JPH087157Y2 - 位置制御用バルブ - Google Patents
位置制御用バルブInfo
- Publication number
- JPH087157Y2 JPH087157Y2 JP6708890U JP6708890U JPH087157Y2 JP H087157 Y2 JPH087157 Y2 JP H087157Y2 JP 6708890 U JP6708890 U JP 6708890U JP 6708890 U JP6708890 U JP 6708890U JP H087157 Y2 JPH087157 Y2 JP H087157Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- valve
- exhaust
- opening
- vibration isolation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は精密測定機あるいは精密加工機などを載置
する除振台に使用して好適な位置制御用バルブに関する
ものである。
する除振台に使用して好適な位置制御用バルブに関する
ものである。
従来、除振台が基準位置から大きく外れた場合には急
激に復帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動
作が緩やかになる位置制御用バルブとして、特開平２−
12000号公報に開示されたものが提案されている。この
位置制御用バルブは、除振台本体を支持するシリンダや
空気ばねなどの位置制御用アクチュエータに連通される
I/O室と、圧縮空気源に連通するインポート室並びに位
置制御用アクチュエータ内の空気を大気開放するイグゾ
ースト室とをバルブ本体に設け、インポート室に開口す
るI/O室の給気用弁孔にI/O室側に押圧付勢され、I/O室
にて次第に細くなるテーパ状開閉弁を開閉自在に配設す
るとともに、テーパ状開閉弁の細径側に突出した摺動筒
部をI/O室からイグゾースト室にかけてその外周面が気
密状態になるように挿通し、該摺動筒部にI/O室とイグ
ゾースト室とを繋ぐ連通路を穿設し、除振台本体の動き
に合わせて摺動し、その挿入端が摺動筒部から離間する
方向に常時付勢されるピストンをイグゾースト室に配設
し、ピストンの挿入端に突設せる円錐状開閉弁を連通路
のイグゾースト室側排気用弁孔に開閉自在に配設して構
成されている。
激に復帰動作を行い、基準位置近くになった時に復帰動
作が緩やかになる位置制御用バルブとして、特開平２−
12000号公報に開示されたものが提案されている。この
位置制御用バルブは、除振台本体を支持するシリンダや
空気ばねなどの位置制御用アクチュエータに連通される
I/O室と、圧縮空気源に連通するインポート室並びに位
置制御用アクチュエータ内の空気を大気開放するイグゾ
ースト室とをバルブ本体に設け、インポート室に開口す
るI/O室の給気用弁孔にI/O室側に押圧付勢され、I/O室
にて次第に細くなるテーパ状開閉弁を開閉自在に配設す
るとともに、テーパ状開閉弁の細径側に突出した摺動筒
部をI/O室からイグゾースト室にかけてその外周面が気
密状態になるように挿通し、該摺動筒部にI/O室とイグ
ゾースト室とを繋ぐ連通路を穿設し、除振台本体の動き
に合わせて摺動し、その挿入端が摺動筒部から離間する
方向に常時付勢されるピストンをイグゾースト室に配設
し、ピストンの挿入端に突設せる円錐状開閉弁を連通路
のイグゾースト室側排気用弁孔に開閉自在に配設して構
成されている。
ところが、前記従来の位置制御用バルブは、除振台本
体が大きく降下されてテーパ状開閉弁が開放された場合
に、インポート室から給気用弁孔のみを通してI/O室へ
空気が供給されるので、単位時間当たりの空気供給量に
限界があり、除振台本体の基準位置への復帰速度を速く
して応答性を向上することができないという問題があっ
た。
体が大きく降下されてテーパ状開閉弁が開放された場合
に、インポート室から給気用弁孔のみを通してI/O室へ
空気が供給されるので、単位時間当たりの空気供給量に
限界があり、除振台本体の基準位置への復帰速度を速く
して応答性を向上することができないという問題があっ
た。
この考案の目的は除振台本体に大きな負荷が作用して
降下量が大きくなった場合、多量に圧縮空気を位置制御
用アクチュエータに供給して除振台本体を素早く基準位
置に復帰動作することができる位置制御用バルブを提供
することにある。
降下量が大きくなった場合、多量に圧縮空気を位置制御
用アクチュエータに供給して除振台本体を素早く基準位
置に復帰動作することができる位置制御用バルブを提供
することにある。
この考案は上記目的を達成するため、バルブ本体に対
し除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの位置
制御用アクチュエータに連通するI/O室と、圧縮空気源
に連通するインポート室と、位置制御用アクチュエータ
内の空気を大気開放するイグゾースト室とを設け、前記
I/O室と前記インポート室を給気用弁孔により連通する
とともに、この給気用弁孔を開閉するテーパ状開閉弁を
インポート室に収容し、前記I/O室にはテーパ状開閉弁
に設けた摺動筒部をその外周面がI/O室とイグゾースト
室との区間で気密性をもって往復摺動可能に挿通し、前
記摺動筒部には前記I/O室と前記イングゾースト室を連
通する連通路を形成し、前記イグゾースト室には除振台
本体の動作に応じて摺動し、かつ前記開閉弁から常時離
隔する方向に付勢されたピストンを配設し、さらに前記
連通路のイグゾースト室側排気用弁孔と、前記ピストン
との間に該排気用弁孔を開閉するための開閉弁を配設
し、前記バルブ本体には前記インポート室側とI/O室側
とを連通するバイパス通路を形成し、前記開閉弁には該
開閉弁が所定量開口動作された場合に前記バイパス通路
を開放するためのバイパス用開閉弁を連動可能に設ける
という手段をとっている。
し除振台本体を支持するシリンダや空気ばねなどの位置
制御用アクチュエータに連通するI/O室と、圧縮空気源
に連通するインポート室と、位置制御用アクチュエータ
内の空気を大気開放するイグゾースト室とを設け、前記
I/O室と前記インポート室を給気用弁孔により連通する
とともに、この給気用弁孔を開閉するテーパ状開閉弁を
インポート室に収容し、前記I/O室にはテーパ状開閉弁
に設けた摺動筒部をその外周面がI/O室とイグゾースト
室との区間で気密性をもって往復摺動可能に挿通し、前
記摺動筒部には前記I/O室と前記イングゾースト室を連
通する連通路を形成し、前記イグゾースト室には除振台
本体の動作に応じて摺動し、かつ前記開閉弁から常時離
隔する方向に付勢されたピストンを配設し、さらに前記
連通路のイグゾースト室側排気用弁孔と、前記ピストン
との間に該排気用弁孔を開閉するための開閉弁を配設
し、前記バルブ本体には前記インポート室側とI/O室側
とを連通するバイパス通路を形成し、前記開閉弁には該
開閉弁が所定量開口動作された場合に前記バイパス通路
を開放するためのバイパス用開閉弁を連動可能に設ける
という手段をとっている。
この考案は除振台本体上に機器等の負荷を載置する
と、負荷に応じて除振台本体が降下する。すると、位置
制御用バルブのピストンが除振台本体とともに押し下げ
られ、ピストンの挿入端がテーパ状開閉弁を押し下げ、
インポート室とI/O室とを連通する。このため、インポ
ート室からI/O室を通ってアクチュエータに圧縮空気が
供給され、除振台本体が押し上げられる。さらに、基準
位置近くまで除振台本体が押し上げられると、それに応
じてピストンも上昇してテーパ状開閉弁がインポート室
からI/O室への弁孔を次第に閉塞してインポート室からI
/O室への圧縮空気の流入を抑制する。この結果、基準位
置に向けて除振台本体が徐々に押し上げられ、基準位置
にソフトランディングされる。
と、負荷に応じて除振台本体が降下する。すると、位置
制御用バルブのピストンが除振台本体とともに押し下げ
られ、ピストンの挿入端がテーパ状開閉弁を押し下げ、
インポート室とI/O室とを連通する。このため、インポ
ート室からI/O室を通ってアクチュエータに圧縮空気が
供給され、除振台本体が押し上げられる。さらに、基準
位置近くまで除振台本体が押し上げられると、それに応
じてピストンも上昇してテーパ状開閉弁がインポート室
からI/O室への弁孔を次第に閉塞してインポート室からI
/O室への圧縮空気の流入を抑制する。この結果、基準位
置に向けて除振台本体が徐々に押し上げられ、基準位置
にソフトランディングされる。
前記除振台本体への負荷が大きくてピストンが所定距
離降下されると、テーパ状開閉弁とともにバイパス通路
用開閉弁が開放されるので、インポート室側からバイパ
ス通路を介してI/O室側に空気が多量に供給されるた
め、アクチュエータへの圧縮空気の供給量が増大して、
除振台本体が迅速に押し上げられ、基準位置への復帰動
作が迅速に行われる。
離降下されると、テーパ状開閉弁とともにバイパス通路
用開閉弁が開放されるので、インポート室側からバイパ
ス通路を介してI/O室側に空気が多量に供給されるた
め、アクチュエータへの圧縮空気の供給量が増大して、
除振台本体が迅速に押し上げられ、基準位置への復帰動
作が迅速に行われる。
逆に、負荷が取り除かれたような場合、除振台本体が
上昇するが、このとき、ピストンが上昇するとともに、
排気孔用開閉弁が開放されるため、I/O室とイグゾース
ト室が連通されてアクチュエータ内の空気が大気開放さ
れ、除振台本体が降下する。除振台本体が基準位置の近
くになると、ピストン及び排気孔用開閉弁が下がり、I/
O室とイグゾースト室の連通状態が徐々に閉塞されて空
気の抜けが規制され、前記同様に除振台本体が基準位置
にソフトランディングする。
上昇するが、このとき、ピストンが上昇するとともに、
排気孔用開閉弁が開放されるため、I/O室とイグゾース
ト室が連通されてアクチュエータ内の空気が大気開放さ
れ、除振台本体が降下する。除振台本体が基準位置の近
くになると、ピストン及び排気孔用開閉弁が下がり、I/
O室とイグゾースト室の連通状態が徐々に閉塞されて空
気の抜けが規制され、前記同様に除振台本体が基準位置
にソフトランディングする。
以下、この考案を具体化した第一実施例を第１図〜第
５図に基づいて詳細に説明する。
５図に基づいて詳細に説明する。
第５図に示すように、除振台本体１は、シリンダや空
気ばね２などの位置制御用アクチュエータにより支持さ
れている。このアクチュエータは空気ばね２の場合には
圧力容器３とゴム製のばね部４とで構成されている。こ
の実施例では空気ばね２をアクチュエータとして説明す
るが、これに限られるものではない。
気ばね２などの位置制御用アクチュエータにより支持さ
れている。このアクチュエータは空気ばね２の場合には
圧力容器３とゴム製のばね部４とで構成されている。こ
の実施例では空気ばね２をアクチュエータとして説明す
るが、これに限られるものではない。
前記圧力容器３の側壁には支持アーム５を介してこの
考案の位置制御用バルブ６が立設されている。この位置
制御用バルブ６について第１図を中心に説明すると、バ
ルブ本体７には、I/O室８が形成され、該室８はI/Oポー
ト９及び管路P2を介して前記圧力容器３に連通されてい
る。又、バルブ本体７にはインポート室10が形成され、
該室10はインポート11及び管路P1を介して圧縮空気源12
に接続されている。さらに、バルブ本体７の上部にはイ
グゾースト室13が形成され、該室13はイグゾースト14に
より大気と連通されている。
考案の位置制御用バルブ６が立設されている。この位置
制御用バルブ６について第１図を中心に説明すると、バ
ルブ本体７には、I/O室８が形成され、該室８はI/Oポー
ト９及び管路P2を介して前記圧力容器３に連通されてい
る。又、バルブ本体７にはインポート室10が形成され、
該室10はインポート11及び管路P1を介して圧縮空気源12
に接続されている。さらに、バルブ本体７の上部にはイ
グゾースト室13が形成され、該室13はイグゾースト14に
より大気と連通されている。
前記I/O室８及びインポート室10は、テーパ状をなす
給気用弁孔15により連通され、前記インポート室10には
前記給気用弁孔15を開閉するためのテーパ状開閉弁16が
収容され、常には押圧ばね17により前記給気用弁孔15を
閉鎖する方向に付勢されている。このテーパ状開閉弁16
が開放されると、圧縮空気源12から圧縮空気が管路P1、
インポート11、インポート室10、給気用弁孔15、I/O室
８、I/Oポート９及び管路P2を介して圧力容器３に供給
されて、除振台本体１が上昇される。
給気用弁孔15により連通され、前記インポート室10には
前記給気用弁孔15を開閉するためのテーパ状開閉弁16が
収容され、常には押圧ばね17により前記給気用弁孔15を
閉鎖する方向に付勢されている。このテーパ状開閉弁16
が開放されると、圧縮空気源12から圧縮空気が管路P1、
インポート11、インポート室10、給気用弁孔15、I/O室
８、I/Oポート９及び管路P2を介して圧力容器３に供給
されて、除振台本体１が上昇される。
又、前記開閉弁16の小径部側には摺動筒部16aが一体
に形成され、該摺動筒部16aは前記I/O室８とイグゾース
ト室13との区間でその外周面が気密性をもって摺動可能
に挿通されている。
に形成され、該摺動筒部16aは前記I/O室８とイグゾース
ト室13との区間でその外周面が気密性をもって摺動可能
に挿通されている。
前記摺動筒部16a内にはI/O室８とイグゾースト室13を
連通可能な連通路18が形成されている。前記イグゾース
ト室13にはピストン19が上下方向の往復摺動可能に、圧
縮ばね20により常には摺動筒部16aから離間する方向に
付勢状態で挿入されている。このピストン19の内端面に
凹設した収容凹部19aと、前記摺動筒部16aの上端部に形
成したイグゾースト側排気用弁孔18aとの間には、該排
気用弁孔18aを開閉可能な球状開閉弁21が遊動可能に収
容されている。この開閉弁21が開放されると、圧力容器
３内の空気が管路P2、I/Oポート９、I/O室８、連通路1
8、排気用弁孔18a、イグゾースト室13、及びイグゾース
ト14の順に流れて大気開放される。
連通可能な連通路18が形成されている。前記イグゾース
ト室13にはピストン19が上下方向の往復摺動可能に、圧
縮ばね20により常には摺動筒部16aから離間する方向に
付勢状態で挿入されている。このピストン19の内端面に
凹設した収容凹部19aと、前記摺動筒部16aの上端部に形
成したイグゾースト側排気用弁孔18aとの間には、該排
気用弁孔18aを開閉可能な球状開閉弁21が遊動可能に収
容されている。この開閉弁21が開放されると、圧力容器
３内の空気が管路P2、I/Oポート９、I/O室８、連通路1
8、排気用弁孔18a、イグゾースト室13、及びイグゾース
ト14の順に流れて大気開放される。
前記バルブ本体７の上端面にはブラケット22が立設さ
れ、該ブラケット22には支軸23を介してレバー24が回動
可能に支持され、該レバー24には前記ピストン19の上端
面に当接する作動ピン25が螺合固定されている。又、前
記レバー24の先端部には第５図に示すように当接棒26が
支持され、該当接棒26の上端が前記除振台本体１の下面
に当接されている。そして、除振台本体１が昇降動作さ
れると、当接棒26,レバー24及び作動ピン25を介してピ
ストン19が上下に往復動される。
れ、該ブラケット22には支軸23を介してレバー24が回動
可能に支持され、該レバー24には前記ピストン19の上端
面に当接する作動ピン25が螺合固定されている。又、前
記レバー24の先端部には第５図に示すように当接棒26が
支持され、該当接棒26の上端が前記除振台本体１の下面
に当接されている。そして、除振台本体１が昇降動作さ
れると、当接棒26,レバー24及び作動ピン25を介してピ
ストン19が上下に往復動される。
次に、除振台本体１が大きく降下した場合に該除振台
本体１を基準位置へ迅速に復帰動作させるための構成を
説明する。
本体１を基準位置へ迅速に復帰動作させるための構成を
説明する。
前記バルブ本体７及び前記インポート室10を閉塞する
蓋体27には、前記インポート室10とI/Oポート９を連通
するバイパス通路28が形成されている。又、蓋体27に形
成したバイパス用弁孔29には、前記開閉弁16に連結ロッ
ド30を介して一体に形成したバイパス用開閉弁31が開閉
可能に挿入されている。このバイパス用開閉弁31は前記
ピストン19が所定距離降下された場合にバイパス用弁孔
29を開放し、圧力容器３への圧縮空気の供給量を増大し
て素早く除振台本体１を上昇させるようにしている。
蓋体27には、前記インポート室10とI/Oポート９を連通
するバイパス通路28が形成されている。又、蓋体27に形
成したバイパス用弁孔29には、前記開閉弁16に連結ロッ
ド30を介して一体に形成したバイパス用開閉弁31が開閉
可能に挿入されている。このバイパス用開閉弁31は前記
ピストン19が所定距離降下された場合にバイパス用弁孔
29を開放し、圧力容器３への圧縮空気の供給量を増大し
て素早く除振台本体１を上昇させるようにしている。
前記I/Oポート９には前記開閉弁16が開放された状態で
圧力容器３への圧縮空気の流量を調整するためのオリフ
ィス32が配置れている。又、前記I/Oポート９及びイン
ポート11には圧縮空気を清浄化するためのフィルタ33が
配置されている。
圧力容器３への圧縮空気の流量を調整するためのオリフ
ィス32が配置れている。又、前記I/Oポート９及びイン
ポート11には圧縮空気を清浄化するためのフィルタ33が
配置されている。
なお、前記蓋体27はバルブ本体７への嵌合位置を正確
にするため、弾性を有するＣ型係止リング34により上方
へ押圧した状態で係止されている。
にするため、弾性を有するＣ型係止リング34により上方
へ押圧した状態で係止されている。
次に、前記のように構成した位置制御用バルブについ
て、その動作を説明する。
て、その動作を説明する。
第１図はテーパ状開閉弁16が給気用弁孔15を閉鎖する
とともに、バイパス用開閉弁31がバイパス用弁孔29を閉
鎖し、球状開閉弁21が連通路18のイグゾースト側排気用
弁孔18aを閉鎖して、圧力容器３内の圧力が一定に保持
され、除振台本体１が基準位置Ｓに保持された状態を示
す。
とともに、バイパス用開閉弁31がバイパス用弁孔29を閉
鎖し、球状開閉弁21が連通路18のイグゾースト側排気用
弁孔18aを閉鎖して、圧力容器３内の圧力が一定に保持
され、除振台本体１が基準位置Ｓに保持された状態を示
す。
この状態において、除振台本体１の上面に載置した負
荷（図示略）が除去されると、第２図に示すようにレバ
ー24が軸23を中心に上方に回動され、このため、ピスト
ン19が圧縮ばね20により上方に移動される。すると、圧
力容器３から管路P2、I/Oポート９、I/O室８及び連通路
18を経てイグゾースト室13に流れる空気により球状開閉
弁21が開放され、この空気はイグゾースト室13からイグ
ゾースト14を経て大気開放され、圧力容器３内の圧力が
低下する。このため除振台本体１が降下され、レバー24
及び作動ピン25によりピストン19が圧縮ばね20の付勢力
に抗して押し下げられ、球状開閉弁21が連通路18の排気
用弁孔18aに向かって移動される。球状開閉弁21が排気
用弁孔18aに近づくに従い連通路18からイグゾースト室1
3に流れる空気の量が徐々に減少して行くので、除振台
本体１の基準位置Ｓへの復帰が徐々に行われる。そし
て、第１図に示すように球状開閉弁21が排気用弁孔18a
に当接した閉鎖状態で除振台本体１が基準位置Ｓに停止
保持される。
荷（図示略）が除去されると、第２図に示すようにレバ
ー24が軸23を中心に上方に回動され、このため、ピスト
ン19が圧縮ばね20により上方に移動される。すると、圧
力容器３から管路P2、I/Oポート９、I/O室８及び連通路
18を経てイグゾースト室13に流れる空気により球状開閉
弁21が開放され、この空気はイグゾースト室13からイグ
ゾースト14を経て大気開放され、圧力容器３内の圧力が
低下する。このため除振台本体１が降下され、レバー24
及び作動ピン25によりピストン19が圧縮ばね20の付勢力
に抗して押し下げられ、球状開閉弁21が連通路18の排気
用弁孔18aに向かって移動される。球状開閉弁21が排気
用弁孔18aに近づくに従い連通路18からイグゾースト室1
3に流れる空気の量が徐々に減少して行くので、除振台
本体１の基準位置Ｓへの復帰が徐々に行われる。そし
て、第１図に示すように球状開閉弁21が排気用弁孔18a
に当接した閉鎖状態で除振台本体１が基準位置Ｓに停止
保持される。
一方、除振台本体１に負荷を作用させた場合には、レ
バー24が第３図に示すように軸23を中心に下方へ回動さ
れ、作動ピン25によりピストン19が圧縮ばね20の付勢力
に抗して下方に押動されるので、球状開閉弁21を介して
摺動筒部16a、テーパ状開閉弁16及びバイパス用開閉弁3
1が押圧ばね17の付勢力に抗して下方へ移動される。こ
の結果、バイパス通路28が閉鎖された状態で給気用弁孔
15が開放されて圧縮空気源12から第３図の矢印で示すよ
うに管路P1、インポート11、インポート室10、及び給気
用弁孔15を経てI/O室８内に圧縮空気が供給され、さら
にI/O室８からI/Oポート９及び管路P2を経て圧力容器３
内に供給される。従って、除振台本体１は上方に移動さ
れ、圧縮ばね20の付勢力によりピストン19及び及びレバ
ー24が上方に移動されるとともに、押圧ばね17の付勢力
により、各開閉弁16,21,31が上昇される。そして、給気
用弁孔15がテーパ状開閉弁16により閉鎖されると、第１
図に示すように圧力容器３内への空気の供給は停止さ
れ、除振台本体１が基準位置Ｓに停止保持される。
バー24が第３図に示すように軸23を中心に下方へ回動さ
れ、作動ピン25によりピストン19が圧縮ばね20の付勢力
に抗して下方に押動されるので、球状開閉弁21を介して
摺動筒部16a、テーパ状開閉弁16及びバイパス用開閉弁3
1が押圧ばね17の付勢力に抗して下方へ移動される。こ
の結果、バイパス通路28が閉鎖された状態で給気用弁孔
15が開放されて圧縮空気源12から第３図の矢印で示すよ
うに管路P1、インポート11、インポート室10、及び給気
用弁孔15を経てI/O室８内に圧縮空気が供給され、さら
にI/O室８からI/Oポート９及び管路P2を経て圧力容器３
内に供給される。従って、除振台本体１は上方に移動さ
れ、圧縮ばね20の付勢力によりピストン19及び及びレバ
ー24が上方に移動されるとともに、押圧ばね17の付勢力
により、各開閉弁16,21,31が上昇される。そして、給気
用弁孔15がテーパ状開閉弁16により閉鎖されると、第１
図に示すように圧力容器３内への空気の供給は停止さ
れ、除振台本体１が基準位置Ｓに停止保持される。
前記除振台本体１への負荷が大きくてピストン19が所
定距離降下されると、第４図に示すように開閉弁16とと
もにバイパス用開閉弁31が開放されるので、インポート
室10からバイパス通路28を介してI/Oポート９に多量の
圧縮空気が供給されるため、圧力容器３への圧縮空気量
が増大して、除振台本体１が素早く押し上げられ、基準
位置Ｓへの復帰動作が迅速に行われる。第６図はピスト
ン19のストロークと排気量及び給気量との関係を示す。
このグラフから明らかなようにピストン19が所定距離降
下してバイパス通路28が開放された場合には急激に給気
量が増大されるため、除振台本体１の基準位置Ｓへの復
帰動作が迅速に行われることになる。
定距離降下されると、第４図に示すように開閉弁16とと
もにバイパス用開閉弁31が開放されるので、インポート
室10からバイパス通路28を介してI/Oポート９に多量の
圧縮空気が供給されるため、圧力容器３への圧縮空気量
が増大して、除振台本体１が素早く押し上げられ、基準
位置Ｓへの復帰動作が迅速に行われる。第６図はピスト
ン19のストロークと排気量及び給気量との関係を示す。
このグラフから明らかなようにピストン19が所定距離降
下してバイパス通路28が開放された場合には急激に給気
量が増大されるため、除振台本体１の基準位置Ｓへの復
帰動作が迅速に行われることになる。
なお、この考案は前記実施例に限定されるものではな
く、例えば前記オリフィス32に代えて可変ニードル（図
示略）を使用するなど、実用新案登録請求の範囲を逸脱
しない範囲で構成を任意に変更して具体化してもよい。
く、例えば前記オリフィス32に代えて可変ニードル（図
示略）を使用するなど、実用新案登録請求の範囲を逸脱
しない範囲で構成を任意に変更して具体化してもよい。
以上詳述したように、この考案は除振台本体が大きく
降下した場合にその基準位置への復帰動作を迅速に行う
ことができ、応答性を向上することができる効果があ
る。
降下した場合にその基準位置への復帰動作を迅速に行う
ことができ、応答性を向上することができる効果があ
る。
第１図はこの考案の位置制御用バルブの基準位置を示す
断面図、第２図〜第４図はそれぞれ除振台本体の位置制
御動作を示す断面図、第５図は除振装置全体を示す正面
図、第６図はピストンストロークと給気量及び排気量と
の関係を示すグラフである。 １…除振台本体、２…空気ばね、３…圧力容器、４…ば
ね部、６…位置制御用バルブ、７…バルブ本体、８…I/
O室、10…インポート室、12…圧縮空気源、13…イグゾ
ースト室、15…給気用弁孔、16…開閉弁、16a…摺動筒
部、17…押圧ばね、18…連通路、18a…イグゾースト側
排気用弁孔、19…ピストン、19a…収容凹部、20…圧縮
ばね、21…球状開閉弁、24…レバー、28…バイパス通
路、29…バイパス用弁孔、31…バイパス用開閉弁。
断面図、第２図〜第４図はそれぞれ除振台本体の位置制
御動作を示す断面図、第５図は除振装置全体を示す正面
図、第６図はピストンストロークと給気量及び排気量と
の関係を示すグラフである。 １…除振台本体、２…空気ばね、３…圧力容器、４…ば
ね部、６…位置制御用バルブ、７…バルブ本体、８…I/
O室、10…インポート室、12…圧縮空気源、13…イグゾ
ースト室、15…給気用弁孔、16…開閉弁、16a…摺動筒
部、17…押圧ばね、18…連通路、18a…イグゾースト側
排気用弁孔、19…ピストン、19a…収容凹部、20…圧縮
ばね、21…球状開閉弁、24…レバー、28…バイパス通
路、29…バイパス用弁孔、31…バイパス用開閉弁。
Claims (1)
- 【請求項１】バルブ本体（７）に対し除振台本体（１）
を支持するシリンダや空気ばね（２）などの位置制御用
アクチュエータに連通するI/O室（８）と、圧縮空気源
（12）に連通するインポート室（10）と、位置制御用ア
クチュエータ内の空気を大気開放するイグゾースト室
（13）とを設け、前記I/O室（８）と前記インポート室
（10）を給気用弁孔（15）により連通するとともに、こ
の給気用弁孔（15）を開閉するテーパ状開閉弁（16）を
インポート室（10）に収容し、前記I/O室（８）にはテ
ーパ状開閉弁（16）に設けた摺動筒部（16a）をその外
周面がI/O室（８）とイグゾースト室（13）との区間で
気密性をもって往復摺動可能に挿通し、前記摺動筒部
（16a）には前記I/O室（８）と前記イグゾースト室（1
3）を連通する連通路（18）を形成し、前記イグゾース
ト室（13）には除振台本体（１）の動作に応じて摺動
し、かつ前記開閉弁（16）から常時離隔する方向に付勢
されたピストン（19）を配設し、さらに前記連通路（1
8）のイグゾースト室（13）側排気用弁孔（18a）と、前
記ピストン（19）との間に該排気用弁孔（18a）を開閉
するための開閉弁（21）を配設し、前記バルブ本体
（７）には前記インポート室（10）側とI/O室（８）側
とを連通するバイパス通路（28）を形成し、前記開閉弁
（16）には該開閉弁（16）が所定量開口動作された場合
に前記バイパス通路（28）を開放するためのバイパス用
開閉弁（31）を連動可能に設けたことを特徴とする位置
制御用バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6708890U JPH087157Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 位置制御用バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6708890U JPH087157Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 位置制御用バルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425046U JPH0425046U (ja) | 1992-02-28 |
| JPH087157Y2 true JPH087157Y2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=31600356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6708890U Expired - Lifetime JPH087157Y2 (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 位置制御用バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087157Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011074930A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Kurashiki Kako Co Ltd | 制御弁の駆動機構 |
| CN102345703A (zh) * | 2010-07-27 | 2012-02-08 | 仓敷化工株式会社 | 控制阀的驱动机构 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4486521B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-06-23 | 藤倉ゴム工業株式会社 | レベリング調整装置 |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6708890U patent/JPH087157Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011074930A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Kurashiki Kako Co Ltd | 制御弁の駆動機構 |
| CN102345703A (zh) * | 2010-07-27 | 2012-02-08 | 仓敷化工株式会社 | 控制阀的驱动机构 |
| JP2012026547A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Kurashiki Kako Co Ltd | 制御弁の駆動機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0425046U (ja) | 1992-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1247981A3 (en) | Control valve for variable capacity compressors | |
| JPH0777658B2 (ja) | リベット・セッティング装置 | |
| GB2198215A (en) | Trigger control for air powered tool | |
| EP1243224A3 (de) | Einrichtung bei einem Dentalgerät zum Anschluss eines Fluidbehälters | |
| GB1559382A (en) | Tracheal suction pump | |
| JPH087157Y2 (ja) | 位置制御用バルブ | |
| DE602004004936D1 (de) | Proportionales Druckregelventil mit Über- bzw. Unterdruckförderung Möglichkeit. | |
| GB917699A (en) | Improvements in or relating to a gaseous fluid actuated hydraulic power unit | |
| JPH0116344B2 (ja) | ||
| JPH087156Y2 (ja) | 位置制御用バルブ | |
| TWM622524U (zh) | 具有浮動控制器之氣動式懸吊裝置 | |
| JPH0220546Y2 (ja) | ||
| JPH0325477Y2 (ja) | ||
| JPS5872623A (ja) | 内燃機関用の燃料噴射ポンプ | |
| JPS6348829Y2 (ja) | ||
| JPS598657B2 (ja) | 排気ブレ−キの弁作動用エア−シリンダ−装置 | |
| JPS60885Y2 (ja) | 歯科用エヤ−タ−ビンハンドピ−スの滴水防止装置 | |
| US3896839A (en) | Vacuum drain | |
| CN212389779U (zh) | 一种进气阀 | |
| JP3394547B2 (ja) | マルチステップバルブアクチェータ | |
| JPS606644Y2 (ja) | 油圧シリンダ− | |
| ES348309A1 (es) | Perfeccionamientos en la construccion de valvulas de con- trol de presion. | |
| JPS6337541Y2 (ja) | ||
| JPH01136643U (ja) | ||
| JPS6143993Y2 (ja) |