調整過程を説明するためのグラフ、そ
して 第11図は、本発明の流量調整過程における様々の流量変
化形態を示す説明図である。 1:多孔質材 5:開気孔 6a,6b,6c,6d,6e:樹脂膜 7,7f〜7k:パターン 7a:小孔 8:溶剤 101:コンプレッサ 102:多孔質軸受 104:スプレーガン 108:測定パッド 109:センサ 111:円板 112:パターン駆動モータ 113:パターン駆動モータ用ドライバ 114:CPU（制御装置） 115:メモリ
Claims (6)
- 【請求項１】噴出流量を調整すべき多孔質材に樹脂を含
浸させて開気孔を塞ぎ、該多孔質材に対し所定の開口分
布を有するパターンを介して前記樹脂を溶かすための溶
剤を塗布することによって該多孔質静圧気体軸受の噴出
流量を調整する多孔質静圧気体軸受の製造方法におい
て、 前記パターンを複数種類設けるとともに、前記溶剤塗布
に先立って該多孔質材の気体通過流量を測定し、該流量
測定値に応じて前記複数種類のパターンのうちの１つを
選択して前記溶剤を塗布するようにしたことを特徴とす
る多孔質静圧気体軸受の製造方法。 - 【請求項２】前記溶剤塗布を行なった後、前記流量測定
を行ない、この流量値が所定の流量範囲に入らない場合
は流量値の変化状態に基づいて前記パターンを選択し、
さらに溶剤塗布を行なう請求項１記載の多孔質静圧気体
軸受の製造方法。 - 【請求項３】前記多孔質材に対し加圧気体を供給した状
態で前記溶剤を塗布することによって前記開気孔を回復
させるとともに、前記多孔質材に対し加圧気体を供給し
ない状態で前記溶剤を塗布することによって前記開気孔
を目止めする請求項１記載の多孔質静圧気体軸受の製造
方法。 - 【請求項４】互いに異なる開口分布を有する複数種類の
パターンと、 樹脂を含浸させて開気孔を塞いだ多孔質材に対し前記樹
脂を溶かすための溶剤を塗布する手段と、 多孔質材の気体通過流量を測定する流量測定手段と、 該測定値に応じて前記複数種類のパターンのうちの１つ
を選択するパターン選択手段と、 選択されたパターンを前記溶剤塗布が該パターンを介し
て行なわれるべく所定の溶剤塗布位置に移動させるパタ
ーン駆動手段と を具備することを特徴とする多孔質軸受の気体流量調整
装置。 - 【請求項５】前記パターン選択手段は、パターン選択テ
ーブルと、前記流量の測定値に応じてパターンの選択条
件を演算し、該選択条件により前記パターン選択テーブ
ルを参照してパターン選択指令を読出す制御装置を備
え、前記パターン駆動手段は、該制御装置の指令に基づ
いてパターンの割出しを行なう請求項４記載の気体流量
調整装置。 - 【請求項６】前記パターン選択テーブルは、前記パター
ンの選択条件に対応するパターン変化度合を記憶し、前
記制御装置は該パターン変化度合の情報を前記指令とし
て出力する請求項５記載の気体流量調整装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10171490A JPH086749B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置 |
| US07/594,933 US5110520A (en) | 1989-10-13 | 1990-10-10 | Method for manufacturing a porous static pressure gas bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10171490A JPH086749B2 (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044319A JPH044319A (ja) | 1992-01-08 |
| JPH086749B2 true JPH086749B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=14307974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10171490A Expired - Lifetime JPH086749B2 (ja) | 1989-10-13 | 1990-04-19 | 多孔質静圧気体軸受の製造方法および気体流量調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086749B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5645560B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2014-12-24 | キヤノン株式会社 | 静圧気体軸受 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP10171490A patent/JPH086749B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH044319A (ja) | 1992-01-08 |
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